JPH0530347Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） 本考案は微細パタンを高精度に転写するＸ線リ
ソグラフイーに用いるＸ線露光用マスクに係り、
とりわけ搬送作業を確実に行うことができるＸ線
露光用マスクに関する。

（従来の技術） 従来、Ｘ線リソグラフイーに用いるＸ線露光用
マスクとして、内部に窓が形成された中空状支持
板と、この支持板の一面側に形成されたＸ線透過
性薄膜と、支持板の他面側に形成されたエツチン
グ保護膜と、Ｘ線透過性薄膜の外面に設けられた
Ｘ線吸収パタンとを備えたものが知られている。

また、Ｘ線リソグラフイーにおいては、波長４
Å〜数＋Åの軟Ｘ線を使用するため、Ｘ線透過性
薄板は非常に薄く形成されている。例えばＸ線透
過性薄膜がSiN膜の場合は１〜3μm，BN膜とポ
リイミド膜の積層の場合では5.5〜6.5μmの厚さと
なつている。さらに中空状支持板はＸ線透過性薄
膜を支持するものであり、数百μm〜数mmの厚さ
のSiウエハを加工して用いられている。

このようにＸ線露光用マスクは全体としても非
常に薄く構成されているため、機械的強度が弱く
なつている。このためＸ線露光用マスクの機械的
強度を向上させるために、補強用の枠体を取付け
たＸ線露光用マスクが考えられている。

（考案が解決しようとする問題点） ところで、Ｘ線露光用マスクは、ベルト掛けま
たはローダ等による搬送装置によつて搬送されて
使用される。この場合、上述したような機械的強
度を向上させることを主な目的とする補強用枠体
に、ベルトやローダ等の搬送装置と係合する係合
部を形成しておけば、Ｘ線露光用マスクの搬送作
業が容易となり都合がよい。

本考案は、このような点を考慮してなされたも
のであり、搬送作業を確実にかつ容易に行うこと
ができるＸ線露光用マスクを提供することを目的
とする。

〔考案の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本考案は、内部に窓が形成された中空状支持板
と、この支持板の一面側に形成されたＸ線透過性
薄膜と、前記支持板の他面側に形成されたエツチ
ング保護膜と、前記Ｘ線透過性薄膜の外面に設け
られたＸ線吸収パタンとを備え、搬送装置によつ
て搬送されるＸ線露光用マスクにおいて、前記エ
ツチング保護膜の外面に、前記窓と対応する位置
に空洞が形成された中空状の補強用枠体を取付
け、この枠体の外周に前記搬送装置と係合する係
合部を設けたことを特徴としている。

（作用） 補強用枠体が取付けられているので、Ｘ線露光
用マスクの機械的強度を向上させることができ、
また枠体の外周に設けられた係合部を搬送装置と
係合させることによつて、確実な搬送作業を行う
ことができる。

（実施例） 以下、図面を参照して本考案の実施例について
説明する。

第１図乃至第３図は本考案によるＸ線露光用マ
スクの一実施例を示す図である。第１図におい
て、内部に窓５が形成された中空状の支持板３の
一面側にＸ線透過性薄膜２が形成され、支持板３
の他面側および側面にエツチング保護膜４が形成
されている。この支持板３は境面研磨されたSiウ
エハ基板により形成され、またＸ線透過性薄膜２
およびエツチング保護膜４はSiN膜により形成さ
れている。また、Ｘ線透過性薄膜２の外面にはＷ
膜またはTa膜からなるＸ線吸収性パタン１が設
けられている。

一方、第２ａ図および第２ｂ図に示すように、
空洞６ａが形成された中空ドーナツ状の枠体６の
外周に、連続した溝７が設けられている。枠体６
はホウ珪酸ガラス、石英ガラス等の熱膨張率の小
さいガラスまたはセラミツクにより形成されてお
り、外径80mm、内径40mm、厚さが３mmとなつてい
る。また枠体６の外周に設けられた溝７は幅１
mm、深さが0.5mmとなつている。

この枠体６は第３図に示すように、エツチング
保護膜４の外面にエポキシ系接着剤８で貼着され
ている。また枠体の空洞６ａは支持板３の窓５と
対応する位置に形成されており、また枠体６の外
径は支持板３の外径より30mm程度大きくなつてい
る。

このように構成されたＸ線露光用マスクは次の
ように作成される。

まず、厚さ0.3〜４mmの境面研磨されたSiウエ
ハ基板製の支持板３上の両面に、CVD装置によ
つて厚さ3μmのSiN膜を形成する。そして、一面
側をＸ線透過性薄膜２とし、他面側にフオトレジ
スタパタンをマスクにして不要部をエツチング除
去することによつてエツチング保護膜４を形成す
る。

続いて、Ｘ線透過性薄膜２上にＷ膜またはTa
膜からなる厚さ1μmのＸ線吸収性パタンの材料層
をスパツタリング法により形成する。そして、Ｘ
線吸収性パタンの材料層に例えば通常の電子線描
画法等によりレジストパタンを形成し、それをマ
スクにしてドライエツチングすることにより、Ｘ
線吸収性パタン１を形成する。

続いて、30％水酸化カリウム水溶液によつて、
裏面のエツチング保護膜４をマスクとして支持板
３を裏面からエツチングし、窓５を形成する。

続いて、あらかじめ内部に空洞６ａが形成され
た枠体６の外周に連続した溝７を設ける。この溝
７は機械研削により設けてもよいが、切子により
溝７を切断した後、酸に浸してこの溝７の切断面
を滑らかにしてもよい。

続いてこの枠体６をエポキシ系接着材８を介し
てエツチング保護膜４の外面に取付ける。次にこ
の状態で90℃のオーブン（図示せず）内に収納し
て１時間加熱し、エポキシ系接着材８を硬化させ
て枠体６をエツチング保護膜４の外面に堅固に貼
着させる。

このような手順によりＸ線露光用マスクが作成
される。

本実施例によれば、補強用の枠体６が取付けら
れているのでＸ線露光用マスクの機械的強度を向
上させることができる。また、枠体６の外周には
溝７が設けられているので、この溝７を搬送装置
のベルト等に係合させることによつてＸ線露光用
マスクの搬送作業を確実かつ容易に行うことがで
きる。さらにＸ線露光用マスクの搬送時に、Ｘ線
透過性薄膜２上に搬送装置が接触することはない
ので、Ｘ線透過性薄膜２の表面へのゴミの付着や
キズの発生を防止することができる。

なお、上記実施例において、枠体６の外径を支
持板３の外径より大きくした例を示したが、枠体
６の外径を約10mm程度まで支持板３の外径より小
さくしてもよい。

また、枠体６がドーナツ状となつている例を示
したが、これに限らず枠体６を矩形状としてもよ
い。この場合、枠体６の１辺の長さは支持板３の
外径に対して10mm程度小さい長さから30mm程度大
きい長さの範囲内にあることが好ましい。

さらに、枠体６の外周に連続的に溝７を設けて
搬送装置と係合する係合部とした例を示したが、
係合部として溝の代わり枠体の外周に連続的に突
出部を設けてもよい。また、この溝または突出部
は１本に限らず２本または３本のものでもよく、
連続的なものに限らず断続的なものでもよい。

この溝または突出部の形状は、矩形、丸味のあ
る矩形、半円形、および三角形のものが考えら
れ、また、その寸法は幅が0.2〜５mm、深さが0.2
〜５mm程度のものが好ましい。

〔考案の効果〕

本考案によれば、Ｘ線露光用マスク全体の機械
的強度を向上させることができ、確実な搬送作業
を行うことができる。また、搬送時にＸ線透過性
薄膜等へのゴミの付着およびキズの発生を防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるＸ線露光用マスクの一実
施例を示す側断面図であつて枠体を除いた図、第
２ａ図は枠体の平面図、第２ｂ図は枠体の側断面
図、第３図は枠体を取付けたＸ線露光用マスクを
示す側断面図である。 １……Ｘ線吸収性パタン、２……Ｘ線透過性薄
膜、３……支持板、４……エツチング保護膜、５
……窓、６……枠体、７……溝、８……エポキシ
性接着材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内部に窓が形成された中空状支持板と、この支
   持板の一面側に形成されたＸ線透過性薄膜と、前
   記支持板の他面側に形成されたエツチング保護膜
   と、前記Ｘ線透過性薄膜の外面に設けられたＸ線
   吸収パタンとを備え、搬送装置によつて搬送され
   るＸ線露光用マスクにおいて、前記エツチング保
   護膜の外面に、前記窓と対応する位置に空洞が形
   成された中空状の補強用枠体を取付け、この枠体
   の外周に前記搬送装置と係合する係合部を設けた
   ことを特徴とするＸ線露光用マスク。