JPH05208811A - フッ化マグネシウムオルガノゾル溶液の製造方法とこの溶液による膜の形成方法 - Google Patents
フッ化マグネシウムオルガノゾル溶液の製造方法とこの溶液による膜の形成方法Info
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Colloid Chemistry (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】本発明は、有機溶媒に溶解した塩化マグネシウ
ム溶液と、同様に有機溶媒に溶解したフッ化水素溶液を
混合、解砕することによるMgF2オルガノゾルの製造
方法とそれを透明ガラス基板に塗布、焼成することによ
る低反射ガラスの製造方法である。 【効果】本発明によるMgF2オルガノゾルはきわめて
容易に製造できることから、低コストで可視光に対する
低反射率を有するガラスを提供できる。
ム溶液と、同様に有機溶媒に溶解したフッ化水素溶液を
混合、解砕することによるMgF2オルガノゾルの製造
方法とそれを透明ガラス基板に塗布、焼成することによ
る低反射ガラスの製造方法である。 【効果】本発明によるMgF2オルガノゾルはきわめて
容易に製造できることから、低コストで可視光に対する
低反射率を有するガラスを提供できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ショウウィンドウ、ブ
ラウン管などに使用される低反射ガラスの製造方法に関
する。
ラウン管などに使用される低反射ガラスの製造方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】ガラス表面の反射は光学機器の性能を低
下させる要因として、またブラウン管を初めとするディ
スプレイ装置における視認性を悪化させる要因として、
さらにはショウウィンドウなどの美観を損ずる要因とし
て古くよりその低減が図られてきた。
下させる要因として、またブラウン管を初めとするディ
スプレイ装置における視認性を悪化させる要因として、
さらにはショウウィンドウなどの美観を損ずる要因とし
て古くよりその低減が図られてきた。
【0003】基体の可視光の透過率を増大させるには、
表面に基体よりも低屈折率の物質の低反射膜を設けるこ
とや、低屈折率の物質と高屈折率の物質を交互に積層す
ることにより達成されることは理論的に解明されてい
る。
表面に基体よりも低屈折率の物質の低反射膜を設けるこ
とや、低屈折率の物質と高屈折率の物質を交互に積層す
ることにより達成されることは理論的に解明されてい
る。
【0004】光学素子の場合、安定な低屈折率の物質で
あるMgF2を真空蒸着で被覆する方法が広く行われて
いるが、建築用の板ガラスの様な大面積の基体の場合、
真空を用いることから装置および製造のコストにおいて
不利であり、実用上適用しがたいという問題点があっ
た。
あるMgF2を真空蒸着で被覆する方法が広く行われて
いるが、建築用の板ガラスの様な大面積の基体の場合、
真空を用いることから装置および製造のコストにおいて
不利であり、実用上適用しがたいという問題点があっ
た。
【0005】上述の問題点を回避する目的で、真空を用
いないでMgF2膜を形成する方法が提案されている。
特開平2−26824号公報には、水性フッ化マグネシ
ウムゾルを有機置換したオルガノフッ化マグネシウムゾ
ルを基体に塗布乾燥してなる被膜形成体が開示されてい
る。また、特開平2−225315号公報には、MgC
l2およびBF3 錯塩を含む液体を基体上に塗布、加熱
してMgF2膜を製造する方法、特開平2−27820
1号公報には、MgCl2とNH4F等のフッ化物を含む
MgF2溶液から得たMgF2結晶を溶解させた溶液を基
体上に塗布、加熱してMgF2膜を製造する方法が開示
されている。
いないでMgF2膜を形成する方法が提案されている。
特開平2−26824号公報には、水性フッ化マグネシ
ウムゾルを有機置換したオルガノフッ化マグネシウムゾ
ルを基体に塗布乾燥してなる被膜形成体が開示されてい
る。また、特開平2−225315号公報には、MgC
l2およびBF3 錯塩を含む液体を基体上に塗布、加熱
してMgF2膜を製造する方法、特開平2−27820
1号公報には、MgCl2とNH4F等のフッ化物を含む
MgF2溶液から得たMgF2結晶を溶解させた溶液を基
体上に塗布、加熱してMgF2膜を製造する方法が開示
されている。
【0006】マグネシウムの塩とフッ素を含有する塩と
を液相中で反応させてMgF2を生成させた場合、残余
のイオンは膜形成後も膜中に残存し、特に金属イオンの
場合には膜の白濁化を招くことが多い。この様な不都合
を回避するために、特開平2−26824号公報に記載
される水性フッ化マグネシウムゾルを有機置換してオル
ガノフッ化マグネシウムゾルを得る方法は、良好なオル
ガノゾルを提供しうるとはいえ、多量の有機溶媒を必要
とし工業的な製造方法とはいえない。また特開平2−2
25315号公報に記載の方法では膜中に硼素を含有す
るため、屈折率が若干高くなる傾向にあり、一方、特開
平2−278201号公報の方法は、一旦MgF2の結
晶を析出し、洗浄により有害イオンを除去するなど複雑
な工程を必要としている。
を液相中で反応させてMgF2を生成させた場合、残余
のイオンは膜形成後も膜中に残存し、特に金属イオンの
場合には膜の白濁化を招くことが多い。この様な不都合
を回避するために、特開平2−26824号公報に記載
される水性フッ化マグネシウムゾルを有機置換してオル
ガノフッ化マグネシウムゾルを得る方法は、良好なオル
ガノゾルを提供しうるとはいえ、多量の有機溶媒を必要
とし工業的な製造方法とはいえない。また特開平2−2
25315号公報に記載の方法では膜中に硼素を含有す
るため、屈折率が若干高くなる傾向にあり、一方、特開
平2−278201号公報の方法は、一旦MgF2の結
晶を析出し、洗浄により有害イオンを除去するなど複雑
な工程を必要としている。
【0007】
【発明の解決しようとする課題】本発明の目的は従来の
技術の有する上述の問題点を解決し、簡便な方法により
優れた低反射特性を有するMgF2膜を形成する方法を
提供することである。
技術の有する上述の問題点を解決し、簡便な方法により
優れた低反射特性を有するMgF2膜を形成する方法を
提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、MgX
2(X:Cl,BrまたはI)を有機溶媒に溶解した溶
液と、フッ化水素溶液を混合することによるMgF2オ
ルガノゾル溶液の製造方法およびこの溶液を例えばガラ
ス上に塗布、焼成することを特徴とする低反射ガラスの
製造方法である。
2(X:Cl,BrまたはI)を有機溶媒に溶解した溶
液と、フッ化水素溶液を混合することによるMgF2オ
ルガノゾル溶液の製造方法およびこの溶液を例えばガラ
ス上に塗布、焼成することを特徴とする低反射ガラスの
製造方法である。
【0009】さらに詳しくは、MgX2(X:Cl,B
rまたはI)の無水塩を有機溶媒に溶解した無水のハロ
ゲン化マグネシウム溶液と、高濃度のフッ化水素水溶液
もしくは無水フッ化水素を有機溶媒に溶解したフッ化水
素溶液とを混合し、その際生成するゲルを速やかに解砕
することにより実質的に水分を含有しないMgF2のオ
ルガノゾルを形成し、さらに精製することなくこのオル
ガノゾルをガラスの上に塗布、焼成することを特徴とす
る少なくとも1層がMgF2の結晶またはアモルファス
相よりなる低反射ガラスの製造方法である。
rまたはI)の無水塩を有機溶媒に溶解した無水のハロ
ゲン化マグネシウム溶液と、高濃度のフッ化水素水溶液
もしくは無水フッ化水素を有機溶媒に溶解したフッ化水
素溶液とを混合し、その際生成するゲルを速やかに解砕
することにより実質的に水分を含有しないMgF2のオ
ルガノゾルを形成し、さらに精製することなくこのオル
ガノゾルをガラスの上に塗布、焼成することを特徴とす
る少なくとも1層がMgF2の結晶またはアモルファス
相よりなる低反射ガラスの製造方法である。
【0010】本発明において使用するMgF2の出発物
質であるMgX2は具体的にはMgCl2、MgBr2、
MgI2の無水塩であるが、MgCl2が最も適してい
る。フッ化水素の溶液は、水溶液の場合フッ化水素の濃
度は充分に高いことが好ましく、具体的には30重量%
以上が好ましく、45重量%以上であることがより好ま
しい。一方、本発明の他の実施態様である有機溶媒に溶
解したフッ化水素溶液を使用する場合には、その濃度は
特に限定する必要はないが、実用上0.5〜10モル/
lが好ましく、1〜5モル/lがより好ましい。有機溶
媒にフッ化水素を溶解させる場合、フッ化水素は無水フ
ッ化水素を用いることもできるが、充分に濃度の高い、
例えば、通常工業的に流通している50〜55重量%フ
ッ化水素酸を使用することも可能である。
質であるMgX2は具体的にはMgCl2、MgBr2、
MgI2の無水塩であるが、MgCl2が最も適してい
る。フッ化水素の溶液は、水溶液の場合フッ化水素の濃
度は充分に高いことが好ましく、具体的には30重量%
以上が好ましく、45重量%以上であることがより好ま
しい。一方、本発明の他の実施態様である有機溶媒に溶
解したフッ化水素溶液を使用する場合には、その濃度は
特に限定する必要はないが、実用上0.5〜10モル/
lが好ましく、1〜5モル/lがより好ましい。有機溶
媒にフッ化水素を溶解させる場合、フッ化水素は無水フ
ッ化水素を用いることもできるが、充分に濃度の高い、
例えば、通常工業的に流通している50〜55重量%フ
ッ化水素酸を使用することも可能である。
【0011】MgX2の濃度は、0.05〜3モル/l
が好ましく、0.1〜2モル/lがより好ましい。Mg
X2の濃度は高く設定する程反応器の容量を小さくでき
る利点を有するが、MgX2の濃度は使用する有機溶媒
への溶解度に依存し、例えばエタノールを溶媒とする場
合最大の濃度は1モル/l程度であり、エチレングリコ
ールモノエチルエーテルを添加することにより溶解度を
1.5モル/l以上に高めることも可能である。高濃度
のMgX2溶液とフッ化水素溶液を混合した直後には、
発熱が大きく反応試剤が局部的にゲル化する現象が見ら
れるが、実際上、3モル/lまでの濃度では目的とする
均一透明なMgF2オルガノゾルの作成には問題はな
い。
が好ましく、0.1〜2モル/lがより好ましい。Mg
X2の濃度は高く設定する程反応器の容量を小さくでき
る利点を有するが、MgX2の濃度は使用する有機溶媒
への溶解度に依存し、例えばエタノールを溶媒とする場
合最大の濃度は1モル/l程度であり、エチレングリコ
ールモノエチルエーテルを添加することにより溶解度を
1.5モル/l以上に高めることも可能である。高濃度
のMgX2溶液とフッ化水素溶液を混合した直後には、
発熱が大きく反応試剤が局部的にゲル化する現象が見ら
れるが、実際上、3モル/lまでの濃度では目的とする
均一透明なMgF2オルガノゾルの作成には問題はな
い。
【0012】一方、MgX2が低濃度の場合、大型の反
応容器が必要な点を除けばMgF2オルガノゾルを生成
させることに関しては問題はないが、フッ化水素溶液と
混合して生成させたMgF2オルガノゾル溶液の濃度が
低く、そのまま製膜用に供しても充分な厚さの低反射膜
を得ることができず、濃縮工程を要するという不都合が
生じる。したがって、本発明においては、MgX2の濃
度は0,05モル/l以上であることが実用上好まし
い。
応容器が必要な点を除けばMgF2オルガノゾルを生成
させることに関しては問題はないが、フッ化水素溶液と
混合して生成させたMgF2オルガノゾル溶液の濃度が
低く、そのまま製膜用に供しても充分な厚さの低反射膜
を得ることができず、濃縮工程を要するという不都合が
生じる。したがって、本発明においては、MgX2の濃
度は0,05モル/l以上であることが実用上好まし
い。
【0013】本発明においては原料物質であるフッ化水
素/MgX2のモル比は2.0であることが好ましい
が、2.0〜4.0においても支障無くMgF2オルガ
ノゾルを製造でき、さらに濃度調整以外の特別の処理を
施すことなくガラス上に低反射膜を形成することができ
る。過剰のフッ化水素が基板のガラスを腐食することが
予想されるが、実際上接触時間が短くほとんど問題にな
らないが、浸漬槽を初め装置の腐食を避ける為には過剰
のフッ化水素は好ましくない。また、モル比が2.0よ
りも小さい場合には、そのオルガノゾルから形成した膜
が白濁するという問題点が生じるので、避けなければな
らない。
素/MgX2のモル比は2.0であることが好ましい
が、2.0〜4.0においても支障無くMgF2オルガ
ノゾルを製造でき、さらに濃度調整以外の特別の処理を
施すことなくガラス上に低反射膜を形成することができ
る。過剰のフッ化水素が基板のガラスを腐食することが
予想されるが、実際上接触時間が短くほとんど問題にな
らないが、浸漬槽を初め装置の腐食を避ける為には過剰
のフッ化水素は好ましくない。また、モル比が2.0よ
りも小さい場合には、そのオルガノゾルから形成した膜
が白濁するという問題点が生じるので、避けなければな
らない。
【0014】MgX2またはフッ化水素の溶媒として
は、両物質および生成物質を溶解する必要があることか
ら、アルコール類、エーテル類、エステル類、ケトン類
などが用いられるが、溶液中での各物質の安定性、およ
び製膜した場合の膜の均一性、可視光透過性、基板ガラ
スへの膜の付着性の点からアルコール類または多価アル
コールのエーテル類を使用するのが最も優れ、メタノー
ル、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピ
ルアルコール、n−ブチルアルコール、イソブチルアル
コール、第二ブチルアルコール、第三ブチルアルコー
ル、イソアミルアルコール、エチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコール
モノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテートなどが使用でき、メタノー
ル、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピ
ルアルコール、n−ブチルアルコール、エチレングリコ
ールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチ
ルエーテルなどが特に好ましい。また、製膜方法に応じ
て、液の粘度を調節する目的で、ポリビニルアルコー
ル、カルボキシメチルセルロースなどの粘度調節剤の添
加も可能である。
は、両物質および生成物質を溶解する必要があることか
ら、アルコール類、エーテル類、エステル類、ケトン類
などが用いられるが、溶液中での各物質の安定性、およ
び製膜した場合の膜の均一性、可視光透過性、基板ガラ
スへの膜の付着性の点からアルコール類または多価アル
コールのエーテル類を使用するのが最も優れ、メタノー
ル、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピ
ルアルコール、n−ブチルアルコール、イソブチルアル
コール、第二ブチルアルコール、第三ブチルアルコー
ル、イソアミルアルコール、エチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコール
モノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテートなどが使用でき、メタノー
ル、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピ
ルアルコール、n−ブチルアルコール、エチレングリコ
ールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチ
ルエーテルなどが特に好ましい。また、製膜方法に応じ
て、液の粘度を調節する目的で、ポリビニルアルコー
ル、カルボキシメチルセルロースなどの粘度調節剤の添
加も可能である。
【0015】MgF2オルガノゾルの製膜に使用する溶
液の濃度は、製膜方法により異なるのは当然であるが、
例えば浸漬法の場合、0.1〜2モル/lが適当であり
0.3〜0.8モル/lがより好ましい。0.1モル/
l以下の濃度では1回の浸漬では充分な膜厚を得ること
はできず、2モル/l以上では均一な膜厚となり難く、
白濁やクラックを伴うことが多い。
液の濃度は、製膜方法により異なるのは当然であるが、
例えば浸漬法の場合、0.1〜2モル/lが適当であり
0.3〜0.8モル/lがより好ましい。0.1モル/
l以下の濃度では1回の浸漬では充分な膜厚を得ること
はできず、2モル/l以上では均一な膜厚となり難く、
白濁やクラックを伴うことが多い。
【0016】解砕して調整したオルガノゾル溶液は、フ
ィルターにより濾過することは膜の均一性を保つために
有効であり、四フッ化エチレン樹脂製の0.1〜10μ
mの孔径を有するメンブレンフィルターなどが好適であ
る。
ィルターにより濾過することは膜の均一性を保つために
有効であり、四フッ化エチレン樹脂製の0.1〜10μ
mの孔径を有するメンブレンフィルターなどが好適であ
る。
【0017】本発明で得られるMgF2のオルガノゾル
は、それ自身、充分にガラス表面との濡れ性を有する
が、必要な場合には、界面活性剤の添加が有効である。
基板へのMgF2オルガノゾルの塗布方法は、スピンコ
ート法、スプレー法、ロールコート法、浸漬法、印刷法
などの方法が考えられるが、浸漬法は良質の膜が得られ
るので好ましい製膜方法である。MgF2オルガノゾル
を塗布した基板は室温から120℃、好ましくは50〜
100℃において乾燥させたのち、基板の材質に応じた
温度で焼成する。焼成温度は、ガラス基板の場合で、4
50〜550℃が膜の強度の点で好ましい。
は、それ自身、充分にガラス表面との濡れ性を有する
が、必要な場合には、界面活性剤の添加が有効である。
基板へのMgF2オルガノゾルの塗布方法は、スピンコ
ート法、スプレー法、ロールコート法、浸漬法、印刷法
などの方法が考えられるが、浸漬法は良質の膜が得られ
るので好ましい製膜方法である。MgF2オルガノゾル
を塗布した基板は室温から120℃、好ましくは50〜
100℃において乾燥させたのち、基板の材質に応じた
温度で焼成する。焼成温度は、ガラス基板の場合で、4
50〜550℃が膜の強度の点で好ましい。
【0018】本発明の方法でMgF2膜を形成される基
板の材質は、一般的に使用されているソーダライムガラ
スに限る必要はなく、アルミノシリケートガラス、硼珪
酸ガラス、リチウムシリケートガラス、石英ガラスなど
をはじめ所謂光学ガラス、光学結晶、さらにはポリイミ
ド樹脂などの透明耐熱性樹脂などから選ぶことができ
る。
板の材質は、一般的に使用されているソーダライムガラ
スに限る必要はなく、アルミノシリケートガラス、硼珪
酸ガラス、リチウムシリケートガラス、石英ガラスなど
をはじめ所謂光学ガラス、光学結晶、さらにはポリイミ
ド樹脂などの透明耐熱性樹脂などから選ぶことができ
る。
【0019】又、本発明のMgF2膜は、基材に低反射
特性のみを有する機能性を付与するのみではなく他の機
能性をも同時に与える目的にも適用できる。例えば、ブ
ラウン管、平面ディスプレイの表面ガラス、タッチパネ
ルなどに使用される透明導電膜を有するガラスはまた低
反射特性を有することが要望されているが、この様な用
途、すなわち、透明導電性を有しかつ低反射特性を有す
るガラスを製造する目的の低反射機能を持たせることも
本発明の好ましい実施態様である。また低反射特性を発
現させる方法としては、MgF2膜を単層で用いること
は勿論、多層膜としてその低屈折率層、特に最外層に用
いることは好ましい実施態様である。
特性のみを有する機能性を付与するのみではなく他の機
能性をも同時に与える目的にも適用できる。例えば、ブ
ラウン管、平面ディスプレイの表面ガラス、タッチパネ
ルなどに使用される透明導電膜を有するガラスはまた低
反射特性を有することが要望されているが、この様な用
途、すなわち、透明導電性を有しかつ低反射特性を有す
るガラスを製造する目的の低反射機能を持たせることも
本発明の好ましい実施態様である。また低反射特性を発
現させる方法としては、MgF2膜を単層で用いること
は勿論、多層膜としてその低屈折率層、特に最外層に用
いることは好ましい実施態様である。
【0020】
【実施例】実施例1 MgCl2無水塩23.8g(0.25モル)をグロー
ブボックス中で無水アルコール250ccに溶解し、M
gCl2溶液を得た。これに50重量%フッ化水素水溶
液をエタノールに希釈して調整した2.5モル/lのフ
ッ化水素エタノール溶液200ccを添加するとおだや
かな発熱とともに混合溶液はゲル化し流動性がなくなっ
た。直ちにこのゲルを激しい攪拌により解砕し、無色透
明なMgF2のオルガノゾル溶液を得た。これをエタノ
ールで希釈しMgF20.5モル/lの供試液とした。
ブボックス中で無水アルコール250ccに溶解し、M
gCl2溶液を得た。これに50重量%フッ化水素水溶
液をエタノールに希釈して調整した2.5モル/lのフ
ッ化水素エタノール溶液200ccを添加するとおだや
かな発熱とともに混合溶液はゲル化し流動性がなくなっ
た。直ちにこのゲルを激しい攪拌により解砕し、無色透
明なMgF2のオルガノゾル溶液を得た。これをエタノ
ールで希釈しMgF20.5モル/lの供試液とした。
【0021】100mmX100mmX2mmのソーダ
ライムガラスを基板とし、この基板を供試液に一旦浸
し、直ちに4mm/秒で引き上げて、MgF2ゾルを塗
布した。この基板を100℃の温風乾燥器で10分間乾
燥させた。さらにこの基板を電気焼成炉に入れ、5℃/
分の昇温速度で、520℃まで上げ、そのまま30分保
持し取り出した後徐冷した。
ライムガラスを基板とし、この基板を供試液に一旦浸
し、直ちに4mm/秒で引き上げて、MgF2ゾルを塗
布した。この基板を100℃の温風乾燥器で10分間乾
燥させた。さらにこの基板を電気焼成炉に入れ、5℃/
分の昇温速度で、520℃まで上げ、そのまま30分保
持し取り出した後徐冷した。
【0022】得られたMgF2膜を溝尻光学(株)製エ
リプソメーターにより膜厚と屈折率を測定したところ、
膜厚は全面にわたり均一で140nmを示し、633n
mにおける屈折率は1.25であった。また、外観は白
濁、クラックなどは見られず無色透明であった。また日
立製作所製U−4000自記分光光度計で測定した反射
率スペクトルを図1に示す。これからJISR3106
に従って可視光反射率を求めると0.1%と未処理の約
8%と比較して顕著な低反射特性を示した。
リプソメーターにより膜厚と屈折率を測定したところ、
膜厚は全面にわたり均一で140nmを示し、633n
mにおける屈折率は1.25であった。また、外観は白
濁、クラックなどは見られず無色透明であった。また日
立製作所製U−4000自記分光光度計で測定した反射
率スペクトルを図1に示す。これからJISR3106
に従って可視光反射率を求めると0.1%と未処理の約
8%と比較して顕著な低反射特性を示した。
【0023】実施例2,3 実施例2および実施例3では、実施例1で作成したMg
F2オルガノゾルの溶液の希釈度を調整して、それぞれ
0.5モル/l、0.125モル/lとして、実施例1
と同様の被膜形成を行い、生成した膜の測定を実施し
た。結果を表1に示す。
F2オルガノゾルの溶液の希釈度を調整して、それぞれ
0.5モル/l、0.125モル/lとして、実施例1
と同様の被膜形成を行い、生成した膜の測定を実施し
た。結果を表1に示す。
【0024】
【表1】
【0025】実施例4〜10 表1に示す条件においてMgF2オルガノゾルを調整
し、いずれも0.25モル/lの溶液とした上で、実施
例1と同様の被膜形成を行い、生成した膜の測定を実施
した。結果を表1に示す。
し、いずれも0.25モル/lの溶液とした上で、実施
例1と同様の被膜形成を行い、生成した膜の測定を実施
した。結果を表1に示す。
【0026】比較例1 フッ化水素溶液を、外部を氷浴で冷却しながら無水エタ
ノールに無水フッ化水素ガスを導入し調整したほかは、
実施例1と同様にMgF2オルガノゾルの作成、被膜形
成を行い、得られた膜の測定を実施した。結果を表1に
示す。
ノールに無水フッ化水素ガスを導入し調整したほかは、
実施例1と同様にMgF2オルガノゾルの作成、被膜形
成を行い、得られた膜の測定を実施した。結果を表1に
示す。
【0027】比較例2 MgCl2溶液およびフッ化水素溶液をいずれも水溶液
として、MgF2ゾルの調整を行った。水溶液系におい
ても解砕を施した後はゾル溶液は均一透明となった。こ
の溶液を実施例1と同様に0.25モル/lの水溶液と
し、ガラス基板に浸漬法で被膜を形成したところ、被膜
は全面に縞状の不均一性を示しかつ白濁していた。
として、MgF2ゾルの調整を行った。水溶液系におい
ても解砕を施した後はゾル溶液は均一透明となった。こ
の溶液を実施例1と同様に0.25モル/lの水溶液と
し、ガラス基板に浸漬法で被膜を形成したところ、被膜
は全面に縞状の不均一性を示しかつ白濁していた。
【0028】比較例3 膜を形成していないソーダライムガラスの反射率を測定
した。結果を表1に示す。
した。結果を表1に示す。
【0029】
【発明の効果】実施例に示すように、簡単な操作により
調整できるMgF2オルガノゾルを用いて、基体の上に
透明、均一な低反射膜を形成することができ、また、こ
の低反射膜を板ガラスに形成することにより、大面積の
低反射ガラスを製造することができる。
調整できるMgF2オルガノゾルを用いて、基体の上に
透明、均一な低反射膜を形成することができ、また、こ
の低反射膜を板ガラスに形成することにより、大面積の
低反射ガラスを製造することができる。
【図1】図は実施例1で得られた試料の反射スペクトル
である。
である。
Claims (6)
- 【請求項1】 MgX2(X:Cl,BrまたはI)を
有機溶媒に溶解してなる溶液と、フッ化水素を含有する
有機溶媒よりなる溶液とを混合し、得られたゲルを解砕
することによるMgF2オルガノゾル溶液の製造方法。 - 【請求項2】 水の含有量が10wt%以下である請求
項1記載のMgF2オルガノゾル溶液の製造方法。 - 【請求項3】 フッ化水素溶液がフッ化水素を有機溶媒
に溶解させた溶液である請求項1の製造方法。 - 【請求項4】 請求項1記載の方法により製造したMg
F2オルガノゾル溶液を基体上に塗布、焼成して形成さ
れるMgF2膜の形成方法。 - 【請求項5】 請求項1記載の方法により製造したMg
F2オルガノゾル溶液を基体上に塗布、焼成して形成さ
れるMgF2膜を少なくとも1層有することを特徴とす
る単層または多層からなる膜の形成方法。 - 【請求項6】 基体が板ガラスである請求項4または請
求項5記載の膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4014308A JPH05208811A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | フッ化マグネシウムオルガノゾル溶液の製造方法とこの溶液による膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4014308A JPH05208811A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | フッ化マグネシウムオルガノゾル溶液の製造方法とこの溶液による膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05208811A true JPH05208811A (ja) | 1993-08-20 |
Family
ID=11857476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4014308A Pending JPH05208811A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | フッ化マグネシウムオルガノゾル溶液の製造方法とこの溶液による膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05208811A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002018982A1 (en) * | 2000-08-30 | 2002-03-07 | Nikon Corporation | Method of forming optical thin film and optical element provided with optical thin film |
| JP2006160585A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | フッ化マグネシウム粒子のオルガノゾルとその製造方法、およびそれを用いた塗料 |
| WO2006109618A1 (ja) | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Adeka Corporation | シアニン化合物、光学フィルター及び光学記録材料 |
| JP2007161509A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Stella Chemifa Corp | フッ化物微粒子の分散液及びその製造方法 |
| WO2007129503A1 (ja) | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Adeka Corporation | 新規化合物、該化合物を用いた光学フィルター及び光学記録材料 |
| WO2008072537A1 (ja) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Adeka Corporation | 光学フィルター |
| WO2008123404A1 (ja) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Adeka Corporation | シアニン化合物、該化合物を用いた光学フィルター及び光学記録材料 |
| WO2009107665A1 (ja) | 2008-02-25 | 2009-09-03 | セントラル硝子株式会社 | 水酸化フッ化マグネシウム含有オルガノゾルおよびその製造方法 |
| WO2009145057A1 (ja) | 2008-05-27 | 2009-12-03 | 株式会社Adeka | 色補正材料、フィルム形成用組成物及び光学フィルター |
| WO2010073857A1 (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | 株式会社Adeka | シアニン化合物を用いた近赤外線吸収材料及びシアニン化合物 |
| JP2011028185A (ja) * | 2008-08-04 | 2011-02-10 | Central Glass Co Ltd | 親水性低反射部材 |
| JP2011048356A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-03-10 | Canon Inc | 光学膜の製造方法、光学膜および光学部品 |
| JP2011046595A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-03-10 | Canon Inc | フッ化マグネシウム膜の製造方法、反射防止膜および光学素子 |
| WO2011086785A1 (ja) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | 株式会社Adeka | 色調補正剤、スクアリリウム化合物及び光学フィルター |
-
1992
- 1992-01-29 JP JP4014308A patent/JPH05208811A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4457557B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2010-04-28 | 株式会社ニコン | 光学薄膜の形成方法及び光学薄膜を備えた光学素子 |
| US6870602B2 (en) | 2000-08-30 | 2005-03-22 | Nikon Corporation | Method for forming optical thin film and optical element provided with optical thin film |
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| WO2006109618A1 (ja) | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Adeka Corporation | シアニン化合物、光学フィルター及び光学記録材料 |
| JP2007161509A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Stella Chemifa Corp | フッ化物微粒子の分散液及びその製造方法 |
| WO2007129503A1 (ja) | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Adeka Corporation | 新規化合物、該化合物を用いた光学フィルター及び光学記録材料 |
| WO2008072537A1 (ja) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Adeka Corporation | 光学フィルター |
| WO2008123404A1 (ja) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Adeka Corporation | シアニン化合物、該化合物を用いた光学フィルター及び光学記録材料 |
| WO2009107665A1 (ja) | 2008-02-25 | 2009-09-03 | セントラル硝子株式会社 | 水酸化フッ化マグネシウム含有オルガノゾルおよびその製造方法 |
| EP2253590A4 (en) * | 2008-02-25 | 2011-08-10 | Central Glass Co Ltd | ORGANOSOL CONTAINING MAGNESIUM FLUORIDE HYDROXIDE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
| WO2009145057A1 (ja) | 2008-05-27 | 2009-12-03 | 株式会社Adeka | 色補正材料、フィルム形成用組成物及び光学フィルター |
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| WO2010073857A1 (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | 株式会社Adeka | シアニン化合物を用いた近赤外線吸収材料及びシアニン化合物 |
| JP2011048356A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-03-10 | Canon Inc | 光学膜の製造方法、光学膜および光学部品 |
| JP2011046595A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-03-10 | Canon Inc | フッ化マグネシウム膜の製造方法、反射防止膜および光学素子 |
| WO2011086785A1 (ja) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | 株式会社Adeka | 色調補正剤、スクアリリウム化合物及び光学フィルター |
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