JPS62107440A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS62107440A JPS62107440A JP24736685A JP24736685A JPS62107440A JP S62107440 A JPS62107440 A JP S62107440A JP 24736685 A JP24736685 A JP 24736685A JP 24736685 A JP24736685 A JP 24736685A JP S62107440 A JPS62107440 A JP S62107440A
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- magnetic layer
- substrate
- magnetic recording
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は垂直磁気記録用の磁気記録媒体の製造方法Ｅ
ζ関するものである。
ζ関するものである。
従来、垂直磁気記録媒体には、その電磁変換特性等の電
気磁気的特性向上の為、垂直磁化層の垂直配向性の改善
を狙い、その垂直磁化層の下地層として薄い非磁性層、
例えばＴｉ 等を設ける構造をもつものかあ−また。
気磁気的特性向上の為、垂直磁化層の垂直配向性の改善
を狙い、その垂直磁化層の下地層として薄い非磁性層、
例えばＴｉ 等を設ける構造をもつものかあ−また。
第８図にその一例を示す。
アルミ基板（１）上（ζ表面平担性等機械的特性向上の
為（ζアルマイト層（２）を設け、更に軟磁性層とじて
例えばパーマロイ層ｔａ＋ 、中間非磁性層として例え
ばＴｉ層（４（、及び垂直磁化層として例えばＣｏ−Ｃ
ｒ層（５）を設けである。
為（ζアルマイト層（２）を設け、更に軟磁性層とじて
例えばパーマロイ層ｔａ＋ 、中間非磁性層として例え
ばＴｉ層（４（、及び垂直磁化層として例えばＣｏ−Ｃ
ｒ層（５）を設けである。
従来の垂直磁気記録媒体、いわゆる磁気ディスクは以上
のような構造Ｅζなっており中間非磁性層（４１が必要
であるので製造時に工程が複雑になる等の問題点があっ
た。そこで皿々検討してみたところ、Ｃｏ−Ｃｒを主成
分とする垂直磁化層（５）の垂直配向性は、軟磁性層（
３）を設けた場合基板の表面粗さに依存することが判っ
た。これを第２図で説明する。横軸には中間非磁性層の
厚さを、縦軸には垂直磁化層の垂直配向度を表わすＸ線
ロッキングカーブの半値幅Δθ、。をとっである。図に
おいて（ａ）は十点平均粗さ０．００５μｍ基準長さ０
．０２５μｍの基板を用いた場合の中間非磁性層（４１
とΔθ５ｏ の関係、Φ）は十点平均粗さのｏ、ｏｏ
ａμｍ基準長さ０．０２５μｍの基板を用いた場合の中
間非磁性層＋４１とΔθ５ｏ の関係、（Ｃ）は十点
平均粗さ０．００２μｍ基準長さ０．０５μｍの基板を
用いた場合の中間磁性層＋４１とΔθ５ｏ の関係を
示している。
のような構造Ｅζなっており中間非磁性層（４１が必要
であるので製造時に工程が複雑になる等の問題点があっ
た。そこで皿々検討してみたところ、Ｃｏ−Ｃｒを主成
分とする垂直磁化層（５）の垂直配向性は、軟磁性層（
３）を設けた場合基板の表面粗さに依存することが判っ
た。これを第２図で説明する。横軸には中間非磁性層の
厚さを、縦軸には垂直磁化層の垂直配向度を表わすＸ線
ロッキングカーブの半値幅Δθ、。をとっである。図に
おいて（ａ）は十点平均粗さ０．００５μｍ基準長さ０
．０２５μｍの基板を用いた場合の中間非磁性層（４１
とΔθ５ｏ の関係、Φ）は十点平均粗さのｏ、ｏｏ
ａμｍ基準長さ０．０２５μｍの基板を用いた場合の中
間非磁性層＋４１とΔθ５ｏ の関係、（Ｃ）は十点
平均粗さ０．００２μｍ基準長さ０．０５μｍの基板を
用いた場合の中間磁性層＋４１とΔθ５ｏ の関係を
示している。
なお上記の表面粗さの表示方法はＪＩＳ ＢＯ６０１−
１９８２１ζ示されているものを用いた。第８図より明
らかなようｆζ、表面粗さの大きい基板を用いた場合、
即ち（ａ）で示した場合、中間非磁性層を適切な厚さＥ
ζ設けることによりΔθ６０ は低下し垂直配向性は
改善されているが、表面粗さの小さ０基板を用いた場合
、即ち（ロ）に示した場合では中間非磁性層を設けても
Δθ６０ の値はほとんど低下することが無い。なお
、ここで表面粗さが十点平均組さ０．００８μｍｇ準長
さ０．０２５７４ｍより大きいものは、（ａ）で示す曲
線に類似してくる。またさらに表面粗さの小さい基板を
用いた場合、即ち（Ｃ）に示した場合には中間非磁性層
を設けてもΔθ６０ の値は低下せず、即ち垂直配向
性は改善されず、かえって悪化する場合すらあり、（６
）、（Ｃ）で示した場合、即ち表面粗さの小さい基板を
用いた場合、中間非磁性層を設けない場合においても表
面粗さの大きい基板を用いて中間非磁性層を設けた場合
よりも垂直配向性は良好である。
１９８２１ζ示されているものを用いた。第８図より明
らかなようｆζ、表面粗さの大きい基板を用いた場合、
即ち（ａ）で示した場合、中間非磁性層を適切な厚さＥ
ζ設けることによりΔθ６０ は低下し垂直配向性は
改善されているが、表面粗さの小さ０基板を用いた場合
、即ち（ロ）に示した場合では中間非磁性層を設けても
Δθ６０ の値はほとんど低下することが無い。なお
、ここで表面粗さが十点平均組さ０．００８μｍｇ準長
さ０．０２５７４ｍより大きいものは、（ａ）で示す曲
線に類似してくる。またさらに表面粗さの小さい基板を
用いた場合、即ち（Ｃ）に示した場合には中間非磁性層
を設けてもΔθ６０ の値は低下せず、即ち垂直配向
性は改善されず、かえって悪化する場合すらあり、（６
）、（Ｃ）で示した場合、即ち表面粗さの小さい基板を
用いた場合、中間非磁性層を設けない場合においても表
面粗さの大きい基板を用いて中間非磁性層を設けた場合
よりも垂直配向性は良好である。
また、従来において垂直磁化層と軟磁性層間に中間非磁
性層を設けることは、垂直磁化層と軟磁性層との磁気的
結合を妨げ軟磁性層を設けることの利点を損なうことに
なるという問題点があった。
性層を設けることは、垂直磁化層と軟磁性層との磁気的
結合を妨げ軟磁性層を設けることの利点を損なうことに
なるという問題点があった。
この発明は以上のような点Ｅζ鑑みなされたもので、垂
直磁化１の垂直配向性の良好な、かつ製法の簡単な磁気
記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
直磁化１の垂直配向性の良好な、かつ製法の簡単な磁気
記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
この発明の磁気記録媒体の製造方法は、表面粗さが十点
平均粗さｏ、ｏｏａμｍ基準長さ０．０２５μｍ以下で
ある基板を用い、これに軟磁性層とＣｏ−Ｃｒを主成分
とする垂直磁化ノーをそれぞれスパッタリング法で設け
るよう（ζしたものである。
平均粗さｏ、ｏｏａμｍ基準長さ０．０２５μｍ以下で
ある基板を用い、これに軟磁性層とＣｏ−Ｃｒを主成分
とする垂直磁化ノーをそれぞれスパッタリング法で設け
るよう（ζしたものである。
この発明Ｅζおいては、磁気記録媒体の基板として表面
粗さが十点平均粗さ０．００８μｍ基準長さ０．０２５
μｍより小さいものを用いたので、垂直磁化層の垂直配
向性が良くなると共ｉζ、中間非磁性層を必要としない
ので製造工程が簡単１ζなる。
粗さが十点平均粗さ０．００８μｍ基準長さ０．０２５
μｍより小さいものを用いたので、垂直磁化層の垂直配
向性が良くなると共ｉζ、中間非磁性層を必要としない
ので製造工程が簡単１ζなる。
第１図は、この発明の一実施例の磁気記録媒体の製造方
法１ζより得られた磁気記録媒体を示す断面図である。
法１ζより得られた磁気記録媒体を示す断面図である。
以下、一実施例の製造方法を説明する。アルミ基板（１
）の表面を周知の方法を用いて前処理洗浄し、その上１
ζアルマイト層（２１を設けて基板を形成する。このア
ルマイト層（２）の表面を機械加工により表面粗さが十
点平均粗さｏ、ｏｏｇμｍ基準長さ０．０２５μｍ以下
であるよう裔ζ表面加工する。（なお、ここで十点平均
粗さ０．００８μｍ基準長さ０．０２５μｍ以下とは、
十点平均粗さ０．００８μｍ基準長さ０．０２５よりも
表面粗さが小さいということを表わしている。）しかる
後スパッタ装置で５ＸＩＦ７Ｔｏｒｒ以ドに排気し、例
えば基板電極間６０ｍ、 Ａｒガス圧５ ？ＦＬＴＯｒ
ｒ、入力電力２００Ｗでパーマロイをスパッタし、パ
ーマロイ層（３）、即ち軟磁性層を０．５μｍ程度設け
る。更にその上に例えば基板電極間６０履Ａｒガス圧５
ｙｒ＋、Ｔｏｒｒ、入力１力２００ＷでＣｏ−Ｃｒをス
パツタシ、Ｃｏ−Ｃｒ Ｊ＠ １，５１、即ち垂直磁化
層を０．２μｍ程度設けろ。このよう晋ζして得られた
磁気記録媒体の垂直磁化層の垂直配向性は第２図から明
らかなようＩζ良好である。また中間非磁性層を設ける
必要がなく、製造工程が簡単である。
）の表面を周知の方法を用いて前処理洗浄し、その上１
ζアルマイト層（２１を設けて基板を形成する。このア
ルマイト層（２）の表面を機械加工により表面粗さが十
点平均粗さｏ、ｏｏｇμｍ基準長さ０．０２５μｍ以下
であるよう裔ζ表面加工する。（なお、ここで十点平均
粗さ０．００８μｍ基準長さ０．０２５μｍ以下とは、
十点平均粗さ０．００８μｍ基準長さ０．０２５よりも
表面粗さが小さいということを表わしている。）しかる
後スパッタ装置で５ＸＩＦ７Ｔｏｒｒ以ドに排気し、例
えば基板電極間６０ｍ、 Ａｒガス圧５ ？ＦＬＴＯｒ
ｒ、入力電力２００Ｗでパーマロイをスパッタし、パ
ーマロイ層（３）、即ち軟磁性層を０．５μｍ程度設け
る。更にその上に例えば基板電極間６０履Ａｒガス圧５
ｙｒ＋、Ｔｏｒｒ、入力１力２００ＷでＣｏ−Ｃｒをス
パツタシ、Ｃｏ−Ｃｒ Ｊ＠ １，５１、即ち垂直磁化
層を０．２μｍ程度設けろ。このよう晋ζして得られた
磁気記録媒体の垂直磁化層の垂直配向性は第２図から明
らかなようＩζ良好である。また中間非磁性層を設ける
必要がなく、製造工程が簡単である。
なお、上記実施例では基板はアルミ基板にアルマイト層
を設けて形成したが、アルミ以外１例えばポリイミドな
どでも可能である。また基板両面に適用してもよい。
を設けて形成したが、アルミ以外１例えばポリイミドな
どでも可能である。また基板両面に適用してもよい。
また、垂直磁化層たるＣｏ−Ｃｒ層に、例えばロジウム
、タンタルなどを少Ｊ添加してもよい。
、タンタルなどを少Ｊ添加してもよい。
この発明は以上説明したとおり、表面粗さが十点平均粗
さｏ、ｏｏａμｍ基準長さ０．０２５μｍ以下である基
板を用い、これに軟磁性層とＣｏ−Ｃｒを主成分とする
垂直磁化層をそれぞれスパッタリング法で設けるように
したので、垂直磁化層の垂直配向性が良好であると共（
ζ、中間非磁性層を設けていた従来と比較して製造工程
が簡単で垂直磁化層と軟磁性層の磁気的結合が良好な磁
気記録媒体の製造方法が得られるという効果がある。
さｏ、ｏｏａμｍ基準長さ０．０２５μｍ以下である基
板を用い、これに軟磁性層とＣｏ−Ｃｒを主成分とする
垂直磁化層をそれぞれスパッタリング法で設けるように
したので、垂直磁化層の垂直配向性が良好であると共（
ζ、中間非磁性層を設けていた従来と比較して製造工程
が簡単で垂直磁化層と軟磁性層の磁気的結合が良好な磁
気記録媒体の製造方法が得られるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の磁気記録媒体の製造方法
Ｅζより得られた磁気記録媒体の断面図、第２図は基板
の表面粗さが異なる場合Ｅζおける垂直磁化層の垂直配
向性と中間非磁性層厚みの関係を示す特性図、第３図は
従来の製法Ｅζより得られた磁気記録媒体の断面図であ
る。 （１）・・・アルミ基板、（２）・・・アルマイト層、
（３）・・・軟磁性層、＋４１・・・中間非磁性１１【
、）、５）・・・垂直磁化層。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Ｅζより得られた磁気記録媒体の断面図、第２図は基板
の表面粗さが異なる場合Ｅζおける垂直磁化層の垂直配
向性と中間非磁性層厚みの関係を示す特性図、第３図は
従来の製法Ｅζより得られた磁気記録媒体の断面図であ
る。 （１）・・・アルミ基板、（２）・・・アルマイト層、
（３）・・・軟磁性層、＋４１・・・中間非磁性１１【
、）、５）・・・垂直磁化層。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 表面粗さが十点平均粗さ０．００８μｍ以下である基板
を用い、これに軟磁性層とＣｏ−Ｃｒを主成分とする垂
直磁化層をそれぞれスパッタリング法で設けるようにし
た磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24736685A JPS62107440A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24736685A JPS62107440A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107440A true JPS62107440A (ja) | 1987-05-18 |
| JPH0514967B2 JPH0514967B2 (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=17162353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24736685A Granted JPS62107440A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62107440A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548410U (ja) * | 1977-06-20 | 1979-01-20 | ||
| JPS59133519A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-07-31 | トムソン―セーエスエフ | 線状物体の表面域を環状に加熱する装置 |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP24736685A patent/JPS62107440A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548410U (ja) * | 1977-06-20 | 1979-01-20 | ||
| JPS59133519A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-07-31 | トムソン―セーエスエフ | 線状物体の表面域を環状に加熱する装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0514967B2 (ja) | 1993-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |