JPH0522748Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルームのフリーアクセスフ
ロアに於けるシヤツタ機構に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置等の製造に於ては、半導体薄板にフ
オトリゾグラフイ処理や拡散処理等を行なう所謂
ウエーハ処理作業が行なわれているが、この作業
は塵埃の混入を嫌い、又、温度や湿度の変化を嫌
うため、従来、これらの作業用の室は二重床構造
のフリーアクセスフロアを用いたクリーンルーム
とされている。

第１５図はクリーンルームの従来構造を示し、
クリーンルーム１の上部にはHEPAフイルタ２
を備えた複数個の空気吹出口３を設ける一方、床
面には無数の吸込孔４を有するフロアパネル５を
用いた二重床構造のフリーアクセスフロア６を形
成し、又、上記吹出口３と吸込孔４とを空気調和
機７を介在したダクト８で連通したダウンフロー
式構造となつている。そして、空気調和機７で温
度や湿度が調整された空気を上記吹出口３からク
リーンルーム１内に吹き出し、吸込孔４から排気
してクリーンルーム１内の空気調和、清浄を行な
うようにしている。

又、第１６図は上記フリーアクセスフロア６の
従来構造を示し、従来のフリーアクセスフロア６
は、隣接する各フロアパネル５の交点（四隅）に
支持脚９を床スラブ１１上に縦横に配し、当該支
持脚１１上にフロアパネル５をクツシヨンゴム１
３を介して間断なく取り付けた構造となつてい
る。そして、昨今、斯かるフリーアクセスフロア
６には、シヤツタ機構１５がフロアパネル５の裏
面側に装着されている。

斯かるシヤツタ機構１５はクリーンルーム１に
吹き出される空気の風量を調整するもので、フロ
アパネル５の裏面側に固定された底板１６と、当
該底板１６上をスライド可能な平板状のスライド
板１７、そして、当該スライド板１７のスライド
機構１８から構成されている。そして、上記底板
１６とスライド板１７には、第１７図及び第１８
図に示すように重合し合う同一形状の吸込孔１９
が複数形成されており、底板１６上のスライド板
１７をスライド機構１８を介して矢印Ａ，Ｂ方向
にスライドさせることによつて、吸込孔１９の開
口率が調整できるようになつている。

第１９図乃至第２１図は上記スライド機構１８
の詳細を示し、図中、符号２０は底板１６の中央
部に軸支されたカム軸で、当該カム軸２０はスラ
イド板１７の略中心部に設けた長孔形状の開口２
１を遊貫し、そして、当該カム軸２０を介してス
ライド板１７の上方に円板２２が取り付けられて
いる。

上記円板２２には、上記スライド板１７に固定
したカムピン２３が突出する偏心円形状のガイド
２４が形成されており、円板２２を矢印Ｃ方向に
回転させることによつてカムピン２３がガイド２
４に沿つて矢印Ｂ方向に移動し、又、円板２２を
矢印Ｄ方向に回転させることによつてカムピン２
３が矢印Ａ方向に移動するようになつている。而
して、カムピン２３の斯かる移動に連動して、ス
ライド板１７が同方向にスライドすることとな
る。

そして、斯かるシヤツタ機構１５を介して吸込
孔１９の開口率を調整することによつて、クリー
ンルーム１に吹き出される空気の風量が調整でき
るようになつている。

〔考案が解決しようとする課題〕

然し乍ら、上述の如き従来のシヤツタ機構１５
はスライド板１７が平板であり、又、底板１６の
スライド板１７とのスライド部分が平板形状であ
るために両者の密着性が悪く、そのため、両者間
の隙間から吸込孔１９に空気が流れて確実な風量
調整ができないといつた欠点があつた。然も、底
板１６はフロアパネル５に固着された構造である
から、フロアパネル５の裏面側に円板２２が位置
していても、吸込孔１９の開口率を調整するには
フロアパネル５と底板１６との間から手を差し込
んで円板２２を操作しなければならず、そのた
め、操作性が悪いといつた欠点があつた。

本考案は、斯かる実情に鑑み案出されたもの
で、確実な風量調整が行なえ、然も、操作性に優
れたフリーアクセルフロアに於けるシヤツタ機構
を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

斯かる目的を達成するために、請求項１に係る
シヤツタ機構は、下床上に支持脚を介して大引き
又は床梁及び根太等のフロアパネル支持体を形成
し、当該フロアパネル支持体に複数のシヤツタ板
固定部材を設けると共に、複数の吸込孔を有する
断面く字状の下部シヤツタ板を上記シヤツタ板固
定部材間に複数架け渡し、当該各下部シヤツタ板
上に、上記吸込孔と重合する複数の吸込孔を有し
且つ当該下部シヤツタ板よりも小さな断面く字状
の上部シヤツタ板をスライド可能に重置してなる
ものであり、又、請求項２に係る考案は、上部シ
ヤツタ板及び下部シヤツタ板に、下部シヤツタ板
に設けた長孔と、上部シヤツタ板に設けた小孔を
貫通する開閉摘みを取り付けたものである。

〔作用〕

請求項１に係る考案によれば、上部シヤツタ板
をスライドさせることによつて、両シヤツタ板の
吸込孔の開口率が調整でき、然も、上部シヤツタ
板は下部シヤツタ板と良好な密着性を保ちつつ折
曲部をガイドとして下部シヤツタ板上を容易にス
ライドする。又、両シヤツタ板が断面く字状に形
成されたことによつて両者間に良好な密着性が保
たれるため、空気が両シヤツタ板の隙間から吸込
孔に抜けることがない。そして、請求項２に係る
考案によれば、開閉摘みを介して上部シヤツタ板
がスライドできる。

更に、各請求項に記載の考案によれば、フロア
パネル上の機器は、その重量がフロアパネル支持
体に広く分布されて支持され、又、当該フロアパ
ネル支持体が支持脚の倒壊を防止する。

〔実施例〕

以下、シヤツタ板に開閉摘みを装着してなる本
考案の一実施例に係るシヤツタ機構を装備したフ
リーアクセスフロアを図面に基づき詳細に説明す
る。尚、上記従来例と同一要素は同一符号を以つ
て表示する。

第１図に於て、符号２５は第１６図の支持脚９
に比し広い間隔（₁＜₂）を以つて床スラブ１
１に等間隔で配置された支持脚で、当該支持脚２
５は断面コ字状の連結部材２６が取り付く大引受
け２７と、当該大引受け２７が連結する高さ調整
ボルト２９と、この高さ調整ボルト２９が螺合す
る筒状支持部３１及び筒状支持部３１の下端に取
り付くベースプレート３３で構成されている。

斯かる支持脚２５の詳細を第２図に基づいて説
明すると、上記高さ調整ボルト２９には、略中央
部に固着した調整ナツト３５を境に上端側及び下
端側に夫々逆方向のねじが螺刻されており、上端
側のねじ部２９ａは大引受け２７の底部に固着さ
れた二重ナツト３７に螺合し、又、下端側のねじ
部２９ｂは筒状支持部３１の上部に固着された二
重ナツト３９を介して筒状支持部３１内に挿入さ
れている。そして、上記調整ナツト３５を矢印
Ｅ，Ｆ方向に回すことによつて、二重ナツト３９
に螺合する高さ調整ボルト２９が矢印Ｇ，Ｈ方向
に移動して支持脚２５の高さが調整できるように
なつており、又、上記連結部材２６に後述する角
パイプ４１を接合して斯かる高さ調整を行なつた
場合には、二重ナツト３７に螺合するねじ部２９
ａの作用によつて大引受け２７が高さ調整ボルト
２９の回転に連動して同方向に回転せず、その結
果、連結部材２６は高さ調整ボルト２９と共に矢
印Ｇ，Ｈ方向に移動するにも拘らず、常に角パイ
プ４１を一方向に支持するようになつている。
尚、第２図中、符号４３は支持脚２５を床スラブ
１１に固定するアンカーで、支持脚２５は当該ア
ンカー４３と併せてベースプレート３３に塗布し
たエポキシ系接着剤によつて床スラブ１１に固定
されている。

そして、等間隔で配置された上記各支持脚２５
の大引受け２７（連結部材２６）には、第３図に
示すようにフロアパネル５の大引きとして機能す
る長尺な角パイプ４１が一方向に複数本支持され
ている。

角パイプ４１は、第３図に示すように２枚のフ
ロアパネル５が配置できる間隔を以つて並べられ
ており、又、各角パイプ４１は第４図の如く内面
に接着剤を塗布した断面コ字状の２枚の連結部材
４５，４６を介して順次連結されるが、当該連結
部に上記支持脚２５を配置する場合には、下側の
連結部材４６に代えて上記連結部材２６を用いる
ようになつている。更に、大引きとして機能する
各角パイプ４１の間には、根太として機能する複
数本の角パイプ４７が大引きと同一平面を形成す
るように突き合わされて連結されている。

第５図及び第６図は上記角パイプ４１，４７の
連結構造を示し、図中、符号４９，５１は角パイ
プ４１，４７の連結部に配した連結プレートで、
当該連結プレート４９，５１をボルト５３、ナツ
ト５５で締め付けることによつて、角パイプ４７
が角パイプ４１に連結された構造となつている。

そして、上記連結プレート４９の上面には第５
図の如く正方形状のクツシヨンゴム５７が接着剤
を介してビス止めされ、更に、上記角パイプ４７
の各中央部の上面には第３図の如く矩形状のクツ
シヨンゴム５９が取り付けられており、当該クツ
シヨンゴム５７，５９を介してフロアパネル５が
角パイプ４１，４７上に布設されるようになつて
いる。尚、上記クツシヨンゴム５９は、第７図乃
至第９図に示すように角パイプ４７にボルト締め
されたプレート６１を介して角パイプ４７にビス
止めされており、又、プレート６１を角パイプ４
７に取り付けるボルト６３の先端が第８図に示す
ようにフロアパネル５の裏面に挿入されるように
なつている。

更に、上記クツシヨンゴム５７，５９間の角パ
イプ４７の上面には、第１０図に示すように両端
に受け片６５を有する略断面コ字状のシヤツタ板
支持部材６７が取り付けられており、そして、重
なり合う断面く字状の２枚のシヤツタ板６９，７
１が各受け片６５間に配置されている。尚、本実
施例にあつては、第３図に示すように各角パイプ
４１，４７で形成される空間内に夫々２組宛のシ
ヤツタ板６９，７１が配置されている。

上部シヤツタ板６９及び下部シヤツタ板７１
は、第１０図乃至第１２図に示すように同一形状
の長孔からなる吸込孔７３が複数形成された断面
く字状の板材からなり、上部シヤツタ板７１に比
し大きめの下部シヤツタ板６９が上記受け片６５
間に配置され、そして、各吸込孔７３が一致する
ように上部シヤツタ板７１が下部シヤツタ板６９
に重ね合わされている。そして、両シヤツタ板６
９，７１間には、下部シヤツタ板６９の折曲部６
９ａに設けた長孔７５と、上部シヤツタ板７１の
折曲部７１ａに設けた小孔７７を貫通する開閉摘
み７９が取り付けられており、フロアパネル５の
吸込孔４から当該開閉摘み７９を長孔７５に沿つ
て移動すると、これに連動して上部シヤツタ板７
１が同方向に移動して吸込孔７３の開口率が調整
されるようになつている。

而して、上述の如く大引き及び根太として機能
する角パイプ４１，４７を支持脚２５を介して床
スラブ１１上に組み、そして、クツシヨンゴム５
７，５９を角パイプ４１，４７に取り付け、両シ
ヤツタ板６９，７１をシヤツタ板支持部材６７を
介して所定の位置に配置した後、第８図及び第１
３図に示すようにクツシヨンゴム５７，５９を介
してフロアパネル５がビス８１で固定される。
又、第１４図に示すように、柱８３と各フロアパ
ネル５との隙間にはクツシヨンゴム８５が介装さ
れている。

本実施例に係るフリーアクセスフロアはこのよ
うに構成されているから、斯かるフリーアクセス
フロアを第１５図のクリーンルーム１に用いれ
ば、空気調和機７で温度や湿度が調整された空気
が吹出口３から吹き出されてクリーンルーム１内
の空気調和、清浄を行なつた後、フロアパネル５
の吸込孔４及び両シヤツタ板６９，７１の吸込孔
７３を順次通過して、ダクト８から空気調和機７
に戻される。そして、当該空気調和機７で調整さ
れた後、再びクリーンルーム１に吹き出されるこ
ととなる。

又、フロアパネル５の吸込孔４から開閉摘み７
９を下部シヤツタ板６９の長孔７５に沿つて移動
させれば、上部シヤツタ板７１は折曲部６９ａ，
７１ａをガイドとして下部シヤツタ板６９と良好
な密着性を保ちつつ下部シヤツタ板６９上を容易
にスライドすることとなる。そして、斯様に上部
シヤツタ板７１が下部シヤツタ板６９上をスライ
ドすることによつて、両シヤツタ板６９，７１の
吸込孔７３の開口率が変化し、クリーンルーム１
に吹き出される空気の風量が調節されることとな
る。

尚、施工時に支持脚２５の高さを調節するに
は、第２図の如く支持脚２５の調整ナツト３５を
矢印Ｅ，Ｆ方向に回転させればよく、又、床スラ
ブ１１上に当該支持脚２５を介して角パイプ４
１，４７を組んだ後でその高さを調整するには、
同様に調整ナツト３５を矢印Ｅ，Ｆ方向に回転さ
せればよい。而して、高さ調整ボルト２９には逆
方向のねじ部２９ａ，２９ｂが設けてあるため、
調整ナツト３５を矢印Ｅ，Ｆ方向に回転させて高
さ調整ボルト２９を矢印Ｇ，Ｈ方向に移動させて
も、大引受け２７はねじ部２９ａの働きによつて
高さ調整ボルト２９と同方向に回転せず、常に角
パイプ４１を一方向に支持することとなる。又、
床スラブ１１上に組んだ角パイプ４１，４７が支
持脚２５の倒壊を防止している。そして、布設さ
れたフロアパネル５上に機器を配置すると、機器
の重量が角パイプ４１，４７上に広く分布されて
機器が支持されることとなる。

このように、本実施例によれば、フロアパネル
５を取り外すことなく床上より開閉摘み７９で上
部シヤツタ板６９をスライドさせることにより、
両シヤツタ板６９，７１の吸込孔７３の開口率が
調整でき、然も、上部シヤツタ板７１が下部シヤ
ツタ板６９と良好な密着性を保ちつつ折曲部６９
ａ，７１ａをガイドとして下部シヤツタ板６９上
をスライドし、更には、これらの作業が隣接する
フロアパネル５上で行なえることも相俟つて、第
１６図以下に示す従来のシヤツタ機構１５に比し
操作性が向上することとなつた。

又、上述したように両シヤツタ板６９，７１が
断面く字状に形成されて両者間の密着性が良好に
保たれるため、空気が両シヤツタ板６９，７１の
隙間から吸込孔７３に抜けることがなくなり、ク
リーンルームに吹き出される空気の風量調整が確
実となつた。

更に、本実施例にあつては、シヤツタ板６９，
７１を断面く字状に形成したから、上から掛かる
力（自重と空気抵抗による力）が両側の受け片６
５方向に分散され、そして、これを当該受け片６
５と角パイプ４７で受けるため、シヤツタ板を平
面的に配した従来のシヤツタ機構に比し、シヤツ
タ板６９，７１を薄く成形することが可能であ
る。

又、シヤツタ板６９，７１に形成された吸込孔
７３は長孔形状であるから、これを単に円形状と
した場合に比べ、シヤツタ板７１の移動量が小さ
くても開口率の変化が大きいものとなる。

加えて、本実施例によれば、角パイプ４１，４
７が支持脚２５の倒壊を防止するため、ストリン
ガー等の補強部材を別途取り付ける必要がなくな
り、又、フロアパネル５上の機器の重量が各角パ
イプ４１，４７に広く分布されるため、フロアパ
ネル５の一部に撓みが発生することがなくなる副
次的な効果を有する。

又、上記実施例に於けるシヤツタ板７１の構造
に代えて、これを下側のシヤツタ板６９よりも鋭
角な断面く字状に成形すると共に、その肉厚をシ
ヤツタ板６９よりも薄くしてもよい。

而して、斯かる構造によれば、空気抵抗による
力が当該シヤツタ板７１に加わつた際に、シヤツ
タ板７１の有するスプリング性によつて当該シヤ
ツタ板７１がシヤツタ板６９の表面に密着して、
両シヤツタ板６９，７１間の密着性が良好なもの
となる。

〔考案の効果〕

以上述べたように、請求項１に係るシヤツタ機
構は、下床上に支持脚を介して大引き又は床梁及
び根太等のフロアパネル支持体を形成し、当該フ
ロアパネル支持体に複数のシヤツタ板固定部材を
設けると共に、複数の吸込孔を有する断面く字状
の下部シヤツタ板を上記シヤツタ板固定部材間に
複数架け渡し、当該各下部シヤツタ板上に、上記
吸込孔と重合する複数の吸込孔を有し且つ当該下
部シヤツタ板よりも小さな断面く字状の上部シヤ
ツタ板をスライド可能に重置してなるものであ
り、又、請求項２に係るシヤツタ機構は、上部シ
ヤツタ板及び下部シヤツタ板に、下部シヤツタ板
に設けた長孔と、上部シヤツタ板に設けた小孔を
貫通する開閉摘みを取り付けたものであるから、
従来のシヤツタ機構に比し操作性が向上すること
となつた。そして、請求項２の考案によれば、シ
ヤツタ板に開閉摘みが装着されているため、上部
シヤツタ板のスライドが容易である。

又、両シヤツタ板が断面く字状に形成されたこ
とによつて両者間の密着性が良好に保たれるた
め、各請求項の考案によれば、空気が両シヤツタ
板の隙間から吸込孔に抜けることがなくなり、ク
リーンルームに吹き出される空気の風量調整が確
実となつた。加えて、フロアパネル支持体が支持
脚の倒壊を防止するため、ストリンガー等の補強
部材を別途取り付ける必要がなくなり、床下の有
効スペースが大きく確保でき、又、フロアパネル
上の機器の重量がフロアパネル支持体に広く分布
されるため、フロアパネルの一部に撓みが発生す
ることがなくなる利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は開閉摘みを装着したシヤツタ機構の一
実施例を装備したフリーアクセスフロアの側面図
である。第２図は上記実施例に用いられる支持脚
の側面図である。第３図は上記実施例に係るフリ
ーアクセスフロアの平面図である。第４図は角パ
イプの連結部の側面図である。第５図は角パイプ
の連結部の平面図である。第６図は第５図の−
線断面図である。第７図はクツシヨンゴムの取
付部の平面図である。第８図はクツシヨンゴムの
取付部の側面図である。第９図は第７図の−
線断面図である。第１０図は第３図の−線断
面図である。第１１図及び第１２図は下部シヤツ
タ板及び上部シヤツタ板の平面図である。第１３
図はフロアパネルを取り付けた角パイプの連結部
の断面側面図である。第１４図は柱付近の角パイ
プ連結部の断面側面図である。第１５図は従来の
クリーンルームの概略構成図である。第１６図は
従来のフリーアクセスフロアの構造を示す側面図
である。第１７図は従来のシヤツタ機構の底板の
平面図である。第１８図は従来のシヤツタ機構の
スライド板の平面図である。第１９図は従来のシ
ヤツタ機構の側面図である。第２０図及び第２１
図は従来のシヤツタ機構に於けるシヤツタのスラ
イド機構の平面図である。 主要な部分の符号の説明、９……フロアパネ
ル、２５……支持脚、４１，４７……角パイプ、
６５……受け片、６７……シヤツタ板支持部材、
６９……上部シヤツタ板、７１……下部シヤツタ
板、７３……吸込孔、７９……開閉摘み。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 下床上に支持脚を介して大引き又は床梁及び
   根太等のフロアパネル支持体を形成し、当該フ
   ロアパネル支持体に複数のシヤツタ板固定部材
   を設けると共に、複数の吸込孔を有する断面く
   字状の下部シヤツタ板を上記シヤツタ板固定部
   材間に複数架け渡し、当該各下部シヤツタ板上
   に、上記吸込孔と重合する複数の吸込孔を有し
   且つ当該下部シヤツタ板よりも小さな断面く字
   状の上部シヤツタ板をスライド可能に重置して
   なることを特徴とするフリーアクセスフロアに
   於けるシヤツタ機構。 (2) 上部シヤツタ板及び下部シヤツタ板には、下
   部シヤツタ板に設けた長孔と、上部シヤツタ板
   に設けた小孔を貫通する開閉摘みが取り付けら
   れていることを特徴とする請求項１記載のフリ
   ーアクセスフロアに於けるシヤツタ機構。