JPH0516092A

JPH0516092A - 直交型ロボツトの集塵構造

Info

Publication number: JPH0516092A
Application number: JP19267091A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Morikawa; 浩昭森川
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1991-07-08
Filing date: 1991-07-08
Publication date: 1993-01-26

Abstract

(57)【要約】【目的】直交型ロボットの筐体外に飛散しようとする
塵埃を集塵用パイプで捕捉する構造を採ることによって
防塵構造の簡単化と集塵効果の均一化を図る。【構成】直交型ロボット１の筐体２は、ボールネジ６
やこれに螺合されるナット７を収納する小室４を有し、
ナット７と移動部材８とを連結する連結部１６、１６が
通る通路としてスリット１４、１５が形成されている。
動作時に小室４内で発生した塵埃がスリットを通って筐
体２の外部に逃れるのを防ぐために、各スリットの両側
に集塵用パイプ１７、１８、２０、２１を設けて負圧発
生用ポンプ１９に接続し、集塵用パイプに形成された吸
気孔１７ａ、１８ａ、２０ａ、２１ａを通して塵埃を吸
引して外部に排出する。各吸気孔の開口面積を負圧発生
用ポンプ１９からの距離に応じて可変することで圧力損
失の影響を軽減し、また、集塵用パイプを覆うカバー３
８、３９、４０を用いて吸気用スリット３８ａ、３９
ａ、４０ａを形成して吸引時に気流が乱れるのを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、直交型ロボットにおい
て発生した塵埃が、筐体の外に飛散するのをくい止める
ために、内部が減圧された集塵用パイプを配置してその
吸気孔を通して塵埃を取り込むことによって集塵構造の
簡単化と集塵効果の均質化を図ることができる新規な直
交型ロボットの集塵構造を提供しようとするものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年における各種の電子関連機器にあっ
ては、その加工過程において塵埃に関する対策が要求さ
れ、所謂クリーンルーム内の生産設備に使用されるロボ
ットについても発塵を抑える必要性が生じている。

【０００３】特に直交型ロボットにおいては、塵埃が発
生する部分の周辺を負圧に保つことにより、塵埃を含む
空気を吸引してクリーン度が低下しないように防止して
いる。

【０００４】従来の防塵構造の一例としては、実開平２
−１０５６３９号公報に記載されたものを挙げることが
でき、その概要を図１０に示す。

【０００５】直交型ロボットａのスライド機構ｂは、移
動部材ｃ内の図示しないナットがボールネジｄに螺合さ
れており、ボールネジｄの回転によって移動部材ｃが直
線的に移動され、該移動部材ｃの側面に設けられた被ガ
イド部ｅ、ｅを各別に案内するための一対のガイドレー
ルｆ、ｆが外筐ｇ内においてボールネジｄに平行に配置
された構成とされている。

【０００６】移動部材ｃのスライドに伴う発塵は、主に
移動部材ｃとボールネジｄとが接触する部分や、被ガイ
ド部ｅ、ｅとガイドレールｆ、ｆとの接触部分において
著しいため、移動部材ｃの移動方向に向いた２つの側面
に中空の弾性部材ｈ、ｈが取り付けられ、その挿通孔に
ボールネジｄが挿通され、また、被ガイド部ｅ、ｅの移
動方向に向いた２つの側面に中空の弾性部材ｉ、ｉ、・
・・がガイドレールｆ、ｆに対してスライド自在に取り
付けられている。

【０００７】そして、弾性部材ｈ、ｈ、ｉ、ｉ、・・・
の中空部分と移動部材ｃの筐体内部とを連結パイプｊ、
ｊや通路ｋ、ｋ（図ではｊ、ｋについてはその一方のみ
を示す。）によって連通させるとともに負圧とし、移動
部材ｃのナットとボールネジｄとの摺接や被ガイド部
ｅ、ｅとガイドレールｆ、ｆとの摺接によって発生した
塵埃を、移動部材ｃの筐体内部に引き込んだ後、図示し
ないワーク台の支持脚ｌ、ｌに形成された空気流路ｍ、
ｍを通して、排気するようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た構造のスライド機構ｂにあっては、移動部材ｃがその
移動範囲の末端にきたときに弾性部材ｈ、ｉがメカニカ
ルストッパーの機能を果たすという効果はあるものの、
弾性部材ｈ、ｉのもつ構造が複雑になるという問題や、
弾性部材ｈとボールネジｄとの間や、弾性部材ｉとガイ
ドレールｆとの間で接触が生じないように各部材を配置
しなければならないので、高い加工精度や位置決め精度
が要求されるといった問題がある。

【０００９】また、塵埃を吸引するための連結パイプｊ
の取付や通路ｋの形成が必要となるため製造コストを引
き下げることが困難であるという問題がある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明直交型ロ
ボットの集塵構造は上記した課題を解決するために、ボ
ールネジと該ボールネジの回転によって直線的に移動す
るナットとを収納する収納空間を有する筐体と、移動部
材を筐体の外部において支持するために移動部材とナッ
トとを連結する連結部が通過する通路が筐体に形成され
た直交型ロボットの集塵構造であって、吸気孔が形成さ
れた集塵用パイプを上記通路に沿って配置するととも
に、集塵用パイプを減圧手段に接続することによって集
塵用パイプ内を負圧に保つようにしたものである。

【００１１】

【作用】本発明直交型ロボットによれば、集塵用の弾性
部材を付設したり、これらと移動部材とを繋ぐ配管部材
を設けて塵埃の通路を形成する必要がなく、集塵機能
を、連結部が通る通路脇に配置したパイプによる吸引の
みに集約することができるため構造が簡単となり、ま
た、部材についてそれほど高い加工精度等を要求さるこ
とがないため、著しいコストの上昇を招くことはない。

【００１２】

【実施例】以下に、本発明直交型ロボットを図示した各
実施例に従って説明する。

【００１３】図１は本発明の第１の実施例に係る直交型
ロボット１を平面で見たときの構成を概略的に示すもの
である。

【００１４】２は筐体であり、その内部空間は隔壁３に
よって２つの小室４、５に仕切られている。

【００１５】小室４は、ボールネジ６とその支持部材や
ナット７等を収納するために設けられている。ボールネ
ジ６は、その回転によってナット７及び移動部材８（図
１では２点鎖線で示す。）を直線的に移動させるもので
あり、両端寄りの部分がベアリング９、１０によって支
持されている。

【００１６】小室４の上面は３つの天板１１、１２、１
３によって覆われている。

【００１７】中央に架け渡された天板１２とその両脇に
配置された天板１１、１３との間にはスリット１４、１
５がそれぞれボールネジ６の中心軸に平行に延びてお
り、これらスリット１４、１５はナット７と一緒に摺動
する移動部材８とナット７との間を結合する連結部１
６、１６が通る通路となっている。

【００１８】天板１１、１２上にはスリット１４を挟む
ようにして集塵用パイプ１７、１８がそれぞれ取り付け
られており、これら集塵用パイプ１７、１８の一端は閉
じられ、他端はエアー配管を介して負圧発生用ポンプ１
９に接続されている。そして、集塵用パイプ１７、１８
には、スリット１４側の面に複数の吸気孔１７ａ、１７
ａ、・・・及び１８ａ、１８ａ、・・・がそれぞれ形成
されている。

【００１９】２０、２１は集塵用パイプであり、天板１
２、１３上にスリット１５を挟むようにしてそれぞれ取
り付けられており、これら集塵用パイプ２０、２１の一
端は閉じられ、他端はエアー配管によって負圧発生用ポ
ンプ１９に接続されている。そして、集塵用パイプ２
０、２１には、スリット１５側の面に複数の吸気孔２０
ａ、２０ａ、・・・や２１ａ、２１ａ、・・・がそれぞ
れ形成されている。

【００２０】小室５はボールネジ６を回転するためのモ
ーター２２等を収納するために設けられている。小室４
内に配置されたモーター２２の回転軸はカップリング２
３を介してボールネジ６の一端部に連結されている。

【００２１】しかして、ナット７とボールネジ６との摺
接に起因する塵埃は、スリット１４、１５を通って筐体
２の外部へと飛散する際に、負圧発生用ポンプ１９の吸
引作用により集塵用パイプ１７、１８、２０、２１の各
吸気孔１７ａ、１８ａ、２０ａ、２１ａを通って各パイ
プ内に引込まれた後、外部に排出されるようになってい
る。

【００２２】図２は直交型ロボット１の要部を示す縦断
面図であり、図３はボールネジ６の軸に垂直な面で切断
した横断面図である。

【００２３】筐体２は、図３に示すように、ベース部２
４の主部とその長手方向に沿う側縁に立設された側壁２
５、２５とが、例えば、アルミニウムの押出し成形によ
り一体に形成され、側壁２５、２５の上端部にフード部
２６、２６が取り付けられている。

【００２４】つまり、フード部２６、２６の一端部が側
壁２５、２５の外側面の上端寄りの部分にビス止め等に
よって取り付けられるとともに、他端部が内側に向って
屈曲されている。そして、その上面が前記した天板１１
や１３となり、その上に集塵用パイプ１７、２１がそれ
ぞれ取り付けられている。

【００２５】また、天板１２は、その長手方向の両端部
がそれぞれ隔壁３と筐体２の一方の端部を覆う閉塞板２
７とによって支持されており、その上面に集塵用パイプ
１９、２０が取り付けられている。

【００２６】集塵用パイプ１７、１８、２０、２１は、
１７と１８とが対をなし、また、２０と２１とが対をな
しており、これらの集塵用パイプに形成された吸気孔１
７ａと１８ａとはスリット１４を挟んで対向して配置さ
れ、また、２０ａと２１ａとはスリット１５を挟んで対
向して配置されている。

【００２７】これらの集塵用パイプ１７、１８、２０、
２１は略同様の構成を有しているので、１７のみを図４
に示す。

【００２８】集塵用パイプ１７はその一端が閉じられ、
他端が負圧印加部２８を介して図示しない負圧発生用の
真空ポンプに接続されている。

【００２９】吸気孔１７ａの径（これを「Ｒ」と記
す。）は、集塵用パイプ１７における負圧印加部２８側
の端部に近いもの程小さく、これから遠ざかるにつれ
て、言い替えれば、閉塞端に近づくにつれて大きくなる
ように形成されている。

【００３０】これは、集塵効果の均質化を図るためであ
る。つまり、集塵用パイプの長さが短い場合には、吸気
孔の径を同一に形成しても、吸気孔の位置の違いによる
集塵効果にそれほど大きな違いはみとめられないが、集
塵用パイプの長さが長い場合において吸気孔の径を同一
に形成したのでは、吸気孔の位置の違いで集塵効果に著
しい差ができるためである。

【００３１】図５は、（ａ）に一端２９が閉塞されたパ
イプ３０を単に減圧したときの様子を示し、（ｂ）にパ
イプ３０に開口面積を異にする２つの孔３０ａ、３０ａ
を空けて減圧したときの様子を示すものである。

【００３２】図中「Ｐ１」、「Ｐ２」は、パイプ内の異
なる位置での圧力を示しており、図５（ａ）に示すよう
な静的な状態を考える限りにおいて両者の値は等しい。

【００３３】しかし、管内に粘性流体が流れているとき
には、その粘性に伴って圧力損失が生じ、圧力＝一定と
いう前提が成り立たない。これは、レイノルズ数が小さ
いためであり、このような現象はパイプ３０の半径が小
さい程顕著となる。

【００３４】そこで、単位時間当たりの空気流量をパイ
プ全域に亘って同一の値とするために、各吸気孔の開口
面積Ｓとその位置での圧力Ｐとの積Ｓ＊Ｐが略一定（図
５（ｂ）ではＳ１＊Ｐ１＝Ｓ２＊Ｐ２）になるように吸
気孔の開口面積を変化させて吸引空気流量が一様になる
ように工夫を凝らしている。本実施例において、負圧印
加部２８から離れる程吸気孔の径Ｒを大きくして開口面
積を大きくとっているのはこのためである。

【００３５】従って、同一径の吸気孔を徒らに形成する
場合に比して、より均質な集塵効果を期待することがで
きる。

【００３６】３１、３１、３２、３２は、筐体２のベー
ス部２４を長手方向に貫通するように形成された貫通孔
であり、ベース部２４の中央寄りに位置した貫通孔３
１、３１は、その横断面形状が横長の長方形状をなして
おり、ベース部２４の側壁寄りに位置した貫通孔３２、
３２は、その横断面形状が縦長の長方形状をなしてい
る。

【００３７】３３はベース部２４と側壁２５、２５とに
よって形成され上方に開口した凹部であり、この凹部と
貫通孔３１、３１とを隔てている境界壁３４には、通気
孔３５、３５、・・・が形成されており、両者の間はこ
れらの通気孔３５、３５、・・・によって連通されてい
る。

【００３８】貫通孔３１、３１の一方の開口は閉塞板２
７によって閉じられ、他方の開口は、吸気ノズル部３
６、３６（図２ではその一方のみを示している。）が嵌
合されることによって封じられており、この吸気ノズル
部３６、３６は吸気速度制御弁３７、３７を介して図示
しない負圧発生用の真空ポンプに接続されている。

【００３９】直交型ロボット１における駆動機構に関し
ては従前と同様の構造とされている。

【００４０】即ち、ナット７に連結された移動部材８
（図３では２点鎖線で示してある。）は、連結部１６、
１６によって筐体２の外部において支持されており、連
結部１６、１６がスリット１４、１５を通ってそれぞれ
スライドすることができるようになっている。

【００４１】しかして、直交型ロボット１における発塵
は、主にボールネジ６とナット７やベアリング９、１０
との接触が原因となるが、ボールネジ６の回転によりナ
ット７及び移動部材８が小室４内を移動すると、スリッ
ト１４、１５のうちナット７及び移動部材８の進行方向
とは反対側に位置する部分を通して外部の空気が小室４
内に引込まれ、また、ナット７及び移動部材８の進行方
向の側に位置するスリット部分からは塵埃を含む空気が
小室４の外部へ飛散しようとする一種のポンプ作用が生
ずる。

【００４２】本実施例では、上述したようにスリット１
４、１５の両側に対をなす集塵用パイプ１７、１８及び
２０、２１をそれぞれ配置し、小室４で発生した塵埃は
これらの吸気孔１７ａ、１８ａ、２０ａ、２１ａを通し
て管内に導いた後、最終的に外部に排出しているので、
小室４内の気圧が外部の気圧より上昇するのを防ぎ、小
室４で発生した塵埃が筐体２の外に逃げないようにする
ことができる。

【００４３】尚、小室４において落下する塵埃は通気孔
３５、３５、・・・を通して貫通孔３１、３１内に引込
まれた後外部に排出される。

【００４４】ところで、上記した直交型ロボット１の集
塵構造にあっては、単に集塵用パイプ１７、１８、２
０、２１に吸気孔１７ａ、１８ａ、２０ａ、２１ａを一
定の間隔で空けるだけでもかなりの集塵効果が期待でき
るが、ナット７及び移動部材８がその摺動範囲におい
て、特に頻繁に位置する場所がある場合には、図６に矢
印Ａで示すように、集塵用パイプ１７の吸気孔１７ａを
一様に形成せずに、ナット７の存在頻度の高い場所に対
しては、吸気孔１７ａを他の場所より多めに形成し、分
布に偏りをもたせることによって、単位時間当たりの吸
引空気量を増やすようにすると良い。

【００４５】尚、図６の上段に示すグラフ図は、ナット
７の位置（横軸）とその位置にナット７が存在する頻度
との関係を概念的に示したものである。

【００４６】また、ベアリング９、１０とボールネジ６
との摺接による発塵に対しては、集塵用パイプの外周面
のうちベアリング９、１０に近い範囲において吸気孔を
多めに形成しておくことが望ましい。

【００４７】このとき、吸気孔の数を予め必要数より多
めに空けておき、不要な孔を目隠し用のピン等によって
閉塞する方法が実際的であり、設計上の柔軟性という点
で優れている。

【００４８】図７乃至図９は本発明の第２の実施例１Ａ
を示すものである。

【００４９】上述した第１の実施例１にあっては、小規
模のロボットにおいて、集塵用パイプの吸気孔の間隔が
短くて比較的密に配置される場合には、その集塵効果に
問題はないが、大型のロボットでは必然的に集塵用パイ
プの長さが長くなり、小型のロボットの場合と同様の密
度で吸気孔を形成しようとすると孔数が多くなったり、
また、全吸気量を低減させるために単に吸気孔の開口面
積を小さくすると、乱流の発生により却って塵埃の飛散
を招く虞れがある。

【００５０】そこで、第２の実施例１Ａでは、吸気孔の
開口面積を小さくとっても、吸引時に層流が得られるよ
うに集塵用パイプの外周を覆うカバーを設ける（但し、
吸気のための開口は設けられる。）ことによって負圧発
生用ポンプの容量が小さくても安定した吸気を行うこと
ができるようにしたものである。

【００５１】第２の実施例１Ａが前記第１の実施例１と
相違する点は、集塵用パイプの外周をカバーによって覆
った点のみであり、従って、以下の説明では相違点を中
心にして説明し、第１の実施例１と機能上相違しない部
分についてはその各部に第１の実施例１における各部に
付した符号と同じ符号を付することによって説明を省略
する。

【００５２】図７は直交型ロボット１Ａの要部を示す縦
断面図であり、図８はボールネジ６の軸に垂直な面で切
断した横断面図である。

【００５３】図中３８、３９は集塵用パイプ１７、２１
の外周をそれぞれ覆うカバーであり、いずれも横断面形
状がコ字状をなしている。これらのカバー３８、３９
は、一端部がフード部２６、２６に取り付けらており、
他端部とフード部２６、２６の上面との間に僅かの隙間
３８ａ、３９ａがそれぞれ形成され、これら隙間３８
ａ、３９ａに吸気用スリットとしての機能が与えられて
いる。

【００５４】４０は集塵用パイプ１９、２０を覆うため
に天板１２の上に配置されたカバーであり、その横断面
形状は両側縁が屈曲されることによってコ字状をなして
いる。そして、その側面部の下端縁と天板１２との間に
形成された僅かの隙間４０ａ、４０ａに吸気用スリット
としての役割が与えられている。

【００５５】尚、図示は省略するが、カバー４０は隔壁
３、閉塞板２７、そして天板１２に取り付けられた図示
しない支持部材に取り付けられれいる。

【００５６】吸気用スリット３８ａ、３９ａ、４０ａの
溝幅は、層流を作り出すにあたって実験的には１〜３ｍ
ｍ程度の値とすることが望ましい。

【００５７】尚、ここで、集塵用パイプを設けずにカバ
ー３８、３９とフード部２６，２６の間でそれぞれ画成
される空間４１、４２や、カバー４０と天板１２との間
で画成される空間４３内を直接減圧することも考えられ
るが、この方法では図５で説明した吸気ムラの問題が再
び生じることになるため、本発明において集塵用パイプ
は重要な意味を持っている。

【００５８】即ち、本実施例１Ａでは、集塵用パイプに
開口面積の異なる吸気孔を形成することによってパイプ
の全長に亘って吸気量を均一化し、かつ、吸気用スリッ
ト３８ａ、３９ａ、４０ａを通して層流を生成すること
によって、集塵効果の均質化を保証することができる。

【００５９】しかして、小室４内で発生した塵埃は、ナ
ット７及び移動部材８のスライドに伴いスリット１４、
１５を通して小室４の外へと飛散する際に、吸気用スリ
ット３８ａ、３９ａ、４０ａを通って流れる層流に乗っ
て空間４１、４２、４３内に引き込まれた後、集塵用パ
イプ１７、１８、２０、２１を通して最終的にクリーン
ルームの外に排出されることになる。

【００６０】尚、本実施例にあっては、移動部材８と小
室５とをつなぐダクトが移動部材８のスライドに伴なっ
て伸縮するときの発塵を低減するために工夫を凝らして
いる。

【００６１】移動部材８と小室５との間に設けられるダ
クトは、両者間で電力や空気圧の供給を行う必要性があ
る場合に設けられ、ダクトを通して配線やエアー配管が
行われる。このダクトには通常蛇腹状の配管部材が用い
られ、蛇腹構造の持つ柔軟性を利用してダクトの端部を
移動部材８と筐体２に固定している。

【００６２】しかしながら、移動部材８の動作範囲が長
いと場合によってはダクトに捻れが生じてしまい、これ
が繰り返されることにより、ダクトの寿命を縮めたり、
発塵を招いてしまうという不都合がある。

【００６３】そこで、図９に示すように、蛇腹状配管４
４が常に直線状に配置されるようにＬ字状の保持用ダク
ト４５、４６を設け、これらを移動部材８と筐体２にそ
れぞれ取り付ける。

【００６４】即ち、保持用ダクト４５の一端部が移動部
材８の上面に取り付けられ、その他端部４５ａに蛇腹状
配管４４の一方の端部が外嵌された状態で固定されてお
り、また、保持用ダクト４６の一端部は筐体２のうち小
室４を形成する天板に取り付られるとともに、その他端
部４６ａに蛇腹状配管４４の他方の端部が外嵌された状
態で固定されている。

【００６５】このように保持用ダクト４５の端部４５ａ
と保持用ダクト４６の端部４６ａとが対向した状態で蛇
腹状配管４４が直線状に架け渡された構造にすること
で、蛇腹状配管４４の動きが、移動部材８のスライド方
向に平行な方向への伸縮だけとなり、捻れが生じなくな
る。

【００６６】

【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明によれば、吸気孔を有する集塵用パイプを付
設して筐体外に逃げようとする塵埃を捕捉することによ
り集塵構造の簡単化を図ることができ、また、集塵パイ
プに形成される吸気孔の数を適切に選定し、ナットの移
動範囲のうち頻繁に往来する場所程、吸気孔の分布が密
になるように配置することによって集塵効果を高めるこ
とができる。

【００６７】そして、集塵パイプに形成される吸気孔の
開口面積を減圧手段から遠ざかるにつれて大きくするこ
とで圧力損失の影響を低減して吸気量の均一化を図るこ
とができ、さらに集塵用パイプをカバー部材により取り
囲むことによって集塵用空間を画成するとともに、移動
部材とナットとの連結部の通路に近接してこれに平行に
延びる吸気用スリットを形成し、連結部の通路から飛散
しようとする塵埃を集塵用空間内に吸引することで層流
を生成して塵埃の飛散を防止することができる。

【００６８】尚、層流の生成に関する上記の構造は吸気
流量をそれ程大きくとる必要がないため、減圧手段にか
かる負担を軽減することができる。よって、減圧手段を
クリーンルームの負圧発生装置に依拠している場合でも
その容量についての大規模な変更を要しないという利点
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る直交型ロボットの概要を示す図で
ある。

【図２】第１の実施例に係る直交型ロボットの要部を示
す縦断面図である。

【図３】第１の実施例に係る直交型ロボットの要部を示
す拡大横断面図である。

【図４】集塵用パイプを概略的に示す側面図である。

【図５】集塵用パイプに形成される吸気孔の開口面積に
ついて説明するための概略図であり、（ａ）は吸気孔の
ないパイプを単に減圧したときの状態を示す図、（ｂ）
は開口面積を異にする吸気孔をパイプに空けて減圧した
ときの状態を示す図である。

【図６】集塵用パイプにおける吸気孔の配置について示
す概略図である。

【図７】第２の実施例に係る直交型ロボットの要部を示
す縦断面図である。

【図８】第２の実施例に係る直交型ロボットの要部を示
す拡大横断面図である。

【図９】配管／配線用ダクトの構造を示す側面図であ
る。

【図１０】従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１直交型ロボット２筐体６ボールネジ７ナット８移動部材１４、１５通路１６連結部１７、１８、２０、２１集塵用パイプ１７ａ、１８ａ、２０ａ、２１ａ吸気孔１９減圧手段１Ａ直交型ロボット３８、３９、４０カバー部材３８ａ、３９ａ、４０ａ吸気用スリット４１、４２、４３集塵用空間

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ボールネジと該ボールネジの回転によっ
て直線的に移動するナットとを収納する収納空間を有す
る筐体と、移動部材を筐体の外部において支持するため
に移動部材とナットとの間を連結する連結部が通過する
通路が筐体に形成された直交型ロボットの集塵構造であ
って、吸気孔が形成された集塵用パイプを通路に沿って
配置するとともに、集塵用パイプを減圧手段に接続する
ことによって集塵用パイプ内を負圧に保つようにしたこ
とを特徴とする直交型ロボットの集塵構造。
【請求項２】請求項１に記載した直交型ロボットの集
塵構造において、集塵用パイプに形成される吸気孔を、
連結部の移動範囲のうちその存在の頻度が高い範囲に対
して密になるように配置したことを特徴とする直交型ロ
ボットの集塵構造。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載した直交型
ロボットの集塵構造において、集塵用パイプに形成され
る吸気孔の開口面積が、減圧手段から離れた位置にある
ものほど大きくなるように形成したことを特徴とする直
交型ロボットの集塵構造。
【請求項４】請求項１、請求項２又は請求項３に記載
した直交型ロボットの集塵構造において、集塵用パイプ
をカバー部材により取り囲むことによって集塵用空間を
画成するとともに、連結部の通路に近接してこれに平行
に延びる吸気用スリットを形成し、連結部の通路から飛
散しようとする塵埃を集塵用空間内に吸引するようにし
たことを特徴とする直交型ロボットの集塵構造。