JPS6332379Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6332379Y2 JPS6332379Y2 JP1922084U JP1922084U JPS6332379Y2 JP S6332379 Y2 JPS6332379 Y2 JP S6332379Y2 JP 1922084 U JP1922084 U JP 1922084U JP 1922084 U JP1922084 U JP 1922084U JP S6332379 Y2 JPS6332379 Y2 JP S6332379Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- leak
- relay
- stop
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 6
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は、真空排気制御装置に係り、特に複数
のチヤンバを有し、該チヤンバの少なくとも一つ
が真空に通常保持され、他の少なくとも一つが真
空状態並びに大気開放状態で真空排気装置の停止
−起動を必要とする装置に好適な真空排気制御装
置に関するものである。
のチヤンバを有し、該チヤンバの少なくとも一つ
が真空に通常保持され、他の少なくとも一つが真
空状態並びに大気開放状態で真空排気装置の停止
−起動を必要とする装置に好適な真空排気制御装
置に関するものである。
複数のチヤンバを有し、該チヤンバの少なくと
も一つが真空に通常保持され、他の少なくとも一
つが真空状態並びに大気開放状態で真空排気装置
（以下、真空ポンプと略）の停止−起動を必要と
する装置には、例えば、分子線エピタキシ装置
（以下、MBE装置と略）がある。
も一つが真空に通常保持され、他の少なくとも一
つが真空状態並びに大気開放状態で真空排気装置
（以下、真空ポンプと略）の停止−起動を必要と
する装置には、例えば、分子線エピタキシ装置
（以下、MBE装置と略）がある。
従来のMBE装置では、真空ポンプの停止−起
動およびバルブの開閉操作は手動で実施されてお
り、誤動作を起こす危険性が高く、それによりチ
ヤンバの汚染等を生じる恐れがあつた。
動およびバルブの開閉操作は手動で実施されてお
り、誤動作を起こす危険性が高く、それによりチ
ヤンバの汚染等を生じる恐れがあつた。
本考案の目的は、真空ポンプの停止−起立の操
作において誤動作が起こるのを防止することで、
チヤンバの汚染等を防止できる真空排気制御装置
を提供することにある。
作において誤動作が起こるのを防止することで、
チヤンバの汚染等を防止できる真空排気制御装置
を提供することにある。
本考案は、真空状態並びに大気開放状態となる
チヤンバの状態に応じたスイツチを設けると共
に、該スイツチ間にインターロツクを設けたこと
を特徴とするもので、真空ポンプの停止−起動の
操作において誤動作が起こるのを防止しようとし
たものである。
チヤンバの状態に応じたスイツチを設けると共
に、該スイツチ間にインターロツクを設けたこと
を特徴とするもので、真空ポンプの停止−起動の
操作において誤動作が起こるのを防止しようとし
たものである。
例えば、MBE装置においては、ウエハの導入、
搬出は頻度が大きい。このため導入、搬出に伴う
真空排気系の自動化はMBE装置の自動化に対し
て必要となつてくる。導入、搬出のチヤンバの状
態としては、チヤンバ真空状態のまま真空ポンプ
停止、真空ポンプを停止させ、チヤンバにガスを
大気圧までリークさせウエハの変換およびそれぞ
れに対し真空ポンプの起動の四つ操作が必要であ
る。
搬出は頻度が大きい。このため導入、搬出に伴う
真空排気系の自動化はMBE装置の自動化に対し
て必要となつてくる。導入、搬出のチヤンバの状
態としては、チヤンバ真空状態のまま真空ポンプ
停止、真空ポンプを停止させ、チヤンバにガスを
大気圧までリークさせウエハの変換およびそれぞ
れに対し真空ポンプの起動の四つ操作が必要であ
る。
本考案の一実施例を第１図〜第３図により説明
する。
する。
第１図で、１はウエハの成長、分析等を行なう
チヤンバで、真空ポンプで常に高真空に維持され
ている。２は導入、搬出を行なうためのチヤンバ
でチヤンバ１とはゲートバルブ４でしきられてい
る。チヤンバ２はゲートバルブ５を介して真空ポ
ンプ３に接続され、またガスリークを行なうため
のリークバルブ６が接続されている。
チヤンバで、真空ポンプで常に高真空に維持され
ている。２は導入、搬出を行なうためのチヤンバ
でチヤンバ１とはゲートバルブ４でしきられてい
る。チヤンバ２はゲートバルブ５を介して真空ポ
ンプ３に接続され、またガスリークを行なうため
のリークバルブ６が接続されている。
第２図は、真空ポンプ３、ゲートバルブ５およ
びリークバルブ６の駆動回路で、第３図はそのス
イツチおよびインターロツク回路を示している。
びリークバルブ６の駆動回路で、第３図はそのス
イツチおよびインターロツク回路を示している。
第２図、第３図の操作について以下説明する。
電源投入時は第３図のリレーは全てOFFとなつ
ているため、リレー接点は第３図に示す位置にあ
る。このためスイツチ操作ができるのはリーク停
止スイツチ１０と真空停止スイツチ９の２個のみ
となる（但し、リーク停止スイツチ１０はゲート
バルブ４が閉じ、その補助接点４ａが閉となつて
いることが条件）。チヤンバ２の状態に応じて上
記いずれかのスイツチをONさせるが、先ずリー
ク停止スイツチ１０を押した場合について述べ
る。ゲートバルブ４の補助接点４ａが閉じていれ
ば（ゲートバルブ閉の場合に接点閉）、１５ａ−
４ａ−（リーク停止スイツチ１０）−１４ａ−（リ
ーク停止リレー１７）の回路でリーク停止リレー
１７が励磁され、（リーク停止リレー接点１７ａ）
−１４ａ−１７の回路でリーク停止リレー１７は
自己保持される。リーク停止リレー１７が動作す
ると機能するスイツチはリーク起動スイツチ８の
みとなり、真空停止スイツチ９および真空起動ス
イツチ７は機能しない。リーク停止リレー１７は
ゲートバルブ５の補助接点５ｂが閉（ゲートバル
ブ５が閉で接点閉）であればリークバルブ６のコ
イル６ａを励磁しリークバルブ６はガスをチヤン
バ２にリークする。次にリーク起動スイツチ８を
押すと、１１ａ−１７ｃ−８−１６ｂ−１８ｂ−
１３の回路リーク起動リレー１３が励磁され、
（リーク起動リレー接点１３ａ）−１６ｂ−１８ｂ
−１３の回路でリーク起動リレー１３は自己保持
される。また、１１ａ−１７ｃ−（リーク起動リ
レー接点１３ｂ）−（リーク起動補助リレー１４）
の回路でリーク起動補助リレー接点１４ａが開と
なりリーク停止リレー１７の自己保持が解除され
る。リーク起動補助リレー１４はリーク起動スイ
ツチをはなすとOFFとなる。リーク起動リレー
が励磁されると、リーク起動リレー接点１３ｄを
介してゲートバルブ５用の電磁弁５ａが励磁され
ゲートバルブ５は開となり同時にリーク起動リレ
ー接点１３ｃを介して真空ポンプ３が起動され
る。リークバルブ用電磁弁６ａはリーク停止リレ
ー接点１７ｃが開となるためリークバルブ電磁弁
６ａがOFFとなりリークバルブ６は閉となる。
即ち、チヤンバー２が大気圧になつている状態で
の真空ポンプ起動はゲートバルブ５を開き、真空
ポンプ３を起動する。リーク起動リレー１３が励
磁されると機能するスイツチは真空停止とリーク
停止の２種類となる。ここで、真空停止スイツチ
９を押すと１７ａ−（真空停止スイツチ９）−１２
ａ−（真空停止リレー１５）の回路で真空停止リ
レーが励磁され真空停止リレー接点１５ａ−１２
ａ−１５の回路で自己保持される。また、真空停
止スイツチ９を押している間は１７ａ−９−１５
ｂ−１６の回路で真空停止補助リレー１６が励磁
され真空停止補助リレー接点１６ａ，１６ｂが開
となりリーク起動リレー１３の自己保持が解除さ
れる。（真空起動時に真空起動リレー１１が自己
保持されている場合は真空起動リレーの自己保持
が解除される）。リーク起動リレー１３、真空起
動リレー１１共にOFFとなるためこれらの接点
１３ｃ，１３ｄ，１１ｃ，１１ｄが全て開となる
ため真空ポンプ３が停止し、ゲートバルブ電磁弁
５ａがOFFとなるためゲートバルブ５は閉とな
る。リークバルブ６は閉のままとなる。即ち真空
停止スイツチ９を押すと、ゲートバルブ５は閉で
真空ポンプ３は停止し、リークバルブ６は作動せ
ず、チヤンバ２は真空状態を保持される。真空停
止リレー１５が励磁されている状態では機能する
スイツチは真空起動スイツチ７のみとなる。
電源投入時は第３図のリレーは全てOFFとなつ
ているため、リレー接点は第３図に示す位置にあ
る。このためスイツチ操作ができるのはリーク停
止スイツチ１０と真空停止スイツチ９の２個のみ
となる（但し、リーク停止スイツチ１０はゲート
バルブ４が閉じ、その補助接点４ａが閉となつて
いることが条件）。チヤンバ２の状態に応じて上
記いずれかのスイツチをONさせるが、先ずリー
ク停止スイツチ１０を押した場合について述べ
る。ゲートバルブ４の補助接点４ａが閉じていれ
ば（ゲートバルブ閉の場合に接点閉）、１５ａ−
４ａ−（リーク停止スイツチ１０）−１４ａ−（リ
ーク停止リレー１７）の回路でリーク停止リレー
１７が励磁され、（リーク停止リレー接点１７ａ）
−１４ａ−１７の回路でリーク停止リレー１７は
自己保持される。リーク停止リレー１７が動作す
ると機能するスイツチはリーク起動スイツチ８の
みとなり、真空停止スイツチ９および真空起動ス
イツチ７は機能しない。リーク停止リレー１７は
ゲートバルブ５の補助接点５ｂが閉（ゲートバル
ブ５が閉で接点閉）であればリークバルブ６のコ
イル６ａを励磁しリークバルブ６はガスをチヤン
バ２にリークする。次にリーク起動スイツチ８を
押すと、１１ａ−１７ｃ−８−１６ｂ−１８ｂ−
１３の回路リーク起動リレー１３が励磁され、
（リーク起動リレー接点１３ａ）−１６ｂ−１８ｂ
−１３の回路でリーク起動リレー１３は自己保持
される。また、１１ａ−１７ｃ−（リーク起動リ
レー接点１３ｂ）−（リーク起動補助リレー１４）
の回路でリーク起動補助リレー接点１４ａが開と
なりリーク停止リレー１７の自己保持が解除され
る。リーク起動補助リレー１４はリーク起動スイ
ツチをはなすとOFFとなる。リーク起動リレー
が励磁されると、リーク起動リレー接点１３ｄを
介してゲートバルブ５用の電磁弁５ａが励磁され
ゲートバルブ５は開となり同時にリーク起動リレ
ー接点１３ｃを介して真空ポンプ３が起動され
る。リークバルブ用電磁弁６ａはリーク停止リレ
ー接点１７ｃが開となるためリークバルブ電磁弁
６ａがOFFとなりリークバルブ６は閉となる。
即ち、チヤンバー２が大気圧になつている状態で
の真空ポンプ起動はゲートバルブ５を開き、真空
ポンプ３を起動する。リーク起動リレー１３が励
磁されると機能するスイツチは真空停止とリーク
停止の２種類となる。ここで、真空停止スイツチ
９を押すと１７ａ−（真空停止スイツチ９）−１２
ａ−（真空停止リレー１５）の回路で真空停止リ
レーが励磁され真空停止リレー接点１５ａ−１２
ａ−１５の回路で自己保持される。また、真空停
止スイツチ９を押している間は１７ａ−９−１５
ｂ−１６の回路で真空停止補助リレー１６が励磁
され真空停止補助リレー接点１６ａ，１６ｂが開
となりリーク起動リレー１３の自己保持が解除さ
れる。（真空起動時に真空起動リレー１１が自己
保持されている場合は真空起動リレーの自己保持
が解除される）。リーク起動リレー１３、真空起
動リレー１１共にOFFとなるためこれらの接点
１３ｃ，１３ｄ，１１ｃ，１１ｄが全て開となる
ため真空ポンプ３が停止し、ゲートバルブ電磁弁
５ａがOFFとなるためゲートバルブ５は閉とな
る。リークバルブ６は閉のままとなる。即ち真空
停止スイツチ９を押すと、ゲートバルブ５は閉で
真空ポンプ３は停止し、リークバルブ６は作動せ
ず、チヤンバ２は真空状態を保持される。真空停
止リレー１５が励磁されている状態では機能する
スイツチは真空起動スイツチ７のみとなる。
真空起動スイツチ７を押すと１３ａ−１５ｃ−
７−１６ａ−１８ａ−１１の回路で真空起動リレ
ー１１が励磁され（真空起動リレー接点１１ａ）
−１６ａ−１８ａ−の回路で真空起動リレー１１
は自己保持される。スイツチ７を押している状態
では１３ａ−１５ｃ−７−１１ｂ−１２の回路で
真空起動補助リレー１２が励磁され、その接点１
２ａが開となり真空停止リレー１５の自己保持が
解除される。真空起動リレー１１が励磁されると
その接点１１ｃ，１１ｄが閉となり、真空ポンプ
３は起動され、真空ポンプ３−ゲートバルブ５間
の真空度が十分上昇したと判定し投入される接点
２３が閉となるとゲートバルブ用電磁弁５ａが励
磁されゲートバルブ５は開となる。即ち、真空起
動スイツチ７を押すと真空状態となつているチヤ
ンバ２と真空ポンプ３側の圧力差が小さくなつた
時点でゲートバルブ５が開となり、真空ポンプ側
からの汚れの導入および圧力差の有る状態でのゲ
ートバルブ５の動作を防止する。次にリーク停止
スイツチ１０を操作すると真空ポンプ３は停止、
ゲートバルブ５は閉、リークバルブ６は開とな
る。但し、ゲートバルブ４が閉であることが条件
となる。
７−１６ａ−１８ａ−１１の回路で真空起動リレ
ー１１が励磁され（真空起動リレー接点１１ａ）
−１６ａ−１８ａ−の回路で真空起動リレー１１
は自己保持される。スイツチ７を押している状態
では１３ａ−１５ｃ−７−１１ｂ−１２の回路で
真空起動補助リレー１２が励磁され、その接点１
２ａが開となり真空停止リレー１５の自己保持が
解除される。真空起動リレー１１が励磁されると
その接点１１ｃ，１１ｄが閉となり、真空ポンプ
３は起動され、真空ポンプ３−ゲートバルブ５間
の真空度が十分上昇したと判定し投入される接点
２３が閉となるとゲートバルブ用電磁弁５ａが励
磁されゲートバルブ５は開となる。即ち、真空起
動スイツチ７を押すと真空状態となつているチヤ
ンバ２と真空ポンプ３側の圧力差が小さくなつた
時点でゲートバルブ５が開となり、真空ポンプ側
からの汚れの導入および圧力差の有る状態でのゲ
ートバルブ５の動作を防止する。次にリーク停止
スイツチ１０を操作すると真空ポンプ３は停止、
ゲートバルブ５は閉、リークバルブ６は開とな
る。但し、ゲートバルブ４が閉であることが条件
となる。
以上具体的な動作を述べたが、要約すると真空
起動はチヤンバ２が真空状態の場合の真空ポンプ
起動で真空ポンプ側が真空状態になつた後、ゲー
トバルブを開け、さらに真空引を行なう。
起動はチヤンバ２が真空状態の場合の真空ポンプ
起動で真空ポンプ側が真空状態になつた後、ゲー
トバルブを開け、さらに真空引を行なう。
リーク起動はチヤンバが大気圧状態での真空ポ
ンプ起動でゲートバルブを開いた状態でポンプ起
動を行なう。
ンプ起動でゲートバルブを開いた状態でポンプ起
動を行なう。
真空停止はチヤンバを真空にしたまま（リーク
バルブを動作させずに）ゲートバルブを閉じポン
プを停止させる。
バルブを動作させずに）ゲートバルブを閉じポン
プを停止させる。
リーク停止はゲートバルブを閉じポンプを停止
させ、リークバルブを開いてガスをチヤンバ内に
リークさせる。リークバルブはリーク起動又は真
空起動させると閉となる。
させ、リークバルブを開いてガスをチヤンバ内に
リークさせる。リークバルブはリーク起動又は真
空起動させると閉となる。
真空停止、リーク停止はポンプ起動中はいずれ
の操作も可能であるが、真空起動は真空停止後、
リーク起動はリーク停止後のみ可能となる。な
お、ランプ１９〜２２は各リレー（真空停止、起
動、リーク停止、起動）の動作を表示するもので
ある。
の操作も可能であるが、真空起動は真空停止後、
リーク起動はリーク停止後のみ可能となる。な
お、ランプ１９〜２２は各リレー（真空停止、起
動、リーク停止、起動）の動作を表示するもので
ある。
本実施例によれば四つのスイツチのみで、排気
系の四通りの操作が行なわれ、それぞれのスイツ
チ操作にインターロツクがあるため誤操作なく行
なうことができる。また、四つのスイツチでポン
プ、ゲートバルブ、リークバルブの動作が自動的
に行なわれ、ゲートバルブを閉じない状態での真
空ポンプの停止による真空ポンプの油等のチヤン
バ内への逆流によるチヤンバの汚染、又は、ゲー
トバルブが閉じていない状態でのリークバルブの
操作による真空チヤンバへのガスリーク等による
チヤンバの汚染等が防止できる。
系の四通りの操作が行なわれ、それぞれのスイツ
チ操作にインターロツクがあるため誤操作なく行
なうことができる。また、四つのスイツチでポン
プ、ゲートバルブ、リークバルブの動作が自動的
に行なわれ、ゲートバルブを閉じない状態での真
空ポンプの停止による真空ポンプの油等のチヤン
バ内への逆流によるチヤンバの汚染、又は、ゲー
トバルブが閉じていない状態でのリークバルブの
操作による真空チヤンバへのガスリーク等による
チヤンバの汚染等が防止できる。
本考案は、以上説明したように、真空状態並び
に大気開放状態となるチヤンバの状態に応じたス
イツチを設けると共に、該スイツチ間にインター
ロツクを設けることで、真空ポンプの停止−起動
の操作において誤動作が起こるのを防止できるの
で、チヤンバの汚染等を防止できる効果がある。
に大気開放状態となるチヤンバの状態に応じたス
イツチを設けると共に、該スイツチ間にインター
ロツクを設けることで、真空ポンプの停止−起動
の操作において誤動作が起こるのを防止できるの
で、チヤンバの汚染等を防止できる効果がある。
第１図は、MBE装置の構成図、第２図は、本
考案による真空排気制御装置の一実施例を示す真
空ポンプ、バルブ駆動回路図、第３図は、第２図
のスイツチ回路図である。 １，２……チヤンバ、３……真空ポンプ、４，
５……ゲートバルブ、６……リークバルブ、７…
…真空起動スイツチ、８……リーク起動スイツ
チ、９……真空停止スイツチ、１０……リーク停
止スイツチ。
考案による真空排気制御装置の一実施例を示す真
空ポンプ、バルブ駆動回路図、第３図は、第２図
のスイツチ回路図である。 １，２……チヤンバ、３……真空ポンプ、４，
５……ゲートバルブ、６……リークバルブ、７…
…真空起動スイツチ、８……リーク起動スイツ
チ、９……真空停止スイツチ、１０……リーク停
止スイツチ。
Claims (1)
- 複数のチヤンバを有し、該チヤンバの少なくと
も一つが真空に通常保持され、他の少なくとも一
つが真空状態並びに大気開放状態で真空排気装置
の停止−起動を必要とする装置において、真空状
態並びに大気開放状態となる前記チヤンバの状態
に応じたスイツチを設けると共に、該スイツチ間
にインターロツクを設けたことを特徴とする真空
排気制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1922084U JPS60133186U (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 真空排気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1922084U JPS60133186U (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 真空排気制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60133186U JPS60133186U (ja) | 1985-09-05 |
| JPS6332379Y2 true JPS6332379Y2 (ja) | 1988-08-29 |
Family
ID=30508594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1922084U Granted JPS60133186U (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 真空排気制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60133186U (ja) |
-
1984
- 1984-02-15 JP JP1922084U patent/JPS60133186U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60133186U (ja) | 1985-09-05 |
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