JPH05245452A - 引火性水系溶剤を用いる洗浄方法及び洗浄ライン装置 - Google Patents
引火性水系溶剤を用いる洗浄方法及び洗浄ライン装置Info
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- JPH05245452A JPH05245452A JP5040792A JP5040792A JPH05245452A JP H05245452 A JPH05245452 A JP H05245452A JP 5040792 A JP5040792 A JP 5040792A JP 5040792 A JP5040792 A JP 5040792A JP H05245452 A JPH05245452 A JP H05245452A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 83
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 68
- 239000002904 solvent Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 43
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 10
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 claims description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 5
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 abstract description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 abstract description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 150000004812 organic fluorine compounds Chemical class 0.000 description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 2
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 2
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】誘爆する危険性が少なく、かつ人体に対する影
響も考慮した、引火性水系溶剤を使用した洗浄方法およ
び装置の提供。 【構成】引火性水系溶剤γを用いて洗浄を行う洗浄装置
αにおいて、窒素等の不活性ガス雰囲気で充満し引火性
水系溶剤γを貯留した洗浄槽２，２′を有する洗浄工程
を行う密閉防爆洗浄室Ｂと、密閉防爆洗浄室へ洗浄のた
め被洗浄物βを搬入するため、密閉防爆洗浄室と外気と
の間に設けられる密閉手段１，１を有する密閉待機室Ａ
と、密閉防爆洗浄室と受渡水槽３で連結され混入してく
る引火性水系溶剤の蒸気を排出するための排気ダクト１
２を有して通常の空気雰囲気を呈し洗浄室Ｂと防爆仕切
壁６等で隔離されて水洗工程を行う水洗室Ｃと、水洗工
程の後に被洗浄物の乾燥工程を行う乾燥室Ｄとを一貫ラ
イン連結する。
響も考慮した、引火性水系溶剤を使用した洗浄方法およ
び装置の提供。 【構成】引火性水系溶剤γを用いて洗浄を行う洗浄装置
αにおいて、窒素等の不活性ガス雰囲気で充満し引火性
水系溶剤γを貯留した洗浄槽２，２′を有する洗浄工程
を行う密閉防爆洗浄室Ｂと、密閉防爆洗浄室へ洗浄のた
め被洗浄物βを搬入するため、密閉防爆洗浄室と外気と
の間に設けられる密閉手段１，１を有する密閉待機室Ａ
と、密閉防爆洗浄室と受渡水槽３で連結され混入してく
る引火性水系溶剤の蒸気を排出するための排気ダクト１
２を有して通常の空気雰囲気を呈し洗浄室Ｂと防爆仕切
壁６等で隔離されて水洗工程を行う水洗室Ｃと、水洗工
程の後に被洗浄物の乾燥工程を行う乾燥室Ｄとを一貫ラ
イン連結する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータや各種電
子機器等に組み入れる実装用基板等の洗浄において、ア
ルコール類水溶液や石油系溶剤を含む水溶液等の引火性
水系溶剤を利用した洗浄方法及び洗浄ライン装置に関す
る。
子機器等に組み入れる実装用基板等の洗浄において、ア
ルコール類水溶液や石油系溶剤を含む水溶液等の引火性
水系溶剤を利用した洗浄方法及び洗浄ライン装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の分野においては、トリク
ロルエチレン等の有機フッ素系化合物を用いて洗浄が行
われるのが主であった。近年、有機フッ素系化合物の人
体に対する毒性がクローズアップされ、また、その地球
的規模の環境への影響（オゾン層の破壊）等を考慮し
て、その使用が規制され始めている。そこで、引火性水
系溶剤を用いて、実装用基板等の洗浄を行う方法が各種
提案されている。
ロルエチレン等の有機フッ素系化合物を用いて洗浄が行
われるのが主であった。近年、有機フッ素系化合物の人
体に対する毒性がクローズアップされ、また、その地球
的規模の環境への影響（オゾン層の破壊）等を考慮し
て、その使用が規制され始めている。そこで、引火性水
系溶剤を用いて、実装用基板等の洗浄を行う方法が各種
提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、現在用いら
れている引火性水系溶剤というのは、アルコール類水溶
液や石油系溶剤を含む水溶液なので、極めて揮発性・引
火性が高く、通常の洗浄装置では、乾燥工程や何かの拍
子（例・装置内のスイッチによる火花等）で誘爆する危
険性が非常に高く、また、水系溶剤が揮発・蒸発した蒸
気の作業中の人体に対する影響も見逃しがたい。ここに
おいて本発明は、前記従来の引火性水系溶剤を使用する
洗浄に関する問題点に鑑み、誘爆する危険性が少なく、
なおかつ人体に対する影響も考慮した、引火性水系溶剤
を使用した洗浄方法および装置を提供せんとするもので
ある。
れている引火性水系溶剤というのは、アルコール類水溶
液や石油系溶剤を含む水溶液なので、極めて揮発性・引
火性が高く、通常の洗浄装置では、乾燥工程や何かの拍
子（例・装置内のスイッチによる火花等）で誘爆する危
険性が非常に高く、また、水系溶剤が揮発・蒸発した蒸
気の作業中の人体に対する影響も見逃しがたい。ここに
おいて本発明は、前記従来の引火性水系溶剤を使用する
洗浄に関する問題点に鑑み、誘爆する危険性が少なく、
なおかつ人体に対する影響も考慮した、引火性水系溶剤
を使用した洗浄方法および装置を提供せんとするもので
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題の解決は、本発
明が次に列挙する新規な特徴的構成手法及び手段を採用
することにより達成される。即ち、本発明方法の特徴
は、まず、密閉・隔離した窒素等の不活性ガス雰囲気を
有する室内でアルコール類水溶液や石油系溶剤を含む水
溶液等の引火性水系溶剤に浸して実装用基板等の洗浄工
程を行い、次いで、当該洗浄工程直後に適宜隔離手段に
より隔離された場所で水により水洗工程を行い、引続
き、当該水洗工程により前記水系洗浄剤の付着がなくな
ってから乾燥工程を行ってなる引火性水系溶剤を用いる
洗浄方法である。
明が次に列挙する新規な特徴的構成手法及び手段を採用
することにより達成される。即ち、本発明方法の特徴
は、まず、密閉・隔離した窒素等の不活性ガス雰囲気を
有する室内でアルコール類水溶液や石油系溶剤を含む水
溶液等の引火性水系溶剤に浸して実装用基板等の洗浄工
程を行い、次いで、当該洗浄工程直後に適宜隔離手段に
より隔離された場所で水により水洗工程を行い、引続
き、当該水洗工程により前記水系洗浄剤の付着がなくな
ってから乾燥工程を行ってなる引火性水系溶剤を用いる
洗浄方法である。
【０００５】本発明装置の特徴は、アルコール類水溶液
や石油系溶剤を含む水溶液等の引火性水系溶剤を用いて
洗浄を行う洗浄装置において、窒素等の不活性ガス雰囲
気で充満し前記引火性水系溶剤を貯留した洗浄槽を有し
洗浄を行う密閉防爆洗浄室と、当該密閉防爆洗浄室へ洗
浄のため被洗浄物を搬入するため、外気と直接前記不活
性ガス雰囲気を遮断自在に前記密閉防爆洗浄室と外気と
の間に設けられる適宜密閉手段を有する密閉待機室と、
前記密閉防爆洗浄室とは水を充填した水槽で被洗浄物を
受渡し自在に連結され僅かに混入してくる引火性水系溶
剤の蒸気を排出するための排気ダクトを有して通常空気
の雰囲気を呈し、前記密閉防爆洗浄室とは前記水槽以外
防爆壁等の適宜仕切手段により隔離されて行う水洗室
と、当該水洗室に連続して被洗浄物の乾燥を行う乾燥室
とを一貫ライン連結してなる洗浄ライン装置である。
や石油系溶剤を含む水溶液等の引火性水系溶剤を用いて
洗浄を行う洗浄装置において、窒素等の不活性ガス雰囲
気で充満し前記引火性水系溶剤を貯留した洗浄槽を有し
洗浄を行う密閉防爆洗浄室と、当該密閉防爆洗浄室へ洗
浄のため被洗浄物を搬入するため、外気と直接前記不活
性ガス雰囲気を遮断自在に前記密閉防爆洗浄室と外気と
の間に設けられる適宜密閉手段を有する密閉待機室と、
前記密閉防爆洗浄室とは水を充填した水槽で被洗浄物を
受渡し自在に連結され僅かに混入してくる引火性水系溶
剤の蒸気を排出するための排気ダクトを有して通常空気
の雰囲気を呈し、前記密閉防爆洗浄室とは前記水槽以外
防爆壁等の適宜仕切手段により隔離されて行う水洗室
と、当該水洗室に連続して被洗浄物の乾燥を行う乾燥室
とを一貫ライン連結してなる洗浄ライン装置である。
【０００６】
【作用】本発明は、前記のような手法及び手段を講じる
ので、引火性水系溶剤を用いて行う洗浄工程は密閉防爆
室内の窒素等の不活性ガス雰囲気中において行い、その
直後に、隔離された水洗室内で水洗工程を行い、その後
に乾燥室で乾燥工程を行うので、洗浄工程中における誘
爆事故の発生は皆無に等しく、さらに、洗浄工程後の水
洗工程において僅かに混入してくる引火性水系溶剤の蒸
気も、排気ダクトにより他の場所へ排気処理されるの
で、水洗工程における誘爆事故もなく、乾燥工程へと被
洗浄物を搬送することができる。
ので、引火性水系溶剤を用いて行う洗浄工程は密閉防爆
室内の窒素等の不活性ガス雰囲気中において行い、その
直後に、隔離された水洗室内で水洗工程を行い、その後
に乾燥室で乾燥工程を行うので、洗浄工程中における誘
爆事故の発生は皆無に等しく、さらに、洗浄工程後の水
洗工程において僅かに混入してくる引火性水系溶剤の蒸
気も、排気ダクトにより他の場所へ排気処理されるの
で、水洗工程における誘爆事故もなく、乾燥工程へと被
洗浄物を搬送することができる。
【０００７】
（装置例）本発明装置の実施例を図面につき説明する。
図１は、本実施例の洗浄ライン装置の概略図である。本
実施例においては、防爆のための不活性ガスとして窒素
ガスＮＧを選択した。図中、αは本実施例の洗浄ライン
装置、βは実装用基板等の被洗浄物、γはアルコール類
水溶液や石油系溶剤を含む水溶液等の引火性水系溶剤、
Ａは密閉待機室、Ｂは窒素ガスＮＧ雰囲気中にある密閉
防爆洗浄室、Ｃは通常雰囲気中で水洗を行う通常雰囲気
水洗室、Ｄは乾燥室、Ｗは水である。
図１は、本実施例の洗浄ライン装置の概略図である。本
実施例においては、防爆のための不活性ガスとして窒素
ガスＮＧを選択した。図中、αは本実施例の洗浄ライン
装置、βは実装用基板等の被洗浄物、γはアルコール類
水溶液や石油系溶剤を含む水溶液等の引火性水系溶剤、
Ａは密閉待機室、Ｂは窒素ガスＮＧ雰囲気中にある密閉
防爆洗浄室、Ｃは通常雰囲気中で水洗を行う通常雰囲気
水洗室、Ｄは乾燥室、Ｗは水である。
【０００８】１，１′はロック式の二重扉、２，２′は
引火性水系溶剤γにより洗浄を行う洗浄槽、３は水中受
渡コンベヤ３ａにより受け渡しを行いその途中で粗水洗
を行って付着した引火性水系溶剤γをある程度落とす受
渡水槽、４，４′は精水洗を行って引火性水系溶剤γを
完全に落とす水洗槽、５は乾燥機、５ａは搬送コンベ
ヤ、６は密閉防爆洗浄室Ｂと通常雰囲気水洗室Ｃとを隔
てて受渡水槽３の水面下まで延在する防爆仕切壁であ
る。
引火性水系溶剤γにより洗浄を行う洗浄槽、３は水中受
渡コンベヤ３ａにより受け渡しを行いその途中で粗水洗
を行って付着した引火性水系溶剤γをある程度落とす受
渡水槽、４，４′は精水洗を行って引火性水系溶剤γを
完全に落とす水洗槽、５は乾燥機、５ａは搬送コンベ
ヤ、６は密閉防爆洗浄室Ｂと通常雰囲気水洗室Ｃとを隔
てて受渡水槽３の水面下まで延在する防爆仕切壁であ
る。
【０００９】７は洗浄槽２，２′と受渡水槽３との間を
被洗浄物βを搬送する搬送機構、８は受渡水槽３と水洗
槽４，４′と図示しない熱風循環ファンをセットした乾
燥機５の導入部９との間を被洗浄物βを搬送する搬送機
構、１０は洗浄ライン装置αの搬入部、１１は洗浄ライ
ン装置αの搬出部、１２は通常雰囲気水洗室Ｃから排気
ファン１２ａにより強制排気を行い図示しない引火性水
系溶剤γのリサイクル装置等の別途処理工程へ送気する
排気ダクト、１３は万が一の場合の為に密閉防爆洗浄室
Ｂ内に設置される消火液噴出用の消火ノズル１３ａから
消火液Ｆを撒布する消火管、１４は密閉防爆洗浄室Ｂ内
の酸素濃度を一定以下に保つための窒素補給ノズル１４
ａから窒素ガスＮＧを噴射する窒素供給管である。
被洗浄物βを搬送する搬送機構、８は受渡水槽３と水洗
槽４，４′と図示しない熱風循環ファンをセットした乾
燥機５の導入部９との間を被洗浄物βを搬送する搬送機
構、１０は洗浄ライン装置αの搬入部、１１は洗浄ライ
ン装置αの搬出部、１２は通常雰囲気水洗室Ｃから排気
ファン１２ａにより強制排気を行い図示しない引火性水
系溶剤γのリサイクル装置等の別途処理工程へ送気する
排気ダクト、１３は万が一の場合の為に密閉防爆洗浄室
Ｂ内に設置される消火液噴出用の消火ノズル１３ａから
消火液Ｆを撒布する消火管、１４は密閉防爆洗浄室Ｂ内
の酸素濃度を一定以下に保つための窒素補給ノズル１４
ａから窒素ガスＮＧを噴射する窒素供給管である。
【００１０】（方法例）洗浄ライン装置αに適用した本
発明方法の実行例をその手順に従って図１につき説明す
る。まず、搬入部１０に被洗浄物βを載置する。搬入部
１０側の二重扉１が開き、搬入部１０の搬入コンベヤ１
０ａが被洗浄物βを密閉待機室Ａに搬入する（搬入待機
工程）。次に、密閉防爆洗浄室Ｂ側の二重扉１が開き、
密閉防爆洗浄室Ｂへと被洗浄物βは搬入される。密閉防
爆洗浄室Ｂは、予めその室内に窒素補給ノズル１４ａに
より窒素が噴散充満されていて、既に窒素雰囲気となっ
ている。
発明方法の実行例をその手順に従って図１につき説明す
る。まず、搬入部１０に被洗浄物βを載置する。搬入部
１０側の二重扉１が開き、搬入部１０の搬入コンベヤ１
０ａが被洗浄物βを密閉待機室Ａに搬入する（搬入待機
工程）。次に、密閉防爆洗浄室Ｂ側の二重扉１が開き、
密閉防爆洗浄室Ｂへと被洗浄物βは搬入される。密閉防
爆洗浄室Ｂは、予めその室内に窒素補給ノズル１４ａに
より窒素が噴散充満されていて、既に窒素雰囲気となっ
ている。
【００１１】密閉防爆洗浄室Ｂに搬入された被洗浄物β
は、まず、洗浄槽２中の引火性水系溶剤γに一度浸さ
れ、粗洗浄が行われ、そして、搬送機構７により隣の洗
浄槽２′へと搬送されて、もう一度洗浄槽２′中の引火
性水系溶剤γに浸されて精洗浄が行われる（溶剤洗浄工
程）。密閉防爆洗浄室Ｂ内の酸素濃度は、図示しない酸
素濃度計等の監視機構により監視され、一定の条件、例
えば監視機構が酸素濃度計であれば、酸素が一定濃度以
上になった時に、窒素補給ノズル１４ａにより窒素が補
給される（窒素パージ工程）。なお、図１においては図
示されていないが、密閉防爆洗浄室Ｂ内で用いられる引
火性水系溶剤γ補給・排出のためのポンプ等は、全て防
爆処置の講じられてあるポンプ等であることはいうまで
もない。
は、まず、洗浄槽２中の引火性水系溶剤γに一度浸さ
れ、粗洗浄が行われ、そして、搬送機構７により隣の洗
浄槽２′へと搬送されて、もう一度洗浄槽２′中の引火
性水系溶剤γに浸されて精洗浄が行われる（溶剤洗浄工
程）。密閉防爆洗浄室Ｂ内の酸素濃度は、図示しない酸
素濃度計等の監視機構により監視され、一定の条件、例
えば監視機構が酸素濃度計であれば、酸素が一定濃度以
上になった時に、窒素補給ノズル１４ａにより窒素が補
給される（窒素パージ工程）。なお、図１においては図
示されていないが、密閉防爆洗浄室Ｂ内で用いられる引
火性水系溶剤γ補給・排出のためのポンプ等は、全て防
爆処置の講じられてあるポンプ等であることはいうまで
もない。
【００１２】二度にわたって引火性水系溶剤γにより洗
浄が行われた被洗浄物βは、次に受渡水槽３へと搬送さ
れる。受渡水槽３中の水中受渡コンベヤ３ａにより搬送
される途中で、ある程度の粗水洗が受渡水槽３の水Ｗに
より行われることとなる（水中受渡工程）。洗浄槽２，
２′より揮発・蒸発する水系洗浄剤γの蒸気の大部分
は、隔離する防爆仕切壁６により、通常雰囲気水洗室Ｃ
へと侵入することはない。
浄が行われた被洗浄物βは、次に受渡水槽３へと搬送さ
れる。受渡水槽３中の水中受渡コンベヤ３ａにより搬送
される途中で、ある程度の粗水洗が受渡水槽３の水Ｗに
より行われることとなる（水中受渡工程）。洗浄槽２，
２′より揮発・蒸発する水系洗浄剤γの蒸気の大部分
は、隔離する防爆仕切壁６により、通常雰囲気水洗室Ｃ
へと侵入することはない。
【００１３】僅かに、粗水洗を行う時の受渡水槽３中の
水Ｗにとけ込み、通常雰囲気水洗室Ｃ側の受渡水槽３の
表面から揮発・蒸発する引火性水系溶剤γは存在する
が、通常雰囲気水洗室Ｃ中の空気中の引火性水系溶剤γ
の蒸気濃度を監視する図示しない監視機構が、空気中の
引火性水系溶剤γ蒸気濃度が一定濃度以上になれば警告
を発して、当該警告を受けた作業監視要員が、通常雰囲
気水洗室Ｃ上部に存在する排気ファン１２ａにより排気
ダクト１２から排気を行う（排気工程）ので、爆発する
危険性は皆無に等しい。
水Ｗにとけ込み、通常雰囲気水洗室Ｃ側の受渡水槽３の
表面から揮発・蒸発する引火性水系溶剤γは存在する
が、通常雰囲気水洗室Ｃ中の空気中の引火性水系溶剤γ
の蒸気濃度を監視する図示しない監視機構が、空気中の
引火性水系溶剤γ蒸気濃度が一定濃度以上になれば警告
を発して、当該警告を受けた作業監視要員が、通常雰囲
気水洗室Ｃ上部に存在する排気ファン１２ａにより排気
ダクト１２から排気を行う（排気工程）ので、爆発する
危険性は皆無に等しい。
【００１４】また、当該図示しない監視機構と排気ファ
ン１２ａとを直結し、通常雰囲気水洗室Ｃ中の引火性水
系溶剤γの蒸気濃度が一定以上に達したときには、自動
的に排気ファン１２ａを作動させるようにしても良い。
受渡水槽３から搬送機構８により引き上げられた被洗浄
物βは、次に２度にわたって水洗槽４，４′中の水Ｗに
より精水洗が行われ（水洗工程）、乾燥機５の導入部９
の搬送コンベヤ５ａへと載置される。
ン１２ａとを直結し、通常雰囲気水洗室Ｃ中の引火性水
系溶剤γの蒸気濃度が一定以上に達したときには、自動
的に排気ファン１２ａを作動させるようにしても良い。
受渡水槽３から搬送機構８により引き上げられた被洗浄
物βは、次に２度にわたって水洗槽４，４′中の水Ｗに
より精水洗が行われ（水洗工程）、乾燥機５の導入部９
の搬送コンベヤ５ａへと載置される。
【００１５】次に、乾燥室Ｄの通常雰囲気水洗室Ｃ側の
二重扉１′が開かれ、導入部９に載置された被洗浄物β
は、乾燥機５の主要部に搬送され乾燥工程が行われる。
当該乾燥工程が行われる際には、既に水洗槽４，４′に
より２度の精水洗（受渡水槽３による粗水洗を含めると
３度の水洗）が行われているから、引火性水系溶剤γの
付着は皆無であるので、爆発の危惧なく安心して乾燥工
程を行うことができる。乾燥工程の終盤になると、搬出
部１１側の二重扉１′が開き、被洗浄物βは搬出部１１
へと搬出される。
二重扉１′が開かれ、導入部９に載置された被洗浄物β
は、乾燥機５の主要部に搬送され乾燥工程が行われる。
当該乾燥工程が行われる際には、既に水洗槽４，４′に
より２度の精水洗（受渡水槽３による粗水洗を含めると
３度の水洗）が行われているから、引火性水系溶剤γの
付着は皆無であるので、爆発の危惧なく安心して乾燥工
程を行うことができる。乾燥工程の終盤になると、搬出
部１１側の二重扉１′が開き、被洗浄物βは搬出部１１
へと搬出される。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、隔離さ
れた窒素等の不活性ガス雰囲気中で引火性水系溶剤によ
り洗浄を行い、次いで、当該不活性ガス雰囲気及び蒸発
する引火性水系溶剤雰囲気から隔離された中で水洗を行
い、引火性水系溶剤の付着がなくなった時点で乾燥工程
を行うので、爆発の危険性がなく、しかも、水洗工程で
発生する引火性水系溶剤の蒸気を含んだ空気は、排気ダ
クトにより、別途引火性水系溶剤の処理工程へと移送さ
れるので、本発明による装置を監視・操作する人間が溶
剤蒸気により中毒することもない作業環境を確保し得る
等、優れた安全性・有用性を具有する。
れた窒素等の不活性ガス雰囲気中で引火性水系溶剤によ
り洗浄を行い、次いで、当該不活性ガス雰囲気及び蒸発
する引火性水系溶剤雰囲気から隔離された中で水洗を行
い、引火性水系溶剤の付着がなくなった時点で乾燥工程
を行うので、爆発の危険性がなく、しかも、水洗工程で
発生する引火性水系溶剤の蒸気を含んだ空気は、排気ダ
クトにより、別途引火性水系溶剤の処理工程へと移送さ
れるので、本発明による装置を監視・操作する人間が溶
剤蒸気により中毒することもない作業環境を確保し得る
等、優れた安全性・有用性を具有する。
【図１】本発明方法を適用する洗浄ライン装置の実施例
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【符号の説明】 α…洗浄装置 β…被洗浄物 γ…引火性水系溶剤 Ａ…密閉待機室 Ｂ…密閉防爆洗浄室 Ｃ…通常雰囲気水洗室 Ｄ…乾燥室 Ｆ…消火剤 ＮＧ…窒素ガス Ｗ…水 １，１′…二重扉 ２，２′…洗浄槽 ３…受渡水槽 ３ａ…水中受渡コンベヤ ４，４′…水洗槽 ５…乾燥機 ５ａ…搬送コンベヤ ６…防爆仕切壁 ７，８…搬送機構 ９…導入部 １０…搬入部 １１…搬出部 １２…排気ダクト １２ａ…排気ファン １３…消火管 １３ａ…消火ノズル １４…窒素供給管 １４ａ…窒素補給ノズル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年３月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の分野においては、フロン
１１３（Ｃ２Ｆ３Ｃｌ３）等の有機フッ素系化合物を用
いて洗浄が行われるのが主であった。近年、有機フッ素
系化合物の人体に対する毒性がクローズアップされ、ま
た、その地球的規模の環境への影響（オゾン層の破壊）
等を考慮して、その使用が規制され始めている。そこ
で、引火性水系溶剤を用いて、実装用基板等の洗浄を行
う方法が各種提案されている。
１１３（Ｃ２Ｆ３Ｃｌ３）等の有機フッ素系化合物を用
いて洗浄が行われるのが主であった。近年、有機フッ素
系化合物の人体に対する毒性がクローズアップされ、ま
た、その地球的規模の環境への影響（オゾン層の破壊）
等を考慮して、その使用が規制され始めている。そこ
で、引火性水系溶剤を用いて、実装用基板等の洗浄を行
う方法が各種提案されている。
Claims (2)
- 【請求項１】密閉・隔離した窒素等の不活性ガス雰囲気
を有する室内でアルコール類水溶液や石油系溶剤を含む
水溶液等の引火性水系溶剤に浸して実装用基板等の洗浄
工程を行い、当該洗浄工程直後に適宜隔離手段により隔
離された場所で水により水洗工程を行い、当該水洗工程
により前記引火性水系溶剤の付着がなくなってから乾燥
工程を行うことを特徴とする水系洗浄剤を用いる洗浄方
法 - 【請求項２】アルコール類水溶液や石油系溶剤を含む水
溶液等の引火性水系溶剤を用いて洗浄を行う洗浄装置に
おいて、窒素等の不活性ガス雰囲気で充満し前記引火性
水系溶剤を貯留した洗浄槽を有し洗浄を行う密閉防爆洗
浄室と、当該密閉防爆洗浄室へ洗浄のため被洗浄物を搬
入するため、外気と直接前記不活性ガス雰囲気を遮断自
在に前記密閉防爆洗浄室と外気との間に設けられる適宜
密閉手段を有する密閉待機室と、前記密閉防爆洗浄室と
は水を充填した水槽で被洗浄物受渡し自在に連結され僅
かに混入してくる引火性水系溶剤の蒸気を排出するため
の排気ダクトを有して通常の空気雰囲気を呈し、前記密
閉防爆洗浄室とは水槽以外防爆壁等の適宜仕切手段によ
り隔離されて水洗を行う水洗室と、当該水洗室に連絡し
て被洗浄物の乾燥を行う乾燥室とを一貫ライン連絡する
ことを特徴とする洗浄ライン装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4050407A JP2628514B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 引火性水系溶剤を用いる洗浄方法及び洗浄ライン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4050407A JP2628514B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 引火性水系溶剤を用いる洗浄方法及び洗浄ライン装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05245452A true JPH05245452A (ja) | 1993-09-24 |
| JP2628514B2 JP2628514B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=12858016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4050407A Expired - Lifetime JP2628514B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 引火性水系溶剤を用いる洗浄方法及び洗浄ライン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2628514B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4894262A (ja) * | 1972-03-13 | 1973-12-05 | ||
| JPS5458957A (en) * | 1977-10-19 | 1979-05-12 | Nippon Kakouki Kougiyou Kk | Sealing type solvent washing machine |
| JPS57121952A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-29 | Kazumi Murai | Car with shoes box |
| JPS599228A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-18 | Toray Ind Inc | 毛羽伏せ紡績糸の製造方法 |
| JPH0316683A (ja) * | 1989-03-06 | 1991-01-24 | Electrovert Ltd | 加工品を洗浄するための装置 |
| JPH04150980A (ja) * | 1990-10-13 | 1992-05-25 | Kyozo Kaneko | 密閉式溶剤洗浄装置 |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP4050407A patent/JP2628514B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4894262A (ja) * | 1972-03-13 | 1973-12-05 | ||
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| JPS57121952A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-29 | Kazumi Murai | Car with shoes box |
| JPS599228A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-18 | Toray Ind Inc | 毛羽伏せ紡績糸の製造方法 |
| JPH0316683A (ja) * | 1989-03-06 | 1991-01-24 | Electrovert Ltd | 加工品を洗浄するための装置 |
| JPH04150980A (ja) * | 1990-10-13 | 1992-05-25 | Kyozo Kaneko | 密閉式溶剤洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2628514B2 (ja) | 1997-07-09 |
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