JPH05284764A - 圧電トランスを利用した超音波アクチュエータ装置 - Google Patents

圧電トランスを利用した超音波アクチュエータ装置

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JPH05284764A
JPH05284764A JP4078030A JP7803092A JPH05284764A JP H05284764 A JPH05284764 A JP H05284764A JP 4078030 A JP4078030 A JP 4078030A JP 7803092 A JP7803092 A JP 7803092A JP H05284764 A JPH05284764 A JP H05284764A
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JP
Japan
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frequency voltage
piezoelectric transformer
high frequency
vibrating body
piezoelectric
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Pending
Application number
JP4078030A
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English (en)
Inventor
Minako Suzuki
美奈子 鈴木
Masao Kasuga
政雄 春日
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型で高出力な超音波アクチュエータを得
る。 【構成】 高周波電圧発生回路12は、ステータ18の
機械的な共振周波数に近い高周波電圧を発生する。圧電
トランスの1次側13aに高周波電圧を印加して、2次
側13bに1次側13aより高電圧の高周波電圧が発生
する。圧電素子15には、2次側13bより発生された
高周波電圧を印加する。圧電素子15は振動体16に接
合されており、伸縮運動によりステータ18は超音波振
動する。移動体17は、振動体16に加圧接触し、振動
体16に発生する超音波振動により摩擦駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子の伸縮運動を
利用した超音波振動により、移動体を摩擦駆動させる超
音波アクチュエータ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、従来の超音波アクチュエータ装
置のブロック図である。高周波電圧発生回路12は、電
源11により、圧電素子15及び振動体16からなるス
テータ18の機械的な共振周波数に近い高周波電圧を発
生する。巻線トランス53の1次側53aに高周波電圧
発生回路12の高周波電圧を印加する。巻線トランス5
3の2次側53bには、1次側及び2次側の巻線数の比
に応じた高電圧の高周波電圧が発生する。圧電素子15
には、巻線トランス53の2次側53bの高周波電圧を
印加する。
【0003】圧電素子15は振動体16に接着されてい
る。振動体16は、圧電素子の伸縮運動により超音波振
動する。移動体17は、振動体16に所定の圧力で接触
している。移動体17は、振動体16に発生する定在波
もしくは進行波からなる超音波振動により摩擦駆動され
る。例えば特開昭60−176471号公報にこのよう
な構造が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波アクチュ
エータは、その駆動電圧が高く、通常使用されている電
池では電圧が不足する。また、電力が一定の場合には電
圧を高めた方が駆動効率が良いことが知られている。そ
のために、昇圧回路が必要とされ、巻線トランスによる
昇圧が行われている。
【0005】しかし、従来の巻線トランスを用いた超音
波アクチュエータ装置では、巻線トランスの構造が複雑
で大きいという課題を有する。また、超音波アクチュエ
ータが小型になっても巻線トランス部の大きさによって
装置全体が大きくなるという課題を有していた。さらに
昇圧比も数倍程度が限界であり、昇圧比を大きくすると
電源効率が低下するという課題も有していた。
【0006】そこで、本発明の目的は、従来のこのよう
な課題を解決するため、圧電トランスを用いることによ
り小型で高出力な超音波アクチュエータを得ることにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、電源と、高周波電圧発生回路と、1次側に
高周波電圧発生回路から発生された高周波電圧を印加す
ることによって、2次側に1次側より高電圧の高周波電
圧を発生するような圧電性を有する圧電トランスと、圧
電トランスの2次側より発生された高周波電圧によって
励振される圧電素子を有する振動体と、振動体に加圧接
触されるとともに、振動体に発生する振動により摩擦駆
動されるような移動体とから構成され、圧電トランスを
用いることによって、小型簡易で高出力な超音波アクチ
ュエータ装置を実現した。
【0008】
【作用】上記のように構成された超音波アクチュエータ
装置においては、電源により、高周波電圧発生回路は、
圧電素子及び振動体からなるステータの機械的な共振周
波数に近い高周波電圧を発生する。圧電トランスの1次
側に高周波電圧発生回路から発生された高周波電圧を印
加することによって、2次側に1次側より高電圧の高周
波電圧が発生する。圧電素子には、圧電トランスの2次
側より発生された高周波電圧を印加する。圧電素子は振
動体に接合されており、圧電素子の伸縮運動によりステ
ータは超音波振動する。また、圧電トランスの共振周波
数は超音波アクチュエータの駆動周波数と概略一致する
ように設定されている。移動体は振動体に加圧接触され
ており、振動体に発生する定在波もしくは進行波からな
る超音波振動により摩擦駆動される。
【0009】このように、ステータの共振周波数とほぼ
等しい共振周波数の圧電トランスを用いて超音波アクチ
ュエータを昇圧駆動することによって、小型簡易で高出
力な超音波アクチュエータ装置が得られる。
【0010】
【実施例】以下に、本発明の実施例を、図面に基づいて
説明する。図1は、本発明の超音波アクチュエータ装置
のブロック図である。従来は昇圧手段として巻線トラン
スを有していたが、本発明では圧電効果を利用した圧電
トランス13を有している。
【0011】電源11により、高周波電圧発生回路12
は、圧電素子15及び振動体16からなるステータ18
の機械的な共振周波数に近い高周波電圧を発生する。圧
電トランスの1次側13aに高周波電圧発生回路12か
ら発生された高周波電圧を印加することによって、圧電
トランス2次側13bに圧電トランス1次側13aより
高電圧の高周波電圧が発生する。圧電素子15には、圧
電トランスの2次側13bより発生された高周波電圧を
印加する。圧電素子15は振動体16に接合されてお
り、圧電素子15の伸縮運動によりステータ18は超音
波振動する。また、圧電トランス13の共振周波数は超
音波アクチュエータ14の駆動周波数と概略一致するよ
うに設定されている。移動体17は振動体16に加圧接
触し、振動体16に発生する定在波もしくは進行波から
なる超音波振動により摩擦駆動される。移動体17と振
動体16の加圧には、加圧ばね(図示しない)などを用
いる。
【0012】図2〜図5は本発明に使用される圧電トラ
ンスの斜視図である。図2に示した圧電トランス13は
長方形形状の圧電体である。圧電トランス13は、例え
ば、チタン酸ジルコン酸鉛PZTなどからなる材料で構
成されている。厚み方向Tに対して分極処理された電極
パターン13cを圧電トランスの1次側とし、高周波電
圧V1を印加する。次に、長手方向Lに対してして分極
処理された電極パターン13dを圧電トランスの2次側
とすれば高周波電圧V2が出力される。この際、昇圧さ
れる電圧の比は圧電トランス1次側と圧電トランス2次
側の長さの比、即ち、TとLの比に比例する。また、圧
電トランス1次側と圧電トランス2次側の電流の比は電
極パターン13cの面積及び電極パターン13dの面積
比に比例する。
【0013】図3に示した圧電トランス13も長方形形
状の圧電体で構成されている。本実施例は電極パターン
13cを長手方向Lに対して中間部分に設けるようにし
た点で先の図2に示した実施例とは異なる。厚み方向T
に対して分極処理された電極パターン13cを圧電トラ
ンスの1次側とし、高周波電圧V1を印加する。次に、
長手方向Lに対して分極処理された電極パターン13d
を圧電トランスの2次側とすればL/Tに応じた昇圧比
の高周波電圧V2が出力される。
【0014】図4に示した圧電トランス13は円板形状
の圧電体で構成されている。本実施例は圧電トランス1
3の外径よりも小さい電極パターン13cを有し、円板
の厚み方向に分極処理されている。ここで、電極パター
ン13cを圧電トランスの1次側とし、高周波電圧V1
を印加する。次に、外周側面部に設けられた電極パター
ン13dを圧電トランスの2次側とすれば高周波電圧V
2が出力される。
【0015】図5に示した圧電トランス13は円環形状
の圧電体で構成されている。本実施例は、圧電トランス
13の内側側面全体に電極パターン13cを有し、外周
方向に分極処理されている。ここで、電極パターン13
cを圧電トランスの1次側とし、高周波電圧V1を印加
する。次に、外周側面部の一部に電極パターン13dを
設けるとともに、他の外周側面部に共通の電極パターン
13eを設ければ、電極パターン13dが圧電トランス
の2次側となり高周波電圧V2が出力される。
【0016】図6は、本発明の超音波アクチュエータ装
置の断面図である。固定台19に固定された中心軸20
に、振動体16を固定する。振動体16の下面には圧電
素子15が接着されている。圧電素子15は一定の形状
に分極され、圧電素子15の電極パターンからは圧電ト
ランス13の圧電トランスの2次側に配線されている。
また、圧電トランスの1次側からは高周波電圧発生回路
12へ配線されている。この際、圧電トランス13は振
動体16と固定台19の間に配置されている。圧電トラ
ンスが振動体16の外径よりも小さくしかも薄くなるよ
うに構成しているため超音波アクチュエータ装置全体の
小型化が実現できる。
【0017】なお、先にも述べたように、圧電トランス
13は共振状態で使用されるのが望ましい。圧電トラン
スの共振周波数は、振動体16及び圧電素子15からな
るステータ18の駆動周波数と概略一致させるのが得策
である。振動体16の突起部16aには移動体17が接
触する。移動体17は中心軸20に組み込まれ軸受23
により回転可能に支持する。さらに、移動体17は、加
圧ばね22により、振動体16に加圧接触されている。
【0018】なお、本実施例では圧電トランス13を振
動体16と固定台19の間に配置したが、本発明は圧電
トランスを用いることにより超音波アクチュエータ装置
全体の小型化をはかることを目的としている。圧電トラ
ンスは、これ以外の部分に配置しても構わない。図7は
本発明の超音波アクチュエータ装置の回路図である。電
池などの電源11による直流電圧は、発振回路12aの
出力に応じてスイッチングトランジスタ12bを圧電ト
ランス13及び超音波アクチュエータ14の共振周波数
に近い周波数でON/OFFされる。これによって発生
される高周波電圧は、圧電トランスの1次側13aに印
加され、圧電、電歪効果によって圧電トランス2次側1
3bの電極パターン13dに圧電トランスの1次側13
aより高電圧の高周波電圧が発生する。圧電素子15に
は、圧電トランスの2次側13bより発生された高周波
電圧を印加する。圧電素子15は振動体16に接合され
ており、圧電素子15の伸縮運動によりステータ18は
超音波振動し、移動体17を摩擦駆動する。なお、本実
施例では圧電トランス13の共通電極パターン13e
は、圧電素子15と振動体16との接合面と同電位に設
定されている。
【0019】
【発明の効果】本発明は、電源と、高周波電圧発生回路
と、1次側に高周波電圧発生回路から発生された高周波
電圧を印加することによって、2次側に1次側より高電
圧の高周波電圧を発生するような圧電性を有する圧電ト
ランスと、圧電トランスの2次側より発生された高周波
電圧によって励振される圧電素子を有する振動体と、振
動体に加圧接触されるとともに、振動体に発生する振動
により摩擦駆動されるような移動体とから構成したこと
により、次の効果を有する。
【0020】圧電トランスの共振周波数と圧電素子及び
振動体からなるステータとの共振周波数を等しくするこ
とにより、簡易な回路構造で高出力な超音波アクチュエ
ータが実現できる。昇圧手段として圧電トランスを利用
することにより、超音波アクチュエータ装置全体の小型
化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波アクチュエータ装置のブロック
図である。
【図2】本発明に使用される圧電トランスの斜視図その
1である。
【図3】本発明に使用される圧電トランスの斜視図その
2である。
【図4】本発明に使用される圧電トランスの斜視図その
3である。
【図5】本発明に使用される圧電トランスの斜視図その
4である。
【図6】本発明の超音波アクチュエータ装置の断面図で
ある。
【図7】本発明の超音波アクチュエータ装置の回路図で
ある。
【図8】従来の超音波アクチュエータ装置のブロック図
である。
【符号の説明】
11 電源 12 高周波電圧発生回路 12a 発振回路 12b スイッチングトランジスタ 13 圧電トランス 13a 圧電トランス1次側 13b 圧電トランス2次側 13c 電極パターン(1) 13d 電極パターン(2) 13e 電極パターン(3) 14 超音波アクチュエータ 15 圧電素子 16 振動体 17 移動体 18 ステータ 19 固定台 20 中心軸 22 加圧ばね 53 巻線トランス 53a 巻線トランス1次側 53b 巻線トランス2次側

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電素子の伸縮運動を利用した超音波振
    動により、移動体を摩擦駆動させる超音波アクチュエー
    タ装置において、 電源と、前記電源により動作して、所定の高周波電圧を
    発生する高周波電圧発生回路と、前記高周波電圧発生回
    路から発生された高周波電圧を1次側に印加することに
    よって、2次側に1次側より高電圧の高周波電圧を発生
    するような圧電性を有する圧電トランスと、前記圧電ト
    ランスの2次側より発生された高周波電圧によって励振
    される圧電素子を有する振動体と、前記振動体に加圧接
    触されるとともに、前記振動体に発生する振動により摩
    擦駆動されるような移動体と、 を有することを特徴とする超音波アクチュエータ装置。
  2. 【請求項2】 前記圧電トランスの駆動周波数と、前記
    振動体及び前記圧電素子からなるステータの駆動周波数
    が等しいことを特徴とする請求項1記載の超音波アクチ
    ュエータ装置。
JP4078030A 1992-03-31 1992-03-31 圧電トランスを利用した超音波アクチュエータ装置 Pending JPH05284764A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000049667A1 (fr) * 1999-02-16 2000-08-24 Mitsui Chemicals, Inc. Transformateur piezoelectrique
WO2003010879A3 (en) * 2001-07-23 2003-10-09 Abb Service Srl Driving device for ultrasonic motor
US7246884B2 (en) 1997-07-15 2007-07-24 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead having enclosed inkjet actuators
US7321182B2 (en) 2005-06-01 2008-01-22 Canon Kabushiki Kaisha Oscillatory-wave actuator and method for driving oscillatory-wave actuator

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7246884B2 (en) 1997-07-15 2007-07-24 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead having enclosed inkjet actuators
WO2000049667A1 (fr) * 1999-02-16 2000-08-24 Mitsui Chemicals, Inc. Transformateur piezoelectrique
WO2003010879A3 (en) * 2001-07-23 2003-10-09 Abb Service Srl Driving device for ultrasonic motor
US7321182B2 (en) 2005-06-01 2008-01-22 Canon Kabushiki Kaisha Oscillatory-wave actuator and method for driving oscillatory-wave actuator

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