JPH05258277A

JPH05258277A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH05258277A
Application number: JP8988292A
Authority: JP
Inventors: Hideo Murata; 英夫村田; Motoe Nakajima; 源衛中嶋
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1992-03-13
Filing date: 1992-03-13
Publication date: 1993-10-08

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気記録媒体の磁性膜を、ＣｏＮｉＣｒＰｔ
に、ＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種を添加した合
金により形成して、保磁力を向上し、かつノイズを低減
できるようにした。【構成】磁気記録媒体の磁性膜を、原子％でＮｉ３〜
３０％、Ｃｒ５〜１５％、Ｐｔ１〜１０％、ＶとＮｂと
Ｔａのうち少なくとも１種以上を０．１〜５％、残部Ｃ
ｏおよび不可避的不純物からなる合金によって形成し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にノイズを小さくするとともに、保磁
力を向上したものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気記録媒体は、基板材料にＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等の合金からなる磁
性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体
を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくする
ことが種々提案されている。

【０００３】例えば特開平１−２５６１７号公報には、
磁性膜をＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔの四元系合金で作成し
た磁気記録媒体が開示されている。そしてＰｔ添加にと
もない保磁力が向上し、前記の場合、Ｐｔ添加量１〜１
５ａｔ％で保磁力が約１２００Ｏｅより大きく、また角
形比が０．８以上になるとしている。また保磁力を大き
くするため磁性膜をＣｏ−Ｎｉ−Ｐｔで作成したものが
提案され、あるいは保磁力を向上するためＣｏ−Ｎｉ−
ＣｒにＰｔを添加した合金で磁性膜を作成した磁気記録
媒体が本出願人により検討されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来磁性膜をＣｏ−Ｎ
ｉ−Ｐｔで作成した磁気記録媒体が知られているが、そ
の場合、保磁力が大であるという利点を有する反面にお
いてＳ／Ｎ比が低くノイズが大であるとともに、合金中
に貴金属であるＰｔを含有するので高価になる。またＣ
ｏ−Ｎｉ−ＣｒにＰｔを添加した合金で磁性膜を作成す
れば、保磁力は向上するが、ノイズが前記同様に大きい
という問題がある。

【０００５】一方磁性膜をＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒで作成した
場合は、前記Ｐｔを含む合金で作成した磁性膜よりもコ
ストが低く、ノイズを減少できるが、耐食性すなわち環
境の変化による飽和磁化の減少率が大であり信頼性に欠
ける。さらに高密度記録を行なう場合には、ビットシフ
トが大であるためにエラーが多く、信頼性に乏しい。更
に所定の保磁力を確保するためには、下地膜として基板
上に被着すべきＣｒ膜の厚さを大にする必要があり、所
定膜厚に形成するための時間が長く生産性が悪い。そこ
で本発明は、磁気記録媒体の磁性膜をＣｏＮｉＣｒＰｔ
に、ＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種を添加した合
金により形成し、保磁力を向上できかつノイズを低減で
きるようにすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、ＣｏＣｒ
ＮｉＰｔに、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ等を添加した場合の磁気的
影響を鋭意研究した。その結果、ＣｏＮｉＣｒＰｔに、
ＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種を０．１〜５原子
％添加することで保磁力が大きいとともに、ノイズを低
減できることを知って本発明を完成した。すなわち本発
明は、非磁性材料からなる基板の表面に非磁性材料から
なる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を設けてな
る磁気記録媒体において、磁性膜を原子％でＮｉ３〜３
０％、Ｃｒ５〜１５％、Ｐｔ１〜１０％、およびＶとＮ
ｂとＴａのうち少なくとも１種以上を０．１〜５％、残
部Ｃｏと不可避的不純物からなる合金によって形成し
た。磁性膜を上記組成にしたのは、Ｎｉが３％以下にな
ると保磁力が低下するからであり、Ｎｉが３０％以上に
なると出力、保磁力共に低下するからである。またＣｒ
が５％以下になると保磁力が低下し、Ｃｒが１５％以上
になると出力が低下するからである。Ｐｔが１％以下で
は保磁力が低下し、１０％以上にしても保磁力向上に効
果なく不経済であるためである。Ｖ、Ｎｂ、Ｔａの添加
量は、０．１％以下では保磁力が低下し、５％以上では
ノイズ特性、保磁力、出力共に低下するからである。

【０００７】

【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜がＣｏＮｉＣｒ
ＰｔにＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種以上を添加
した合金により形成され、ＶとＮｂとＴａとは０．１〜
５％含有されるようにしたので、保磁力が大きくて記録
密度が向上し、しかもＶ、Ｎｂ、Ｔａは結晶粒を微細化
するため、Ｓ／Ｎ比が３０ｄＢ以上となってノイズは３
μＶｒｍｓ以下に低減される。

【０００８】

【実施例】

（実施例１）マグネシウムを４重量％含有するアルミニ
ウム合金からなる基板の表面を旋削加工により平滑に形
成し、外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ１．２７ｍｍ
の基板とした。次にこの基板の表面にＮｉ−Ｐ合金から
なるメッキ膜を５〜１５μｍの厚さに形成し、磁気記録
媒体の起動時および停止時における磁気ヘッド若しくは
スライダとの接触摺動特性（ＣＳＳ）を確保する。上記
のようにして被着したメッキ膜の表面を平滑に研磨する
とともに、磁気ヘッド若しくはスライダとの吸着を防止
するためのテクスチャ加工を施した。

【０００９】次に基板を洗浄後、例えばＤＣマグネトロ
ンスパッタ装置により、Ｃｒからなる下地膜と、ＣｏＮ
ｉＣｒＰｔに、ＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種以
上を添加した合金からなる磁性膜と、Ｃからなる保護膜
とを順次積層して磁気記録媒体を作成する。この場合、
下地膜の成膜には、スパッタ室内を１×１０^-5ｍＴｏｒ
ｒ以下に排気後、基板を２５０℃において３０分間加熱
し、Ａｒガスを導入してスパッタ室内を１０ｍＴｏｒｒ
に保持し、投入電力２０００Ｗ、成膜速度４０ｎｍ／分
の条件により、膜厚１００ｎｍに成膜した。次にこの下
地膜の上に、ＣｏＮｉＣｒＰｔに、ＶとＮｂとＴａのう
ち少なくとも１種以上を添加した合金の磁性膜を上記同
様にして、投入電力２０００Ｗ、成膜速度１００ｎｍ／
分の条件で６０ｎｍの膜厚に成膜した。この磁性膜のス
パッタではバイアス電圧−２００Ｖを印加した。また保
護膜は投入電力１０００Ｗ、成膜速度８ｎｍ／分の条件
で前記磁性膜上に膜厚３０ｎｍで成膜した。

【００１０】（実施例２）ここで上記のようにして作成
する磁気記録媒体において、Ｐｔ含有量が磁気特性にど
のような影響があるかを各種磁性膜を作成して測定し
た。そのためＮｉ１８原子％、Ｃｒを９原子％、Ｐｔを
ｘ原子％、ＶとＮｂとＴａとのうち少なくとも１種以上
を２原子％、残部Ｃｏとし、Ｐｔ含有量を変化させた合
金により磁性膜を作成して、保磁力Ｈｃと出力とを測定
し、その結果を図１に示した。図１より保磁力は、Ｐｔ
が１〜１５原子％でＨｃ：１３００Ｏｅ以上であり、１
２％で大きな値をもっている。ＢｓはＰｔ量が増加する
程、減少し、１０原子％以下で０．９Ｔの大きな値とな
った。よってＰｔ含有量は、１〜１０原子％とするのが
磁気特性上望ましい。

【００１１】次ぎに前記磁性膜において、Ｎｉ含有量が
磁気特性にどのような影響があるかを各種磁性膜を作成
して測定した。そのためＮｉをｘ％、Ｃｒを７原子％、
Ｐｔを７原子％、ＶとＮｂとＴａとのうち少なくとも１
種以上を２原子％、残部Ｃｏとし、Ｎｉ含有量を変化さ
せた合金により磁性膜を作成して、保磁力Ｈｃと出力Ｂ
ｓとを測定し、その結果を図２に示した。図２より保磁
力はＮｉが３〜３０原子％で１２００Ｏｅ以上となり、
特にＮｉ含有量が２５原子％で最高になり２０〜３０原
子％で大きな保磁力となった。また出力Ｂｓは、Ｎｉ含
有量が３０原子％で１．０（Ｔ）となり、Ｎｉ含有量が
減少するほど出力が大きくなった。このためＮｉ含有量
は３〜３０原子％で保磁力と出力とが望ましいものとな
る。

【００１２】次ぎに前記磁性膜において、Ｃｒ含有量が
磁気特性にどのような影響があるかを各種磁性膜を作成
して測定した。そのため、Ｎｉを２０原子％、Ｃｒをｘ
原子％、Ｐｔを４原子％、ＶとＮｂとＴａとのうち少な
くとも１種以上を２原子％、残部Ｃｏとして磁性膜を作
成し、保磁力Ｈｃと出力Ｂｓを測定しその結果を図３に
示した。図３よりわかるように、Ｃｒ含有量が５原子％
以上で保磁力が１５００Ｏｅとなり、Ｃｒ含有量が多い
ほど保磁力が大きくなった。また出力ＢｓはＣｒ含有量
１５原子％で０．５５（Ｔ）となり、Ｃｒ含有量が少な
くなるほどＢｓが大きくなった。このためＣｒ含有量
は、５〜１５原子％で保磁力と出力にとって望ましいも
のとなる。

【００１３】（実施例３）第１実施例で作成した磁性
膜、即ちＣｏＮｉＣｒＰｔに、ＶとＮｂとＴａのうち少
なくとも１種以上を添加した合金からなる磁性膜におい
て、ＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種以上の含有量
を変化させた場合の磁気特性の影響を調べた。なおＮｉ
を２０原子％、Ｃｒを８原子％、Ｐｔを４原子％、そし
てＶとＮｂとＴａの含有量をｘ原子％、残部Ｃｏとした
合金により磁性膜を作成した。このようにＶとＮｂとＴ
ａの含有量を変化させた場合のノイズ特性と保磁力Ｈｃ
と出力Ｂｓとを測定して、それぞれを図４（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）に示した。

【００１４】図４（ａ）によれば、Ｖ、ＮｂあるいはＴ
ａの含有量が増加するほどノイズ特性は減少し、５原子
％でノイズ特性は２μＶｒｍｓとなっている。図４
（ｂ）によれば、保磁力はＶ、ＮｂあるいはＴａの含有
量が３原子％で最高になり、それより増加しても減少し
ても低下している。また図４（ｃ）によれば、出力Ｂｓ
はＶ、ＮｂあるいはＴａが増加するほど減少し、それら
含有量が５原子％以下で１．０Ｔ以上になっている。な
おＶ、Ｎｂ、Ｔａはそれら１種の添加ではなく複数添加
した場合でもそれら合計添加量に応じて、単一添加した
場合とほぼ同様の結果が得られることは容易に推測でき
る。以上の図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の考察により、
Ｖ、Ｎｂ、Ｔａうち少なくとも１種以上を０．１〜５原
子％添加するのが磁気特性にとって望ましい。

【００１５】

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、磁性膜の合金
材料としてＣｏＮｉＣｒＰｔに、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａのうち
少なくとも１種を添加しているので、少ないＰｔ添加量
でより大きな保磁力を有する。また本発明の磁気記録媒
体では、Ｓ／Ｎ比が大きくてノイズを十分に低減でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の磁性膜におけるＰｔ添
加量と保磁力及び出力との関係図である。

【図２】本発明の磁気記録媒体の磁性膜におけるＮｉ添
加量と保磁力及び出力との関係図である。

【図３】本発明の磁気記録媒体の磁性膜におけるＣｒ添
加量と保磁力及び出力との関係図である。

【図４】本発明の磁気記録媒体の磁性膜におけるＶ、Ｎ
ｂ、Ｔａの添加量と、ノイズ特性（ａ）、保磁力
（ｂ）、出力（ｃ）との関係図である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性材料からなる基板の表面に非磁性
材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を
設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子％でＮ
ｉ３〜３０％、Ｃｒ５〜１５％、Ｐｔ１〜１０％、およ
びＶとＮｂとＴａのうち少なくとも１種以上を０．１〜
５％、残部Ｃｏと不可避的不純物からなる合金によって
形成したことを特徴とする磁気記録媒体。