JPH052424B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH052424B2 JPH052424B2 JP59147191A JP14719184A JPH052424B2 JP H052424 B2 JPH052424 B2 JP H052424B2 JP 59147191 A JP59147191 A JP 59147191A JP 14719184 A JP14719184 A JP 14719184A JP H052424 B2 JPH052424 B2 JP H052424B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- slit
- light
- signal
- signal processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q35/00—Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually
- B23Q35/04—Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually using a feeler or the like travelling along the outline of the pattern, model or drawing; Feelers, patterns, or models therefor
- B23Q35/08—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work
- B23Q35/12—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means
- B23Q35/127—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means using non-mechanical sensing
- B23Q35/128—Sensing by using optical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Copy Controls (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は溶接あるいは溶接前の開先クリーニン
グ等の前処理において、溶接トーチ等を開先に沿
つて倣わす開先倣い装置の開先のエツジ位置を精
度良く検出する方法に関する。
グ等の前処理において、溶接トーチ等を開先に沿
つて倣わす開先倣い装置の開先のエツジ位置を精
度良く検出する方法に関する。
（従来技術）
従来、開先倣い装置として最も良く使用されて
いる装置に、機械式の倣いロールや電磁プローブ
が知られている。第６図は機械式の倣いロールに
よる開先倣い装置の一構成例を示したものであ
る。１は開先ａを有する被溶接材（母材）であ
る。この開先ａ内面に沿つて移動する倣いロール
２の軸に取付けられたポテンシヨメータ３により
倣いロール２の位置を電気信号４に変換し、溶接
トーチ駆動装置５に入力することにより開先ａを
倣うものである。本方式は機械的にも電気的にも
非常に簡易な装置構造で実施可能であるが、幾つ
かの欠点を有している。第１に多層溶接において
は、層を重ねる毎に開先ａが浅くなつて行く為、
倣いロール２が開先ａを外れる危険性があるこ
と、第２に被溶接材にオフセツトが生じた時トー
チのセンターずれが起きることである。第７図は
この状況を示したもので、オフセツトΔhが存在
する時倣いロール２のセンサーがＷずれることを
表わしている。
いる装置に、機械式の倣いロールや電磁プローブ
が知られている。第６図は機械式の倣いロールに
よる開先倣い装置の一構成例を示したものであ
る。１は開先ａを有する被溶接材（母材）であ
る。この開先ａ内面に沿つて移動する倣いロール
２の軸に取付けられたポテンシヨメータ３により
倣いロール２の位置を電気信号４に変換し、溶接
トーチ駆動装置５に入力することにより開先ａを
倣うものである。本方式は機械的にも電気的にも
非常に簡易な装置構造で実施可能であるが、幾つ
かの欠点を有している。第１に多層溶接において
は、層を重ねる毎に開先ａが浅くなつて行く為、
倣いロール２が開先ａを外れる危険性があるこ
と、第２に被溶接材にオフセツトが生じた時トー
チのセンターずれが起きることである。第７図は
この状況を示したもので、オフセツトΔhが存在
する時倣いロール２のセンサーがＷずれることを
表わしている。
次に電磁プローブ方式の一構成例を第８図に示
す。２つのコイルを有する電磁プローブ７を揺動
装置８により開先ａと直角方向に揺動させると共
に、２つのコイルのインピーダンス差がある閾値
以上に大きくなつたことをインピーダンス差検出
装置９により検出し、その検出点におけるプロー
ブ位置を揺動装置８に取り付けたポテンシヨメー
タ３により検出する。４はプローブ位置信号であ
る。本方式の原理は開先エツジ６を検出するもの
であるが、エツジ検出の分解能はコイル径によつ
て決定され限界が存在する。又、被溶接材１にオ
フセツトが存在するとプローブ７と被溶接材１の
距離１１が変化する為、インピーダンスが変動す
る。この為、開先エツジ６の検出精度に限界が発
生し、例えば±0.5mmといつた検出精度を満足す
ることは難しい。
す。２つのコイルを有する電磁プローブ７を揺動
装置８により開先ａと直角方向に揺動させると共
に、２つのコイルのインピーダンス差がある閾値
以上に大きくなつたことをインピーダンス差検出
装置９により検出し、その検出点におけるプロー
ブ位置を揺動装置８に取り付けたポテンシヨメー
タ３により検出する。４はプローブ位置信号であ
る。本方式の原理は開先エツジ６を検出するもの
であるが、エツジ検出の分解能はコイル径によつ
て決定され限界が存在する。又、被溶接材１にオ
フセツトが存在するとプローブ７と被溶接材１の
距離１１が変化する為、インピーダンスが変動す
る。この為、開先エツジ６の検出精度に限界が発
生し、例えば±0.5mmといつた検出精度を満足す
ることは難しい。
従つて溶接技術の進歩に伴い高精度な倣いが要
求されて来るに伴つて、最近では特開昭55−
50984号に示される光切断法のような光学的開先
検出方法が採用されるに至つた。この光切断法の
一構成例を第９図に示す。開先ａを有する被溶接
材１上に斜め上方よりレーザー等の投光器１２で
投影されたスリツト光１３を直上に設けたテレビ
カメラ１４により検出する。テレビカメラ１４で
得た画像信号はＡ／Ｄコンバータ１５、２値化処
理装置１６を通り、２値画像２０として計算機１
７に入力される。該計算機１７は入力された画像
のソフトウエア処理により、開先エツジ位置６を
計算し、Ｄ／Ａコンバータ１８を通つて開先位置
検出信号１９を出力するものである。
求されて来るに伴つて、最近では特開昭55−
50984号に示される光切断法のような光学的開先
検出方法が採用されるに至つた。この光切断法の
一構成例を第９図に示す。開先ａを有する被溶接
材１上に斜め上方よりレーザー等の投光器１２で
投影されたスリツト光１３を直上に設けたテレビ
カメラ１４により検出する。テレビカメラ１４で
得た画像信号はＡ／Ｄコンバータ１５、２値化処
理装置１６を通り、２値画像２０として計算機１
７に入力される。該計算機１７は入力された画像
のソフトウエア処理により、開先エツジ位置６を
計算し、Ｄ／Ａコンバータ１８を通つて開先位置
検出信号１９を出力するものである。
かかる高精度な倣い方式に於ては、２次元情報
が取り込み可能な検出器を用い、得た２次元情報
を計算機１７により画像処理して開先を検出する
という方法を採用している。画像という大量の情
報から開先部を求める為、精度の良い検出が可能
であり、分解能もスリツト幅及びテレビの分解能
といつた光学的な因子により決定される為、非常
に高くすることができる。反面、本方式に於て
は、信号処理装置が複雑で高価なものとなる為、
タンデム溶接の各トーチ１本毎に倣い位置を設け
る等の要求には応えられないものとなつていた。
が取り込み可能な検出器を用い、得た２次元情報
を計算機１７により画像処理して開先を検出する
という方法を採用している。画像という大量の情
報から開先部を求める為、精度の良い検出が可能
であり、分解能もスリツト幅及びテレビの分解能
といつた光学的な因子により決定される為、非常
に高くすることができる。反面、本方式に於て
は、信号処理装置が複雑で高価なものとなる為、
タンデム溶接の各トーチ１本毎に倣い位置を設け
る等の要求には応えられないものとなつていた。
（発明の目的）
本発明は光学的な検出原理にもとずいた精度の
良い開先検出方式でありながら、信号処理系とし
て１次元の処理が可能なようにスリツトを採用し
前記の光切断法の欠点である信号処理装置の煩雑
さを大幅に軽減した開先エツジ部の検出方法を提
供するものである。
良い開先検出方式でありながら、信号処理系とし
て１次元の処理が可能なようにスリツトを採用し
前記の光切断法の欠点である信号処理装置の煩雑
さを大幅に軽減した開先エツジ部の検出方法を提
供するものである。
（発明の概要）
上記目的を達成するための本発明方法の特徴は
開先長手方向の斜め上方よりスリツト光又は走査
されたスポツト光を開先長手方向に対して直角に
照射し、その開先面上及び母材面上の反射光を、
該反射光上方に設けた対物レンズにより結像さ
せ、母材面上の反射光の結像面上に開先長手方向
と直角方向に細長いスリツトが位置するようにス
リツト板を配置し、該スリツト内を通過した反射
光のみを検出器にて検出し、該検出信号を信号処
理装置で１次元の信号処理をすることにより開先
エツジ部の位置を検出する開先エツジ部の検出方
法にある。
開先長手方向の斜め上方よりスリツト光又は走査
されたスポツト光を開先長手方向に対して直角に
照射し、その開先面上及び母材面上の反射光を、
該反射光上方に設けた対物レンズにより結像さ
せ、母材面上の反射光の結像面上に開先長手方向
と直角方向に細長いスリツトが位置するようにス
リツト板を配置し、該スリツト内を通過した反射
光のみを検出器にて検出し、該検出信号を信号処
理装置で１次元の信号処理をすることにより開先
エツジ部の位置を検出する開先エツジ部の検出方
法にある。
（発明の構成、作用）
以下、本発明の開先エツジ検出原理を第１図に
示す。第１図に於て光源１２は斜め上方より走査
されたスポツト光又はスリツト光（以下スポツト
光等と称する）をθの角度で投影するものであ
る。θには30゜〜60゜の範囲の角度が用いられる。
このスポツト光等は、被溶接材１の上で、母材表
面上の場合は２１の位置に、開先面内の底の部分
の場合は２２の位置に投影される。従つて、開先
面内２２に於てはΔXだけＸ方向（開先長手方
向）に位置が変化する。この母材表面２１上に投
影された光を直上に設けた像倍率ｍをもつ対物レ
ンズ２３により結像させ、その結像面上に開先長
手方向と直角方向に細長いスリツト２４を持つス
リツト板２６を設ける。スリツト巾は例えば0.5
ｍ／ｍのものが用いられる。この細長いスリツト
２４を通過する光のみを検出器２５で受け、その
出力信号を信号処理回路３１で処理して、母材表
面上にスポツト光等が存在する時のみエツジ位置
の信号出力が出る装置を構成したものである。こ
の図でWSはスリツト巾、ΔXmはスポツト光２
１，２２の結像点のずれの長さ、±Δhは被溶接材
１の上下変動量である。ΔX等には、ΔX＝
ΔYcotθ、ΔXm＝ｍ・ΔXの関係があり、またWS
＝2Δh／ｍとする。
示す。第１図に於て光源１２は斜め上方より走査
されたスポツト光又はスリツト光（以下スポツト
光等と称する）をθの角度で投影するものであ
る。θには30゜〜60゜の範囲の角度が用いられる。
このスポツト光等は、被溶接材１の上で、母材表
面上の場合は２１の位置に、開先面内の底の部分
の場合は２２の位置に投影される。従つて、開先
面内２２に於てはΔXだけＸ方向（開先長手方
向）に位置が変化する。この母材表面２１上に投
影された光を直上に設けた像倍率ｍをもつ対物レ
ンズ２３により結像させ、その結像面上に開先長
手方向と直角方向に細長いスリツト２４を持つス
リツト板２６を設ける。スリツト巾は例えば0.5
ｍ／ｍのものが用いられる。この細長いスリツト
２４を通過する光のみを検出器２５で受け、その
出力信号を信号処理回路３１で処理して、母材表
面上にスポツト光等が存在する時のみエツジ位置
の信号出力が出る装置を構成したものである。こ
の図でWSはスリツト巾、ΔXmはスポツト光２
１，２２の結像点のずれの長さ、±Δhは被溶接材
１の上下変動量である。ΔX等には、ΔX＝
ΔYcotθ、ΔXm＝ｍ・ΔXの関係があり、またWS
＝2Δh／ｍとする。
第２図は、結像面上に設けたスリツト板２６の
スリツト２４の働きを表わしたもので、被溶接材
１上のスポツト光等２１が直上の対物レンズ２３
により結像２８するが、開先面２７上のスポツト
光２２等は、基本的にはスリツト２４の外に結像
する為検出器には入らない。又、開先面２７上の
スポツト２２等の部分像２９も開先面２７が有す
る角度による反射率の低下及び開先エツジ６によ
る乱反射による反射光の光量低下により検出器２
５への入光量が低下する為、スレシユホールド処
理によつて容易に除去可能である。
スリツト２４の働きを表わしたもので、被溶接材
１上のスポツト光等２１が直上の対物レンズ２３
により結像２８するが、開先面２７上のスポツト
光２２等は、基本的にはスリツト２４の外に結像
する為検出器には入らない。又、開先面２７上の
スポツト２２等の部分像２９も開先面２７が有す
る角度による反射率の低下及び開先エツジ６によ
る乱反射による反射光の光量低下により検出器２
５への入光量が低下する為、スレシユホールド処
理によつて容易に除去可能である。
（実施例）
第３図に本発明の実施例としてスポツト光を使
用したものを示す。被溶接材はUO鋼管で開先の
角度は60゜、スポツト光の投影角は45゜、スリツト
巾は0.5ｍ／ｍ、対物レンズの像倍率５倍のもの
を用いた。スポツト光源１２により投影されたス
ポツト光は回転ミラー又は振動ミラー３０により
走査され、開先面を有する被溶接材１上に斜め上
方より開先長手方向と直角方向に投影される。そ
の反射光２１及び２２を対物レンズ２３、スリツ
ト２４を通して検出器２５に取込み、信号処理装
置３１で処理して開先信号１９を得る。
用したものを示す。被溶接材はUO鋼管で開先の
角度は60゜、スポツト光の投影角は45゜、スリツト
巾は0.5ｍ／ｍ、対物レンズの像倍率５倍のもの
を用いた。スポツト光源１２により投影されたス
ポツト光は回転ミラー又は振動ミラー３０により
走査され、開先面を有する被溶接材１上に斜め上
方より開先長手方向と直角方向に投影される。そ
の反射光２１及び２２を対物レンズ２３、スリツ
ト２４を通して検出器２５に取込み、信号処理装
置３１で処理して開先信号１９を得る。
第４図イは、この検出器２５の出力波形を図示
したもので横軸は時間ｔ、縦軸は光量を示す。４
２，４４は母材部の信号、４３は開先部の信号で
あり、４７は被溶接材の開先形状を示す。この検
出器２５からの信号イはヘに詳しく図示する信号
処理装置３１に送られ、こゝでは先ず閾値処理回
路３１１に入力されて、スレシユホールド処理さ
れる。３１１からは開先面上の部分スポツト光像
である信号は除去されて、矩形波に整形された信
号が出力され、エツジ位置検出回路３１２に送ら
れる。該検出回路３１２にはエツジ位置検出用ゲ
ート回路３１３からハの信号が入力され、ここで
矩形波の立上り信号ニ、立下り信号ホのうち、ハ
の位置にある、が出力され、時間差検出回路
３１５に入力される。該検出回路３１５には基準
タイミング信号検出回路３１４からのロの基準信
号が入力され、該検出回路３１５からは信号１９
として左側開先エツジ位置WL、右側開先エツジ
位置WRが出力される。この出力値をもとに溶接
トーチをWLとWRの中央にくるように倣わせるも
のである。尚、基準タイミング信号検出回路３１
４への入力は回転ミラー３０の設定された角度の
検出により容易に得られる。
したもので横軸は時間ｔ、縦軸は光量を示す。４
２，４４は母材部の信号、４３は開先部の信号で
あり、４７は被溶接材の開先形状を示す。この検
出器２５からの信号イはヘに詳しく図示する信号
処理装置３１に送られ、こゝでは先ず閾値処理回
路３１１に入力されて、スレシユホールド処理さ
れる。３１１からは開先面上の部分スポツト光像
である信号は除去されて、矩形波に整形された信
号が出力され、エツジ位置検出回路３１２に送ら
れる。該検出回路３１２にはエツジ位置検出用ゲ
ート回路３１３からハの信号が入力され、ここで
矩形波の立上り信号ニ、立下り信号ホのうち、ハ
の位置にある、が出力され、時間差検出回路
３１５に入力される。該検出回路３１５には基準
タイミング信号検出回路３１４からのロの基準信
号が入力され、該検出回路３１５からは信号１９
として左側開先エツジ位置WL、右側開先エツジ
位置WRが出力される。この出力値をもとに溶接
トーチをWLとWRの中央にくるように倣わせるも
のである。尚、基準タイミング信号検出回路３１
４への入力は回転ミラー３０の設定された角度の
検出により容易に得られる。
第５図はスリツト光の実施例であり、開先の斜
め上方のスリツト光投影装置１２により投影され
たスリツト光の像２１を対物レンズ２３、スリツ
ト２４を通し、検出器であるアレイセンサー２５
にて検出し、該アレイセンサー２５の電子的スキ
ヤンにより、それぞれ時間領域の信号に置きかえ
られて、信号処理装置３１に送られて上記３，４
図と同様に処理され、左右のエツジ部が検出され
る。
め上方のスリツト光投影装置１２により投影され
たスリツト光の像２１を対物レンズ２３、スリツ
ト２４を通し、検出器であるアレイセンサー２５
にて検出し、該アレイセンサー２５の電子的スキ
ヤンにより、それぞれ時間領域の信号に置きかえ
られて、信号処理装置３１に送られて上記３，４
図と同様に処理され、左右のエツジ部が検出され
る。
上記の実施例においては、いずれも開先長手方
向と直角方向に設けられた細長いスリツト２４に
より１次元の信号処理（時間）のみで開先エツジ
部位置が精度よく検出可能となつた。
向と直角方向に設けられた細長いスリツト２４に
より１次元の信号処理（時間）のみで開先エツジ
部位置が精度よく検出可能となつた。
（効果）
本発明方法は簡易で安価な装置の採用により１
次元の信号処理を可能とし、精度の良い開先エツ
ジ部の検出が出来、多層溶接においてもタンデム
に設けられた各トーチ毎に倣い装置を設けること
が容易となり、溶接品質向上にもたらす影響は極
めて多大である。
次元の信号処理を可能とし、精度の良い開先エツ
ジ部の検出が出来、多層溶接においてもタンデム
に設けられた各トーチ毎に倣い装置を設けること
が容易となり、溶接品質向上にもたらす影響は極
めて多大である。
第１図は本発明の基本構成を示す説明図、第２
図はスリツトの働きを説明する図、第３図は本発
明の実施例の説明図、第４図は信号処理要領を説
明するタイムチヤート及びブロツク図、第５図は
本発明の他の実施例の説明図、第６図〜第９図は
従来法の説明図である。 図面でａは開先、２１，２２はスリツト光又は
スポツト光、１は被溶接材（母材）、２３は対物
レンズ、２４はスリツト、２６はスリツト板、２
５は検出器、３１は信号処理装置である。
図はスリツトの働きを説明する図、第３図は本発
明の実施例の説明図、第４図は信号処理要領を説
明するタイムチヤート及びブロツク図、第５図は
本発明の他の実施例の説明図、第６図〜第９図は
従来法の説明図である。 図面でａは開先、２１，２２はスリツト光又は
スポツト光、１は被溶接材（母材）、２３は対物
レンズ、２４はスリツト、２６はスリツト板、２
５は検出器、３１は信号処理装置である。
Claims (1)
- １ 開先長手方向の斜め上方よりスリツト光又は
走査されたスポツト光を開先長手方向に対して直
角に照射し、その開先面上及び母材面上の反射光
を、該反射光上方に設けた対物レンズにより結像
させ、母材面上の反射光の結像面上に開先長手方
向と直角方向に細長いスリツトが位置するように
スリツト板を配置し、該スリツト内を通過した反
射光のみを検出器にて検出し、該検出信号を信号
処理装置で１次元の信号処理をすることにより開
先エツジ部の位置を検出する開先エツジ部の検出
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14719184A JPS6127178A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 開先エツジ部の検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14719184A JPS6127178A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 開先エツジ部の検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127178A JPS6127178A (ja) | 1986-02-06 |
| JPH052424B2 true JPH052424B2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=15424622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14719184A Granted JPS6127178A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 開先エツジ部の検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6127178A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107339933A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-11-10 | 山西迪迈沃科光电工业有限公司 | 一种槽式太阳能聚光反射镜的安装检测方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02182376A (ja) * | 1989-01-10 | 1990-07-17 | Fanuc Ltd | アークセンサーの対物透光窓保護構造 |
| JPH081364B2 (ja) * | 1990-06-25 | 1996-01-10 | 新日本製鐵株式会社 | ギャップ検出装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039964B2 (ja) * | 1980-02-22 | 1985-09-09 | 日本鋼管株式会社 | 溶接開先中心位置検出装置 |
-
1984
- 1984-07-16 JP JP14719184A patent/JPS6127178A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107339933A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-11-10 | 山西迪迈沃科光电工业有限公司 | 一种槽式太阳能聚光反射镜的安装检测方法 |
| CN107339933B (zh) * | 2017-02-09 | 2019-07-09 | 山西迪迈沃科光电工业有限公司 | 一种槽式太阳能聚光反射镜的安装检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6127178A (ja) | 1986-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6339841B2 (ja) | ||
| JPH052424B2 (ja) | ||
| JPH0156682B2 (ja) | ||
| JPH0511573B2 (ja) | ||
| JP2641552B2 (ja) | 物体の位置検出装置およびロボット制御システム | |
| JP3340879B2 (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 | |
| JPH10185514A (ja) | コイル位置検出装置 | |
| JPH08323477A (ja) | 溶接管製造用シームセンター検出装置および溶接管の製造方法 | |
| JP2768053B2 (ja) | 電縫鋼管のシーム部位置検出装置 | |
| JPS63180810A (ja) | 高さ検出方式 | |
| JPH11344321A (ja) | 非接触三次元物体形状測定方法および装置 | |
| JPH0610607B2 (ja) | 微小間隔測定方法 | |
| JPS61205808A (ja) | 形状検出装置 | |
| JPH10185515A (ja) | コイル位置検出装置 | |
| JPS61149814A (ja) | 熱間金属材料の表面欠陥検出用の照明方法 | |
| JPH05215528A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH05337668A (ja) | レーザ溶接装置 | |
| JP3112537B2 (ja) | 光学的三次元形状測定方法と測定装置 | |
| JPH08220001A (ja) | 表面疵検査方法 | |
| JPH06294748A (ja) | Ｕｏ鋼管の溶接部表面疵検査方法 | |
| JP3201297B2 (ja) | コイル位置検出装置 | |
| JPS57168384A (en) | Detecting method for shape of object | |
| JP2698696B2 (ja) | 表面疵検査方法 | |
| JPH10185519A (ja) | コイル位置検出装置 | |
| JPH0235306A (ja) | 形状検出方法 |