JPH05187430A - 吸着構造と吸着盤 - Google Patents
吸着構造と吸着盤Info
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- JPH05187430A JPH05187430A JP2575692A JP2575692A JPH05187430A JP H05187430 A JPH05187430 A JP H05187430A JP 2575692 A JP2575692 A JP 2575692A JP 2575692 A JP2575692 A JP 2575692A JP H05187430 A JPH05187430 A JP H05187430A
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- suction
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- suction chamber
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 14
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空吸引力によりワークを固定する吸引固定
手段において、ワークを載置した部分だけが、自動的に
吸着状態となる極めて簡便な吸着構造と吸着盤を提供す
るものである。 【構成】 本発明の吸着構造ａは、上部を開口した大径
の吸引室２と該吸引室２の底部に貫設した小径の吸気口
３とから成る吸引構造において、該吸気口３の上端に吸
引室２内の気圧変動によって遊動する弁４を被蓋して成
るものである。本発明の吸着盤ｂは上記吸着構造ａを所
要の盤体１に多数個配列して成るものである。
手段において、ワークを載置した部分だけが、自動的に
吸着状態となる極めて簡便な吸着構造と吸着盤を提供す
るものである。 【構成】 本発明の吸着構造ａは、上部を開口した大径
の吸引室２と該吸引室２の底部に貫設した小径の吸気口
３とから成る吸引構造において、該吸気口３の上端に吸
引室２内の気圧変動によって遊動する弁４を被蓋して成
るものである。本発明の吸着盤ｂは上記吸着構造ａを所
要の盤体１に多数個配列して成るものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空吸引によって加工品
を位置決め吸着する吸着構造と該吸着構造を利用した吸
着盤に関する。
を位置決め吸着する吸着構造と該吸着構造を利用した吸
着盤に関する。
【０００２】
【従来の技術】木質加工品、例えば木質キャビネットの
扉や表面板（以下、ワークと称する。）はその表面に各
種多様の装飾加工を施されるものであるが、該加工時に
ワークを所要位置に位置決め固定しなければならず、こ
の位置決めなどの段取り作業を省力化することが生産コ
ストの低減に直結するものである。そこで、枠組み治具
の使用により一定形状の量産品に関しては、段取りコス
トの低減を達成しているものであるが、多種少量生産に
おいては治具製作に要するコストの点で問題があり、こ
の点を解消すべく、真空吸引による吸着盤が提案されて
いるが、ワークの設定において、吸着盤に多数個配列さ
れた吸引室の閉塞駒を吸着部の範囲で除去しなければな
らず、この除去作用も手間がかかるもので、期待するほ
どの作業能率を向上させるものではなかった。
扉や表面板（以下、ワークと称する。）はその表面に各
種多様の装飾加工を施されるものであるが、該加工時に
ワークを所要位置に位置決め固定しなければならず、こ
の位置決めなどの段取り作業を省力化することが生産コ
ストの低減に直結するものである。そこで、枠組み治具
の使用により一定形状の量産品に関しては、段取りコス
トの低減を達成しているものであるが、多種少量生産に
おいては治具製作に要するコストの点で問題があり、こ
の点を解消すべく、真空吸引による吸着盤が提案されて
いるが、ワークの設定において、吸着盤に多数個配列さ
れた吸引室の閉塞駒を吸着部の範囲で除去しなければな
らず、この除去作用も手間がかかるもので、期待するほ
どの作業能率を向上させるものではなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は真空吸引技術
において、ワークを設定した部分だけが、自動的に吸着
状態となる、極めて簡便な吸着構造と吸着盤を提供する
ものである。
において、ワークを設定した部分だけが、自動的に吸着
状態となる、極めて簡便な吸着構造と吸着盤を提供する
ものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】第１の発明の吸着構造
は、上部を開口した大径の吸引室と該吸引室の底部に貫
設した小径の吸気口とから成る吸引構造において、該吸
気口の上端に吸引室内の気圧変動によって遊動する弁を
被蓋して成るものである。
は、上部を開口した大径の吸引室と該吸引室の底部に貫
設した小径の吸気口とから成る吸引構造において、該吸
気口の上端に吸引室内の気圧変動によって遊動する弁を
被蓋して成るものである。
【０００５】第２の発明の吸着構造は第１の発明におい
て、弁が一端を固定され、吸気口の上端に若干の空隙を
有して所定の弾発力で保持されて成るものである。
て、弁が一端を固定され、吸気口の上端に若干の空隙を
有して所定の弾発力で保持されて成るものである。
【０００６】第３の発明の吸着盤は、第１の発明又は第
２の発明の吸着構造を所要の盤体に多数個配列して成る
ものである。
２の発明の吸着構造を所要の盤体に多数個配列して成る
ものである。
【０００７】
【作用】大気圧を受圧する弁が所定の低真空度で所要の
大気を吸引し、吸引室の上部にワークを載置すると、該
真空度で該吸引室は真空状態になるとともに弁は浮動状
態となり、この状態で真空度を所定の高真空度にする
と、ワークを載置している吸引室はワークを強力に吸引
して位置決めし、ワークを載置していない部分の吸引室
での弁は大気圧に加えて高吸引力で該吸引室の底部に密
着し、大気を吸引しない状態となる。
大気を吸引し、吸引室の上部にワークを載置すると、該
真空度で該吸引室は真空状態になるとともに弁は浮動状
態となり、この状態で真空度を所定の高真空度にする
と、ワークを載置している吸引室はワークを強力に吸引
して位置決めし、ワークを載置していない部分の吸引室
での弁は大気圧に加えて高吸引力で該吸引室の底部に密
着し、大気を吸引しない状態となる。
【０００８】
【実施例】本発明を実施例により説明すると、図１に示
す吸着構造ａは、所要肉厚にして非通気性の盤体１にお
いて、上端を所要の楕円状（円形でもよい）面積で開口
し、所要深さに掘設した吸引室２と該吸引室２の底部に
貫設した小径の吸気口３とを配設し、該吸気口３の上端
（吸引室２の底面）には一端（右端）をビス止めし、他
端を弾性的な内部応力で上方に反返した弾性材から成る
弁４を被蓋して成り、図２に示した吸着構造ａは吸気口
３の閉塞面にパッキング５を取着したものであり、図３
に示した吸着構造ａは弁４が弾性体と板バネ６との組合
わせから成り、板バネ６を吸引室２の底部にビス止め
し、所要の輪郭に形成された弾性体を吸気口３上端周面
に取着したパッキング５に応接して成り、図４に示した
吸着構造ａは、全体が弾性体から成る弁４の一端を吸引
室２の底面に固定し、固定中心上の他端を所要の弾発力
を有するスプリング７の上端に係着し、スプリング７の
下端を吸引室２に掘設した陥没孔８に収納して成るもの
である。また、図５に示した吸着構造ａは、同心状に掘
設した大円形の吸引室２と小径の吸気口３とから成る吸
引構造において、吸引室２に収納される弁４が中心部を
上方に浮上させ、外周縁を単に吸引室２の底面（或いは
吸引室２の底面に係着したパッキング５の上面）に載置
し、該外周縁には図６に示すように均等に且つその頂部
が吸気口３の周縁から十分離れた状態で位置取りされた
通気路９が周設されて成るものであり、実用上は仮想線
で示すような弁４の抜け止めを兼ねたパッキング１０が
吸引室２の上端に取着されて使用される。
す吸着構造ａは、所要肉厚にして非通気性の盤体１にお
いて、上端を所要の楕円状（円形でもよい）面積で開口
し、所要深さに掘設した吸引室２と該吸引室２の底部に
貫設した小径の吸気口３とを配設し、該吸気口３の上端
（吸引室２の底面）には一端（右端）をビス止めし、他
端を弾性的な内部応力で上方に反返した弾性材から成る
弁４を被蓋して成り、図２に示した吸着構造ａは吸気口
３の閉塞面にパッキング５を取着したものであり、図３
に示した吸着構造ａは弁４が弾性体と板バネ６との組合
わせから成り、板バネ６を吸引室２の底部にビス止め
し、所要の輪郭に形成された弾性体を吸気口３上端周面
に取着したパッキング５に応接して成り、図４に示した
吸着構造ａは、全体が弾性体から成る弁４の一端を吸引
室２の底面に固定し、固定中心上の他端を所要の弾発力
を有するスプリング７の上端に係着し、スプリング７の
下端を吸引室２に掘設した陥没孔８に収納して成るもの
である。また、図５に示した吸着構造ａは、同心状に掘
設した大円形の吸引室２と小径の吸気口３とから成る吸
引構造において、吸引室２に収納される弁４が中心部を
上方に浮上させ、外周縁を単に吸引室２の底面（或いは
吸引室２の底面に係着したパッキング５の上面）に載置
し、該外周縁には図６に示すように均等に且つその頂部
が吸気口３の周縁から十分離れた状態で位置取りされた
通気路９が周設されて成るものであり、実用上は仮想線
で示すような弁４の抜け止めを兼ねたパッキング１０が
吸引室２の上端に取着されて使用される。
【０００９】このようにして成る吸着構造ａは図７に示
すように多数個配列された吸着盤ｂとして提供され、所
定の加工機（ルーター等）の架台（図外）に載置固定さ
れて表面（吸引室２の開口側）をワーク１１の載置面と
し、裏面を真空吸引系に接続する。この場合、ワーク１
１の載置面において、吸引室２の上端周縁には図８に示
すようにパッキング１０を取着して使用したり、図９に
示すように台座治具１２を介して使用するものである。
すように多数個配列された吸着盤ｂとして提供され、所
定の加工機（ルーター等）の架台（図外）に載置固定さ
れて表面（吸引室２の開口側）をワーク１１の載置面と
し、裏面を真空吸引系に接続する。この場合、ワーク１
１の載置面において、吸引室２の上端周縁には図８に示
すようにパッキング１０を取着して使用したり、図９に
示すように台座治具１２を介して使用するものである。
【００１０】次に吸着盤ｂ上にワーク１１を位置決め固
定する状態について詳述すると、所定の低真空度での真
空運転時には、吸引室２の底面に取着された弁４はスプ
リング７や板バネ６などの弾発力、或いは内部応力など
によって、該真空度での吸引力に抗して吸気口３の上端
に若干の空隙を有し、吸気口３を完全に閉塞していない
状態である。この状態で吸着盤ｂ上の任意の位置にワー
ク１１を載置すると、ワーク１１を載置された吸引室２
は直ちに真空状態となり、吸引力が弁に作用しなくな
り、弁４は吸気口３をより開口した状態に保持される。
この状態から所定の高真空度で吸引すると、ワーク１１
を載置した各吸引室２は強力にワーク１１を吸着盤ｂ上
に吸着して位置決めし、大気に開口した吸引室２では弁
４が強力に吸引され、該吸引室２の底面或いは該底面に
取着したパッキング５の上面と密着し、吸気口３は完全
に閉塞される。また、台座治具１２を使用した場合は、
該治具１２の上面周縁に周設したパッキング１３とワー
ク下面との吸引力による摩擦抵抗によって、台座治具１
２とワーク１１とは一体化し、台座治具１２は該治具１
２の下面周縁に周設したパッキング１３と吸着盤ｂの上
面との吸引力による摩擦抵抗によって該吸着盤ｂ上に強
固に位置決めされるものである。なお、吸着構造ａは図
１０に示すように、摩擦体などで形成された吸着座１４
として量産提供することもでき、この場合には盤体１の
加工が単純な穴加工のみで済み、盤体１上で各個の弁４
を組み付ける作業が解消されるので、製造コストを安価
にできる。さらに、吸着盤ｂを搬送搬出用のロボットの
ハンドに装着すれば、一定平面に陥没溝のあるワーク１
１なども吸引移送できることとなる。
定する状態について詳述すると、所定の低真空度での真
空運転時には、吸引室２の底面に取着された弁４はスプ
リング７や板バネ６などの弾発力、或いは内部応力など
によって、該真空度での吸引力に抗して吸気口３の上端
に若干の空隙を有し、吸気口３を完全に閉塞していない
状態である。この状態で吸着盤ｂ上の任意の位置にワー
ク１１を載置すると、ワーク１１を載置された吸引室２
は直ちに真空状態となり、吸引力が弁に作用しなくな
り、弁４は吸気口３をより開口した状態に保持される。
この状態から所定の高真空度で吸引すると、ワーク１１
を載置した各吸引室２は強力にワーク１１を吸着盤ｂ上
に吸着して位置決めし、大気に開口した吸引室２では弁
４が強力に吸引され、該吸引室２の底面或いは該底面に
取着したパッキング５の上面と密着し、吸気口３は完全
に閉塞される。また、台座治具１２を使用した場合は、
該治具１２の上面周縁に周設したパッキング１３とワー
ク下面との吸引力による摩擦抵抗によって、台座治具１
２とワーク１１とは一体化し、台座治具１２は該治具１
２の下面周縁に周設したパッキング１３と吸着盤ｂの上
面との吸引力による摩擦抵抗によって該吸着盤ｂ上に強
固に位置決めされるものである。なお、吸着構造ａは図
１０に示すように、摩擦体などで形成された吸着座１４
として量産提供することもでき、この場合には盤体１の
加工が単純な穴加工のみで済み、盤体１上で各個の弁４
を組み付ける作業が解消されるので、製造コストを安価
にできる。さらに、吸着盤ｂを搬送搬出用のロボットの
ハンドに装着すれば、一定平面に陥没溝のあるワーク１
１なども吸引移送できることとなる。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明の吸着構造ａは吸引
室内の気圧変動によって遊動する弁によって、自動的に
ワークを載置された吸引室内では弁が吸気口を開口し、
ワークを載置しない吸引室内では弁が吸気口を強力に閉
塞するものであり、該構造ａを多数個配列した吸着盤ｂ
は任意の姿勢でワークを簡便に位置決め固定できるか
ら、段取りコストが低減される上、ロボットのハンドな
どに使用すれば、陥没溝などの加工面を有するワークな
どを吸着移送できるから、吸着ハンドとして活用できる
波及効果をも奏するものである。
室内の気圧変動によって遊動する弁によって、自動的に
ワークを載置された吸引室内では弁が吸気口を開口し、
ワークを載置しない吸引室内では弁が吸気口を強力に閉
塞するものであり、該構造ａを多数個配列した吸着盤ｂ
は任意の姿勢でワークを簡便に位置決め固定できるか
ら、段取りコストが低減される上、ロボットのハンドな
どに使用すれば、陥没溝などの加工面を有するワークな
どを吸着移送できるから、吸着ハンドとして活用できる
波及効果をも奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吸着構造ａの一実施例における縦断面
図である。
図である。
【図２】本発明の吸着構造ａの他の実施例における縦断
面図である。
面図である。
【図３】本発明の吸着構造ａの他の実施例における縦断
面図である。
面図である。
【図４】本発明の吸着構造ａの他の実施例における縦断
面図である。
面図である。
【図５】本発明の吸着構造ａの他の実施例における縦断
面図である。
面図である。
【図６】図５に示す吸着構造ａにおける弁の平面図であ
る。
る。
【図７】本発明の吸着盤ｂにワークを載置した状態の平
面図である。
面図である。
【図８】本発明の吸着構造ａの使用例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図９】本発明の吸着盤ｂの使用例を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１０】本発明の吸着構造ａを吸着座として盤体に組
み付けた状態の縦断面図である。
み付けた状態の縦断面図である。
１ 盤体 ２ 吸引室 ３ 吸気口 ４ 弁 ５ パッキング ６ 板バネ ７ スプリング ９ 通気路 １１ ワーク １２ 台座治具 １３ 吸着座
Claims (3)
- 【請求項１】 上部を開口した大径の吸引室と該吸引室
の底部に貫設した小径の吸気口とから成る吸引構造にお
いて、該吸気口の上端に吸引室内の気圧変動によって遊
動する弁を被蓋して成る吸着構造。 - 【請求項２】 弁が一端を固定され、吸気口の上端に若
干の空隙を有して所定の弾発力で保持されて成る請求項
１記載の吸着構造。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の吸着構造を
所要の盤体に多数個配列して成る吸着盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2575692A JPH05187430A (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 吸着構造と吸着盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2575692A JPH05187430A (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 吸着構造と吸着盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05187430A true JPH05187430A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=12174682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2575692A Pending JPH05187430A (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 吸着構造と吸着盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05187430A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19614478C1 (de) * | 1996-04-12 | 1997-06-26 | Schmalz J Gmbh | Unterdruckhandhabungsgerät |
| JPH104104A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 吸着搬送装置の吸着部 |
| CN113306850A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-08-27 | 江苏茂硕新材料科技有限公司 | 一种半导体元件的防护方法及壳体 |
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| US11542980B2 (en) | 2020-12-30 | 2023-01-03 | Israel Harry Zimmerman | Universal quick-release anchor member |
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| US11988242B2 (en) | 2022-03-25 | 2024-05-21 | Mighty Ventures, Inc. | Valve-actuated suction apparatus |
| US12071973B2 (en) | 2022-01-14 | 2024-08-27 | Harry Zimmerman | Universal quick-release vacuum connector |
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-
1992
- 1992-01-16 JP JP2575692A patent/JPH05187430A/ja active Pending
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