JPH0519975B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0519975B2 JPH0519975B2 JP61265788A JP26578886A JPH0519975B2 JP H0519975 B2 JPH0519975 B2 JP H0519975B2 JP 61265788 A JP61265788 A JP 61265788A JP 26578886 A JP26578886 A JP 26578886A JP H0519975 B2 JPH0519975 B2 JP H0519975B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- film
- mask
- heavy metal
- stress
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61265788A JPS63252428A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | Ｘ線マスクの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61265788A JPS63252428A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | Ｘ線マスクの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63252428A JPS63252428A (ja) | 1988-10-19 |
| JPH0519975B2 true JPH0519975B2 (de) | 1993-03-18 |
Family
ID=17422052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61265788A Granted JPS63252428A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | Ｘ線マスクの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63252428A (de) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH065191B2 (ja) * | 1988-10-05 | 1994-01-19 | アイエムブイ株式会社 | 振動制御装置 |
| US5464711A (en) * | 1994-08-01 | 1995-11-07 | Motorola Inc. | Process for fabricating an X-ray absorbing mask |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62172725U (de) * | 1986-04-21 | 1987-11-02 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP61265788A patent/JPS63252428A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63252428A (ja) | 1988-10-19 |
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