JPH0531263B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0531263B2 JPH0531263B2 JP58099063A JP9906383A JPH0531263B2 JP H0531263 B2 JPH0531263 B2 JP H0531263B2 JP 58099063 A JP58099063 A JP 58099063A JP 9906383 A JP9906383 A JP 9906383A JP H0531263 B2 JPH0531263 B2 JP H0531263B2
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- JP
- Japan
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- signal
- scanning
- period
- output
- detector
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 238000003705 background correction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は走査型電子顕微鏡とか電子線マイクロ
アナライザのような経時的な測定信号を映像化し
て表示する装置に関する。
アナライザのような経時的な測定信号を映像化し
て表示する装置に関する。
(ロ) 従来技術
上述した装置によつて試料面の分析結果を試料
面のCRT映像として観察する場合、検出器によ
つてはバツクグラウンドのドリフトが大きく、
CRTの一画面走査中にバツクグラウンドの輝度
が著るしく変化して像観察が困難になる場合があ
つた。例えば試料を電子ビームで照射したとき試
料から出る赤外域の蛍光を検出して映像表面する
場合Ge検出器を用いると、バツクグラウンドの
ドリフトはCRT画面の輝度値換算で表わして、
検出器冷却後90分において100／分、100分後にお
いて20／分程度に落付いて来る。他方CRTの明
暗レンジは28程度であるから、CRT画像を写真
撮影する場合を考えて一画面走査の所要時間を１
分とすると、検出器冷却後100分待つてから走査
を開始しても画面の下部ではバツクグラウンドだ
けで画面コントラストのレンジの70％を占めてし
まつて試料像の観察は甚だ困難となる。
面のCRT映像として観察する場合、検出器によ
つてはバツクグラウンドのドリフトが大きく、
CRTの一画面走査中にバツクグラウンドの輝度
が著るしく変化して像観察が困難になる場合があ
つた。例えば試料を電子ビームで照射したとき試
料から出る赤外域の蛍光を検出して映像表面する
場合Ge検出器を用いると、バツクグラウンドの
ドリフトはCRT画面の輝度値換算で表わして、
検出器冷却後90分において100／分、100分後にお
いて20／分程度に落付いて来る。他方CRTの明
暗レンジは28程度であるから、CRT画像を写真
撮影する場合を考えて一画面走査の所要時間を１
分とすると、検出器冷却後100分待つてから走査
を開始しても画面の下部ではバツクグラウンドだ
けで画面コントラストのレンジの70％を占めてし
まつて試料像の観察は甚だ困難となる。
(ハ)目的
本発明は走査型分析装置で測定系のドリフトが
大きくてCRT映像による試料観察が困難になる
場合に対する対策を目的とする。
大きくてCRT映像による試料観察が困難になる
場合に対する対策を目的とする。
(ニ)構成
本発明は、試料面を電子等の価電粒子のビーム
で走査する際、走査線の適当本数を掃引する毎に
走査線の帰線期間中に走査ビームのブランキング
を行い、ブランキング期間中の測定系の出力を補
正値として次のブランキング動作まで保持し、一
つのブランキング動作から次のブランキング動作
までの間の測定系の出力からその間保持されてい
る補正値を引算してCRTの輝度信号とするもの
である。
で走査する際、走査線の適当本数を掃引する毎に
走査線の帰線期間中に走査ビームのブランキング
を行い、ブランキング期間中の測定系の出力を補
正値として次のブランキング動作まで保持し、一
つのブランキング動作から次のブランキング動作
までの間の測定系の出力からその間保持されてい
る補正値を引算してCRTの輝度信号とするもの
である。
(ホ) 実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。Ｄは検出器
で電子ビームＥによつて励起された試料Ｓから放
射される適宜の放射線を検出する。検出器Ｄの出
力はバツフアアンプＡ１、アンプＡ２、差動アン
プＡ３を経てCRTに輝度信号として入力される。
Ｈはサンプルホールド回路でサンプリングスイツ
チSwを通してバツフアアンプＡ１の出力が入力
される。走査制御回路Ｃからブランク信号がバツ
フア回路Ｂに入力され、バツフア回路Ｂの出力が
トライバ回路Drを介してビーム偏向コイルＫに
入力される。コイルＫにブランク信号が入力され
ている間、電子ビームは横へ外れて試料Ｓへは入
射せず、従つて検出器Ｄには試料からの放射線は
入射せず、この間の検出器出力はバツクグラウン
ドレベルを示す。バツフア回路Ｂから出力された
ブランク信号は波形成形回路Ｆによりブランク信
号期間内に含まれ、同信号より幅のせまいパルス
信号に変換され、この信号がある間サンプリング
スイツチSwがオンとなりブランク信号期間のバ
ツフアアンプＡ１の出力即ち検出器Ｄのバツクグ
ラウンド信号がサンプリングされてサンプルホー
ルド回路Ｈに入力される。波形成形回路Ｆより上
記パルス信号が出力されている期間以外の期間サ
ンプリングスイツチはオフとなつており、その間
サンプルホールド回路Ｈは、先にサンプリングさ
れたバツクグラウンド信号を保持しており、この
保持されているバツクグラウンド信号が差動アン
プＡ３の反転端子に印加されている。従つて電子
ビームが試料面を掃引している間、差動アンプＡ
３はその期間の初期における検出器Ｄのバツクグ
ラウンドレベルが反転端子に印加されており、差
動アンプＡ３の出力は検出器Ｄの正味の検出信号
である。
で電子ビームＥによつて励起された試料Ｓから放
射される適宜の放射線を検出する。検出器Ｄの出
力はバツフアアンプＡ１、アンプＡ２、差動アン
プＡ３を経てCRTに輝度信号として入力される。
Ｈはサンプルホールド回路でサンプリングスイツ
チSwを通してバツフアアンプＡ１の出力が入力
される。走査制御回路Ｃからブランク信号がバツ
フア回路Ｂに入力され、バツフア回路Ｂの出力が
トライバ回路Drを介してビーム偏向コイルＫに
入力される。コイルＫにブランク信号が入力され
ている間、電子ビームは横へ外れて試料Ｓへは入
射せず、従つて検出器Ｄには試料からの放射線は
入射せず、この間の検出器出力はバツクグラウン
ドレベルを示す。バツフア回路Ｂから出力された
ブランク信号は波形成形回路Ｆによりブランク信
号期間内に含まれ、同信号より幅のせまいパルス
信号に変換され、この信号がある間サンプリング
スイツチSwがオンとなりブランク信号期間のバ
ツフアアンプＡ１の出力即ち検出器Ｄのバツクグ
ラウンド信号がサンプリングされてサンプルホー
ルド回路Ｈに入力される。波形成形回路Ｆより上
記パルス信号が出力されている期間以外の期間サ
ンプリングスイツチはオフとなつており、その間
サンプルホールド回路Ｈは、先にサンプリングさ
れたバツクグラウンド信号を保持しており、この
保持されているバツクグラウンド信号が差動アン
プＡ３の反転端子に印加されている。従つて電子
ビームが試料面を掃引している間、差動アンプＡ
３はその期間の初期における検出器Ｄのバツクグ
ラウンドレベルが反転端子に印加されており、差
動アンプＡ３の出力は検出器Ｄの正味の検出信号
である。
第２図は上述装置の動作を説明するタイムチヤ
ートである。同図Ｘは第１図の走査制御回路Ｃか
ら出力されるＸ方向走査信号で偏向コイルＫに入
力されており、BLはＸ方向走査信号の帰線期間
に相当して制御回路Ｃから出力されるブランク信
号である。Slは波形整形回路Ｆの出力信号でブラ
ンク信号期間内に含まれ、スイツチSwを閉じさ
せて検出器Ｄのバツクグラウンド信号をサンプリ
ングするサンプリング信号である。Ｄは検出器Ｄ
の出力でBCは変化して行くバツクグラウンドレ
ベルであり、真の試料信号はＳで示される。Ｖは
差動アンプＡ３の出力である輝度信号で、Ｘ方向
走査の始点毎にバツクグラウンドレベルが０に引
戻されている。
ートである。同図Ｘは第１図の走査制御回路Ｃか
ら出力されるＸ方向走査信号で偏向コイルＫに入
力されており、BLはＸ方向走査信号の帰線期間
に相当して制御回路Ｃから出力されるブランク信
号である。Slは波形整形回路Ｆの出力信号でブラ
ンク信号期間内に含まれ、スイツチSwを閉じさ
せて検出器Ｄのバツクグラウンド信号をサンプリ
ングするサンプリング信号である。Ｄは検出器Ｄ
の出力でBCは変化して行くバツクグラウンドレ
ベルであり、真の試料信号はＳで示される。Ｖは
差動アンプＡ３の出力である輝度信号で、Ｘ方向
走査の始点毎にバツクグラウンドレベルが０に引
戻されている。
上述実施例ではバツクグラウンド補正は一Ｘ方
向走査毎に毎回行つているが、ドリフトの程度に
よつてはＸ方向走査線の何本分かに一度ずつ補正
するようにしてもよいことは云うまでもない。
向走査毎に毎回行つているが、ドリフトの程度に
よつてはＸ方向走査線の何本分かに一度ずつ補正
するようにしてもよいことは云うまでもない。
(ハ)効果
本発明荷電粒子線走査型分析装置は上述したよ
うな構成であるから、ドリフトの大きな検出器を
用いる場合であつても、均一なバツクグラウンド
レベルを持つた画像を得ることができる。
うな構成であるから、ドリフトの大きな検出器を
用いる場合であつても、均一なバツクグラウンド
レベルを持つた画像を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示すブ
ロツク図、第２図は上記装置の動作を説明するタ
イムチヤートである。 Ｅ……電子ビーム、Ｓ……試料、Ｋ……電子ビ
ーム偏向コイル、Ｄ……検出器、Sw……サンプ
リングスイツチ、Ｈ……サンプルホールド回路、
Ｃ……走査制御回路。
ロツク図、第２図は上記装置の動作を説明するタ
イムチヤートである。 Ｅ……電子ビーム、Ｓ……試料、Ｋ……電子ビ
ーム偏向コイル、Ｄ……検出器、Sw……サンプ
リングスイツチ、Ｈ……サンプルホールド回路、
Ｃ……走査制御回路。
Claims (1)
- １ 試料面を走査する荷電粒子線ビームのＸ方向
走査線の適数本を走査する毎に、走査線の帰線期
間中に走査ビームのブランキングを行い、このブ
ランキング期間中の測定系の出力を補正値信号と
してサンプリングして次のブランキングまで保持
し、次のブランキングまでの期間中先にサンプリ
ングされ保持されている補正値信号によつてその
期間中の測定系出力にバツクグラウンド補正を行
つて映像信号としてCRTに供給することを特徴
とする荷電粒子線走査型分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099063A JPS59224038A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099063A JPS59224038A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224038A JPS59224038A (ja) | 1984-12-15 |
| JPH0531263B2 true JPH0531263B2 (ja) | 1993-05-12 |
Family
ID=14237297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58099063A Granted JPS59224038A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224038A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2418061B (en) * | 2004-09-03 | 2006-10-18 | Zeiss Carl Smt Ltd | Scanning particle beam instrument |
| WO2010070815A1 (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
| JP6298601B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2018-03-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1983
- 1983-06-02 JP JP58099063A patent/JPS59224038A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59224038A (ja) | 1984-12-15 |
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