JPH05242860A - 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析計Info
- Publication number
- JPH05242860A JPH05242860A JP4043228A JP4322892A JPH05242860A JP H05242860 A JPH05242860 A JP H05242860A JP 4043228 A JP4043228 A JP 4043228A JP 4322892 A JP4322892 A JP 4322892A JP H05242860 A JPH05242860 A JP H05242860A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- pole
- connecting means
- inductively coupled
- coupled plasma
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】メンテナンス性を改善し四重極ロッドに無理な
力が作用しないようにして分析の信頼性を向上させたＩ
ＣＰ−ＭＳを提供する。 【構成】Ｑポールロッド２２ａと２２ｃは固定用ネジ２
４ａと２４ｃを介して接続手段２５ａにより電気的に接
続されている。また、Ｑポールロッド２２ｂと２２ｄは
固定用ネジ２４ａと２４ｃを介して接続手段２５ｂによ
り電気的に接続されている。
力が作用しないようにして分析の信頼性を向上させたＩ
ＣＰ−ＭＳを提供する。 【構成】Ｑポールロッド２２ａと２２ｃは固定用ネジ２
４ａと２４ｃを介して接続手段２５ａにより電気的に接
続されている。また、Ｑポールロッド２２ｂと２２ｄは
固定用ネジ２４ａと２４ｃを介して接続手段２５ｂによ
り電気的に接続されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波誘導コイルに高
周波エネルギ―を供給し高周波磁界を形成して高周波誘
導結合プラズマを生じさせ該プラズマを利用して試料中
の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ質量分
析計（以下、「ＩＣＰ−ＭＳ」という）に係わり、特
に、メンテナンス性を改善して分析の信頼性を向上させ
たＩＣＰ−ＭＳに関する。
周波エネルギ―を供給し高周波磁界を形成して高周波誘
導結合プラズマを生じさせ該プラズマを利用して試料中
の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ質量分
析計（以下、「ＩＣＰ−ＭＳ」という）に係わり、特
に、メンテナンス性を改善して分析の信頼性を向上させ
たＩＣＰ−ＭＳに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、ＩＣＰ−ＭＳの一般的な構成説
明図である。この図において、プラズマト―チ１の外室
１ｂと最外室１ｃにガス調節器２を介してアルゴンガス
供給源３からアルゴンガスが供給され、内室１ａには試
料導入装置４内の固体試料がレ―ザ光源５から照射され
たレ―ザ光によって気化されてのちキャリアガスである
アルゴンガスによって搬入されるようになっている。
明図である。この図において、プラズマト―チ１の外室
１ｂと最外室１ｃにガス調節器２を介してアルゴンガス
供給源３からアルゴンガスが供給され、内室１ａには試
料導入装置４内の固体試料がレ―ザ光源５から照射され
たレ―ザ光によって気化されてのちキャリアガスである
アルゴンガスによって搬入されるようになっている。
【０００３】尚、液体試料の場合には、レ―ザ光源５が
除去されると共に試料導入装置４内に収容された液体試
料が図示しないネブライザで霧化されてのちプラズマト
ーチ１の内室１ａに導入される。また、試料は固体試料
であるよりも液体試料であることが多い。
除去されると共に試料導入装置４内に収容された液体試
料が図示しないネブライザで霧化されてのちプラズマト
ーチ１の内室１ａに導入される。また、試料は固体試料
であるよりも液体試料であることが多い。
【０００４】一方、プラズマト―チ１に巻回された高周
波誘導コイル６には高周波電源１０によって高周波電流
が流され、該コイル６の周囲に高周波磁界（図示せず）
が形成されている。この状態で、上記高周波磁界の近傍
でアルゴンガス中に電子かイオンが植え付けられると、
該高周波磁界の作用によって瞬時に高周波誘導結合プラ
ズマ７が生ずる。
波誘導コイル６には高周波電源１０によって高周波電流
が流され、該コイル６の周囲に高周波磁界（図示せず）
が形成されている。この状態で、上記高周波磁界の近傍
でアルゴンガス中に電子かイオンが植え付けられると、
該高周波磁界の作用によって瞬時に高周波誘導結合プラ
ズマ７が生ずる。
【０００５】また、ノズル８とスキマ―９に挟まれたフ
ォアチェンバ―本体１１内は、真空ポンプ１２によって
吸引されている。また、センタ―チェンバ―１３内に
は、イオンレンズ系１４ａ，１４ｂが設けられると共
に、該センタ―チェンバ―の内部は第１油拡散ポンプ１
５によって吸引され、四重極マスフィルタ１６を収容し
ているリアチェンバ―１７内は第２油拡散ポンプ１８に
よって吸引されている。
ォアチェンバ―本体１１内は、真空ポンプ１２によって
吸引されている。また、センタ―チェンバ―１３内に
は、イオンレンズ系１４ａ，１４ｂが設けられると共
に、該センタ―チェンバ―の内部は第１油拡散ポンプ１
５によって吸引され、四重極マスフィルタ１６を収容し
ているリアチェンバ―１７内は第２油拡散ポンプ１８に
よって吸引されている。
【０００６】この状態で、高周波誘導結合プラズマ７中
に上述のようにして気化された試料が導入され、イオン
化や発光が行われる。該プラズマ７内のイオンは、ノズ
ル８やスキマ―９を経由してのちイオンレンズ系１４
ａ，１４ｂの間を通って収束され、四重極マスフィルタ
１６に導入される。
に上述のようにして気化された試料が導入され、イオン
化や発光が行われる。該プラズマ７内のイオンは、ノズ
ル８やスキマ―９を経由してのちイオンレンズ系１４
ａ，１４ｂの間を通って収束され、四重極マスフィルタ
１６に導入される。
【０００７】このようにして四重極マスフィルタ１６に
入ったイオンのうち目的の質量電荷比のイオンだけが、
四重極マスフィルタ１６を通過し二次電子増倍管１９に
導かれて検出される。この検出信号が信号処理部２０に
送出されて演算・処理されることによって、前記試料中
の被測定元素分析値が求められる。
入ったイオンのうち目的の質量電荷比のイオンだけが、
四重極マスフィルタ１６を通過し二次電子増倍管１９に
導かれて検出される。この検出信号が信号処理部２０に
送出されて演算・処理されることによって、前記試料中
の被測定元素分析値が求められる。
【０００８】図４は四重極マスフィルタを詳しく説明す
るための図であり、図中、２１はＱポールロッド２２ａ
〜２２ｄを保持するためのＱポール保持用セラミック、
２３ａ〜２３ｄはＱポールロッド２２ａ〜２２ｄにそれ
ぞれ駆動電圧を印加するための電圧供給用ロッドであ
る。
るための図であり、図中、２１はＱポールロッド２２ａ
〜２２ｄを保持するためのＱポール保持用セラミック、
２３ａ〜２３ｄはＱポールロッド２２ａ〜２２ｄにそれ
ぞれ駆動電圧を印加するための電圧供給用ロッドであ
る。
【０００９】このような構成からなる従来の四重極マス
フィルタにおいて、Ｑポール保持用セラミック２１の側
面には雌ネジを有する４個の貫通穴が設けられており、
これらの雌ネジに電圧供給用ロッド２３ａ〜２３ｄの各
雄ネジがねじ込むようにして挿入されている。また、図
示しない電圧供給配線を介して電圧供給用ロッド２３ａ
〜２３ｄに所定の駆動電圧を供給することにより、四重
極マスフィルタを駆動していた。
フィルタにおいて、Ｑポール保持用セラミック２１の側
面には雌ネジを有する４個の貫通穴が設けられており、
これらの雌ネジに電圧供給用ロッド２３ａ〜２３ｄの各
雄ネジがねじ込むようにして挿入されている。また、図
示しない電圧供給配線を介して電圧供給用ロッド２３ａ
〜２３ｄに所定の駆動電圧を供給することにより、四重
極マスフィルタを駆動していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする問題点】しかし、上記従来例
においては、メンテナンス時に上記電圧供給配線を外し
てメンテナンスを行わなければならない等メンテナンス
が複雑となる欠点があった。また、精密に組み立ててあ
るＱポールロッドに無理な力が作用し、ＩＣＰ−ＭＳの
分析性能に悪影響が出るという欠点もあった。本発明は
かかる従来例の欠点などに鑑みてなされたものであり、
その目的は、メンテナンス性を改善し四重極ロッドに無
理な力が作用しないようにして分析の信頼性を向上させ
たＩＣＰ−ＭＳを提供することにある。
においては、メンテナンス時に上記電圧供給配線を外し
てメンテナンスを行わなければならない等メンテナンス
が複雑となる欠点があった。また、精密に組み立ててあ
るＱポールロッドに無理な力が作用し、ＩＣＰ−ＭＳの
分析性能に悪影響が出るという欠点もあった。本発明は
かかる従来例の欠点などに鑑みてなされたものであり、
その目的は、メンテナンス性を改善し四重極ロッドに無
理な力が作用しないようにして分析の信頼性を向上させ
たＩＣＰ−ＭＳを提供することにある。
【００１１】
【問題点を解決するための手段】本発明は、ＩＣＰ−Ｍ
Ｓにおいて、四重極マスフィルタの４本のＱポールロッ
ドのうち、第１，第３のＱポールロッドは第１，第３の
固定用ネジを介し第１接続手段により電気的に接続され
ると共に、第２，第４のＱポールロッドは第２固定用ネ
ジを介し第２接続手段により電気的に接続されるように
構成することにより前記課題を解決したものである。
Ｓにおいて、四重極マスフィルタの４本のＱポールロッ
ドのうち、第１，第３のＱポールロッドは第１，第３の
固定用ネジを介し第１接続手段により電気的に接続され
ると共に、第２，第４のＱポールロッドは第２固定用ネ
ジを介し第２接続手段により電気的に接続されるように
構成することにより前記課題を解決したものである。
【００１２】
【作用】本発明は次のように作用する。即ち、第１Ｑポ
ールロッドの例えば端部に電圧供給用板バネなどを介し
て所定の駆動電圧が供給されると、該駆動電圧は、第１
固定用ネジ→第１接続手段→第３固定用ネジを通り、第
３Ｑポールロッドに供給される。
ールロッドの例えば端部に電圧供給用板バネなどを介し
て所定の駆動電圧が供給されると、該駆動電圧は、第１
固定用ネジ→第１接続手段→第３固定用ネジを通り、第
３Ｑポールロッドに供給される。
【００１３】同様に、第２Ｑポールロッドの例えば端部
に電圧供給用板バネなどを介して所定の駆動電圧が供給
されると、該駆動電圧は、第２固定用ネジ→第２接続手
段→第４固定用ネジを通り、第４Ｑポールロッドに供給
される。このように４本のＱポールロッドのうち第１，
第３のＱポールロッドに駆動電圧を供給するだけで、第
１〜第４のＱポールロッドに同時に駆動電圧を印加した
場合と同様に四重極マスフィルタが駆動する。
に電圧供給用板バネなどを介して所定の駆動電圧が供給
されると、該駆動電圧は、第２固定用ネジ→第２接続手
段→第４固定用ネジを通り、第４Ｑポールロッドに供給
される。このように４本のＱポールロッドのうち第１，
第３のＱポールロッドに駆動電圧を供給するだけで、第
１〜第４のＱポールロッドに同時に駆動電圧を印加した
場合と同様に四重極マスフィルタが駆動する。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて詳
細に説明する。図１は本発明実施例の要部構成説明図で
あり、図中、２４ａ〜２４ｄはそれぞれＱポールロッド
２２ａ〜２２ｄをＱポール保持用セラミック２１に固定
する固定用ネジ、２５ａは例えばＱポール保持用セラミ
ック２１に金蒸着された帯線でなり固定用ネジ２４ａと
固定用ネジ２４ｃを電気的に接続する接続手段、２５ｂ
は例えばＱポール保持用セラミック２１に金蒸着された
帯線でなり固定用ネジ２４ｂと固定用ネジ２４ｄを電気
的に接続する接続手段、２６ａ〜２６ｄはそれぞれＱポ
ールロッド２２ａ〜２２ｄの端部である。
細に説明する。図１は本発明実施例の要部構成説明図で
あり、図中、２４ａ〜２４ｄはそれぞれＱポールロッド
２２ａ〜２２ｄをＱポール保持用セラミック２１に固定
する固定用ネジ、２５ａは例えばＱポール保持用セラミ
ック２１に金蒸着された帯線でなり固定用ネジ２４ａと
固定用ネジ２４ｃを電気的に接続する接続手段、２５ｂ
は例えばＱポール保持用セラミック２１に金蒸着された
帯線でなり固定用ネジ２４ｂと固定用ネジ２４ｄを電気
的に接続する接続手段、２６ａ〜２６ｄはそれぞれＱポ
ールロッド２２ａ〜２２ｄの端部である。
【００１５】このような要部構成からなる本発明の実施
例において、Ｑポールロッド２２ａと２２ｃは固定用ネ
ジ２４ａと２４ｃを介して接続手段２５ａにより電気的
に接続されている。また、Ｑポールロッド２２ｂと２２
ｄは固定用ネジ２４ａと２４ｃを介して接続手段２５ｂ
により電気的に接続されている。
例において、Ｑポールロッド２２ａと２２ｃは固定用ネ
ジ２４ａと２４ｃを介して接続手段２５ａにより電気的
に接続されている。また、Ｑポールロッド２２ｂと２２
ｄは固定用ネジ２４ａと２４ｃを介して接続手段２５ｂ
により電気的に接続されている。
【００１６】このため、Ｑポールロッド２２ａの例えば
端部２６ａに図示しない電圧供給用板バネなどを介して
所定の駆動電圧が供給されると、該駆動電圧は、固定用
ネジ２４ａ→接続手段２５ａ→固定用ネジ２４ｃを通
り、Ｑポールロッド２２ｃに供給される。
端部２６ａに図示しない電圧供給用板バネなどを介して
所定の駆動電圧が供給されると、該駆動電圧は、固定用
ネジ２４ａ→接続手段２５ａ→固定用ネジ２４ｃを通
り、Ｑポールロッド２２ｃに供給される。
【００１７】同様に、Ｑポールロッド２２ｂの例えば端
部２６ｂに図示しない電圧供給用板バネなどを介して所
定の駆動電圧が供給されると、該駆動電圧は、固定用ネ
ジ２４ｂ→接続手段２５ｂ→固定用ネジ２４ｄを通り、
Ｑポールロッド２２ｄに供給される。
部２６ｂに図示しない電圧供給用板バネなどを介して所
定の駆動電圧が供給されると、該駆動電圧は、固定用ネ
ジ２４ｂ→接続手段２５ｂ→固定用ネジ２４ｄを通り、
Ｑポールロッド２２ｄに供給される。
【００１８】このように４本のＱポールロッド２２ａ〜
２２ｄのうち２本のＱポールロッド２２ａ，２２ｂに駆
動電圧を供給するだけで、結果的に４本のＱポールロッ
ド２２ａ〜２２ｄに同時に駆動電圧を印加した場合と同
様に四重極マスフィルタが駆動する。
２２ｄのうち２本のＱポールロッド２２ａ，２２ｂに駆
動電圧を供給するだけで、結果的に４本のＱポールロッ
ド２２ａ〜２２ｄに同時に駆動電圧を印加した場合と同
様に四重極マスフィルタが駆動する。
【００１９】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば接続手段２５
ａ，２５ｂの形状や取付位置などを図２と異なる形状や
位置などにしてもよい。
となく種々の変形が可能であり、例えば接続手段２５
ａ，２５ｂの形状や取付位置などを図２と異なる形状や
位置などにしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、ＩＣＰ−ＭＳにおいて、四重極マスフィルタの４本
のＱポールロッドのうち２本のＱポールロッドに駆動電
圧を供給するだけで、４本のＱポールロッドに同時に駆
動電圧を印加した場合と同様に四重極マスフィルタを駆
動できる。
ば、ＩＣＰ−ＭＳにおいて、四重極マスフィルタの４本
のＱポールロッドのうち２本のＱポールロッドに駆動電
圧を供給するだけで、４本のＱポールロッドに同時に駆
動電圧を印加した場合と同様に四重極マスフィルタを駆
動できる。
【００２１】このため、四重極マスフィルタのメンテナ
ンス時に、四重極マスフィルタの一面だけでメンテナン
ス作業を行うことができ、メンテナンス作業が容易にな
ると共に四重極マスフィルタのＱポールロッドに直接的
な力がかかってＩＣＰ−ＭＳの分析性能に悪影響がでる
のを回避できるという利点がある。従って、本発明によ
れば、メンテナンス性を改善し四重極マスフィルタのＱ
ポールロッドに無理な力が作用しないようにして分析の
信頼性を向上させたＩＣＰ−ＭＳが実現する。
ンス時に、四重極マスフィルタの一面だけでメンテナン
ス作業を行うことができ、メンテナンス作業が容易にな
ると共に四重極マスフィルタのＱポールロッドに直接的
な力がかかってＩＣＰ−ＭＳの分析性能に悪影響がでる
のを回避できるという利点がある。従って、本発明によ
れば、メンテナンス性を改善し四重極マスフィルタのＱ
ポールロッドに無理な力が作用しないようにして分析の
信頼性を向上させたＩＣＰ−ＭＳが実現する。
【図１】本発明実施例の要部構成説明図である。
【図２】四重極マスフィルタを詳しく説明するための構
成斜視図である。
成斜視図である。
【図３】ＩＣＰ−ＭＳの一般的な構成説明図である。
【図４】従来例の要部構成説明図である。
２１ Ｑポール保持用セラミック ２２ａ〜２２ｄ Ｑポールロッド ２３ａ〜２３ｄ 電圧供給用ロッド ２４ａ〜２４ｄ 固定用ネジ ２５ａ，２５ｂ 接続手段 ２６ａ〜２６ｄ Ｑポールロッドの端部
Claims (1)
- 【請求項１】高周波誘導結合プラズマ質量分析計におい
て、四重極マスフィルタの４本のＱポールロッドのう
ち、第１，第３のＱポールロッドは第１，第３の固定用
ネジを介し第１接続手段により電気的に接続されると共
に、第２，第４のＱポールロッドは第２固定用ネジを介
し第２接続手段により電気的に接続されるように構成し
たことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043228A JPH05242860A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043228A JPH05242860A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242860A true JPH05242860A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12658059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4043228A Pending JPH05242860A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05242860A (ja) |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043228A patent/JPH05242860A/ja active Pending
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