JPH0515422U - 温度検出端子付バイポーラトランジスタ - Google Patents
温度検出端子付バイポーラトランジスタInfo
- Publication number
- JPH0515422U JPH0515422U JP062321U JP6232191U JPH0515422U JP H0515422 U JPH0515422 U JP H0515422U JP 062321 U JP062321 U JP 062321U JP 6232191 U JP6232191 U JP 6232191U JP H0515422 U JPH0515422 U JP H0515422U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion layer
- temperature
- transistor
- type diffusion
- temperature detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D89/00—Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
- H10D89/60—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD]
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Bipolar Transistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 トランジスタチップ自体の温度を直接監視で
きるようにする。 【構成】 P+層基板1にP-領域2をエピタキシャル成
長させ、該P-領域にベース部となる第1のn型拡散層
3および温度検出素子を構成する第2のn型拡散層4を
設けると共に、第1のn型拡散層にはエミッタ部となる
第1のP+拡散層5を、第2のn型拡散層には温度検出
用素子を形成する第2のP+拡散層6とをそれぞれ設け
る。温度検出素子を活性領域で使用することにより、温
度検出素子のベース・エミッタ間の電位差とジャンクシ
ョン部の温度との間にはコレクタ電位の変動に影響され
ない特性が得られる。この特性により、トランジスタ動
作中の温度検出素子のベース・エミッタ間の電位差から
ジャンクション部の温度を検出することができる。
きるようにする。 【構成】 P+層基板1にP-領域2をエピタキシャル成
長させ、該P-領域にベース部となる第1のn型拡散層
3および温度検出素子を構成する第2のn型拡散層4を
設けると共に、第1のn型拡散層にはエミッタ部となる
第1のP+拡散層5を、第2のn型拡散層には温度検出
用素子を形成する第2のP+拡散層6とをそれぞれ設け
る。温度検出素子を活性領域で使用することにより、温
度検出素子のベース・エミッタ間の電位差とジャンクシ
ョン部の温度との間にはコレクタ電位の変動に影響され
ない特性が得られる。この特性により、トランジスタ動
作中の温度検出素子のベース・エミッタ間の電位差から
ジャンクション部の温度を検出することができる。
Description
【0001】
本考案はトランジスタチップに内蔵された温度検出素子の端子電圧を検出する ことによりチップ自体の発熱を監視できるようにしたバイポーラトランジスタに 関する。
【0002】
トランジスタの過熱保護対策としては、例えば集積回路に用いられいるダイオ ードの順方向電圧を監視するものが知られている。またトランジスタに取り付け られたヒートシンクにポジスタ等の感温素子を取り付け、この感温素子の抵抗変 化を検出することでヒートシンクの温度を測定する。このヒートシンクの温度を 監視することにより、トランジスタの発熱状態を間接的に捉えていた。
【0003】
この方法では、トランジスタのジャンクション部の実際の温度上昇と感温素子 との間には温度差が生じる為、補正が必要となる。またトランジスタのジャンク ション部の発熱状態を直接監視するものでない為、該ジャンクション部に急激な 発熱が生じると、保護回路の動作が追従しにくかった。 本考案の目的は、トランジスタチップ自体の温度を直接監視できるようにした 温度検出端子付バイポーラトランジスタを提供することにある。
【0004】
上記の目的を達成するために、本考案の温度検出端子付バイポーラトランジス タは、P+層上にエピタキシャル成長させたP-領域を有する基板と、該P-領域 に設けられ、ベース部となる第1のn型拡散層および温度検出素子を構成する第 2のn型拡散層と、前記第1のn型拡散層に設けられ、エミッタ部となる第1の P+拡散層と、前記第2のn型拡散層に設けられ、温度検出用素子を形成する第 2のP+拡散層とから成り、前記第2のn型拡散層と第2のP+拡散層間の電位差 から温度検出することを特徴とするものである。
【0005】
温度検出素子を活性領域で使用することにより、コレクタ電位が変動しても温 度検出素子のベース・エミッタ間の電位差とジャンクション部の温度との間には 図4に示す特性を示す。したがって、トランジスタ動作中の温度検出素子のベー ス・エミッタ間の電位差からジャンクション部の温度を検出することができる。
【0006】
本考案の実施例を説明する。図1は温度検出端子付バイポーラトランジスタ( 以下「トランジスタ」と記す)の断面による構成を示す。P+基板1上にエピタ キシャル成長させたP-層2を持つコレクタ領域内には、トランジスタTr1のベ ース部となる大領域の第1のn型拡散層3と温度検出用トランジスタTr2のベ ース部となる小領域の第2のn型拡散層4が設けられる。第1のn型拡散層3に はトランジスタTr1のエミッタ部となるP+拡散層5を、また第2のn型拡散 層4には温度検出用トランジスタTr2のエミッタ部となるP+型拡散層6を構 成する。 図2は本考案のトランジスタの応用例を示す。図3はコレクタCの電位を変動 させたときのトランジスタTr2のエミッタ10とベース11間の電位差VBEの 変化と温度特性を示す。図4はコレクターエミッタ間の電位差VCEが0.3〜10V でのVBEの温度特性を示す。
【0007】 本例はモータ20に供給する電流を制御するトランジスタTr1にトランジス タTr2を並列接続したものである。すなわち、各トランジスタのエミッタは電 源Bに接続され、一方コレクタはモータの入力端子に接続されている。トランジ スタTr2のベースには電流源30から定電流、例えば20μAが流される。ト ランジスタTr2をコレクターエミッタ間の電位差VCEの変化に対してベースー コレクタ間の電位差VBEの変化しない領域、すなわちトランジスタTr2を活性 領域で使用することにより、コレクタ電位の変動に影響されない温度検出センサ として使用できる。つまり、トランジスタTr1の動作中に温度検出用トランジ スタのVBEを測定することにより、このVBEに対する周囲温度Taを図4から知 ることができる。なお、トランジスタはPNP型、NPN型のいずれでも実施可 能である。
【0008】
上述のとおり、本考案によれば、トランジスタを構成するP-領域内に温度検 出用素子を形成して内蔵させたので、トランジスタのジャンクション部の温度を 直接検出でき、この温度を監視することによりトランジスタの保護回路の追従性 を改善できる。また温度検出素子はトランジスタの製造工程を変えることなく形 成することができるため、製造コストの上昇を抑えることができる。
【図1】本考案の温度検出端子付バイポーラトランジス
タの構造を示す断面図である。
タの構造を示す断面図である。
【図2】応用例を示す回路図である。
【図3】VBEーVCE変化に対する周囲温度(Ta)特性
を示す図である。
を示す図である。
【図4】VBEー周囲温度の関係を示す図である
1 P+基板 2 P-層 3 第1のn型拡散層(トランジスタのベース部) 4 第2のn型拡散層(温度検出用トランジスタのベー
ス部) 5 P+拡散層(トランジスタのエミッタ部) 6 P+拡散層(温度検出用トランジスタのエミッタ
部)
ス部) 5 P+拡散層(トランジスタのエミッタ部) 6 P+拡散層(温度検出用トランジスタのエミッタ
部)
Claims (1)
- 【請求項1】 P+層上にエピタキシャル成長させたP-
領域を有する基板と、該P-領域に設けられ、ベース部
となる第1のn型拡散層および温度検出素子を構成する
第2のn型拡散層と、前記第1のn型拡散層に設けら
れ、エミッタ部となる第1のP+拡散層と、前記第2の
n型拡散層に設けられ、温度検出用素子を形成する第2
のP+拡散層とから成り、前記第2のn型拡散層と第2
のP+拡散層間の電位差から温度検出することを特徴と
する温度検出端子付トランジスタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP062321U JPH0515422U (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 温度検出端子付バイポーラトランジスタ |
| US07/925,201 US5506439A (en) | 1991-08-07 | 1992-08-06 | Bipolar transistor with temperature detecting terminal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP062321U JPH0515422U (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 温度検出端子付バイポーラトランジスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0515422U true JPH0515422U (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=13196764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP062321U Pending JPH0515422U (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 温度検出端子付バイポーラトランジスタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5506439A (ja) |
| JP (1) | JPH0515422U (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10116917A (ja) * | 1996-10-14 | 1998-05-06 | Sharp Corp | パワートランジスタ |
| CN103050423B (zh) * | 2012-12-20 | 2016-05-04 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 晶圆温度的检测方法 |
| CN111256857A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-09 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 通过测试bjt发射结电压来监控探针台卡盘温度的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58213511A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体装置の過熱防止回路 |
| JPH0357314A (ja) * | 1989-07-26 | 1991-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
| JPH0426155A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 電流検出機能付トランジスタ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2932714A (en) * | 1957-02-14 | 1960-04-12 | Gen Dynamics Corp | Transistor temperature regulator |
| US3219843A (en) * | 1962-10-24 | 1965-11-23 | Ball Brothers Res Corp | Temperature transducer |
| US3275912A (en) * | 1963-12-17 | 1966-09-27 | Sperry Rand Corp | Microelectronic chopper circuit having symmetrical base current feed |
| US3308271A (en) * | 1964-06-08 | 1967-03-07 | Fairchild Camera Instr Co | Constant temperature environment for semiconductor circuit elements |
| US3951693A (en) * | 1974-01-17 | 1976-04-20 | Motorola, Inc. | Ion-implanted self-aligned transistor device including the fabrication method therefor |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP062321U patent/JPH0515422U/ja active Pending
-
1992
- 1992-08-06 US US07/925,201 patent/US5506439A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH0426155A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 電流検出機能付トランジスタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5506439A (en) | 1996-04-09 |
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