JPH05243317A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

Info

Publication number
JPH05243317A
JPH05243317A JP4042714A JP4271492A JPH05243317A JP H05243317 A JPH05243317 A JP H05243317A JP 4042714 A JP4042714 A JP 4042714A JP 4271492 A JP4271492 A JP 4271492A JP H05243317 A JPH05243317 A JP H05243317A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding pad
wire
semiconductor device
bonding
external lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4042714A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanori Matsuo
政則 松尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP4042714A priority Critical patent/JPH05243317A/ja
Publication of JPH05243317A publication Critical patent/JPH05243317A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/90Bond pads, in general
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07521Aligning
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07541Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature
    • H10W72/07551Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/531Shapes of wire connectors
    • H10W72/536Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/531Shapes of wire connectors
    • H10W72/5363Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/541Dispositions of bond wires
    • H10W72/5445Dispositions of bond wires being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/541Dispositions of bond wires
    • H10W72/5453Dispositions of bond wires connecting between multiple bond pads on a chip, e.g. daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/59Bond pads specially adapted therefor
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/90Bond pads, in general
    • H10W72/931Shapes of bond pads
    • H10W72/932Plan-view shape, i.e. in top view
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/731Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
    • H10W90/736Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤーループを低く形成し半導体装置を薄く
する。 【構成】半導体基板1上に二つのボンディングパッドを
形成し、ワイヤー5のボールボンディングを捨てボンデ
ィングパッド2に行い、ワイヤーの連続ループで外部導
出リード4へ結線する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置に関し、特に
ボンディングパッドの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体装置は、図2(a),
(b)に示すように、半導体基板1上に形成されたボン
ディングパッド3Aと外部導出リード4との接続は、ボ
ールボンディングによるものが最も標準的な方法であ
る。この方法は、ボンディングパッド3Aと結線用のワ
イヤー5とをボールボンディングで接続し、1ループの
ワイヤー形状で外部導出リード4に接続するものであ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この従来のボールボン
ディング方式の接続では、信頼性品質上ボール圧着後の
ワイヤーのループ形状の垂直の立上り部hを150〜2
00μmの高さにする必要があった。ループの高さを低
くしようとするとボール圧着部からのワイヤーの立上り
が斜めに引っぱられ、機械的ストレスがワイヤーの立上
り部に集中し、特にモールド樹脂封止の半導体装置で
は、モールド樹脂封止後にワイヤー断線が起こるという
欠点がある。このためボール圧着後の垂直の立上り部h
が150〜200μm必要とされる訳である。しかしな
がら近年、半導体装置は可能な限りの小型化が要求され
ており、平面的な大きさはリードフレーム等のパターン
の縮小等で対応されているが、高さ(厚さ)方向は、上
述したワイヤーループの高さから制約されていた。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置は、
半導体基板上に形成された捨てボンディングパッドと、
この捨てボンディングパッドに近接して設けられた正規
ボンディングパッドと、前記基板の周囲に設けられた外
部導出リードと、前記捨てボンディングパッドにボール
ボンディングされると共に前記正規ボンディングパッド
と前記外部導出リードに接続され繰り返しループ形状を
有するワイヤーとを含むものである。
【0005】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a),(b)は本発明の一実施例の半導体装
置の平面図及び断面図である。
【0006】図1(a),(b)において、リードフレ
ームのアイランド上に固着された半導体基板1の上に
は、捨てボンディングパッド2と正規ボンディングパッ
ド3が設けられており、これらのボンディングパッドと
外部導出リード4とは結線用のワイヤー5で接続されて
いる。結線方法としては、まずワイヤー5のボールボン
ディングを捨てボンディングパッド2に行ない、次にこ
のワイヤー5を正規ボンディングワッド3に圧着し連続
ループを形成して外部導出リード4に結線する。
【0007】このように構成された本実施例によれば、
捨てボンディングパッド2から正規のボンディングパッ
ド3へのワイヤー5の機能としては、単に結線されてい
れば良いため、従来のようにループ高さを確保する必要
はない。また、内部配線に接続された正規ボンディング
パッド3から外部導出リード4へのワイヤーループは、
接続がボールボンディングではないため水平に近いワイ
ヤーループ形状が確保できる。従ってモールド樹脂6に
より封止した場合でも、ワイヤー5が切断されることは
ない。
【0008】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ボンディ
ングパッドを捨てボンディングパッドとを正規ボディン
グパッドから構成し、ボールボンディングを捨てボンデ
ィングパッドに行ない、ワイヤーの連続ループで外部導
出リードへ結線しているため、ワイヤーループを水平に
近い形状とすることができる。従って大量生産に最も適
したボールボンディング方法を用いてもワイヤーループ
の高さを低くできるため、半導体装置の厚さを薄くでき
るという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の平面図及び断面図。
【図2】従来の半導体装置の平面図及び断面図。
【符号の説明】
1 半導体基板 2 捨てボンディングパッド 3 正規ボンディングパッド 4 外部導出リード 5 ワイヤー 6 モールド樹脂

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板上に形成された捨てボンディ
    ングパッドと、この捨てボンディングパッドに近接して
    設けられた正規ボンディングパッドと、前記基板の周囲
    に設けられた外部導出リードと、前記捨てボンディング
    パッドにボールボンディングされると共に前記正規ボン
    ディングパッドと前記外部導出リードに接続され繰り返
    しループ形状を有するワイヤーとを含むことを特徴とす
    る半導体装置。
JP4042714A 1992-02-28 1992-02-28 半導体装置 Withdrawn JPH05243317A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4042714A JPH05243317A (ja) 1992-02-28 1992-02-28 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4042714A JPH05243317A (ja) 1992-02-28 1992-02-28 半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05243317A true JPH05243317A (ja) 1993-09-21

Family

ID=12643741

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4042714A Withdrawn JPH05243317A (ja) 1992-02-28 1992-02-28 半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05243317A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1367642A3 (en) * 2002-05-30 2005-08-31 Fujitsu Limited Semiconductor device having a heat spreader exposed from a seal resin
JP2011054727A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Oki Semiconductor Co Ltd 半導体装置、その製造方法、及びワイヤボンディング方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1367642A3 (en) * 2002-05-30 2005-08-31 Fujitsu Limited Semiconductor device having a heat spreader exposed from a seal resin
US7193320B2 (en) 2002-05-30 2007-03-20 Fujitsu Limited Semiconductor device having a heat spreader exposed from a seal resin
JP2011054727A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Oki Semiconductor Co Ltd 半導体装置、その製造方法、及びワイヤボンディング方法
US20110070729A1 (en) * 2009-09-01 2011-03-24 Oki Semiconductor Co., Ltd. Method of manufacturing semiconductor device
US8609527B2 (en) * 2009-09-01 2013-12-17 Oki Semiconductor Co., Ltd. Method of manufacturing semiconductor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11312706A (ja) 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法、リードフレーム
JP2004153220A (ja) リードフレームおよびその製造方法ならびに樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JPH1167809A (ja) 半導体装置
JPH03177060A (ja) 半導体装置用リードフレーム
JPH05243317A (ja) 半導体装置
JPH10335366A (ja) 半導体装置
JP2003179193A (ja) リードフレームおよびその製造方法ならびに樹脂封止型半導体装置およびその製造方法ならびに樹脂封止型半導体装置の検査方法
JP2005050948A (ja) リードフレーム及びそれを用いた樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
JP2954109B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2001177007A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH0621303A (ja) 半導体装置用リードフレーム及びその製造方法
JP2002299357A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH0621304A (ja) リードフレーム及び半導体装置の製造方法
JPH06120287A (ja) リードフレームを用いた半導体装置とその製造方法
JP2000124396A (ja) 半導体装置
JPH05235087A (ja) 半導体集積回路装置
JP2687775B2 (ja) Tabテープ
JPH07211850A (ja) 半導体装置
JPH0498861A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH04330742A (ja) 半導体装置
JPS61148849A (ja) 半導体装置
JPH0637234A (ja) 半導体装置
JP2000091486A (ja) 半導体装置、およびその製造方法
JPH05206321A (ja) 半導体パッケージ
JPH10107198A (ja) Ic封止パッケージ

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990518