JPH05189740A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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Publication number
JPH05189740A
JPH05189740A JP1951192A JP1951192A JPH05189740A JP H05189740 A JPH05189740 A JP H05189740A JP 1951192 A JP1951192 A JP 1951192A JP 1951192 A JP1951192 A JP 1951192A JP H05189740 A JPH05189740 A JP H05189740A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
magnetic recording
film
magnetic film
Prior art date
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Pending
Application number
JP1951192A
Other languages
English (en)
Inventor
Hajime Shinohara
肇 篠原
Hideo Murata
英夫 村田
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 CoCrPtNi系磁性膜を設けた磁気記録
媒体において、その保磁力を向上し、ノイズを低減し、
さらに飽和磁化を好ましいものにした。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でNi5〜
15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残部Coか
らなる合金によって形成した。また前記磁性膜合金にR
uやTiを添加してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にノイズを低減し、かつ保磁力を向上
したものである。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気記録媒体は、基板材料にCo−Ni−Cr、C
o−Cr−Ta、Co−Cr−Pt等の合金からなる磁
性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体
を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくする
ことが種々提案されている。
【0003】例えば特開平1−256017号公報に
は、磁性膜をCo−Cr−Ta−Ptの四元系合金で作
成した磁気記録媒体が開示されている。そしてPt添加
量1〜15at%で保磁力が約1200Oeより大き
く、また角形比が0.8以上になるとしている。また外
国専門誌Magnetism and Magnetic Materials. 86 (199
0) 159-168.には、Co−Cr−Pt磁性膜においてP
tの含有量により磁気特性がどのような影響を受けるか
を記載している。そして図1(b)に示すようにPt1
2at%で保磁力が1000Oe以上になり、角形比は
Pt6〜18%で0.7〜0.9になり、また残留磁化
及び飽和磁化についても図1(a)に示す傾向があると
している。
【0004】さらに特開平1−232522号公報に
は、磁気記録媒体の磁性膜として、Niの添加量が30
%以下のCoNi系合金で作成したものが開示されてい
る。そしてNiの添加量を30%以下にしたのは、それ
以上に添加すると磁性膜の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化するためであると記載している。また
CoNi系合金で作成した磁性膜は、保磁力が700〜
1500Oeとなり、飽和磁化が8000〜13900
ガウスになるとしており、さらに耐食性が向上すると記
載している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、Co系合金を使用した磁性膜が種々作成され
ているが、保磁力、残留磁化、S/N比の全てが十分に
好ましいものは得られていない。またCo系合金にNi
を添加した材料により作成した磁性膜は、保磁力と飽和
磁化の点において満足できるが、S/N比が小さくノイ
ズを十分に低減できないものがあった。これは、Niを
30%以下の添加量としていて、S/N比の向上を考慮
していないためである。そこで本発明は、磁気記録媒体
の保磁力を向上するとともに、ノイズを低減しさらに飽
和磁化を好ましいものにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、CoCr
PtにNiを種々の割合で添加した合金により磁性膜を
作成し、保磁力、S/N比、飽和磁化の全てにおいて望
ましい磁性膜を完成した。すなわち本発明の磁気記録媒
体は、その磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr1
〜15%、Pt1〜12%、残部Coからなる合金によ
って作成した。また本発明は、磁性膜を前記組成に対し
てRuを0.1〜5%添加して作成したり、あるいはさ
らにTiを0.1〜5%添加して作成したものを含む。
上記においてNiを5〜15%とし、Crを1〜15%
とし、Ptを1〜12%としたのは、それら範囲外では
S/N比が劣るためである。またRuとTiの添加量を
前記範囲にしたのは、それ以外では耐食性が劣るからで
ある。
【0007】
【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜がCoNiCr
Ptの四元系元素からなり、Niは5〜15原子%含有
するようにしたので、保磁力が1200Oe以上と大き
く、S/N比は30dB以上となってノイズの低減を図
ることができ、さらに飽和磁化が10Kガウス以上にな
るので電磁変換特性を好ましいものにすることができ
る。
【0008】
【実施例】3.5インチ径のアルミニウム合金基板(外
径95mm、内径25mm、厚さ1.27mm)の表面
にNiP無電解メッキ膜を5〜15μmの厚さに形成
し、表面を鏡面加工してディスクを作成した。このディ
スクを洗浄後、表面にテクスチャー加工をし、表面の面
粗さをRa7nmとした。再びディスクを洗浄後、DC
マグネトロンスパッター装置を用い、スパッタ室内を1
×1−-5Torr以下に排気後、Arガスを導入し、室
内の圧力を5mmTorrに保持し、投入圧力2000
W、成膜速度40nm/分の条件で下地Cr層を50n
mの厚さに成膜した。この時、ディスクの温度は200
℃であった。さらにこの下地膜の上に磁性膜を成膜し
た。なお磁性膜はCoNiCrPt合金(表1に示す)
と、それにRuを添加した合金(表2に示す)、さらに
Tiを添加した合金(表2に示す)で作成した。磁性膜
のスパッタ時の投入電力は200W、成膜速度100n
m/分で膜厚を50nmとした。この全工程中における
ディスク温度は、ほぼ200℃に保った。さらに磁性膜
上に保護膜としてカーボン膜を成膜し、その成膜条件は
投入電力1000W、成膜速度8nm/分で厚さを30
nmとした。
【0009】上記のようにして作成した磁気記録媒体に
ついて、保磁力Hc、飽和磁化4πMsおよび残留磁化
4πMrをVSMを用い印加磁場10Kガウスで測定し
た。測定に使用した磁気ヘッドは、CaTiO3 をスラ
イダー材とし、MnZnフェライトにセンダストの薄膜
をスパッターで成膜したMIGヘッドを用いた。また磁
気ヘッドのトラック幅は13μm、スライダー幅は60
0μm、ジンバルバネ圧9.5gで、ディスクの半径は
24mmの位置でディスク回転数3600rpmの条件
で測定した。
【0010】まずディスクに線記録密度30KFclで
書き込み、0〜20MHzの帯材でノイズを含まない再
生信号をスペクトロアナライザーにより測定する。次に
使用した測定機器の磁気ヘッドを含むノイズを同一条件
で測定し、さらにrms電圧側を使用してノイズ電力を
測定し、更生用データとする。媒体ノイズは、再生時の
ノイズより測定機器ノイズを差し引いた値を、rms値
更生用データと比較参照し、算出した。このような方法
で磁気記録媒体のS/N比を用いた。そして得られた測
定結果を下記の表1に示した。表1よりPt含有量が1
%未満および15%より大きいとS/N比が劣る。また
Crは含有させない場合、および18%以上ではS/N
比が劣り、Niは3%未満、および18%以上ではS/
N比が劣ることがわかる。また表1より飽和磁化に関し
ては、Pt含有量が15%と多くなると劣り、残留磁化
に関しては、Cr添加量が18%と多くなると劣ってい
る。さらに保磁力に関しては、Ptの添加量が0になる
と劣っている。以上より磁性膜を、原子%でNi5〜1
5%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残部Coから
なる合金によって作成するのが望ましい。また表2から
Ruは0.1〜5.0%、Tiは0.1〜5.0%にす
るのがS/Nの点から望ましい。
【0011】
【表1】
【0012】
【表2】
【0013】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、CoNiCr
Ptの四元系元素でNiを5〜15%にした合金で磁性
膜を作成しているので、S/N比が大きくなってノイズ
が低減され、しかも残留磁化がある程度大きいために電
磁変換特性が向上し、さらに保磁力も向上したものとな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来例の磁性膜の残留磁化と飽和磁化とを示す
図(a)と、保磁力と角形比を示す図(b)である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性材料からなる基板の表面に、非磁
    性材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜
    を設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%で
    Ni5〜15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残
    部Coからなる合金によって形成したことを特徴とする
    磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 非磁性材料からなる基板の表面に、非磁
    性材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜
    を設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%で
    Ni5〜15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、R
    u0.1〜5%、残部Coからなる合金によって形成し
    たことを特徴とする磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 請求項2の磁気記録媒体において、磁性
    膜を形成する合金にさらにTiを原子%で0.1〜5%
    添加させた磁気記録媒体。
JP1951192A 1992-01-08 1992-01-08 磁気記録媒体 Pending JPH05189740A (ja)

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JP1951192A JPH05189740A (ja) 1992-01-08 1992-01-08 磁気記録媒体

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