JPH0525231Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0525231Y2 JPH0525231Y2 JP1984014277U JP1427784U JPH0525231Y2 JP H0525231 Y2 JPH0525231 Y2 JP H0525231Y2 JP 1984014277 U JP1984014277 U JP 1984014277U JP 1427784 U JP1427784 U JP 1427784U JP H0525231 Y2 JPH0525231 Y2 JP H0525231Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cradle
- carrier
- legs
- semiconductor material
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Weting (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は半導体材料のキヤリヤを受け入れるク
レイドルの改良に関する。
レイドルの改良に関する。
このクレイドルは半導体材料、例えばシリコン
ウエハを樹脂製のキヤリヤ内に収められた状態で
高速回転して水切乾燥を行うため、キヤリヤを受
け入れ且つ水切乾燥装置のロータ上の所定位置に
設置されるように構成されている。
ウエハを樹脂製のキヤリヤ内に収められた状態で
高速回転して水切乾燥を行うため、キヤリヤを受
け入れ且つ水切乾燥装置のロータ上の所定位置に
設置されるように構成されている。
しかるに従来のクレイドルはその背面が両側の
側壁に対し傾斜した壁部によつて接続されるよう
に構成されていたため、素材の比重が小さく且つ
比較的小径のウエハの場合には問題が生じない
が、比重の大きなものまたは大形のウエハの場合
には遠心力によりキヤリヤの底部となる脚部がク
レイドルの背面に対し強く押し付けられ、その脚
部が開いてクレイドルの傾斜壁部に乗り上げる事
態が生じ、キヤリヤ内に収められたウエハが破損
する欠点があつた。
側壁に対し傾斜した壁部によつて接続されるよう
に構成されていたため、素材の比重が小さく且つ
比較的小径のウエハの場合には問題が生じない
が、比重の大きなものまたは大形のウエハの場合
には遠心力によりキヤリヤの底部となる脚部がク
レイドルの背面に対し強く押し付けられ、その脚
部が開いてクレイドルの傾斜壁部に乗り上げる事
態が生じ、キヤリヤ内に収められたウエハが破損
する欠点があつた。
本考案の目的はそのような従来の欠点を解消す
ることであつて、それ故比重の大きなものまたは
比較的大形の半導体材料であつても破損すること
なく水切乾燥を行ない得るようにした半導体材料
のキヤリヤ用クレイドルを提供することである。
ることであつて、それ故比重の大きなものまたは
比較的大形の半導体材料であつても破損すること
なく水切乾燥を行ない得るようにした半導体材料
のキヤリヤ用クレイドルを提供することである。
上記目的を達成するため、本考案によるクレイ
ドルの特徴はクレイドルの背面に前記背面に直角
に突出する互に平行な一対の段部を設け、その間
でキヤリヤの脚部を受け入れて前記脚部を保持
し、それが開くのを防止するようにしたことであ
る。
ドルの特徴はクレイドルの背面に前記背面に直角
に突出する互に平行な一対の段部を設け、その間
でキヤリヤの脚部を受け入れて前記脚部を保持
し、それが開くのを防止するようにしたことであ
る。
次に図面を参照のもとに本考案の実施例につい
て説明する。第１図は本考案によるクレイドルの
一例を示すものであつて、１は前面の開口部であ
り、ここからキヤリヤが装着される。２は背面で
あり、その中央の窓３は水と空気を逃がすための
ものであり、窓３の両側の縁に沿つて突条４があ
る。これらの突条４は反りに対する補強の役割を
果す。前面１と背面２の間の両側の側壁５には水
と空気を抜くための窓６があり、一方の端部近く
に突起７がある。この突起７はクレイドルを水切
乾燥装置のロータに設置または取外す際にクレイ
ドルを回転する支点の役割を果す。また各側壁５
と背面２の間の両端の隅は空間８になつており、
これらの空間８はキヤリヤの角を受け入れ且つ水
と空気の流通を可能にしている。また両端の端壁
９には適当数の貫通孔１０が形成され、貫通孔１
０により一端から他端に押え棒（図示せず）を通
して小さいキヤリヤを保持するのに用いられる。
１１はクレイドルを手動により起すための把持棒
であり、単に突片の場合もある。なお、このクレ
イドルは通常、ステンレスで作られる。
て説明する。第１図は本考案によるクレイドルの
一例を示すものであつて、１は前面の開口部であ
り、ここからキヤリヤが装着される。２は背面で
あり、その中央の窓３は水と空気を逃がすための
ものであり、窓３の両側の縁に沿つて突条４があ
る。これらの突条４は反りに対する補強の役割を
果す。前面１と背面２の間の両側の側壁５には水
と空気を抜くための窓６があり、一方の端部近く
に突起７がある。この突起７はクレイドルを水切
乾燥装置のロータに設置または取外す際にクレイ
ドルを回転する支点の役割を果す。また各側壁５
と背面２の間の両端の隅は空間８になつており、
これらの空間８はキヤリヤの角を受け入れ且つ水
と空気の流通を可能にしている。また両端の端壁
９には適当数の貫通孔１０が形成され、貫通孔１
０により一端から他端に押え棒（図示せず）を通
して小さいキヤリヤを保持するのに用いられる。
１１はクレイドルを手動により起すための把持棒
であり、単に突片の場合もある。なお、このクレ
イドルは通常、ステンレスで作られる。
第２図クレイドルに受け入れられるキヤリヤ１
２の一例を示し、キヤリヤの側壁１３にはウエハ
を受け入れる適当数の溝が設けられ、底部の両側
に脚部１４が在る。クレイドルに装着されると、
第３図に示すように、脚部１４はクレイドルの背
面２に当接する。
２の一例を示し、キヤリヤの側壁１３にはウエハ
を受け入れる適当数の溝が設けられ、底部の両側
に脚部１４が在る。クレイドルに装着されると、
第３図に示すように、脚部１４はクレイドルの背
面２に当接する。
本考案によるクレイドルでは第１図および第４
図に見られるように、背面２の両側に段部１５が
設けられ、これらの段部１５は背面２に直角に突
出し且つ互に平行になつており、その間でキヤリ
ヤの脚部１４を受け入れるようになつている。従
つて、段部１５の間の間隔は第４図に示すように
キヤリヤの脚部１４の間の間隔より僅かに大きく
なつている。また、段部１５の高さはキヤリヤの
脚部１４の高さより若干低くなつている。各段部
１５の上方の縁は傾斜した壁部分１６に連結し、
この壁部分１６は側壁５まで延びている。好まし
くは、背面２、段部１５、傾斜した壁部分１６、
および側壁５はプレス成形により一体に形成され
る。
図に見られるように、背面２の両側に段部１５が
設けられ、これらの段部１５は背面２に直角に突
出し且つ互に平行になつており、その間でキヤリ
ヤの脚部１４を受け入れるようになつている。従
つて、段部１５の間の間隔は第４図に示すように
キヤリヤの脚部１４の間の間隔より僅かに大きく
なつている。また、段部１５の高さはキヤリヤの
脚部１４の高さより若干低くなつている。各段部
１５の上方の縁は傾斜した壁部分１６に連結し、
この壁部分１６は側壁５まで延びている。好まし
くは、背面２、段部１５、傾斜した壁部分１６、
および側壁５はプレス成形により一体に形成され
る。
キヤリヤ１２内のウエハを水切乾燥するため、
第３図に示すように、クレイドル内にキヤリヤを
装着し、クレイドルを介して水切乾燥装置の所定
位置に設置される。本考案によるクレイドル内に
キヤリヤ１２を収めた状態では、第４図に示すよ
うに、キヤリヤの脚部１４はクレイドルの背面２
に当接すると共に、一対の脚部１４はクレイドル
の段部１５の間に収められ、従つて段部１５によ
つて横方向に開くことが防止される。そのため水
切乾燥装置により高速回転され、キヤリヤ１２が
背面２に対し強く押されると、従来のクレイドル
の構造では第５図中に想像線で示すように、キヤ
リヤの脚部１４は背面２と側壁５の間の傾斜部１
７に乗り上げて開くため前述のような欠点があつ
たが、本考案のクレイドルでは上記のようにキヤ
リヤの脚部１４は段部１５で押えられ、開くのが
防止される。
第３図に示すように、クレイドル内にキヤリヤを
装着し、クレイドルを介して水切乾燥装置の所定
位置に設置される。本考案によるクレイドル内に
キヤリヤ１２を収めた状態では、第４図に示すよ
うに、キヤリヤの脚部１４はクレイドルの背面２
に当接すると共に、一対の脚部１４はクレイドル
の段部１５の間に収められ、従つて段部１５によ
つて横方向に開くことが防止される。そのため水
切乾燥装置により高速回転され、キヤリヤ１２が
背面２に対し強く押されると、従来のクレイドル
の構造では第５図中に想像線で示すように、キヤ
リヤの脚部１４は背面２と側壁５の間の傾斜部１
７に乗り上げて開くため前述のような欠点があつ
たが、本考案のクレイドルでは上記のようにキヤ
リヤの脚部１４は段部１５で押えられ、開くのが
防止される。
それ故、本考案によれば、半導体材料の比重が
大きいものであつても、または比較的大形の半導
体材料であつてもキヤリヤの脚部が遠心力によつ
て開かないように保持されるので、半導体材料の
破損を招くことはなく、水切乾燥装置により適切
に水切乾燥を行なうことができる。
大きいものであつても、または比較的大形の半導
体材料であつてもキヤリヤの脚部が遠心力によつ
て開かないように保持されるので、半導体材料の
破損を招くことはなく、水切乾燥装置により適切
に水切乾燥を行なうことができる。
第１図は本考案の一例によるクレイドルの斜視
図、第２図はこのクレイドルに装着されるキヤリ
ヤの一例の斜視図、第３図はクレイドル内にキヤ
リヤが装着された状態を示す斜視図、第４図はク
レイドル背面部の横断面図、第５図は従来の構造
を示す第４図に類似の断面図である。 図中、２……クレイドルの背面、５……クレイ
ドルの側壁、１２……キヤリヤ、１４……キヤリ
ヤの脚部、１５……クレイドルの段部、１６……
傾斜した壁部分。
図、第２図はこのクレイドルに装着されるキヤリ
ヤの一例の斜視図、第３図はクレイドル内にキヤ
リヤが装着された状態を示す斜視図、第４図はク
レイドル背面部の横断面図、第５図は従来の構造
を示す第４図に類似の断面図である。 図中、２……クレイドルの背面、５……クレイ
ドルの側壁、１２……キヤリヤ、１４……キヤリ
ヤの脚部、１５……クレイドルの段部、１６……
傾斜した壁部分。
Claims (1)
- 半導体材料を収納するキヤリヤで底部の両側に
脚部が在る前記キヤリヤを受け入れて水切乾燥装
置の所定位置に設置されるクレイドルであつて前
記キヤリヤの前記脚部は前記クレイドルの背面に
当接する前記クレイドルにおいて、前記クレイド
ルの背面にはその間に前記キヤリヤの前記脚部を
受け入れるようになつている互いに平行で前記背
面に直角の一対の段部が設けられ、前記段部は傾
斜した壁部分により前記クレイドルの側壁に接続
していることを特徴とする半導体材料のキヤリヤ
用クレイドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984014277U JPS60125727U (ja) | 1984-02-02 | 1984-02-02 | 半導体材料のキヤリヤ用クレイドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984014277U JPS60125727U (ja) | 1984-02-02 | 1984-02-02 | 半導体材料のキヤリヤ用クレイドル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60125727U JPS60125727U (ja) | 1985-08-24 |
| JPH0525231Y2 true JPH0525231Y2 (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=30499047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984014277U Granted JPS60125727U (ja) | 1984-02-02 | 1984-02-02 | 半導体材料のキヤリヤ用クレイドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60125727U (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5531113Y2 (ja) * | 1975-10-07 | 1980-07-24 | ||
| JPS56150819A (en) * | 1980-04-24 | 1981-11-21 | Nec Kyushu Ltd | Accomodating case of semicouductor substrate |
| JPS5954925U (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-10 | 東邦化成株式会社 | ウエ−ハ用回転乾燥装置 |
-
1984
- 1984-02-02 JP JP1984014277U patent/JPS60125727U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60125727U (ja) | 1985-08-24 |
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