JPH05205874A - 薄膜ｅｌパネル - Google Patents
薄膜ｅｌパネルInfo
- Publication number
- JPH05205874A JPH05205874A JP4010708A JP1070892A JPH05205874A JP H05205874 A JPH05205874 A JP H05205874A JP 4010708 A JP4010708 A JP 4010708A JP 1070892 A JP1070892 A JP 1070892A JP H05205874 A JPH05205874 A JP H05205874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- dielectric layer
- panel
- thin film
- back electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜ＥＬパネルの背面電極接続部の電気抵抗
を低減し、信頼性を向上させる。 【構成】 ガラス基板１の上にＩＴＯ電極層２を成膜パ
ターニングし、その上に第一誘電体層３、発光体層４、
第二誘電体層５を作製する。つぎにクロム、ニッケルを
メタルマスクを用いて蒸着し、フォトリソグラフ法とエ
ッチングにより外部導出電極６を形成する。つぎに背面
電極７をアルミニウムを所定の領域に成膜し、フォトリ
ソグラフィーによりパターン形成後エッチングして形成
する。この構成によれば、成膜領域の周辺部分は、ガラ
ス基板面にテーパーを有して形成され、このテーパー部
分で背面電極と接続することにより、接続部分の抵抗が
低下し信頼性が向上する。
を低減し、信頼性を向上させる。 【構成】 ガラス基板１の上にＩＴＯ電極層２を成膜パ
ターニングし、その上に第一誘電体層３、発光体層４、
第二誘電体層５を作製する。つぎにクロム、ニッケルを
メタルマスクを用いて蒸着し、フォトリソグラフ法とエ
ッチングにより外部導出電極６を形成する。つぎに背面
電極７をアルミニウムを所定の領域に成膜し、フォトリ
ソグラフィーによりパターン形成後エッチングして形成
する。この構成によれば、成膜領域の周辺部分は、ガラ
ス基板面にテーパーを有して形成され、このテーパー部
分で背面電極と接続することにより、接続部分の抵抗が
低下し信頼性が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はキャラクタやグラフィッ
クスなどの表示に用いる薄膜誘電体で挟持された薄膜発
光層に電圧を印加発光する薄膜ＥＬパネルに関する。
クスなどの表示に用いる薄膜誘電体で挟持された薄膜発
光層に電圧を印加発光する薄膜ＥＬパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より電場発光素子を用いた固体表示
パネルとしてＸ−Ｙマトリックス表示パネルが知られて
いる。このパネルは電場発光層の両面に水平電極群と垂
直電極群とを互いに直行するように配置し、それぞれの
電極群に接続された給電線により切り換え装置を通して
信号を加えて両電極の交点部分の電場発光層を発光させ
（この交点の発光部分を絵素と称する）、発光した絵素
の組み合わせによって文字や図形などを表示させるもの
である。ここで用いられる固体表示パネルとしては、通
常ガラスなどの透光性基板上に透明な平行電極群を形成
し、その上に第一誘電体層、ＥＬ発光体層、第二誘電体
層を順次積層し、さらにその上に背面電極群を下層の透
明電極群に直交する配置で積層して形成する。一般に透
明平行電極としては平滑なガラス基板上に酸化錫や錫添
加酸化インジウム（以下ＩＴＯと称する）を被着する。
対向する背面電極としてはアルミニウムなどの金属膜が
真空蒸着などにより形成される。薄膜ＥＬパネルの背面
電極と外部導出電極の接続は図５に示すように、まずク
ロム１２をパネルの上に成膜しつぎにニッケル１３を成
膜する。つぎにフォトリソグラフ法によりパターンを得
たのちエッチングする。つぎにアルミをこの外部導出電
極の一部で重なるように成膜し、フォトリソグラフ法に
より背面電極パターンを形成していた。
パネルとしてＸ−Ｙマトリックス表示パネルが知られて
いる。このパネルは電場発光層の両面に水平電極群と垂
直電極群とを互いに直行するように配置し、それぞれの
電極群に接続された給電線により切り換え装置を通して
信号を加えて両電極の交点部分の電場発光層を発光させ
（この交点の発光部分を絵素と称する）、発光した絵素
の組み合わせによって文字や図形などを表示させるもの
である。ここで用いられる固体表示パネルとしては、通
常ガラスなどの透光性基板上に透明な平行電極群を形成
し、その上に第一誘電体層、ＥＬ発光体層、第二誘電体
層を順次積層し、さらにその上に背面電極群を下層の透
明電極群に直交する配置で積層して形成する。一般に透
明平行電極としては平滑なガラス基板上に酸化錫や錫添
加酸化インジウム（以下ＩＴＯと称する）を被着する。
対向する背面電極としてはアルミニウムなどの金属膜が
真空蒸着などにより形成される。薄膜ＥＬパネルの背面
電極と外部導出電極の接続は図５に示すように、まずク
ロム１２をパネルの上に成膜しつぎにニッケル１３を成
膜する。つぎにフォトリソグラフ法によりパターンを得
たのちエッチングする。つぎにアルミをこの外部導出電
極の一部で重なるように成膜し、フォトリソグラフ法に
より背面電極パターンを形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように二度のフォ
トリソグラフ法により電極パターンを作成し、また成膜
は電極パターン部分よりも大きな面積で行なわれるの
で、背面電極と外部導出電極での接続点はエッジが切り
立っているかあるいはエッジが鋭角になっていることが
多い。また背面電極の厚みはエッジ部分では他の部分よ
りも薄くなる傾向が強い。薄膜ＥＬパネルは透明電極と
背面電極の間に高い電圧をかけるので、背面電極と外部
導出電極が接続しているエッジ部分が薄いと抵抗が高
く、そのため電圧印加時に熱をもち、焼けを起こし、遂
には電極の断線という事態にしばしば陥る。
トリソグラフ法により電極パターンを作成し、また成膜
は電極パターン部分よりも大きな面積で行なわれるの
で、背面電極と外部導出電極での接続点はエッジが切り
立っているかあるいはエッジが鋭角になっていることが
多い。また背面電極の厚みはエッジ部分では他の部分よ
りも薄くなる傾向が強い。薄膜ＥＬパネルは透明電極と
背面電極の間に高い電圧をかけるので、背面電極と外部
導出電極が接続しているエッジ部分が薄いと抵抗が高
く、そのため電圧印加時に熱をもち、焼けを起こし、遂
には電極の断線という事態にしばしば陥る。
【０００４】本発明はこのような課題を解決するもの
で、信頼性を飛躍的に改善する薄膜ＥＬパネルを提供す
ることを目的とするものである。
で、信頼性を飛躍的に改善する薄膜ＥＬパネルを提供す
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、電気絶縁性透明基板上に透明電極を形成
し、前記透明電極を覆う第一誘電体層、発光体層、第二
誘電体層を順次積層して成膜し、前記第二誘電体層の周
辺部に外部導出電極を形成し、前記第二誘電体層と前記
外部導出電極を覆う背面電極を形成したものであって、
前記第一誘電体層、発光体層および第二誘電体層の成膜
領域周囲を前記基板表面に対してテーパー状に形成し、
前記テーパー部分に形成した前記外部導出電極と前記背
面電極とを接続したものである。
に本発明は、電気絶縁性透明基板上に透明電極を形成
し、前記透明電極を覆う第一誘電体層、発光体層、第二
誘電体層を順次積層して成膜し、前記第二誘電体層の周
辺部に外部導出電極を形成し、前記第二誘電体層と前記
外部導出電極を覆う背面電極を形成したものであって、
前記第一誘電体層、発光体層および第二誘電体層の成膜
領域周囲を前記基板表面に対してテーパー状に形成し、
前記テーパー部分に形成した前記外部導出電極と前記背
面電極とを接続したものである。
【０００６】
【作用】この構成によれば、外部導出電極と背面電極の
接続を、外部導出電極の成膜領域周囲のテーパー部分を
利用して行なうので、エッジ部分の無い接続ができる。
その結果、接続部分での発熱がなく、接続部分の昇温に
起因する焼けが発生しないので、薄膜ＥＬパネルの信頼
性が向上することとなる。
接続を、外部導出電極の成膜領域周囲のテーパー部分を
利用して行なうので、エッジ部分の無い接続ができる。
その結果、接続部分での発熱がなく、接続部分の昇温に
起因する焼けが発生しないので、薄膜ＥＬパネルの信頼
性が向上することとなる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の一実施例の薄膜ＥＬパネルを
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【０００８】図１（ａ），（ｂ）〜図４（ａ），（ｂ）
に本実施例の薄膜ＥＬパネルの製造工程を示す。
に本実施例の薄膜ＥＬパネルの製造工程を示す。
【０００９】まず、図１（ａ），（ｂ）に示すように、
ガラス基板１上にスパッタリング法により基板温度４５
０℃で厚さ６００ｎｍのＩＴＯ透明導電膜を形成した
後、所定のマスクを用いてフォトリソグラフィーとエッ
チングによりＩＴＯ電極２をストライプ状に加工した。
つぎにその上に第一誘電体層としてアルミナ膜（Ａｌ2
Ｏ3）３を基板温度２００℃でスパッタリング法によ
り、厚さ３００ｎｍに形成した。つぎにその上に共蒸着
法により、基板温度２００℃で厚さ５００ｎｍのマンガ
ン添加硫化亜鉛膜からなるＥＬ蛍光体層４を形成した。
つぎに第二誘電体層としてタンタル酸バリウム（ＢａＴ
ａ2Ｏ6）薄膜を、基板温度１５０℃でスパッタリング法
により厚さ２００ｎｍの第二誘電体層５を形成した。つ
ぎにＥＬ発光層の熱処理活性化を微量の酸素を含む窒素
雰囲気で５５０℃１時間行なう。つぎに図２（ａ），
（ｂ）に示すように外部導出電極６としてクロムを厚さ
５０ｎｍに、ニッケルを厚さ２５０ｎｍに、メタルマス
クを用いてそれぞれ蒸着する。つぎに図３（ａ），
（ｂ）に示すようにフォトリソグラフ法とエッチングに
より外部導出電極６を形成する。つぎに図４（ａ），
（ｂ）に示すように背面電極７としてアルミニウムを所
定の領域に厚さ２５０ｎｍに蒸着し、フォトリソグラフ
ィーによりパターン形成後弱アルカリ溶液でエッチング
する。以上のプロセスで本実施例の薄膜ＥＬパネルを完
成した。
ガラス基板１上にスパッタリング法により基板温度４５
０℃で厚さ６００ｎｍのＩＴＯ透明導電膜を形成した
後、所定のマスクを用いてフォトリソグラフィーとエッ
チングによりＩＴＯ電極２をストライプ状に加工した。
つぎにその上に第一誘電体層としてアルミナ膜（Ａｌ2
Ｏ3）３を基板温度２００℃でスパッタリング法によ
り、厚さ３００ｎｍに形成した。つぎにその上に共蒸着
法により、基板温度２００℃で厚さ５００ｎｍのマンガ
ン添加硫化亜鉛膜からなるＥＬ蛍光体層４を形成した。
つぎに第二誘電体層としてタンタル酸バリウム（ＢａＴ
ａ2Ｏ6）薄膜を、基板温度１５０℃でスパッタリング法
により厚さ２００ｎｍの第二誘電体層５を形成した。つ
ぎにＥＬ発光層の熱処理活性化を微量の酸素を含む窒素
雰囲気で５５０℃１時間行なう。つぎに図２（ａ），
（ｂ）に示すように外部導出電極６としてクロムを厚さ
５０ｎｍに、ニッケルを厚さ２５０ｎｍに、メタルマス
クを用いてそれぞれ蒸着する。つぎに図３（ａ），
（ｂ）に示すようにフォトリソグラフ法とエッチングに
より外部導出電極６を形成する。つぎに図４（ａ），
（ｂ）に示すように背面電極７としてアルミニウムを所
定の領域に厚さ２５０ｎｍに蒸着し、フォトリソグラフ
ィーによりパターン形成後弱アルカリ溶液でエッチング
する。以上のプロセスで本実施例の薄膜ＥＬパネルを完
成した。
【００１０】なお、外部導出電極６の成膜を行なうとき
に用いるマスクは薄い金属板をエッチングしたものを用
いたものでも良いし、成膜治具として窓を機械的に開け
たものでも良い。また外部導出電極のフォトレジストパ
ターンはその成膜範囲を越えたところまで行ない、成膜
領域周囲がパターンの中に含まれているようにするのが
望ましい。
に用いるマスクは薄い金属板をエッチングしたものを用
いたものでも良いし、成膜治具として窓を機械的に開け
たものでも良い。また外部導出電極のフォトレジストパ
ターンはその成膜範囲を越えたところまで行ない、成膜
領域周囲がパターンの中に含まれているようにするのが
望ましい。
【００１１】このようにＥＬパネルを作製することによ
り、成膜領域の周辺部はガラス面や下地面に対してテー
パー状になっており、このテーパー部分で背面電極と接
続することにより、抵抗の低い接続が可能となり、接続
部分の信頼性が向上する。
り、成膜領域の周辺部はガラス面や下地面に対してテー
パー状になっており、このテーパー部分で背面電極と接
続することにより、抵抗の低い接続が可能となり、接続
部分の信頼性が向上する。
【００１２】
【発明の効果】以上の実施例の説明から明らかなように
成膜領域周囲部分は、ガラス面あるいは成膜下地面に対
してテーパー状態になっており、この部分を背面電極と
の接続部分として使用するとエッジの立った部分がない
ことから確実な接続を行なうことができ、電圧を加えた
ときに発生する接続部分での発熱による電極焼けが発生
しなくなる。そのためパネル製造時の歩留が向上し、パ
ネルの信頼性を飛躍的に向上させることができる。
成膜領域周囲部分は、ガラス面あるいは成膜下地面に対
してテーパー状態になっており、この部分を背面電極と
の接続部分として使用するとエッジの立った部分がない
ことから確実な接続を行なうことができ、電圧を加えた
ときに発生する接続部分での発熱による電極焼けが発生
しなくなる。そのためパネル製造時の歩留が向上し、パ
ネルの信頼性を飛躍的に向上させることができる。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例の薄膜ＥＬパネルの
誘電体層作製工程を示す平面図 （ｂ）は同断面図
誘電体層作製工程を示す平面図 （ｂ）は同断面図
【図２】（ａ）は同薄膜ＥＬパネルの外部導出電極蒸着
工程を示す平面図 （ｂ）は同断面図
工程を示す平面図 （ｂ）は同断面図
【図３】（ａ）は同薄膜ＥＬパネルの外部導出電極作製
工程を示す平面図 （ｂ）は同断面図
工程を示す平面図 （ｂ）は同断面図
【図４】（ａ）は同薄膜ＥＬパネルの背面電極作製工程
を示す平面図 （ｂ）は同断面図
を示す平面図 （ｂ）は同断面図
【図５】従来の薄膜ＥＬパネルの要部拡大断面図
１ ガラス基板 ２ ＩＴＯ電極 ３ 第一誘電体層 ４ 発光体層 ５ 第二誘電体層 ６ 外部導出電極 ７ 背面電極
Claims (1)
- 【請求項１】電気絶縁性透明基板上に透明電極を形成
し、前記透明電極を覆う第一誘電体層、発光体層、第二
誘電体層を順次積層し、前記第二誘電体層の周辺部に外
部導出電極を形成し、前記第二誘電体層と前記外部導出
電極を覆う背面電極を有し、前記第一誘電体層、発光体
層および第二誘電体層の成膜領域周囲を前記基板表面に
対してテーパー状に形成し、前記テーパー部分に形成し
た前記外部導出電極と前記背面電極とを接続した薄膜Ｅ
Ｌパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4010708A JPH05205874A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 薄膜ｅｌパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4010708A JPH05205874A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 薄膜ｅｌパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05205874A true JPH05205874A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=11757808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4010708A Pending JPH05205874A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 薄膜ｅｌパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05205874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100683468B1 (ko) * | 2003-08-29 | 2007-02-20 | 가부시키가이샤 도요다 지도숏키 | 유기 전계 발광 소자 |
-
1992
- 1992-01-24 JP JP4010708A patent/JPH05205874A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100683468B1 (ko) * | 2003-08-29 | 2007-02-20 | 가부시키가이샤 도요다 지도숏키 | 유기 전계 발광 소자 |
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