JPH05326428A - 拡散炉用スカベンジャ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】反応管３内に空気を流入させることなく、プロ
セスガス及び熱気を炉外に排出する。 【構成】ダクト６の吸引によって生ずる気流を阻止する
四方壁を有する内枠５を反応管３の口元に配置し、ダク
ト６の吸引による気流を緩げ、開口部２より侵入する空
気を環流させガスとともに炉外に排出させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、炉体の端に位置し、プ
ロセスガスや熱のクリーンベンチ側への拡散を防止する
拡散炉用スカベンジャに関する。

【０００２】

【従来の技術】図２（ａ）及び（ｂ）は従来の拡散炉用
スカベンジャの一例を示す斜視図及び模式断面図であ
る。従来、この種の拡散炉用スカベンジャは、例えば、
図２に示すように、拡散炉の炉口部を囲み被処理物を出
し入れする開口部２と排気用のダクト６と接続する吸引
排気口４を側面にもつ箱状の外枠１である。

【０００３】このような拡散炉用スカベンジャは、開口
部２側に配置されるクリーンベンチへプロセスガスや熱
の拡散を防止するものであって、開口部２より被処理物
を引き出す際に、ダクト６が接続されている吸引排気口
４より反応管３より放出されるプロセスガスや熱を屋外
に排出するものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来の横型拡散炉
用スカベンジャでは、単に側面に吸引排気口を設けてい
るだけであり、排気されるガスは図２（ｂ）に示すよう
に、反応管３の口元を横切るように流れ、口元で渦を巻
き、反応管３の中の方までこの渦巻状の気流が入り込む
欠点がある。この渦巻き気流が反応管３に入り込む量
は、吸引排気口４における流速を上げる程大きくなる。
この空気の入り込むことによる被処理物の酸化を生じ、
被処理物の特性に大きく影響するという問題がある。

【０００５】本発明の目的は、反応管内に空気の流入や
クリーンベンチ側にプロセスガスや熱の拡散させること
のない拡散炉用スカベンジャを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の拡散炉用スカベ
ンジャは、拡散炉口に接続されるとともに側面にダクト
に接続される吸引排気口と前記拡散炉口に面して被処理
物を出し入れする開口部をもつ箱状の外枠と、この外枠
の内部にあるとともに前記拡散炉内の反応管の口元に配
置される四方壁をもつ内枠とを備えている。

【０００７】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。

【０００８】図１（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施例
を示す拡散炉用スカベンジャの斜視図及び模式断面図で
ある。この拡散炉用スカベンジャは、図１に示すよう
に、反応管３の開口部を囲むように四方に壁をもつ内枠
２を設けたことである。また、この内枠２は外枠１に対
し、上下左右とも十分なすき間を確保し、外枠１の奥行
き方向に対しても前後に移動可能な状態になっている。

【０００９】このように内枠２を取り付けることによっ
て、炉口部における反応管３からの熱排気及び開口部２
からの空気は、反応管３と内枠２の間のすき間を通る気
流と、外枠１と内枠２の間を通る気流になるため、反応
管３の口元を横切る気流がなくなる。このため従来生じ
ていた渦巻き気流による反応管３内への大気の巻き込み
がなくなる。

【００１０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、反応管よ
り放出されるガスの吸引によって生ずる気流を阻止する
壁を四方にもつ内枠を前記反応管の口元に配置すること
によって、渦巻き気流による反応管内への大気巻き込み
を防止出来るという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す拡散炉用スカベンジャ
の斜視図及び模式断面図である。

【図２】従来の一例を示す拡散炉用スカベンジャの斜視
図及び模式断面図である。

【符号の説明】

１ 外枠 ２ 開口部 ３ 反応管 ４ 吸引排気口 ５ 内枠 ６ ダクト

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 拡散炉口に接続されるとともに側面にダ
   クトに接続される吸引排気口と前記拡散炉口に面して被
   処理物を出し入れする開口部をもつ箱状の外枠と、この
   外枠の内部にあるとともに前記拡散炉内の反応管の口元
   に配置される四方壁をもつ内枠とを備えることを特徴と
   する拡散炉用スカベンジャ。