JPH05291345A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH05291345A
JPH05291345A JP4085284A JP8528492A JPH05291345A JP H05291345 A JPH05291345 A JP H05291345A JP 4085284 A JP4085284 A JP 4085284A JP 8528492 A JP8528492 A JP 8528492A JP H05291345 A JPH05291345 A JP H05291345A
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JP
Japan
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flip chip
semiconductor device
chip
lead frame
surface side
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Pending
Application number
JP4085284A
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English (en)
Inventor
Hidemi Maruta
秀己 丸田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 外形を大きくすることなく、集積密度を向上
させ、また、フリップチップの半導体装置の信頼性を高
める 【構成】 ダイパッドを有しないリードフレーム2のイ
ンナーリード2aに、フリップチップ3の表面側の電極
3aを接続し、フリップチップ3の裏面側にワイヤボン
ディング用チップ4を接合してワイヤボンディングして
いる。また、ダイパッドを有しないリードフレーム2の
インナーリード2aに、フリップチップ3の表面側の電
極3aを接続して樹脂7でモールドしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置に関し、さ
らに詳しくは、回路パターンが形成されている表面側を
下にして(フェイスダウン)ボンディングするフリップ
チップを備えた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来例の半導体装置の断面図で
あり、図5はその半導体装置に使用されるリードフレー
ムの平面図である。
【0003】半導体装置10は、リードフレーム20
ダイパッド(マウント部)20b上にワイヤボンディン
グ用チップ40がダイボンド用樹脂5などで接合され、
このチップ40の図示していない外部引出用電極にイン
ナーリード20aが金属細線6でワイヤボンディングさ
れ、これらの周囲が樹脂7でモールドされて構成されて
いる。
【0004】図6は、他の従来例の半導体装置の断面図
である。
【0005】この半導体装置11は、フリップチップ3
0の表面側のバンプ電極30aが、プリント配線基板12
の電極パッド12aに接続され、該フリップチップ30
表面側の回路パターン保護用の樹脂13がコーティング
されて構成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図4に示さ
れる従来例の半導体装置10では、集積密度を高めるた
めに、複数のチップ40をダイパッド20bに接合する場
合には、ダイパッド20bを大きくしなければならず、
したがって、半導体装置10の外形が大きくなるという
難点がある。
【0007】また、図6に示される従来例の半導体装置
11では、プリント配線基板12に接続されたフリップ
チップ30は、回路パターンを保護するために樹脂13
がコーティングされているだけであるので、樹脂モール
ドした場合に比べて、気密性に劣り、水分の侵入などに
よってフリップチップ30の性能が劣化するといった難
点がある。
【0008】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、外形を大きくすることなく、集積密度を向上
させることを目的とし、また、フリップチップの半導体
装置において樹脂モールドを行えるようにして信頼性を
高めることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
【0010】すなわち、請求項第1項に記載の本発明の
半導体装置は、ダイパッドを有しないリードフレームの
インナーリードに、フリップチップの表面側の電極が接
続され、このフリップチップの裏面側に、ワイヤボンデ
ィング用チップが接合され、該ワイヤボンディング用チ
ップの表面側の電極と前記リードフレームのインナーリ
ードとがワイヤボンディングされることを特徴としてい
る。
【0011】また、請求項第2項に記載の本発明の半導
体装置は、ダイパッドを有しないリードフレームのイン
ナーリードに、フリップチップの表面側の電極が接続さ
れ、フリップチップおよびインナーリードが樹脂モール
ドされてなるものである。
【0012】
【作用】請求項第1項記載の本発明によれば、リードフ
レームは、ダイパッドを有していないので、フリップチ
ップの表面側の回路パターンがダイパッドに接触するこ
となく、該フリップチップの電極をリードフレームのイ
ンナーリードの接続でき、このフリップチップに、ワイ
ヤボンディング用チップを重ねることができるので、ダ
イパッドを大きくして複数のチップを並べる従来例のよ
うに外形が大きくなることなく、集積密度を高めること
ができる。
【0013】また、請求項第2項記載の本発明によれ
ば、フリップチップをリードフレームのインナーリード
に直接ボンディングして樹脂モールドするので、保護用
の樹脂がコーティングされるだけの従来例に比べて気密
性が向上し、信頼性が高まることになる。
【0014】
【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。
【0015】実施例1.図1は、請求項第1項記載の本
発明の一実施例の半導体装置の断面図であり、図2は、
図1の半導体装置に使用されるリードフレームの平面図
である。
【0016】この実施例の半導体装置1は、外形を大き
くすることなく、集積密度を向上させるために、リード
フレーム2のインナーリード2aに、フリップチップ3
のバンプ電極3aが接続されており、このフリップチッ
プ3の裏面上に、ワイヤボンディング用チップ4の裏面
がダイボンディング用樹脂5などによって接合されてい
る。
【0017】このようにフリップチップ3をインナーリ
ード2aに直接接続するので、フリップチップ3の表面
側の回路パターンがリードフレーム2のダイスパッドに
接触することのないように、リードフレーム2には、従
来例のようなダイスパッドが設けられていない。
【0018】フリップチップ3の裏面に接合されたワイ
ヤボンディング用チップ4は、その表面側の電極とリー
ドフレーム2のインナーリード2aとが金属細線6でワ
イヤボンディングされた後、これらの周囲が樹脂7でモ
ールドされて構成される。
【0019】このようにフリップチップ3の上に、ワイ
ヤボンディング用チップ4を重ねる構造としているの
で、ダイパッドを大きくして複数のチップを並べる従来
例のように半導体装置の外形が大きくなることなく、集
積密度を高めることができる。 実施例2.図3は、請求項第2項記載の本発明の一実施
例の半導体装置8の断面図であり、上述の従来例に対応
する部分には、同一の参照符を付す。
【0020】この実施例は、半導体装置8は、フリップ
チップ3を、上述の実施例と同様にダイスパッドを有し
ていないリードフレーム2のインナーリード2aに接続
し、トランスファモールド法によって樹脂7でモールド
されて形成されている。
【0021】このようにフリップチップ3が、リードフ
レーム2のインナーリード2aに直接接続されて樹脂モ
ールドされるので、保護用の樹脂がコーティングされる
従来例に比べて気密性が向上し、フリップチップ3の信
頼性が高まることになり、また、フリップチップにおい
てもモノリシックICを得ることが可能となる。
【0022】特に、リードフレーム2には、従来例のよ
うなダイパッドが設けられていないので、樹脂モールド
の際に、樹脂7がフリップチップ3の回路パターン側に
円滑に入り込んで確実な封止が行われることになる。
【0023】
【発明の効果】以上のように請求項第1項記載の本発明
によれば、フリップチップに、ワイヤボンディング用チ
ップを重ねる構造としているので、ダイパッドを大きく
して複数のチップを並べる従来例のように外形が大きく
なることなく、集積密度を高めることができる。
【0024】また、請求項第2項記載の本発明によれ
ば、フリップチップをリードフレームのインナーリード
に直接ボンディングして樹脂モールドするので、保護用
の樹脂がコーティングされるだけの従来例に比べて気密
性が向上し、半導体装置の信頼性が高まることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の断面図である。
【図2】図1に使用されるリードフレームの平面図であ
る。
【図3】本発明の他の実施例の断面図である。
【図4】従来例の断面図である。
【図5】図4のリードフレームの平面図である。
【図6】他の従来例の断面図である。
【符号の説明】
1,8,10,11 半導体装置 2,20 リードフレーム 3,30 フリップチップ 4,40 ワイヤボンディング用チップ 7 樹脂

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ダイパッドを有しないリードフレームの
    インナーリードに、フリップチップの表面側の電極が接
    続され、このフリップチップの裏面側に、ワイヤボンデ
    ィング用チップが接合され、該ワイヤボンディング用チ
    ップ表面側の電極と前記リードフレームのインナーリー
    ドとがワイヤボンディングされることを特徴とする半導
    体装置。
  2. 【請求項2】 ダイパッドを有しないリードフレームの
    インナーリードに、フリップチップの表面側の電極が接
    続され、前記フリップチップおよびインナーリードが樹
    脂モールドされてなる半導体装置。
JP4085284A 1992-04-07 1992-04-07 半導体装置 Pending JPH05291345A (ja)

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JP4085284A JPH05291345A (ja) 1992-04-07 1992-04-07 半導体装置

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JP4085284A JPH05291345A (ja) 1992-04-07 1992-04-07 半導体装置

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JPH05291345A true JPH05291345A (ja) 1993-11-05

Family

ID=13854277

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JP4085284A Pending JPH05291345A (ja) 1992-04-07 1992-04-07 半導体装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100731007B1 (ko) * 2001-01-15 2007-06-22 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 적층형 반도체 패키지
JP2007201323A (ja) * 2006-01-30 2007-08-09 Denso Corp 電子部品の接続構造
JP2015070036A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 ローム株式会社 半導体装置および電子機器

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