JPH0526542Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の属する技術分野〕 本考案は電子ビーム描画されるガラスマスク等
の試料のクロム面をアース取りするための導通を
検査する機構に関する。

電子ビーム描画される試料例えばガラスマスク
は一般にクロム面がありその上に一部を除いてレ
ジストが塗布され、かつ上記した一部のクロム面
はアース端子によりガラスマスクを支持する金属
製のカセツトに導通されていた。しかしてレジス
トは通常不導体であり電子ビームで照射されチヤ
ージアツプされたとき余分なチヤージは下面のク
ロム層によりアースされていた。このためクロム
層とアース端子との導通は不具合があると、レジ
スト表面は過大なチヤージアツプになつて電子ビ
ーム軌道を制御せざる方向に曲げてしまうためク
ロム層とカセツトとの導通を描画前に検査する必
要がある。

〔従来技術〕

従来のクロム層とカセツトとの導通検査の一例
を第１図および第２図により述べる。

カセツト１１は第１図において中央部と下側一
部が切り欠かれており、両側４個所には基準片１
２が固着されている。カセツト１１の上方２個所
にはアースバネ１３がカセツト１１の切り欠かれ
た部分にネジ１４により取付けられており、図示
省略したクロムとレジストを塗布したガラスマス
ク１５は、カセツト１１の下方から滑り込ませる
ことにより図示の位置に置かれたとき、ガラスマ
スク１５の表面側の角部に露出しているクローム
層がアースバネ１３に接する。なお１６はガラス
マスク１５を基準片１２に押し当てるためのバネ
である。ガラスマスク１５をカセツト１１内の図
示の位置に置いた後、テスタ（図示せず）の検知
棒の一側をガラスマスク１５のクロム面に接触さ
せ、検知棒の他側をカセツト１１に接触させるこ
とにより両者の導通を検査する。この場合テスタ
の検知棒をクロム面に接触させる動作は、クロム
面の露出部がわずかであるため、正確に行なう必
要があり、さらにガラスマスク１５の移動を避け
るため無理な力を生じないように行う必要があ
り、この作業を自動化すると機構は複雑でコスト
は高く実用的でなかつた。

〔考案の目的〕

本考案はこのような観点からなされたものでそ
の目的は、簡単な機構によりコストを低くすると
共に自動化を可能にした電子ビーム描画用試料の
導通検査機構を提供することにある。

〔考案の要点〕

本考案における電子ビーム描画用試料の導通検
査機構は、試料を支持するカセツトに対し電気的
に導通可能に取付けられかつ前記試料の金属層に
接触可能に形成されているアース取り片と、カセ
ツトに対し電気的に接続されると共に絶縁可能に
取付けられかつ試料の金属層にに形成されている
アース検知片と、カセツトを載置する検査台と、
検査台に置かれたカセツトのアース検知片に接触
して該アース検知片をカセツトに対して絶縁状態
に移行可能に検査台に設けられた検知端子と、一
側を検知端子に接続され他側をアース取り片に直
接または間接的に電気的に接続されるテスタとか
らなることを特徴にしている。

〔考案の実施例〕

以下本考案について一実施例を示した第３図な
いし第５図により説明する。

バネ材で形成されたアース検知片２１は下方の
折れた部分の両側に絶縁板２２および２３を置い
てボルト２４によりカセツト２５に絶縁状態で締
付けられており、かつ下方中央には穴２６があけ
てある。ガラスマスク２７はガラス層２８とクロ
ム層２９そしてレジスト層３０とからなり、端部
はレジスト層３０はなくクロム層２９が露出して
おり、この露出したクロム層２９にアース検知片
２１は押し付けられるようになつている。前記ア
ース検知片２１と並らんで第１図に示したアース
バネ１３と同様のアース取り片（図示せず）がカ
セツト２５に導通状態で取付けられている。カセ
ツト２５は検査時金属製の検査台３１上に載置さ
れるようになつており、検査台３１上に固着した
絶縁台３２に取付けた絶縁ビン３３には、一側を
テスタ３４の一側端子に接続された検知端子であ
るコイル状のバネ（以下検知端子という）３５が
巻かれており、テスタ３４の他側の端子は検査台
３１に接続されている。

カセツト２５には、穴２６と同心上に位置して
穴２６に向つて開かれた穴４１が設けられてい
る。穴４１内には金属製のバネ４２とピン４３が
挿入され、非検査時には第４図に示すように、バ
ネ４２によりピン４３をアースバネ２１に押し付
け、バネ４２とピン４３を介してアース検知片２
１をカセツト２５に導通させて、アース取りがで
きるようにし、検査時にはアース検知片２１の穴
２６内に絶縁ピン３３（第５図参照）が挿入され
ることにより、ピン４３が左方に押されてアース
検知片２１から離れアース検知片２１とカセツト
２５を非導通状態にするようになつている。

次に前述した実施例の動作を説明する。ガラス
マスク２７のクロム層２９をアース検知片２１と
図示しないアース取り片に接触させて該ガラスマ
スク２７を保持したカセツト２５は、検査台３１
上を左方から移動させて第５図に示した位置に達
すると、絶縁ピン３３はアース検知片２１の穴２
６に挿入され、穴４１内のピン４３をバネ４２に
抗して左方へ押し込み、ピン４３をアース検知片
２１から離脱させ、その後、バネ状の検知端子３
５は圧力をもつてアース検知片２１に接する。こ
のためテスタ３４の回路は、テスタ３４−検知端
子３５−アース検知片２１−クロム層２９−アー
ス取り片−カセツト２５−検査台３１−テスタ３
４になり、クロム層２９とアース取り片即ちクロ
ム層２９とカセツト２５との導通の有無が検査さ
れる。

前述の説明ではアース検知片２１とテスタ３４
との間の導通を絶縁ビン３３に案内されたコイル
状のバネからなる検知端子３５により行つていた
が、絶縁台３２に板バネ状の検知端子を取付けて
もよく、要はカセツト２５を絶縁台３２に近づけ
たとき、ピン４３をアース検知片２１から離脱さ
せると共に或る圧力をもつて検知端子３５がアー
ス検知片２１に接するように構成すればよい。

第６図は本考案の他の実施例を示したものでこ
の例ではテスタ３４の他側の端子３６をアース取
り片３７に直接接続するようにしたものであり、
他は前述した実施例と同じである。なお、アース
取り片３７は、アース検知片２１と同一に形成さ
れ、絶縁板２２，２３の代りに導通板３８を介し
てカセツト２５に取付けられている。

第７図は本考案のさらに他の実施例を示したも
ので、この例では、アース検知片５１は上下両面
に絶縁板２２を置いてボルト２４によりカセツト
５２に締付けられ、同第７図において左方の端部
はガラスマスク２７を角度部に接触するように位
置されると共に、他方の端部は仮想線で示すよう
にカセツト５２に接触するようになつており、か
つカセツト５２の端部でかつアース検知片５１の
前記他方の端部の下方には切欠き５２ａが設けら
れている。この切欠き５２ａには、検査時、検査
台５３に立設され外周を絶縁筒５４に囲まれた金
属製のピンからなる検知端子５５が挿入され、検
知端子５５の上端がアース検知片２１の端部に接
して押しあげるようになつている。

そこで、前述した実施例と同様に導通検査がで
きると共に、検査時以外にはアース検知片５１が
アース取り片としても作用する。

なお、前述した実施例は、テスタ３４に接続さ
れている検知端子３５，５５を検査台３１，５３
に固設し、カセツト２５，５２のアース検知片２
１，５１を前記検知端子３５，５５に接触させる
ようにカセツト２５，５２を検査台３１，５３上
で移動させるようにした例を示したが、これとは
逆に、カセツト２５，５２を検査台３１，５３の
所定位置にセツトし、検知端子３５，５５をアー
ス検知片２１，５１に向けて移動させるようにし
てもよいことは言うまでもない。

〔考案の効果〕

本考案における電子ビーム描画用試料の導通検
査機構は以上説明したように、カセツトへ絶縁可
能に取付けたアース検知片の一端を試料のクロー
ム層に接触させ、このカセツトを検査台に置き検
査台に設けたテスタの一側の端子に接続された検
知端子を前記アース検知片に接触させテスタの他
側端子をアース取り片に直接またはカセツトや検
査台を介して間接的に接続し、アース検知片、試
料のクローム層、アース取り片を介してテスタの
両端子を結ぶ回路が構成されるためアース取り片
とクローム層との導通はテスタにより検査され
る。

そしてこの検査はカセツトを検査台に置いて、
アース検知片と検査端子を接触させるのみの極め
て簡単な作業であるため作業能率が高くなる利点
を有すると共に検査時以外にはアース検知片がア
ース取り片としても作用するため、より確実なア
ース取りが可能となる利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来例を示し第１図は平
面図、第２図は第１図の２−２線断面図、第３図
ないし第５図は本考案の一実施例を示し第３図は
一部側面図、第４図および第５図は第３図の４−
４線における非検査時と検査時の断面図、第６図
は本考案の他の実施例を示す平面図、第７図は本
考案のさらに他の実施例を示す一部断面図であ
る。 ２１，５１……アース検知片、２５，５２……
カセツト、３１，５３……検査台、３２，３３，
５４……絶縁体、３４……テスタ、３５，５５…
…検知端子、３７……アース取り片。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料を支持するカセツトに対し電気的に導通
   可能に取付けられかつ前記試料の金属層に接触
   可能に形成されているアース取り片と、前記カ
   セツトに対し電気的に接続されると共に絶縁可
   能に取付けられかつ前記試料の金属層に接触可
   能に形成されているアース検知片と、前記カセ
   ツトを載置する検査台と、同検査台に置かれた
   カセツトの前記アース検知片に接触して該アー
   ス検知片をカセツトに対して絶縁状態に移行可
   能に該検査台に設けられた検知端子と、一側を
   前記検知端子に接続され他側を前記アース取り
   片に直接または間接的に電気的に接続可能にな
   されたテスタとからなる電子ビーム描画用試料
   の導通検査機構。 ２ テスタの他側が、検査台およびカセツトを介
   してアース取り片に電気的に接続されるように
   構成されている実用新案登録請求の範囲第１項
   記載の電子ビーム描画用試料の導通検査機構。