JPH05242535A - ディスク真円度評価装置 - Google Patents
ディスク真円度評価装置Info
- Publication number
- JPH05242535A JPH05242535A JP7913092A JP7913092A JPH05242535A JP H05242535 A JPH05242535 A JP H05242535A JP 7913092 A JP7913092 A JP 7913092A JP 7913092 A JP7913092 A JP 7913092A JP H05242535 A JPH05242535 A JP H05242535A
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- JP
- Japan
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- disk
- substrate
- pattern
- roundness
- unit
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ディスクの面内歪みを定量的にかつ目視可能
とする。 【構成】 グリッド投光器２からの格子状パターンと、
該格子状パターンが投影された被検査体１からの反射パ
ターンとを検出してデータイメージ５を得、演算処理器
６を介してアウトプットイメージを得る。該アウトプッ
トイメージ７より基板に発生する局部的な面内歪みを評
価することができる。
とする。 【構成】 グリッド投光器２からの格子状パターンと、
該格子状パターンが投影された被検査体１からの反射パ
ターンとを検出してデータイメージ５を得、演算処理器
６を介してアウトプットイメージを得る。該アウトプッ
トイメージ７より基板に発生する局部的な面内歪みを評
価することができる。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、ディスク真円度評価装置に関す
る。例えば、光ディスク，ＣＤ，光磁気ディスクに適用
されるものである。
る。例えば、光ディスク，ＣＤ，光磁気ディスクに適用
されるものである。
【０００２】
【従来技術】ディスクの成形時の局部的な面内歪み現象
は、これまで主に機械特性評価装置（面振れ，面振れ加
速度等）での評価中に、トラック振れ加速度の異常値で
間接的に検知していた。しかし、トラック振れのデータ
には種々の要因（ピット形状グルーブトラッキング性
能，ディスク偏心，回転軸振れ等）が含まれており、成
形条件へのフィードバックには適切ではなかった。ま
た、ディスクの面内歪み状態は、トラック長さ３０mm以
上において僅か１０μm以下ということで、半径方向へ
の倍率を3000倍に拡大する必要があり、一般的には直接
的検知方法は未だ確立されていない。
は、これまで主に機械特性評価装置（面振れ，面振れ加
速度等）での評価中に、トラック振れ加速度の異常値で
間接的に検知していた。しかし、トラック振れのデータ
には種々の要因（ピット形状グルーブトラッキング性
能，ディスク偏心，回転軸振れ等）が含まれており、成
形条件へのフィードバックには適切ではなかった。ま
た、ディスクの面内歪み状態は、トラック長さ３０mm以
上において僅か１０μm以下ということで、半径方向へ
の倍率を3000倍に拡大する必要があり、一般的には直接
的検知方法は未だ確立されていない。
【０００３】また、射出成形法でスタンパから基板を製
造する工程において、ＰＣ基板を成形金型（スタンパ）
から離型させる瞬間に、外周リング部での不均一なばり
分布により、局部的に樹脂が外周に向って引張られるこ
とによって発生すると考えられる。図２に誇張して変形
の様子を示した。この現像は主に最外周近傍に発生し、
しかも微小なため偏光板やジャドウグラフでは検知でき
ないものであった。
造する工程において、ＰＣ基板を成形金型（スタンパ）
から離型させる瞬間に、外周リング部での不均一なばり
分布により、局部的に樹脂が外周に向って引張られるこ
とによって発生すると考えられる。図２に誇張して変形
の様子を示した。この現像は主に最外周近傍に発生し、
しかも微小なため偏光板やジャドウグラフでは検知でき
ないものであった。
【０００４】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、ディスク面内歪みを製造ラインにおいて、リア
ルタイムで、簡便に、かつ定量的に、しかも目視可能と
するようなディスク真円度評価装置を提供することを目
的としてなされたものである。
もので、ディスク面内歪みを製造ラインにおいて、リア
ルタイムで、簡便に、かつ定量的に、しかも目視可能と
するようなディスク真円度評価装置を提供することを目
的としてなされたものである。
【０００５】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
ディスクの基板面に格子状パターンを照射し、該格子状
パターンと反射パターンとの差を検知し、前記基板に発
生する局部的な面内歪みを評価するディスク真円度評価
装置において、被検査体であるディスク基板を回転させ
る回転駆動部と、該基板に格子状パターンを投影する光
学部と、前記格子状パターンと前記基板からの反射パタ
ーンを検知して比較する画像処理部と、前記基板の円周
方向と半径方向のスケールを個々に可変できるイメージ
プロセッサ部とから成ること、更には、（２）前記基準
パターンが同心円かつ放射状のグリッドで構成され、各
同心円の間隔が放射線幅の1／1000以下となること、更
には、（３）前記画像処理部が前記光学部の有するスパ
イラル形状データを仮想基準線としてデータ処理するこ
とを特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基
づいて説明する。
ディスクの基板面に格子状パターンを照射し、該格子状
パターンと反射パターンとの差を検知し、前記基板に発
生する局部的な面内歪みを評価するディスク真円度評価
装置において、被検査体であるディスク基板を回転させ
る回転駆動部と、該基板に格子状パターンを投影する光
学部と、前記格子状パターンと前記基板からの反射パタ
ーンを検知して比較する画像処理部と、前記基板の円周
方向と半径方向のスケールを個々に可変できるイメージ
プロセッサ部とから成ること、更には、（２）前記基準
パターンが同心円かつ放射状のグリッドで構成され、各
同心円の間隔が放射線幅の1／1000以下となること、更
には、（３）前記画像処理部が前記光学部の有するスパ
イラル形状データを仮想基準線としてデータ処理するこ
とを特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基
づいて説明する。
【０００６】図１は、本発明によるディスク真円度評価
装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は
被検査体（ディスク）、２はグリッド投光器（光学
部）、３はハーフミラー、４は検知部（ＣＣＤカメ
ラ）、５はデータイメージ、６は演算処理部（画像処理
部）、７は出力部（アウトプットイメージ）、８は回転
駆動部（回転台）である。
装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は
被検査体（ディスク）、２はグリッド投光器（光学
部）、３はハーフミラー、４は検知部（ＣＣＤカメ
ラ）、５はデータイメージ、６は演算処理部（画像処理
部）、７は出力部（アウトプットイメージ）、８は回転
駆動部（回転台）である。
【０００７】被検査体１は回転駆動部８に取付けられて
回転される。該被検査体１の任意部分に、図示のよう
に、中心角２０°〜４０°の扇状の同心円格子パターン
の基準パターンをグリッド投光器２より投影する。該基
準パターンは、半径方向の格子間隔が横幅（放射線幅）
の1／1000以下となるように作成されている。前記被検
査体１を載置する回転駆動部（回転台）のエンコーダか
らその回転角のデータ（θci）が得られ、また、グリッ
ド投光器２の上下動台のリニアスケールからはデータ
（ｒci）が得られるようになっており、それが基準デー
タとなる。投影された基準パターンは、前記被検査体１
上で反射された反射パターンとなって、ハーフミラー３
を介してＣＣＤカメラなどからなる検知部４で検知され
る。また、前記グリッド投光器２からの基準パターン
は、前記ハーフミラー３を介して前記検知部４で検知さ
れる。
回転される。該被検査体１の任意部分に、図示のよう
に、中心角２０°〜４０°の扇状の同心円格子パターン
の基準パターンをグリッド投光器２より投影する。該基
準パターンは、半径方向の格子間隔が横幅（放射線幅）
の1／1000以下となるように作成されている。前記被検
査体１を載置する回転駆動部（回転台）のエンコーダか
らその回転角のデータ（θci）が得られ、また、グリッ
ド投光器２の上下動台のリニアスケールからはデータ
（ｒci）が得られるようになっており、それが基準デー
タとなる。投影された基準パターンは、前記被検査体１
上で反射された反射パターンとなって、ハーフミラー３
を介してＣＣＤカメラなどからなる検知部４で検知され
る。また、前記グリッド投光器２からの基準パターン
は、前記ハーフミラー３を介して前記検知部４で検知さ
れる。
【０００８】すなわち、ハーフミラー３では、被検査体
１での反射パターンとグリッド投光器２からの基準パタ
ーンの光軸が一致するように設けられている。該ハーフ
ミラーを透過した２つのパターンはＣＣＤカメラ４で検
知され、データイメージ５を得る。該データイメージ５
において、実線ａは基準パターンを示し、点線ｂは反射
パターンを示している。この場合の基準データ（ｒ,
θ）は（ｒci，θci）であり、反射データ（ｒ,θ）は
（ｒai，θai）である。
１での反射パターンとグリッド投光器２からの基準パタ
ーンの光軸が一致するように設けられている。該ハーフ
ミラーを透過した２つのパターンはＣＣＤカメラ４で検
知され、データイメージ５を得る。該データイメージ５
において、実線ａは基準パターンを示し、点線ｂは反射
パターンを示している。この場合の基準データ（ｒ,
θ）は（ｒci，θci）であり、反射データ（ｒ,θ）は
（ｒai，θai）である。
【０００９】演算処理器６では、主にΔ(ｒci−ｒai)と
スパイラル情報１.６μm／トラックを考慮して計算す
る。その結果は、プリンタの出力としてアウトプットイ
メージ７になる。該アウトプットイメージの（ａ）は
（ｂ）の異常部を拡大したものである。（ａ）におい
て、各半径位置γ＝ｎ1…ｎjにおける任意のθ°に対し
て真円度がμm単位で表示される。一点鎖線は、真円度
θμmラインであり、スパイラルデータが加味されてい
る。
スパイラル情報１.６μm／トラックを考慮して計算す
る。その結果は、プリンタの出力としてアウトプットイ
メージ７になる。該アウトプットイメージの（ａ）は
（ｂ）の異常部を拡大したものである。（ａ）におい
て、各半径位置γ＝ｎ1…ｎjにおける任意のθ°に対し
て真円度がμm単位で表示される。一点鎖線は、真円度
θμmラインであり、スパイラルデータが加味されてい
る。
【００１０】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）製造ラインでリアルタイムに真円度評価が可能に
なり、不具合に対してタイムリーに対応でき、歩留りが
上った。 （２）不具合データより金型の予想不良箇所やスタンパ
の不良箇所を即座に同定できるようになった。したがっ
て、経済性の向上や工程の安定性に役立つ。
と、以下のような効果がある。 （１）製造ラインでリアルタイムに真円度評価が可能に
なり、不具合に対してタイムリーに対応でき、歩留りが
上った。 （２）不具合データより金型の予想不良箇所やスタンパ
の不良箇所を即座に同定できるようになった。したがっ
て、経済性の向上や工程の安定性に役立つ。
【図１】 本発明によるディスク真円度評価装置の一実
施例を説明するための構成図である。
施例を説明するための構成図である。
【図２】 ディスクの変形の様子を示す図である。
１…被検査体（ディスク）、２…グリッド投光器（光学
部）、３…ハーフミラー、４…検知部（ＣＣＤカメ
ラ）、５…データイメージ、６…演算処理部（画像処理
部）、７…出力部（アクトプットイメージ）、８…回転
駆動部（回転台）。
部）、３…ハーフミラー、４…検知部（ＣＣＤカメ
ラ）、５…データイメージ、６…演算処理部（画像処理
部）、７…出力部（アクトプットイメージ）、８…回転
駆動部（回転台）。
Claims (3)
- 【請求項１】 ディスクの基板面に格子状パターンを照
射し、該格子状パターンと反射パターンとの差を検知
し、前記基板に発生する局部的な面内歪みを評価するデ
ィスク真円度評価装置において、被検査体であるディス
ク基板を回転させる回転駆動部と、該基板に格子状パタ
ーンを投影する光学部と、前記格子状パターンと前記基
板からの反射パターンを検知して比較する画像処理部
と、前記基板の円周方向と半径方向のスケールを個々に
可変できるイメージプロセッサ部とから成ることを特徴
とするディスク真円度評価装置。 - 【請求項２】 前記基準パターンが同心円かつ放射状の
グリッドで構成され、各同心円の間隔が放射線幅の1／1
000以下となることを特徴とする請求項１記載のディス
ク真円度評価装置。 - 【請求項３】 前記画像処理部が前記光学部の有するス
パイラル形状データを仮想基準線としてデータ処理する
ことを特徴とする請求項１記載のディスク真円度評価装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7913092A JPH05242535A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | ディスク真円度評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7913092A JPH05242535A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | ディスク真円度評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242535A true JPH05242535A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=13681371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7913092A Pending JPH05242535A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | ディスク真円度評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05242535A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI490481B (zh) * | 2013-05-27 | 2015-07-01 | 中原大學 | On - line Inspection Method for Panel 3D Defects |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP7913092A patent/JPH05242535A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI490481B (zh) * | 2013-05-27 | 2015-07-01 | 中原大學 | On - line Inspection Method for Panel 3D Defects |
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