JPH05189740A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH05189740A JPH05189740A JP1951192A JP1951192A JPH05189740A JP H05189740 A JPH05189740 A JP H05189740A JP 1951192 A JP1951192 A JP 1951192A JP 1951192 A JP1951192 A JP 1951192A JP H05189740 A JPH05189740 A JP H05189740A
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- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 17
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910002059 quaternary alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910002441 CoNi Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 CoCrPtNi系磁性膜を設けた磁気記録
媒体において、その保磁力を向上し、ノイズを低減し、
さらに飽和磁化を好ましいものにした。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でNi5〜
15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残部Coか
らなる合金によって形成した。また前記磁性膜合金にR
uやTiを添加してもよい。
媒体において、その保磁力を向上し、ノイズを低減し、
さらに飽和磁化を好ましいものにした。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でNi5〜
15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残部Coか
らなる合金によって形成した。また前記磁性膜合金にR
uやTiを添加してもよい。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にノイズを低減し、かつ保磁力を向上
したものである。
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にノイズを低減し、かつ保磁力を向上
したものである。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気記録媒体は、基板材料にCo−Ni−Cr、C
o−Cr−Ta、Co−Cr−Pt等の合金からなる磁
性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体
を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくする
ことが種々提案されている。
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気記録媒体は、基板材料にCo−Ni−Cr、C
o−Cr−Ta、Co−Cr−Pt等の合金からなる磁
性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体
を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくする
ことが種々提案されている。
【0003】例えば特開平1−256017号公報に
は、磁性膜をCo−Cr−Ta−Ptの四元系合金で作
成した磁気記録媒体が開示されている。そしてPt添加
量1〜15at%で保磁力が約1200Oeより大き
く、また角形比が0.8以上になるとしている。また外
国専門誌Magnetism and Magnetic Materials. 86 (199
0) 159-168.には、Co−Cr−Pt磁性膜においてP
tの含有量により磁気特性がどのような影響を受けるか
を記載している。そして図1(b)に示すようにPt1
2at%で保磁力が1000Oe以上になり、角形比は
Pt6〜18%で0.7〜0.9になり、また残留磁化
及び飽和磁化についても図1(a)に示す傾向があると
している。
は、磁性膜をCo−Cr−Ta−Ptの四元系合金で作
成した磁気記録媒体が開示されている。そしてPt添加
量1〜15at%で保磁力が約1200Oeより大き
く、また角形比が0.8以上になるとしている。また外
国専門誌Magnetism and Magnetic Materials. 86 (199
0) 159-168.には、Co−Cr−Pt磁性膜においてP
tの含有量により磁気特性がどのような影響を受けるか
を記載している。そして図1(b)に示すようにPt1
2at%で保磁力が1000Oe以上になり、角形比は
Pt6〜18%で0.7〜0.9になり、また残留磁化
及び飽和磁化についても図1(a)に示す傾向があると
している。
【0004】さらに特開平1−232522号公報に
は、磁気記録媒体の磁性膜として、Niの添加量が30
%以下のCoNi系合金で作成したものが開示されてい
る。そしてNiの添加量を30%以下にしたのは、それ
以上に添加すると磁性膜の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化するためであると記載している。また
CoNi系合金で作成した磁性膜は、保磁力が700〜
1500Oeとなり、飽和磁化が8000〜13900
ガウスになるとしており、さらに耐食性が向上すると記
載している。
は、磁気記録媒体の磁性膜として、Niの添加量が30
%以下のCoNi系合金で作成したものが開示されてい
る。そしてNiの添加量を30%以下にしたのは、それ
以上に添加すると磁性膜の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化するためであると記載している。また
CoNi系合金で作成した磁性膜は、保磁力が700〜
1500Oeとなり、飽和磁化が8000〜13900
ガウスになるとしており、さらに耐食性が向上すると記
載している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、Co系合金を使用した磁性膜が種々作成され
ているが、保磁力、残留磁化、S/N比の全てが十分に
好ましいものは得られていない。またCo系合金にNi
を添加した材料により作成した磁性膜は、保磁力と飽和
磁化の点において満足できるが、S/N比が小さくノイ
ズを十分に低減できないものがあった。これは、Niを
30%以下の添加量としていて、S/N比の向上を考慮
していないためである。そこで本発明は、磁気記録媒体
の保磁力を向上するとともに、ノイズを低減しさらに飽
和磁化を好ましいものにすることを目的とする。
たように、Co系合金を使用した磁性膜が種々作成され
ているが、保磁力、残留磁化、S/N比の全てが十分に
好ましいものは得られていない。またCo系合金にNi
を添加した材料により作成した磁性膜は、保磁力と飽和
磁化の点において満足できるが、S/N比が小さくノイ
ズを十分に低減できないものがあった。これは、Niを
30%以下の添加量としていて、S/N比の向上を考慮
していないためである。そこで本発明は、磁気記録媒体
の保磁力を向上するとともに、ノイズを低減しさらに飽
和磁化を好ましいものにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、CoCr
PtにNiを種々の割合で添加した合金により磁性膜を
作成し、保磁力、S/N比、飽和磁化の全てにおいて望
ましい磁性膜を完成した。すなわち本発明の磁気記録媒
体は、その磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr1
〜15%、Pt1〜12%、残部Coからなる合金によ
って作成した。また本発明は、磁性膜を前記組成に対し
てRuを0.1〜5%添加して作成したり、あるいはさ
らにTiを0.1〜5%添加して作成したものを含む。
上記においてNiを5〜15%とし、Crを1〜15%
とし、Ptを1〜12%としたのは、それら範囲外では
S/N比が劣るためである。またRuとTiの添加量を
前記範囲にしたのは、それ以外では耐食性が劣るからで
ある。
PtにNiを種々の割合で添加した合金により磁性膜を
作成し、保磁力、S/N比、飽和磁化の全てにおいて望
ましい磁性膜を完成した。すなわち本発明の磁気記録媒
体は、その磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr1
〜15%、Pt1〜12%、残部Coからなる合金によ
って作成した。また本発明は、磁性膜を前記組成に対し
てRuを0.1〜5%添加して作成したり、あるいはさ
らにTiを0.1〜5%添加して作成したものを含む。
上記においてNiを5〜15%とし、Crを1〜15%
とし、Ptを1〜12%としたのは、それら範囲外では
S/N比が劣るためである。またRuとTiの添加量を
前記範囲にしたのは、それ以外では耐食性が劣るからで
ある。
【0007】
【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜がCoNiCr
Ptの四元系元素からなり、Niは5〜15原子%含有
するようにしたので、保磁力が1200Oe以上と大き
く、S/N比は30dB以上となってノイズの低減を図
ることができ、さらに飽和磁化が10Kガウス以上にな
るので電磁変換特性を好ましいものにすることができ
る。
Ptの四元系元素からなり、Niは5〜15原子%含有
するようにしたので、保磁力が1200Oe以上と大き
く、S/N比は30dB以上となってノイズの低減を図
ることができ、さらに飽和磁化が10Kガウス以上にな
るので電磁変換特性を好ましいものにすることができ
る。
【0008】
【実施例】3.5インチ径のアルミニウム合金基板(外
径95mm、内径25mm、厚さ1.27mm)の表面
にNiP無電解メッキ膜を5〜15μmの厚さに形成
し、表面を鏡面加工してディスクを作成した。このディ
スクを洗浄後、表面にテクスチャー加工をし、表面の面
粗さをRa7nmとした。再びディスクを洗浄後、DC
マグネトロンスパッター装置を用い、スパッタ室内を1
×1−-5Torr以下に排気後、Arガスを導入し、室
内の圧力を5mmTorrに保持し、投入圧力2000
W、成膜速度40nm/分の条件で下地Cr層を50n
mの厚さに成膜した。この時、ディスクの温度は200
℃であった。さらにこの下地膜の上に磁性膜を成膜し
た。なお磁性膜はCoNiCrPt合金(表1に示す)
と、それにRuを添加した合金(表2に示す)、さらに
Tiを添加した合金(表2に示す)で作成した。磁性膜
のスパッタ時の投入電力は200W、成膜速度100n
m/分で膜厚を50nmとした。この全工程中における
ディスク温度は、ほぼ200℃に保った。さらに磁性膜
上に保護膜としてカーボン膜を成膜し、その成膜条件は
投入電力1000W、成膜速度8nm/分で厚さを30
nmとした。
径95mm、内径25mm、厚さ1.27mm)の表面
にNiP無電解メッキ膜を5〜15μmの厚さに形成
し、表面を鏡面加工してディスクを作成した。このディ
スクを洗浄後、表面にテクスチャー加工をし、表面の面
粗さをRa7nmとした。再びディスクを洗浄後、DC
マグネトロンスパッター装置を用い、スパッタ室内を1
×1−-5Torr以下に排気後、Arガスを導入し、室
内の圧力を5mmTorrに保持し、投入圧力2000
W、成膜速度40nm/分の条件で下地Cr層を50n
mの厚さに成膜した。この時、ディスクの温度は200
℃であった。さらにこの下地膜の上に磁性膜を成膜し
た。なお磁性膜はCoNiCrPt合金(表1に示す)
と、それにRuを添加した合金(表2に示す)、さらに
Tiを添加した合金(表2に示す)で作成した。磁性膜
のスパッタ時の投入電力は200W、成膜速度100n
m/分で膜厚を50nmとした。この全工程中における
ディスク温度は、ほぼ200℃に保った。さらに磁性膜
上に保護膜としてカーボン膜を成膜し、その成膜条件は
投入電力1000W、成膜速度8nm/分で厚さを30
nmとした。
【0009】上記のようにして作成した磁気記録媒体に
ついて、保磁力Hc、飽和磁化4πMsおよび残留磁化
4πMrをVSMを用い印加磁場10Kガウスで測定し
た。測定に使用した磁気ヘッドは、CaTiO3 をスラ
イダー材とし、MnZnフェライトにセンダストの薄膜
をスパッターで成膜したMIGヘッドを用いた。また磁
気ヘッドのトラック幅は13μm、スライダー幅は60
0μm、ジンバルバネ圧9.5gで、ディスクの半径は
24mmの位置でディスク回転数3600rpmの条件
で測定した。
ついて、保磁力Hc、飽和磁化4πMsおよび残留磁化
4πMrをVSMを用い印加磁場10Kガウスで測定し
た。測定に使用した磁気ヘッドは、CaTiO3 をスラ
イダー材とし、MnZnフェライトにセンダストの薄膜
をスパッターで成膜したMIGヘッドを用いた。また磁
気ヘッドのトラック幅は13μm、スライダー幅は60
0μm、ジンバルバネ圧9.5gで、ディスクの半径は
24mmの位置でディスク回転数3600rpmの条件
で測定した。
【0010】まずディスクに線記録密度30KFclで
書き込み、0〜20MHzの帯材でノイズを含まない再
生信号をスペクトロアナライザーにより測定する。次に
使用した測定機器の磁気ヘッドを含むノイズを同一条件
で測定し、さらにrms電圧側を使用してノイズ電力を
測定し、更生用データとする。媒体ノイズは、再生時の
ノイズより測定機器ノイズを差し引いた値を、rms値
更生用データと比較参照し、算出した。このような方法
で磁気記録媒体のS/N比を用いた。そして得られた測
定結果を下記の表1に示した。表1よりPt含有量が1
%未満および15%より大きいとS/N比が劣る。また
Crは含有させない場合、および18%以上ではS/N
比が劣り、Niは3%未満、および18%以上ではS/
N比が劣ることがわかる。また表1より飽和磁化に関し
ては、Pt含有量が15%と多くなると劣り、残留磁化
に関しては、Cr添加量が18%と多くなると劣ってい
る。さらに保磁力に関しては、Ptの添加量が0になる
と劣っている。以上より磁性膜を、原子%でNi5〜1
5%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残部Coから
なる合金によって作成するのが望ましい。また表2から
Ruは0.1〜5.0%、Tiは0.1〜5.0%にす
るのがS/Nの点から望ましい。
書き込み、0〜20MHzの帯材でノイズを含まない再
生信号をスペクトロアナライザーにより測定する。次に
使用した測定機器の磁気ヘッドを含むノイズを同一条件
で測定し、さらにrms電圧側を使用してノイズ電力を
測定し、更生用データとする。媒体ノイズは、再生時の
ノイズより測定機器ノイズを差し引いた値を、rms値
更生用データと比較参照し、算出した。このような方法
で磁気記録媒体のS/N比を用いた。そして得られた測
定結果を下記の表1に示した。表1よりPt含有量が1
%未満および15%より大きいとS/N比が劣る。また
Crは含有させない場合、および18%以上ではS/N
比が劣り、Niは3%未満、および18%以上ではS/
N比が劣ることがわかる。また表1より飽和磁化に関し
ては、Pt含有量が15%と多くなると劣り、残留磁化
に関しては、Cr添加量が18%と多くなると劣ってい
る。さらに保磁力に関しては、Ptの添加量が0になる
と劣っている。以上より磁性膜を、原子%でNi5〜1
5%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残部Coから
なる合金によって作成するのが望ましい。また表2から
Ruは0.1〜5.0%、Tiは0.1〜5.0%にす
るのがS/Nの点から望ましい。
【0011】
【表1】
【0012】
【表2】
【0013】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、CoNiCr
Ptの四元系元素でNiを5〜15%にした合金で磁性
膜を作成しているので、S/N比が大きくなってノイズ
が低減され、しかも残留磁化がある程度大きいために電
磁変換特性が向上し、さらに保磁力も向上したものとな
る。
Ptの四元系元素でNiを5〜15%にした合金で磁性
膜を作成しているので、S/N比が大きくなってノイズ
が低減され、しかも残留磁化がある程度大きいために電
磁変換特性が向上し、さらに保磁力も向上したものとな
る。
【図1】従来例の磁性膜の残留磁化と飽和磁化とを示す
図(a)と、保磁力と角形比を示す図(b)である。
図(a)と、保磁力と角形比を示す図(b)である。
Claims (3)
- 【請求項1】 非磁性材料からなる基板の表面に、非磁
性材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜
を設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%で
Ni5〜15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、残
部Coからなる合金によって形成したことを特徴とする
磁気記録媒体。 - 【請求項2】 非磁性材料からなる基板の表面に、非磁
性材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜
を設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%で
Ni5〜15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、R
u0.1〜5%、残部Coからなる合金によって形成し
たことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項3】 請求項2の磁気記録媒体において、磁性
膜を形成する合金にさらにTiを原子%で0.1〜5%
添加させた磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1951192A JPH05189740A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1951192A JPH05189740A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05189740A true JPH05189740A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=12001394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1951192A Pending JPH05189740A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05189740A (ja) |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP1951192A patent/JPH05189740A/ja active Pending
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