JPH05205238A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPH05205238A JPH05205238A JP4293514A JP29351492A JPH05205238A JP H05205238 A JPH05205238 A JP H05205238A JP 4293514 A JP4293514 A JP 4293514A JP 29351492 A JP29351492 A JP 29351492A JP H05205238 A JPH05205238 A JP H05205238A
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- magnetic
- thin film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 垂直磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの走行
方向に無関係に高再生出力が得られる、Ｃｏ系合金垂直
磁気記録層とその下地層とを使用した垂直磁気記録媒体
を提供することを目的とする。 【構成】 高分子フィルムからなる非磁性基体１１上
に、下地層１２として、０〜２５ｗｔ％Ｃｒ、５〜７０
ｗｔ％Ｎｉ、残部実質的にＣｏとした磁気組成物からな
る膜厚１０〜１００［ｎｍ］の薄膜を形成し、その上に
垂直磁気記録層１３として、Ｃｏ系磁性薄膜を形成した
ものである。
方向に無関係に高再生出力が得られる、Ｃｏ系合金垂直
磁気記録層とその下地層とを使用した垂直磁気記録媒体
を提供することを目的とする。 【構成】 高分子フィルムからなる非磁性基体１１上
に、下地層１２として、０〜２５ｗｔ％Ｃｒ、５〜７０
ｗｔ％Ｎｉ、残部実質的にＣｏとした磁気組成物からな
る膜厚１０〜１００［ｎｍ］の薄膜を形成し、その上に
垂直磁気記録層１３として、Ｃｏ系磁性薄膜を形成した
ものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクや磁気テ
ープ等の磁気記録媒体に関し、特に、高密度磁気記録を
可能とする垂直磁気記録媒体に関するものである。
ープ等の磁気記録媒体に関し、特に、高密度磁気記録を
可能とする垂直磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体は、一般に、非磁性基体
と、その上に形成された磁気記録層とからなっている。
この磁気記録層への情報の記録再生は、磁気ヘッドを用
いてトラックに沿って行われる。
と、その上に形成された磁気記録層とからなっている。
この磁気記録層への情報の記録再生は、磁気ヘッドを用
いてトラックに沿って行われる。
【０００３】磁気記録媒体は、パーソナル・コンピュー
タ、ラップトップ・コンピュータ、ワープロ等に使用さ
れる外部記憶装置や他のディスクプレーヤーで使用され
る磁気ディスクとして使用される。その場合、磁気記録
媒体は円形で、トラックは、磁気ヘッドの相対的径方向
の動きで決まるトラックピッチを有する同心円状に形成
されている。この磁気ディスクは軟らかいあるいは硬い
ケースの中に収められている。
タ、ラップトップ・コンピュータ、ワープロ等に使用さ
れる外部記憶装置や他のディスクプレーヤーで使用され
る磁気ディスクとして使用される。その場合、磁気記録
媒体は円形で、トラックは、磁気ヘッドの相対的径方向
の動きで決まるトラックピッチを有する同心円状に形成
されている。この磁気ディスクは軟らかいあるいは硬い
ケースの中に収められている。
【０００４】磁気記録媒体の他のタイプは、磁気テープ
であり、ビデオテープレコーダーを初めとするテープレ
コーダーに使用されている。そこでは、磁気記録媒体
は、長尺のテープ状に形成されており、リールに巻かれ
ている。トラックは、このテープの長さ方向に沿って少
なくとも一つ以上設けられる。
であり、ビデオテープレコーダーを初めとするテープレ
コーダーに使用されている。そこでは、磁気記録媒体
は、長尺のテープ状に形成されており、リールに巻かれ
ている。トラックは、このテープの長さ方向に沿って少
なくとも一つ以上設けられる。
【０００５】これら磁気記録媒体のいずれのタイプにお
いても、記憶容量の高密度化には、トラック幅を狭くす
ることによって磁気記録媒体１枚当りのトラック数を増
やしてトラック密度の増加をはかる方法がある。この場
合、トラック幅の減少によって、再生出力の低下のよう
に再生特性が劣化してしまう欠点がある。
いても、記憶容量の高密度化には、トラック幅を狭くす
ることによって磁気記録媒体１枚当りのトラック数を増
やしてトラック密度の増加をはかる方法がある。この場
合、トラック幅の減少によって、再生出力の低下のよう
に再生特性が劣化してしまう欠点がある。
【０００６】他の方法として、１トラック当りの記録量
を増やして線記録密度の増加をはかる方法が知られてい
る。この線記録密度の増加をはかる方法として、垂直磁
気記録媒体が提案されている。垂直磁気記録において
は、情報は、磁気記録媒体の磁気記録層に垂直な方向の
磁化として記録される。したがって、垂直磁気記録媒体
は、原理的に反磁界がないため、従来の磁気記録層に平
行な磁化によって情報記録を行う通常の磁気記録方式に
比較して、高密度の記録を可能とする。
を増やして線記録密度の増加をはかる方法が知られてい
る。この線記録密度の増加をはかる方法として、垂直磁
気記録媒体が提案されている。垂直磁気記録において
は、情報は、磁気記録媒体の磁気記録層に垂直な方向の
磁化として記録される。したがって、垂直磁気記録媒体
は、原理的に反磁界がないため、従来の磁気記録層に平
行な磁化によって情報記録を行う通常の磁気記録方式に
比較して、高密度の記録を可能とする。
【０００７】このような垂直磁気記録媒体として、バリ
ウムフェライトをバインダーと共に非磁性基体上に塗布
して垂直磁気記録層を形成したものが知られている。こ
れとは別に、さらに磁気記録密度を向上させた垂直磁気
記録媒体が提案されている。すなわち、バインダーなど
の非磁性体を含まないＣｏＣｒ膜のような磁性薄膜を垂
直磁気記録層として用いたものである。垂直磁気記録層
としては、コバルトと、Ｔｉ，Ｔａ，ＰｔおよびＯから
選択された少なくとも一つとを含むコバルト含有磁気組
成物からなる薄膜も使用される。また、これらコバルト
含有磁気組成物に、ＢおよびＣ等が必要に応じて添加さ
れることもある。このコバルト含有磁気組成物からなる
薄膜を、以下、Ｃｏ系磁性薄膜と呼ぶ。このＣｏ系磁性
薄膜からなる垂直磁気記録層の膜厚は、一般に、０．０
１〜０．８［μｍ］でスパッタリングによって形成さ
れ、この記録層を保護するためにその上に保護膜を設け
るのが普通である。
ウムフェライトをバインダーと共に非磁性基体上に塗布
して垂直磁気記録層を形成したものが知られている。こ
れとは別に、さらに磁気記録密度を向上させた垂直磁気
記録媒体が提案されている。すなわち、バインダーなど
の非磁性体を含まないＣｏＣｒ膜のような磁性薄膜を垂
直磁気記録層として用いたものである。垂直磁気記録層
としては、コバルトと、Ｔｉ，Ｔａ，ＰｔおよびＯから
選択された少なくとも一つとを含むコバルト含有磁気組
成物からなる薄膜も使用される。また、これらコバルト
含有磁気組成物に、ＢおよびＣ等が必要に応じて添加さ
れることもある。このコバルト含有磁気組成物からなる
薄膜を、以下、Ｃｏ系磁性薄膜と呼ぶ。このＣｏ系磁性
薄膜からなる垂直磁気記録層の膜厚は、一般に、０．０
１〜０．８［μｍ］でスパッタリングによって形成さ
れ、この記録層を保護するためにその上に保護膜を設け
るのが普通である。
【０００８】磁気ヘッドによるこの垂直磁気記録媒体か
らの再生出力を改善するために、非磁性基体上で、垂直
磁気記録層としてのＣｏ系磁性薄膜の下地膜として他の
磁性膜を形成することが提案されている。この下地磁性
膜は、膜厚１０〜１００［nm］の半硬磁性ＦｅＣｏ合金
からなっている。
らの再生出力を改善するために、非磁性基体上で、垂直
磁気記録層としてのＣｏ系磁性薄膜の下地膜として他の
磁性膜を形成することが提案されている。この下地磁性
膜は、膜厚１０〜１００［nm］の半硬磁性ＦｅＣｏ合金
からなっている。
【０００９】この方式では、半硬磁性ＦｅＣｏ合金から
なる下地磁性膜は、Ｃｏ系磁性薄膜が磁気ヘッドと対向
する面と反対側、即ち、非磁性基体と接触している面側
に、磁気通路を形成し、磁気ヘッドとＣｏ系磁性薄膜と
共に、磁気抵抗の小さい閉じた磁気回路を形成し、再生
出力の増大を達成するものである。この場合垂直磁気記
録媒体の構造は、非磁性基体と、その上に形成されたＦ
ｅＣｏ合金薄膜と、さらにその上に形成されたＣｒ系磁
性薄膜から構成される。
なる下地磁性膜は、Ｃｏ系磁性薄膜が磁気ヘッドと対向
する面と反対側、即ち、非磁性基体と接触している面側
に、磁気通路を形成し、磁気ヘッドとＣｏ系磁性薄膜と
共に、磁気抵抗の小さい閉じた磁気回路を形成し、再生
出力の増大を達成するものである。この場合垂直磁気記
録媒体の構造は、非磁性基体と、その上に形成されたＦ
ｅＣｏ合金薄膜と、さらにその上に形成されたＣｒ系磁
性薄膜から構成される。
【００１０】この様なＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜
とを有する垂直磁気記録媒体の製造は、一般に、これら
の薄膜を非磁性基体上にスパッタリングで形成すること
によって行われる。
とを有する垂直磁気記録媒体の製造は、一般に、これら
の薄膜を非磁性基体上にスパッタリングで形成すること
によって行われる。
【００１１】図５を参照して、非磁性体フィルム２１を
供給ロール２２からキャン２３にガイドロール２４を介
して供給し、ＦｅＣｏ下地層をスパッタターゲット２５
を用いて形成し、さらに、その上に、Ｃｏ系磁性薄膜を
スパッタターゲット２６を用いて形成し、巻取ロール２
７にガイドロール２８を介して巻きとっている。なお、
板２９および３０は、ＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜
を形成する領域を制御するものである。こうして、非磁
性体フィルム上にＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜とを
形成した磁性フィルム３１が作成される。
供給ロール２２からキャン２３にガイドロール２４を介
して供給し、ＦｅＣｏ下地層をスパッタターゲット２５
を用いて形成し、さらに、その上に、Ｃｏ系磁性薄膜を
スパッタターゲット２６を用いて形成し、巻取ロール２
７にガイドロール２８を介して巻きとっている。なお、
板２９および３０は、ＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜
を形成する領域を制御するものである。こうして、非磁
性体フィルム上にＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜とを
形成した磁性フィルム３１が作成される。
【００１２】図６を参照して、磁性フィルム３１は、そ
の後、所定のサイズに切断され、例えば、磁気ディスク
３２を構成する。
の後、所定のサイズに切断され、例えば、磁気ディスク
３２を構成する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして形成されたＦｅＣｏ下地層は、ターゲット２
５及び地磁気などの外部磁界や、フィルムテンションに
よって誘導磁気異方性が発生し、非磁性体フィルム２１
の搬送方向（ＭＤ方向）または、それに直角な幅方向
（ＴＤ方向）に容易軸が形成される。この様な容易軸が
形成されたＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜を有する垂
直磁気記録媒体の記録再生出力は、容易軸方向で最大、
困難軸（容易軸に垂直）方向で最小となる。Ｃｏ系磁性
薄膜としてＣｏＣｒ合金薄膜を用いた磁性フィルム３１
から切り出された磁気ディスク３２について、その保磁
力と再生出力を測定し、その測定結果を図７に示す。図
７から明らかなように、保磁力と再生出力は、容易軸か
らの角度と共に変化する。従って、この様なＦｅＣｏ／
ＣｏＣｒ二層垂直磁気記録媒体を使用した磁気ディスク
では、再生出力に磁気ディスクの１周で山と谷が二つず
つ現れる。即ち、再生出力が一定せず信頼性に乏しいと
いう問題点がある。また、ＶＴＲ等テープ状にして使用
すると磁気ヘッドの走行方向と容易軸の方向が一致した
ときにしか、ＦｅＣｏ／ＣｏＣｒ二層垂直磁気記録媒体
の性能を発揮することが出来ず、信頼性に乏しいという
問題点がある。
ようにして形成されたＦｅＣｏ下地層は、ターゲット２
５及び地磁気などの外部磁界や、フィルムテンションに
よって誘導磁気異方性が発生し、非磁性体フィルム２１
の搬送方向（ＭＤ方向）または、それに直角な幅方向
（ＴＤ方向）に容易軸が形成される。この様な容易軸が
形成されたＦｅＣｏ下地層とＣｏ系磁性薄膜を有する垂
直磁気記録媒体の記録再生出力は、容易軸方向で最大、
困難軸（容易軸に垂直）方向で最小となる。Ｃｏ系磁性
薄膜としてＣｏＣｒ合金薄膜を用いた磁性フィルム３１
から切り出された磁気ディスク３２について、その保磁
力と再生出力を測定し、その測定結果を図７に示す。図
７から明らかなように、保磁力と再生出力は、容易軸か
らの角度と共に変化する。従って、この様なＦｅＣｏ／
ＣｏＣｒ二層垂直磁気記録媒体を使用した磁気ディスク
では、再生出力に磁気ディスクの１周で山と谷が二つず
つ現れる。即ち、再生出力が一定せず信頼性に乏しいと
いう問題点がある。また、ＶＴＲ等テープ状にして使用
すると磁気ヘッドの走行方向と容易軸の方向が一致した
ときにしか、ＦｅＣｏ／ＣｏＣｒ二層垂直磁気記録媒体
の性能を発揮することが出来ず、信頼性に乏しいという
問題点がある。
【００１４】磁気記録層としてＣｏＣｒ磁性薄膜以外の
Ｃｏ系磁性薄膜を用いた場合でも、下地層としてＦｅＣ
ｏ薄膜を用いる限り同様の問題点がある。
Ｃｏ系磁性薄膜を用いた場合でも、下地層としてＦｅＣ
ｏ薄膜を用いる限り同様の問題点がある。
【００１５】本発明は、磁気ヘッドの走行方向に関係な
く高再生出力が得られる、Ｃｏ系磁性薄膜と下地層とを
使用した垂直磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
く高再生出力が得られる、Ｃｏ系磁性薄膜と下地層とを
使用した垂直磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、非磁性
基体と、その上に形成された第一の磁性薄膜と、該第一
の磁性薄膜上に形成された第二の磁性薄膜とを有する垂
直磁気記録媒体において、前記第一の磁性薄膜が、０〜
２５wt％Ｃｒ、：５〜７０wt％Ｎｉ、残部実質的にＣｏ
を含有する磁気組成物からなることを特徴とする垂直磁
気記録媒体が得られる。
基体と、その上に形成された第一の磁性薄膜と、該第一
の磁性薄膜上に形成された第二の磁性薄膜とを有する垂
直磁気記録媒体において、前記第一の磁性薄膜が、０〜
２５wt％Ｃｒ、：５〜７０wt％Ｎｉ、残部実質的にＣｏ
を含有する磁気組成物からなることを特徴とする垂直磁
気記録媒体が得られる。
【００１７】前記第一の磁性薄膜の磁気組成物中のＮｉ
量は、さらに３５〜６０wt％とするのが好ましい。
量は、さらに３５〜６０wt％とするのが好ましい。
【００１８】前記第一の磁性薄膜の厚みは、好ましく
は、１００〜１，０００Ａである。
は、１００〜１，０００Ａである。
【００１９】前記第二の磁性薄膜は、コバルトと、Ｃ
ｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｐｔ、およびＯの内から選択された少
なくとも一つとを含むコバルト含有磁気組成物とすると
良い。
ｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｐｔ、およびＯの内から選択された少
なくとも一つとを含むコバルト含有磁気組成物とすると
良い。
【００２０】前記第二の磁性薄膜の上に保護膜を備える
のが良く、該保護膜は主成分としてシリコン酸化物を含
み、１×１０13Ω／ｓｑｕａｒｅ以上、好ましくは、１
×１０14〜１×１０17Ω／ｓｑｕａｒｅ、のシート抵抗
を有するものとする。
のが良く、該保護膜は主成分としてシリコン酸化物を含
み、１×１０13Ω／ｓｑｕａｒｅ以上、好ましくは、１
×１０14〜１×１０17Ω／ｓｑｕａｒｅ、のシート抵抗
を有するものとする。
【００２１】この垂直磁気記録媒体は、その表面に１０
4 個／mm2 以上の密度で微細突起を有するのが良く、こ
の微細突起の中心線平均粗さＲａ（ＪＩＳＢ０６０１に
よる）が１０〜３０Ａである。
4 個／mm2 以上の密度で微細突起を有するのが良く、こ
の微細突起の中心線平均粗さＲａ（ＪＩＳＢ０６０１に
よる）が１０〜３０Ａである。
【００２２】
【作用】ここで、図１を参照して、下地層としての第一
の磁性薄膜１２は、磁気ヘッドから発生した磁力線が垂
直記録層としての第二の磁性薄膜１３を通り抜け、再び
垂直記録層１３に入るまでのリターンパスを形成する働
きと、垂直記録層１３と同様に磁気記録を行う作用を有
し、これにより再生出力を増大させている。ここで、０
〜２５wt％Ｃｒ、：５〜７０wt％Ｎｉ、残部実質的にＣ
ｏを含有する磁気組成物からなる第一の磁性膜である下
地層１２は、面内方向で一軸磁気異方性を持たないの
で、その特性は、磁気ヘッドの走行方向に影響されな
い。よって、本発明になる磁気記録媒体は、磁気ヘッド
の走行方向によらず安定した高再生出力が得られる。
の磁性薄膜１２は、磁気ヘッドから発生した磁力線が垂
直記録層としての第二の磁性薄膜１３を通り抜け、再び
垂直記録層１３に入るまでのリターンパスを形成する働
きと、垂直記録層１３と同様に磁気記録を行う作用を有
し、これにより再生出力を増大させている。ここで、０
〜２５wt％Ｃｒ、：５〜７０wt％Ｎｉ、残部実質的にＣ
ｏを含有する磁気組成物からなる第一の磁性膜である下
地層１２は、面内方向で一軸磁気異方性を持たないの
で、その特性は、磁気ヘッドの走行方向に影響されな
い。よって、本発明になる磁気記録媒体は、磁気ヘッド
の走行方向によらず安定した高再生出力が得られる。
【００２３】第一の磁性薄膜１２において、Ｃｒが２５
wt％を越えるとき、あるいは、Ｎｉが７０wt％を越える
ときは、非磁性または弱磁性を示す。従って、下地層と
しては好ましくない。また、Ｃｒが２５wt％より小さく
かつＮｉが５wt％より少ない場合には、垂直配向するた
めに下地層としては好ましくない。
wt％を越えるとき、あるいは、Ｎｉが７０wt％を越える
ときは、非磁性または弱磁性を示す。従って、下地層と
しては好ましくない。また、Ｃｒが２５wt％より小さく
かつＮｉが５wt％より少ない場合には、垂直配向するた
めに下地層としては好ましくない。
【００２４】なお、第一の磁性薄膜１２の厚さは、１０
〜１００［nm］が好ましい。
〜１００［nm］が好ましい。
【００２５】次に、上記条件を満たした下地層を形成
し、保磁力を測定した結果を示す。膜の形成は、Ｃｏタ
ーゲット上にＣｒ及びＮｉペレットをおき、ペレットの
数を変化させてＲＦスパッタリングを行った。このとき
のスパッタ圧力は１．０×１０-1［Ｐａ］とし、投入電
力は５００［Ｗ］とした。基体温度を２００℃及び２５
℃にしたときの膜の組成と保磁力の関係をそれぞれ図２
及び図３に示す。 図２から明らかなとおり、基体温度
２００℃とき、１０〜１００×１０3 ［Ａ／ｍ］、図３
から明らかなとおり基体温度２５℃とき、５〜２５×１
０3 ［Ａ／ｍ］の保磁力が得られた。下地層に必要とさ
れる保磁力は、１０2 〜１０5 ［Ａ／ｍ］であるから、
これらのＣｏＣｒＮｉ膜は十分に条件を満たしている。
また、これらのＣｏＣｒＮｉ膜は、面内方向で一軸磁気
異方性はなく、ヒステリシスカーブも面内方向で等方的
であった。
し、保磁力を測定した結果を示す。膜の形成は、Ｃｏタ
ーゲット上にＣｒ及びＮｉペレットをおき、ペレットの
数を変化させてＲＦスパッタリングを行った。このとき
のスパッタ圧力は１．０×１０-1［Ｐａ］とし、投入電
力は５００［Ｗ］とした。基体温度を２００℃及び２５
℃にしたときの膜の組成と保磁力の関係をそれぞれ図２
及び図３に示す。 図２から明らかなとおり、基体温度
２００℃とき、１０〜１００×１０3 ［Ａ／ｍ］、図３
から明らかなとおり基体温度２５℃とき、５〜２５×１
０3 ［Ａ／ｍ］の保磁力が得られた。下地層に必要とさ
れる保磁力は、１０2 〜１０5 ［Ａ／ｍ］であるから、
これらのＣｏＣｒＮｉ膜は十分に条件を満たしている。
また、これらのＣｏＣｒＮｉ膜は、面内方向で一軸磁気
異方性はなく、ヒステリシスカーブも面内方向で等方的
であった。
【００２６】また、第二の磁性薄膜１３としては、Ｃｏ
と、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｔａ、およびＰｔのなかから選択され
た少なくとも１つの元素を含むコバルト含有磁気組成物
からなる厚さ０．０１〜０．８［μｍ］の薄膜を使用す
ることができる。もちろん、コバルト含有磁気組成物
は、必要なら、ＢやＣのような添加物を含むことができ
る。
と、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｔａ、およびＰｔのなかから選択され
た少なくとも１つの元素を含むコバルト含有磁気組成物
からなる厚さ０．０１〜０．８［μｍ］の薄膜を使用す
ることができる。もちろん、コバルト含有磁気組成物
は、必要なら、ＢやＣのような添加物を含むことができ
る。
【００２７】本発明の垂直磁気記録媒体は、図５に示す
装置を用いてスパッタリングによって製造することがで
きる。その場合、図５の第一のターゲット２５として、
Ｃｏターゲット上にＣｒおよびＮｉのペレットを用い、
第二のターゲット２６として、ＣｏＣｒ合金またはＣｏ
ターゲット上にＴａペレットとあるいは他の適当な成分
のペレットを用いる。
装置を用いてスパッタリングによって製造することがで
きる。その場合、図５の第一のターゲット２５として、
Ｃｏターゲット上にＣｒおよびＮｉのペレットを用い、
第二のターゲット２６として、ＣｏＣｒ合金またはＣｏ
ターゲット上にＴａペレットとあるいは他の適当な成分
のペレットを用いる。
【００２８】第二の磁性薄膜１３の上に、１×１０13Ω
／ｓｑｕａｒｅ以上、好ましくは、１×１０14〜１×１
０17Ω／ｓｑｕａｒｅ、のシート抵抗を有する保護膜を
用いることによって、垂直磁気記録媒体の環境耐性を向
上させることができる。
／ｓｑｕａｒｅ以上、好ましくは、１×１０14〜１×１
０17Ω／ｓｑｕａｒｅ、のシート抵抗を有する保護膜を
用いることによって、垂直磁気記録媒体の環境耐性を向
上させることができる。
【００２９】また、この垂直磁気記録媒体の表面に、１
０4 個／mm2 以上の密度で微細突起を、その微細突起の
中心線平均粗さＲａ（ＪＩＳＢ０６０１による）が１０
〜３０Ａとなるように形成することによって、磁気ヘッ
ドとの接触における耐摩耗性を向上させることができ
る。この磁気記録媒体表面状の微細突起の形成は、非磁
性基体１１の表面を、公知の手段、例えば研磨テープや
エッチングにより粗面化したり、あるいは基体中にフィ
ラーを含有させたりして行われる。
０4 個／mm2 以上の密度で微細突起を、その微細突起の
中心線平均粗さＲａ（ＪＩＳＢ０６０１による）が１０
〜３０Ａとなるように形成することによって、磁気ヘッ
ドとの接触における耐摩耗性を向上させることができ
る。この磁気記録媒体表面状の微細突起の形成は、非磁
性基体１１の表面を、公知の手段、例えば研磨テープや
エッチングにより粗面化したり、あるいは基体中にフィ
ラーを含有させたりして行われる。
【００３０】
【実施例】次に、本発明の実施例について、いくつかの
比較例と共に、説明する。
比較例と共に、説明する。
【００３１】実施例１ 表面に６×１０6 個／mm2 の密度で微細突起を持ちＲａ
が２６Ａの表面粗さを有する厚さ３０［μｍ］のポリイ
ミドフィルムを用意し、その表面上に、ＲＦマグネトロ
ン法により厚さ５０［nm］のＣｏＣｒＮｉ薄膜を第一の
磁性薄膜として形成し、このＣｏＣｒＮｉ薄膜上に０．
３［μｍ］のＣｏＣｒ薄膜を第二の磁性薄膜として形成
した。また、ＣｏＣｒ／ＣｏＣｒＮｉ二層膜の反対面
（ポリイミドフィルム裏面上）にカール補正用のＣｏＣ
ｒ膜を形成した。そして、これら両面に保護膜として膜
厚２０［ｎｍ］のＳｉＯ2 膜（シート抵抗値が１．０×
１０15Ω／ｓｑｕａｒｅ）をスパッタ法により形成し、
さらに、フッ素系潤滑剤をスピンコートした。なお、Ｃ
ｏＣｒＮｉ膜の組成は、１４．４wt％Ｃｒ、８．８wt％
Ｎｉ、残Ｃｏであり、スパッタ条件は、スパッタ圧力
０．１［Ｐａ］、ＲＦパワー密度２．７４［Ｗ／c
m2 ］、基体温度２５℃とした。また、ＣｏＣｒ膜の組
成は、１７．５ｗｔ％Ｃｒ、残りＣｏであり、スパッタ
条件は、スパッタ圧力０．１［Ｐａ］、基体温度２００
℃とした。
が２６Ａの表面粗さを有する厚さ３０［μｍ］のポリイ
ミドフィルムを用意し、その表面上に、ＲＦマグネトロ
ン法により厚さ５０［nm］のＣｏＣｒＮｉ薄膜を第一の
磁性薄膜として形成し、このＣｏＣｒＮｉ薄膜上に０．
３［μｍ］のＣｏＣｒ薄膜を第二の磁性薄膜として形成
した。また、ＣｏＣｒ／ＣｏＣｒＮｉ二層膜の反対面
（ポリイミドフィルム裏面上）にカール補正用のＣｏＣ
ｒ膜を形成した。そして、これら両面に保護膜として膜
厚２０［ｎｍ］のＳｉＯ2 膜（シート抵抗値が１．０×
１０15Ω／ｓｑｕａｒｅ）をスパッタ法により形成し、
さらに、フッ素系潤滑剤をスピンコートした。なお、Ｃ
ｏＣｒＮｉ膜の組成は、１４．４wt％Ｃｒ、８．８wt％
Ｎｉ、残Ｃｏであり、スパッタ条件は、スパッタ圧力
０．１［Ｐａ］、ＲＦパワー密度２．７４［Ｗ／c
m2 ］、基体温度２５℃とした。また、ＣｏＣｒ膜の組
成は、１７．５ｗｔ％Ｃｒ、残りＣｏであり、スパッタ
条件は、スパッタ圧力０．１［Ｐａ］、基体温度２００
℃とした。
【００３２】実施例２ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、１
２．５wt％Ｃｒ、２６．５wt％Ｎｉ、残Ｃｏで、膜厚４
０［nm］とし、基体温度２５℃とした。
２．５wt％Ｃｒ、２６．５wt％Ｎｉ、残Ｃｏで、膜厚４
０［nm］とし、基体温度２５℃とした。
【００３３】実施例３ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、
８．５wt％Ｃｒ、４８．５wt％Ｎｉ、残りＣｏで、膜厚
５０［nm］とし、基体温度２００℃とした。
８．５wt％Ｃｒ、４８．５wt％Ｎｉ、残りＣｏで、膜厚
５０［nm］とし、基体温度２００℃とした。
【００３４】実施例４ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、
６．５wt％Ｃｒ、３８．５wt％Ｎｉ、残りＣｏで、膜厚
７０［nm］とし、基体温度２００℃とした。なお、実施
例４については、ポリイミドフィルムの進行方向からθ
ずれた方向の保磁力と、磁気ヘッドによる再生出力を測
定し、面内方向で一軸磁気異方性がないことを確認し
た。それを図４に示す。
６．５wt％Ｃｒ、３８．５wt％Ｎｉ、残りＣｏで、膜厚
７０［nm］とし、基体温度２００℃とした。なお、実施
例４については、ポリイミドフィルムの進行方向からθ
ずれた方向の保磁力と、磁気ヘッドによる再生出力を測
定し、面内方向で一軸磁気異方性がないことを確認し
た。それを図４に示す。
【００３５】実施例５ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、１
５．０wt％Ｃｒ、６０．０wt％Ｎｉ、残Ｃｏとした。
５．０wt％Ｃｒ、６０．０wt％Ｎｉ、残Ｃｏとした。
【００３６】実施例６ 実施例１と同様であるが、第一の磁性薄膜の組成は、５
５．５wt％Ｎｉ、４４．５wt％Ｃｏで、Ｃｒを含有しな
いものとした。
５．５wt％Ｎｉ、４４．５wt％Ｃｏで、Ｃｒを含有しな
いものとした。
【００３７】実施例７ 実施例１と同様であるが、第二の磁性薄膜をＣｏＣｒＴ
ａ膜とし、その組成は、８０．０wt％Ｃｏ、１７．５wt
％Ｃｒ、２．５wt％Ｔａとした。
ａ膜とし、その組成は、８０．０wt％Ｃｏ、１７．５wt
％Ｃｒ、２．５wt％Ｔａとした。
【００３８】比較例１ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、３
０wt％Ｃｒ、４０wt％Ｎｉ、残りＣｏとした。
０wt％Ｃｒ、４０wt％Ｎｉ、残りＣｏとした。
【００３９】比較例２ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、１
０wt％Ｃｒ、８０wt％Ｎｉ、残りＣｏとした。
０wt％Ｃｒ、８０wt％Ｎｉ、残りＣｏとした。
【００４０】比較例３ 実施例１と同様であるが、ＣｏＣｒＮｉ膜の組成は、１
４．４wt％Ｃｒ、３．５wt％Ｎｉ、残りＣｏとした。
４．４wt％Ｃｒ、３．５wt％Ｎｉ、残りＣｏとした。
【００４１】上記実施例１〜７および比較例１〜３の垂
直磁気記録媒体を２インチのディスクに打ち抜き、２イ
ンチビデオフロッピー・ディスクとした。そして、これ
らのビデオフロッピー・ディスクの記録再生試験を市販
のビデオフロッピー用ドライバーで行った。なお、使用
したビデオフロッピー用ドライバーは、キャノン（株）
製「ＲＶ３０１」を使用し、使用トラックは５０トラッ
ク、記録周波数９ＭＨｚで記録し、再生出力のＣ／Ｎ及
びモジュレーションを測定した。その結果を表１に示
す。表１中のＣ／Ｎは、塗布型のビデオフロッピーディ
スクＶＦ−５０（キャノン製）のＣ／Ｎを０ｄＢとした
ときの値である。
直磁気記録媒体を２インチのディスクに打ち抜き、２イ
ンチビデオフロッピー・ディスクとした。そして、これ
らのビデオフロッピー・ディスクの記録再生試験を市販
のビデオフロッピー用ドライバーで行った。なお、使用
したビデオフロッピー用ドライバーは、キャノン（株）
製「ＲＶ３０１」を使用し、使用トラックは５０トラッ
ク、記録周波数９ＭＨｚで記録し、再生出力のＣ／Ｎ及
びモジュレーションを測定した。その結果を表１に示
す。表１中のＣ／Ｎは、塗布型のビデオフロッピーディ
スクＶＦ−５０（キャノン製）のＣ／Ｎを０ｄＢとした
ときの値である。
【００４２】
【表１】
【００４３】表１より、本発明による実施例１〜７の垂
直磁気記録媒体は、比較例１〜３と比較して、安定した
モジュレーションと高いＣ／Ｎを有していることが分か
る。
直磁気記録媒体は、比較例１〜３と比較して、安定した
モジュレーションと高いＣ／Ｎを有していることが分か
る。
【００４４】なお、上記例では、媒体をビデオフロッピ
ー・ディスクとしたが、本発明はこれに限られるもので
はなく、例えば、テープ状媒体であってもよく、磁気記
録媒体の形状について制限するものではない。
ー・ディスクとしたが、本発明はこれに限られるもので
はなく、例えば、テープ状媒体であってもよく、磁気記
録媒体の形状について制限するものではない。
【００４５】
【発明の効果】本発明によれば、Ｃｏ系合金薄膜を有す
る垂直磁気記録媒体において、下地層として０〜２５ｗ
ｔ％Ｃｒ、５〜７０ｗｔ％Ｎｉ、残部実質的にＣｏとし
た磁気組成物からなる膜厚１０〜１００［ｎｍ］の薄膜
を使用したことで、安定したモジュレーションと高いＣ
／Ｎを有する垂直磁気記録媒体が得られる。
る垂直磁気記録媒体において、下地層として０〜２５ｗ
ｔ％Ｃｒ、５〜７０ｗｔ％Ｎｉ、残部実質的にＣｏとし
た磁気組成物からなる膜厚１０〜１００［ｎｍ］の薄膜
を使用したことで、安定したモジュレーションと高いＣ
／Ｎを有する垂直磁気記録媒体が得られる。
【図１】本発明の一実施例の垂直磁気記録媒体の断面図
である。
である。
【図２】本発明に使用される下地層（基体温度２００
℃）の組成と保磁力との関係を示すグラフである。
℃）の組成と保磁力との関係を示すグラフである。
【図３】本発明に使用される下地層（基体温度２５℃）
の組成と保磁力との関係を示すグラフである。
の組成と保磁力との関係を示すグラフである。
【図４】本発明の一実施例の垂直磁気記録媒体のフィル
ム進行方向からのずれ角度θと保磁力Ｈｃおよび再生出
力との関係を示すグラフである。
ム進行方向からのずれ角度θと保磁力Ｈｃおよび再生出
力との関係を示すグラフである。
【図５】連続薄膜磁性媒体製造装置の概略図である。
【図６】図５の装置で製造された薄膜磁性媒体からのデ
ィスク切出しの説明のための平面図である。
ィスク切出しの説明のための平面図である。
【図７】従来の垂直磁気記録媒体の面内容易軸方向から
のずれ角度θと保磁力Ｈｃおよび再生出力との関係を示
すグラフである。
のずれ角度θと保磁力Ｈｃおよび再生出力との関係を示
すグラフである。
１１ 非磁性基体 １２ 下地層（第一の磁性薄膜） １３ 垂直磁気記録層（第二の磁性薄膜） ２１ 非磁性体フィルム ２２ 供給ロール ２３ キャン ２４ ガイドロール ２５，２６ スパッタターゲット ２７ 巻取ロール ２８ ガイドロール ２９，３０ 板 ３１ 磁性フィルム ３２ 磁気ディスク
Claims (6)
- 【請求項１】 非磁性基体と、その上に形成された第一
の磁性薄膜と、該第一の磁性薄膜上に形成された第二の
磁性薄膜とを有する垂直磁気記録媒体において、前記第
一の磁性薄膜が、０〜２５wt％Ｃｒ、５〜７０wt％Ｎ
ｉ、残部実質的にＣｏを含有する磁気組成物からなるこ
とを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記第一の磁性薄膜の磁気組成物中のＮ
ｉ量が３５〜６０wt％であることを特徴とする請求項１
に記載の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記第一の磁性薄膜の厚みが１００〜
１，０００Ａであることを特徴とする請求項１に記載の
垂直磁気記録媒体。 - 【請求項４】 前記第二の磁性薄膜が、コバルトと、Ｃ
ｒ、Ｔｉ、Ｔａ、ＰｔおよびＯの内から選択された少な
くとも一つとを含むコバルト含有磁気組成物であること
を特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項５】 前記第二の磁性薄膜の上に保護膜を有
し、該保護膜は主成分としてシリコン酸化物を含み、１
×１０13Ω／ｓｑｕａｒｅ以上のシート抵抗を有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項６】 前記垂直磁気記録媒体の表面に１０4 個
／mm2 以上の密度で微細突起を有し、この微細突起の中
心線平均粗さＲａが１０〜３０Ａであることを特徴とす
る請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4293514A JPH05205238A (ja) | 1991-10-31 | 1992-10-30 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28596291 | 1991-10-31 | ||
| JP3-285962 | 1991-10-31 | ||
| JP4293514A JPH05205238A (ja) | 1991-10-31 | 1992-10-30 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05205238A true JPH05205238A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=26556104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4293514A Withdrawn JPH05205238A (ja) | 1991-10-31 | 1992-10-30 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05205238A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023051451A (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-11 | 富士フイルム株式会社 | 電鋳方法及び電鋳物の製造方法 |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP4293514A patent/JPH05205238A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023051451A (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-11 | 富士フイルム株式会社 | 電鋳方法及び電鋳物の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |