JPH05305572A - 研磨用砥石 - Google Patents
研磨用砥石Info
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- JPH05305572A JPH05305572A JP14001192A JP14001192A JPH05305572A JP H05305572 A JPH05305572 A JP H05305572A JP 14001192 A JP14001192 A JP 14001192A JP 14001192 A JP14001192 A JP 14001192A JP H05305572 A JPH05305572 A JP H05305572A
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨抵抗を小さくする。
【構成】 砥粒３の結合材１に、１００Å以下の粒径か
らなるダイヤモンド超微粉２を潤滑材として混合する。
ダイヤモンド超微粉２は、耐磨耗性が非常に高く、被加
工物と砥石との界面における転動時に長期間にわたり高
い潤滑性能を示す。これにより、研磨抵抗の増加を防ぎ
研磨抵抗の増加による被加工面の面精度の低下を防ぐ。
らなるダイヤモンド超微粉２を潤滑材として混合する。
ダイヤモンド超微粉２は、耐磨耗性が非常に高く、被加
工物と砥石との界面における転動時に長期間にわたり高
い潤滑性能を示す。これにより、研磨抵抗の増加を防ぎ
研磨抵抗の増加による被加工面の面精度の低下を防ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス等の硬脆材料の
研磨用砥石に関する。
研磨用砥石に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、硬脆材料用の研削・研磨砥石とし
ては、特公昭５３−８９５０号公報に記載されたものが
知られている。この砥石は、図６に示すように、砥石結
合材の基材となる樹脂または金属に二硫化タングステン
１０を２〜１５重量％加えたものを結合材１１として、
ダイヤモンドまたは立方晶窒化ほう素を砥粒１２として
いる。そして、この砥石にあっては、硬脆材料の研削加
工において、結合材中に配置された二硫化タングステン
の耐磨耗性、潤滑性により研削抵抗が小さく、すぐれた
耐磨耗性を有するとしている。なお、結合材中に上記と
同様の目的で加える潤滑材としては、二硫化モリブデ
ン、グラファイト等が知られている。
ては、特公昭５３−８９５０号公報に記載されたものが
知られている。この砥石は、図６に示すように、砥石結
合材の基材となる樹脂または金属に二硫化タングステン
１０を２〜１５重量％加えたものを結合材１１として、
ダイヤモンドまたは立方晶窒化ほう素を砥粒１２として
いる。そして、この砥石にあっては、硬脆材料の研削加
工において、結合材中に配置された二硫化タングステン
の耐磨耗性、潤滑性により研削抵抗が小さく、すぐれた
耐磨耗性を有するとしている。なお、結合材中に上記と
同様の目的で加える潤滑材としては、二硫化モリブデ
ン、グラファイト等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の砥
石では、潤滑材として二硫化タングステン、二硫化モリ
ブデン等を用いているが、これらはいずれも硬さが小さ
く（二硫化モリブデン＜二硫化タングステン：モース硬
度１〜１．５）、ガラス等の硬脆材料を加工する際に摩
滅が生じ易く、潤滑材としての効果が長く保てないとい
う欠点がある。さらに、加工時の摩擦による潤滑材の目
つぶれ現象によって潤滑効果の減少、研磨屑の付着によ
る目詰まりが生じる虞れがあり、結果として研磨抵抗の
増加による被加工面の面精度の低下を生じるという問題
点があった。本発明は、上記従来技術の問題点を解消
し、研磨抵抗による面精度の低下を防止し得る研磨用砥
石を提供することを目的とする。
石では、潤滑材として二硫化タングステン、二硫化モリ
ブデン等を用いているが、これらはいずれも硬さが小さ
く（二硫化モリブデン＜二硫化タングステン：モース硬
度１〜１．５）、ガラス等の硬脆材料を加工する際に摩
滅が生じ易く、潤滑材としての効果が長く保てないとい
う欠点がある。さらに、加工時の摩擦による潤滑材の目
つぶれ現象によって潤滑効果の減少、研磨屑の付着によ
る目詰まりが生じる虞れがあり、結果として研磨抵抗の
増加による被加工面の面精度の低下を生じるという問題
点があった。本発明は、上記従来技術の問題点を解消
し、研磨抵抗による面精度の低下を防止し得る研磨用砥
石を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の研磨用砥石は、図１に示すように、樹脂ま
たは金属からなる結合材１に１００Å以下の粒径からな
るダイヤモンド超微粉２を潤滑材として混合して構成し
た。本発明の研磨用砥石の砥粒３としては、酸化セリウ
ム、アルミナ系、炭化ケイ素系、酸化ジルコニウム等の
材質のものが挙げられ、また、結合材１としては、ポリ
イミド系、フェノール系、ポリアミド系、ＡＢＳ系等の
樹脂、または錫、銅、ニッケル等の金属やそれらの合金
が挙げられる。
に、本発明の研磨用砥石は、図１に示すように、樹脂ま
たは金属からなる結合材１に１００Å以下の粒径からな
るダイヤモンド超微粉２を潤滑材として混合して構成し
た。本発明の研磨用砥石の砥粒３としては、酸化セリウ
ム、アルミナ系、炭化ケイ素系、酸化ジルコニウム等の
材質のものが挙げられ、また、結合材１としては、ポリ
イミド系、フェノール系、ポリアミド系、ＡＢＳ系等の
樹脂、または錫、銅、ニッケル等の金属やそれらの合金
が挙げられる。
【０００５】
【作用】上記構成からなる研磨用砥石によれば、ダイヤ
モンド超微粉は耐磨耗性が非常に高く被研磨物と砥石と
の界面における転動時に高い剛性を示し高い潤滑性能を
示すことにより、低研磨抵抗が実現されると同時に潤滑
材のライフ向上による潤滑能力の向上が実現される。さ
らに、１００Å以下のダイヤモンド超微粉を用いること
で被加工面にキズを与えることなく光学研磨面を得るこ
とができ、また、従来の潤滑材と比べて硬度が大きいた
め結合材からの離脱後に砥石表面のドレッシング効果も
得られる。
モンド超微粉は耐磨耗性が非常に高く被研磨物と砥石と
の界面における転動時に高い剛性を示し高い潤滑性能を
示すことにより、低研磨抵抗が実現されると同時に潤滑
材のライフ向上による潤滑能力の向上が実現される。さ
らに、１００Å以下のダイヤモンド超微粉を用いること
で被加工面にキズを与えることなく光学研磨面を得るこ
とができ、また、従来の潤滑材と比べて硬度が大きいた
め結合材からの離脱後に砥石表面のドレッシング効果も
得られる。
【０００６】
【実施例１】図２は、本発明に係る研磨用砥石の実施例
１を示す拡大断面図である。研磨用砥石の成形時に、酸
化セリウム砥粒３が５５重量％、砥粒結合材１が４０重
量％、ダイヤモンド超微粉２が５重量％の比重となるよ
うに秤量する。ここで、砥粒結合材１にはポリイミド系
の樹脂を用い、ダイヤモンド超微粉２には粒径が１００
Å以下のものを用いる。そして、砥粒結合材１をピロリ
ドン系の有機溶剤に溶解させ、ダイヤモンド超微粉２と
攪拌混合し、この溶液を７０℃で４８時間乾燥炉で乾燥
させ粉砕する。この粉砕物と砥粒３とを充分に混合して
圧縮成形した後、１００℃で焼成し研磨用砥石を製作し
た。
１を示す拡大断面図である。研磨用砥石の成形時に、酸
化セリウム砥粒３が５５重量％、砥粒結合材１が４０重
量％、ダイヤモンド超微粉２が５重量％の比重となるよ
うに秤量する。ここで、砥粒結合材１にはポリイミド系
の樹脂を用い、ダイヤモンド超微粉２には粒径が１００
Å以下のものを用いる。そして、砥粒結合材１をピロリ
ドン系の有機溶剤に溶解させ、ダイヤモンド超微粉２と
攪拌混合し、この溶液を７０℃で４８時間乾燥炉で乾燥
させ粉砕する。この粉砕物と砥粒３とを充分に混合して
圧縮成形した後、１００℃で焼成し研磨用砥石を製作し
た。
【０００７】以下に、本実施例の研磨用砥石と従来の二
硫化タングステンを潤滑材に用いて同様に製作した研磨
用砥石とにより、光学ガラスＢＫ−７（φ３０）の試料
をそれぞれ砥石回転数１０００ｒｐｍで研磨加工したと
きの結果を示す。図３は、本実施例の研磨用砥石による
被加工面の干渉縞図で、図４は、二硫化タングステンを
用いた従来の研磨用砥石による干渉縞図であり、それぞ
れ５０個目を加工した試料の被加工面を示している。砥
石ラッピング直後は、双方とも同様の面精度で加工でき
たが、５０個目では図３及び図４に示すように被加工面
の精度に差が生じた。これは、二硫化タングステンを用
いた従来の研磨用砥石では、前記した理由により研磨抵
抗が増加してくるため、加工中に振動が生じ、それによ
り面精度が悪化するためである。さらに、研磨取り代の
比較では、本実施例の研磨用砥石は、従来の研磨用砥石
に比べ１．２〜１．３倍となっており、研削比が同等で
あることから高研磨性が得られていることがわかる。す
なわち、本実施例の研磨用砥石にあっては、結合材１に
混合されるダイヤモンド超微粉２が、大きな潤滑作用を
なすとともにその硬度が大きいという特性により、研磨
用砥石表面の目立て作用をなしているため研磨性が向上
するものと考えられる。
硫化タングステンを潤滑材に用いて同様に製作した研磨
用砥石とにより、光学ガラスＢＫ−７（φ３０）の試料
をそれぞれ砥石回転数１０００ｒｐｍで研磨加工したと
きの結果を示す。図３は、本実施例の研磨用砥石による
被加工面の干渉縞図で、図４は、二硫化タングステンを
用いた従来の研磨用砥石による干渉縞図であり、それぞ
れ５０個目を加工した試料の被加工面を示している。砥
石ラッピング直後は、双方とも同様の面精度で加工でき
たが、５０個目では図３及び図４に示すように被加工面
の精度に差が生じた。これは、二硫化タングステンを用
いた従来の研磨用砥石では、前記した理由により研磨抵
抗が増加してくるため、加工中に振動が生じ、それによ
り面精度が悪化するためである。さらに、研磨取り代の
比較では、本実施例の研磨用砥石は、従来の研磨用砥石
に比べ１．２〜１．３倍となっており、研削比が同等で
あることから高研磨性が得られていることがわかる。す
なわち、本実施例の研磨用砥石にあっては、結合材１に
混合されるダイヤモンド超微粉２が、大きな潤滑作用を
なすとともにその硬度が大きいという特性により、研磨
用砥石表面の目立て作用をなしているため研磨性が向上
するものと考えられる。
【０００８】本実施例では、ダイヤモンド超部粉２を結
合材１に５重量％を混合して研磨用砥石を製作した場合
について説明したが、このダイヤモンド超微粉２は、
０．１〜２０重量％の範囲内で混合して実施でき、この
範囲内では低研磨抵抗の効果を有する。ダイヤモンド超
微粉２の添加量が０．１重量％未満では低研磨抵抗の効
果があまり得られず、２０重量％を越えると研磨性の低
下が見られた。また、ダイヤモンド超微粉２の粒径は１
００Å以下としたが、これは最大粒径が１００Åを越え
る粒体を用いた場合には、ダイヤモンド粉が被加工面に
キズを生じさせてしまい、光学研磨面が安定して得られ
なくなってしまうためである。
合材１に５重量％を混合して研磨用砥石を製作した場合
について説明したが、このダイヤモンド超微粉２は、
０．１〜２０重量％の範囲内で混合して実施でき、この
範囲内では低研磨抵抗の効果を有する。ダイヤモンド超
微粉２の添加量が０．１重量％未満では低研磨抵抗の効
果があまり得られず、２０重量％を越えると研磨性の低
下が見られた。また、ダイヤモンド超微粉２の粒径は１
００Å以下としたが、これは最大粒径が１００Åを越え
る粒体を用いた場合には、ダイヤモンド粉が被加工面に
キズを生じさせてしまい、光学研磨面が安定して得られ
なくなってしまうためである。
【０００９】
【実施例２】図５は、本発明に係る研磨用砥石の実施例
２を示す拡大断面図である。本実施例の研磨用砥石は、
ダイヤモンド超微粉２の表面を耐溶剤系の撥水剤４（シ
リコーン系、フッ素系等の撥水剤または結合材として用
いる物質との接着性を低下させる物質）にて被覆して、
結合材１中に混合して製作した。これにより、ダイヤモ
ンド超微粉２が結合材１から離脱するのを促進させ、被
加工物と研磨用砥石との界面にダイヤモンド超微粉２を
遊離した状態で存在させやすくして、潤滑作用、目立て
作用を増進させることとした。本実施例の研磨用砥石を
製作する際には、上記実施例１の研磨用砥石の製作工程
における結合材１を溶融解し、ダイヤモンド超微粉２を
混合する前工程として、ダイヤモンド超微粉２の表面を
上記撥水剤４により被覆処理を行なう。このあとの製作
工程には上記実施例１と同様である。
２を示す拡大断面図である。本実施例の研磨用砥石は、
ダイヤモンド超微粉２の表面を耐溶剤系の撥水剤４（シ
リコーン系、フッ素系等の撥水剤または結合材として用
いる物質との接着性を低下させる物質）にて被覆して、
結合材１中に混合して製作した。これにより、ダイヤモ
ンド超微粉２が結合材１から離脱するのを促進させ、被
加工物と研磨用砥石との界面にダイヤモンド超微粉２を
遊離した状態で存在させやすくして、潤滑作用、目立て
作用を増進させることとした。本実施例の研磨用砥石を
製作する際には、上記実施例１の研磨用砥石の製作工程
における結合材１を溶融解し、ダイヤモンド超微粉２を
混合する前工程として、ダイヤモンド超微粉２の表面を
上記撥水剤４により被覆処理を行なう。このあとの製作
工程には上記実施例１と同様である。
【００１０】本実施例によれば、ダイヤモンド超微粉２
を撥水剤４で被覆して結合材１と混合することにより、
ダイヤモンド超微粉２と結合材１との濡れ性が低下し、
ダイヤモンド超微粉２を保持する力が低下する。これに
より、研磨加工時にダイヤモンド超微粉２が結合材１か
ら離脱しやすくなり、加工界面にて潤滑作用、目立て作
用を起こしやすくなる。
を撥水剤４で被覆して結合材１と混合することにより、
ダイヤモンド超微粉２と結合材１との濡れ性が低下し、
ダイヤモンド超微粉２を保持する力が低下する。これに
より、研磨加工時にダイヤモンド超微粉２が結合材１か
ら離脱しやすくなり、加工界面にて潤滑作用、目立て作
用を起こしやすくなる。
【００１１】なお、本実施例では撥水剤処理したダイヤ
モンド超微粉２を用いているため、ダイヤモンド超微粉
２が離脱しやすくなる分、研削比は低下する傾向になる
が、撥水剤４で被覆処理したダイヤモンド超微粉２と被
覆処理していないダイヤモンド超微粉２とを被加工物に
応じて所望の割合で調合して結合材１に混合することに
より、研削比の低下を抑えつつ潤滑作用、目立て作用を
もたせることができる。また、被加工物によってダイヤ
モンド超微粉２が離脱過剰になる場合には、撥水剤４の
代わりにシラン系、チタン系等のカップリング剤を用い
ることで、結合材１とダイヤモンド超微粉２との濡れ性
を向上させ、ダイヤモンド超微粉２を保持する力を増大
させることができる。
モンド超微粉２を用いているため、ダイヤモンド超微粉
２が離脱しやすくなる分、研削比は低下する傾向になる
が、撥水剤４で被覆処理したダイヤモンド超微粉２と被
覆処理していないダイヤモンド超微粉２とを被加工物に
応じて所望の割合で調合して結合材１に混合することに
より、研削比の低下を抑えつつ潤滑作用、目立て作用を
もたせることができる。また、被加工物によってダイヤ
モンド超微粉２が離脱過剰になる場合には、撥水剤４の
代わりにシラン系、チタン系等のカップリング剤を用い
ることで、結合材１とダイヤモンド超微粉２との濡れ性
を向上させ、ダイヤモンド超微粉２を保持する力を増大
させることができる。
【００１２】なお、前記実施例１，２にあっては、砥粒
３に酸化セリウムを用いた場合について例示したが、ア
ルミナ系、炭化ケイ素系、酸化ジルコニウム系等のもの
を用いてもよい。また、結合材１としてポリイミド系樹
脂を用いた場合を例示したが、フェノール系、ポリアミ
ド系、ＡＢＳ系等の樹脂、あるいは被加工物にキズを生
じさせなければ、錫、銅、ニッケル等の金属やその合金
を用いてもよい。
３に酸化セリウムを用いた場合について例示したが、ア
ルミナ系、炭化ケイ素系、酸化ジルコニウム系等のもの
を用いてもよい。また、結合材１としてポリイミド系樹
脂を用いた場合を例示したが、フェノール系、ポリアミ
ド系、ＡＢＳ系等の樹脂、あるいは被加工物にキズを生
じさせなければ、錫、銅、ニッケル等の金属やその合金
を用いてもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、潤滑材
としてダイヤモンド超微粉を結合材に混合したので、研
磨抵抗が小さくなるとともに、潤滑材のライフ向上によ
る潤滑能力が向上する。さらに、ダイヤモンド超微粉の
粒径を１００Å以下としたので被加工面にキズを与える
ことなく加工でき、また硬度が大きいので離脱後のドレ
ッシング効果が向上する。
としてダイヤモンド超微粉を結合材に混合したので、研
磨抵抗が小さくなるとともに、潤滑材のライフ向上によ
る潤滑能力が向上する。さらに、ダイヤモンド超微粉の
粒径を１００Å以下としたので被加工面にキズを与える
ことなく加工でき、また硬度が大きいので離脱後のドレ
ッシング効果が向上する。
【図１】本発明の研磨砥石を示す断面図である。
【図２】本発明の実施例１の研磨用砥石を示す拡大断面
図である。
図である。
【図３】本発明の実施例の研磨用砥石で加工した被加工
面の干渉縞図である。
面の干渉縞図である。
【図４】従来の研磨用砥石で加工した被加工面の干渉縞
図である。
図である。
【図５】本発明の実施例２の研磨用砥石を示す拡大断面
図である。
図である。
【図６】従来の研磨用砥石を示す断面図である。
１ 結合材 ２ ダイヤモンド超微粉 ３ 砥粒
Claims (1)
- 【請求項１】 研磨材を樹脂または金属からなる結合材
で固定して得られる研磨用砥石において、前記結合材に
１００Å以下の粒径からなるダイヤモンド超微粉を潤滑
材として混合したことを特徴とする研磨用砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14001192A JPH05305572A (ja) | 1992-05-01 | 1992-05-01 | 研磨用砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14001192A JPH05305572A (ja) | 1992-05-01 | 1992-05-01 | 研磨用砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05305572A true JPH05305572A (ja) | 1993-11-19 |
Family
ID=15258862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14001192A Withdrawn JPH05305572A (ja) | 1992-05-01 | 1992-05-01 | 研磨用砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05305572A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003011063A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | 研磨用砥石及び研磨用砥石の製造方法 |
| CN108296993A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-07-20 | 白鸽磨料磨具有限公司 | 一种重负荷砂轮用复合结合剂、重负荷砂轮及其制备方法 |
-
1992
- 1992-05-01 JP JP14001192A patent/JPH05305572A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003011063A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | 研磨用砥石及び研磨用砥石の製造方法 |
| CN108296993A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-07-20 | 白鸽磨料磨具有限公司 | 一种重负荷砂轮用复合结合剂、重负荷砂轮及其制备方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |