JPH0532810B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気デイスク、光デイスク等のように
表面に記録層が形成されるデイスク部材を洗浄す
るデイスク部材の洗浄装置に関するものである。

〔従来の技術〕

デイスク部材としては、例えば、磁気デイスク
は、アルミニウム等の円環状板体からなるデイス
ク部材をラツピング加工等の研削加工を施こすこ
とにより平滑化し、然る後に該デイスク部材の表
面に磁性体を塗布することによつて、磁気記録層
が形成されるようになつている。ここで、前述の
記録層の膜圧を均一なものにするために、予じめ
デイスク部材の表面に塵埃等の異物が付着してい
ない状態となして、磁性体の塗布を行う必要があ
る。このために、記録層の形成前、また必要に応
じて記録層形成後にもデイスク部材の洗浄が行な
われる。

従来、このデイスク部材の洗浄は、多数のデイ
スク部材をラツクに装着した状態で洗浄液に浸漬
させ、この洗浄液を高周波振動させたり、または
洗浄液中でスポンジ等の洗浄具を用いて手作業で
その表面を拭うようにしていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のように、高周波振動により洗浄を行うよ
うにすると、洗浄装置の全体構造が複雑となり、
装置構成が大型になる等の不都合があるだけでな
く、デイスク部材の汚れのうち油汚れのようなも
のを完全に除去できない等の欠点があつた。一
方、手作業による洗浄は手間がかかると共に、製
品としての磁気デイスク、光デイスク等における
製造コストも高くなる等の欠点もあつた。

本発明は前述した従来技術の欠点を解消するた
めになされたもので、簡単で、コンパクトな構成
によりデイスク部材の洗浄を自動的に行い、しか
もその洗浄工程を構成する各部材の作動を円滑か
つ確実に行なうことができるようにしたデイスク
部材の洗浄装置を提供することを目的とするもの
である。

〔問題点を解決するための手段〕

前述の目的を達成するために本発明に係る洗浄
装置は、所定角度ずつ回動するロータリテーブル
と、該ロータリテーブル上に立設され、該ロータ
リテーブルを複数の作業区画部に区画形成する仕
切壁と、該各作業区画部に設置され、デイスク部
材の外周縁または内周縁をチヤツクするチヤツク
部材と、前記各作業区画部に対応する位置に設け
られ、当該各位置に移送されたチヤツク部材に対
してそれぞれ所定の洗浄作業を行う洗浄部材と、
該各洗浄部材を前記ロータリテーブルの回動に連
動させる連動機構とから構成したことを特徴する
ものである。

〔作用〕

前述のように構成される洗浄装置を使用してデ
イスク部材の洗浄を行うには、例えば、多数のデ
イスク部材を立設状態に載置したラツクを搬送さ
せ、デイスク部材をこの搬入用ラツクから１枚ず
つ取出して、複数の作業区画部に区画形成された
ロータリテーブル上の一の作業区画部に設置す
る。そして、このロータリテーブルを所定角度ず
つ回動させる間に、連動機構によつて洗浄部材を
デイスク部材から離間した非作動位置とデイスク
部材と当接する作動位置との間に変位させること
によつて、デイスク部材の表面に付着した塵埃、
摩耗粉等の異物を除去すると共に、表面に付着し
た油膜の拭き取りを行う。この場合、ロータリテ
ーブルの回動等に洗剤を使用した洗浄、水洗い、
すすぎ等の各工程の洗浄作業を行なう部材は連動
機構によりロータリテーブルに連動して作動位置
から該ロータリテーブルから離間した非作動位置
に変位して再び作動位置に変位するようになつて
いるから、洗浄作業時において洗浄装置を構成す
る各部材が相互に干渉することなく安全に作動さ
せることができるようになり、それらを損傷させ
る等の不都合は生じない。また、洗浄部材として
は、洗浄液を供給しながら行う擦具、剛毛等が用
いられ、また洗浄液として中性洗剤、市水、純
水、アルコール、フロン等が使用される。さら
に、洗浄後の乾燥工程を洗浄部材と共にロータリ
テーブル上に設置してもよい。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、この実施例ではデイスク部材をラツ
ピング加工した後における洗浄を行うものとして
説明する。

まず、第１図において、１は洗浄装置本体を構
成するハウジングで、該ハウジング１内には搬入
用ラツク２を搬送する搬入部３、搬出用ラツク４
を搬送する搬出部５が形成されると共に、作業室
６が形成されている。

作業室６内は洗浄部７と乾燥部８とに分れ、か
つ該作業室６には搬入用ラツク２においてラツピ
ング処理されたデイスク部材９が立設状態で搬送
され、この搬送途中でシヤワー１０により予備洗
浄されたデイスク部材を１枚ずつ取出す搬入ハン
ドラ１２が設けられると共に、洗浄、乾燥後のデ
イスク部材１０を搬出用ラツク２に移送する搬出
ハンドラ１３が設けられ、該各ハンドラ１２，１
３はそれぞれ回動アーム１２ａ，１３ａの先端に
デイスク部材９をチヤツクするチヤツク部材１２
ｂ，１３ｂを装着することにより構成されてい
る。さらに、搬入ハンドラ１１から洗浄部７、該
洗浄部７から乾燥部８、該乾燥部８から搬出ハン
ドラ１２へデイスク部材９を移載する移載ハンド
ラ１３が作業室６内に配設されており、該移載ハ
ンドラ１３は所定角度往復回動し得ると共にその
回動中心に沿つて前後に往復動することができる
ようになつている。そして、この移載ハンドラ１
３は３つの腕部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを有し、
該各腕部１３ａ，１３ｂ，１３ｃには先端にチヤ
ツク部材１３ｄ，１３ｅ，１３ｆが設けられ、こ
れらチヤツク部材１３ｄ，１３ｅ，１３はカム機
構等の駆動手段によりチヤツク位置とチヤツク解
除位置との間に変位できるようになつている。

洗浄部７は第２図乃至第４図に示したように、
回動軸１４ａによつて所定角度ずつ回動せしめら
れるロータリテーブル１４を有し、該ロータリテ
ーブル１４上は十字状の仕切壁１５によつて４つ
の作業部に区画形成されている。第２図におい
て、図中上方の作業区画部Ａは、移載ハンドラ１
３との間でデイスク部材９の着脱を行う着脱部と
なり、図中右方の作業区画部Ｂは洗浄部材１６に
よりデイスク部材９の表裏の各面を洗浄する洗浄
部、下方の作業区画部Ｃはすすぎ部材１７によつ
て洗浄後のすすぎを行うすすぎ部、さらに図中左
方の作業区画部Ｄはエツジ洗い部材１８によりデ
イスク部材９の内外の各周縁部の洗浄を行うエツ
ジ洗い部となつている。そして、前述の各作業区
画部Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄにはデイスク部材９の外周縁
部を挟持する３つのチヤツク部材１９ａ，１９
ｂ，１９ｃからなるチヤツク部材１９が設置され
ている。このチヤツク部材１９は第２図における
作業区画部Ａに実線で示したチヤツク位置と鎖線
で示したチヤツク解除位置との間に変位させるこ
とができるようになつており、このために、同図
の作業区画部Ｄにおいて示した如く、各チヤツク
部材１９ａ，１９ｂ，１９ｃを作動させる歯車駆
動部２０が設けられている。この歯車駆動部２０
の駆動歯車２０ａは第３図及び第４図に示した如
くロータリテーブル１４の裏面においてレバー２
１と連結されており、該レバー２１は常時には鎖
線で示したようにばね２２よりスツトパ２３に当
接した位置にあり、このときチヤツク部材１９は
チヤツク位置となり、作業区画部Ａに対応する位
置において作業室６を画成するパネルＰの外側に
設けた回動駆動部２４と連結した作動片２５を鎖
線位置から実線位置に回動させることによりレバ
ー２１を実線位置に移行させて、チヤツク部材１
９のチヤツクを解除するチヤツク解除位置に変位
させることができるようになつている。

次に、作業区画部Ｂに対応する位置に設けた洗
浄部材１６は、第５図に示したように、上下１対
のアーム２６ａ，２６ｂを有し、該各アーム２６
ａ，２６ｂには回転軸２７ａ，２７ｂが挿嵌され
ており、該各回転軸２７ａ，２７ｂの一端部には
スポンジ、ブラシ等の部材からなる洗い具２８
ａ，２８ｂが取付けられ、他端部にはプーリ２９
ａ，２９ｂが取付けられて、該各プーリ２９ａ，
２９ｂと回転軸３０に設けたプーリ３１ａ，３１
ｂとの間にベルト３２ａ，３２ｂを巻回して設
け、この回転軸３０を回転させることにより洗い
具２８ａ，２８ｂを回転させることができるよう
になつている。そして、この洗い具２８ａ，２８
ｂの回転によつてデイスク部材９はチヤツク部材
１９に保持された状態で回転せしめられるように
なつている。また、洗い具２８ａ，２８ｂは円環
状となつており、この洗い具２８ａ，２８ｂの内
部に中性洗剤等からなる洗浄液を供給するため
に、アーム２６ａ，２６ｂに取付けた回転軸支持
ブロツク３３ａ，３３ｂにホース３４ａ，３４ｂ
が接続されており、該各ホース３４ａ，３４ｂか
らの洗浄液を洗い具２８ａ，２８ｂに供給するた
めに回転軸２７ａ，２７ｂに通路３５ａ，３５ｂ
が穿設されている。

また、作業区画部Ｃに対応する位置に設置した
すすぎ部材１７は、洗浄部材１６と同様の構造を
有し、回転軸３６により回転せしめられるすすぎ
具３７ａ，３７ｂにホース３８ａ，３８ｂを介し
てすすぎ水を供給することによつて、洗浄後のデ
イスク部材９のすすぎを行なうことができるよう
になつている。

さらに、エツジ洗い部材１８は、第６図に示し
たように、スポンジ等からなる外縁、内縁の各洗
い具３９ａ，３９ｂを有し、外縁洗い具３９ａは
支持アーム４０に支持された回転軸４１に取付け
られ、また該回転軸４１の他端にはプーリ４２が
取付けられて、該プーリ４２と駆動軸４３との間
に巻回して設けたベルト４４によつて該洗い具３
９ａは回転駆動されるようになつている。また、
回転軸４１には歯車４５が取付けられ、該歯車４
５は歯車４６と噛合しており、これにより該歯車
４６は回転軸４１とは逆方向に追従回転されるこ
とになる。そして、この歯車４６と洗い具３９ｂ
に取付けた回転軸４５のプーリ４８との間にベル
ト４９が巻回して設けられ、これによつて洗い具
３９ｂは洗い具３９ａとは逆方向に回転せしめら
れるようになつている。さらに、支持アーム４０
には洗い具３９ａ，３９ｂに向けて洗浄水を供給
するノズル５０（洗い具３９ｂ側のノズルは図示
省略）が支持アーム４０に取付けられている。ま
た、支持アーム４０はクランク機構等によつて揺
動可能となつており、これによつて洗浄作業中に
洗い具３９ａ，３９ｂを回転させながら揺動させ
ることができるようになつている。

これら洗浄部材１６、すすぎ部材１７及びエツ
ジ洗い部材１８は、それぞれの回転軸３０，３
８，４３を中心として回動させることにより、第
２図において実線で示した非作動位置と鎖線で示
した作動位置との間に変位させることができるよ
うになつている。而して、洗浄部材１６、すすぎ
部材１７及びエツジ洗い部材１８の作動位置と非
作動位置との間の変位は連動機構５１によりロー
タリテーブル１４の回動に連動して行なわれるよ
うになつている。このために、ロータリテーブル
１４の回動軸１４ａはパネルＰから外部に突出さ
れて、第７図及び第８図に示したようにその先端
部にカム板５２が取付けられており、該カム板５
２には軸５３に軸着した回動板５４が当接してい
る。該回動板５４はばね５５によつて常時カム板
５２に当接する方向に付勢されており、回動軸１
４ａによりカム板５２を回動させたときに、回動
板５４は第７図に実線で示した位置と鎖線で示し
た位置との間に変位せしめられるようになつてい
る。該回動板５４には連結杆５６を介して駆動軸
５７に取付けたレバー５８に連結されており、こ
の駆動軸５７はパネルＰに設けた軸受５９を介し
て作業室６内に延在し、その先端に作動部片６０
が取付けられている。該作動部片５９にはそれぞ
れロツド６１，６２を介してすすぎ部材１７及び
エツジ洗い部材１８をその回動軸３８，４３を中
心として回動させる連結板６３，６４が連結され
ると共に、連結板６３にはさらにロツド６５、レ
バー６６、ロツド６７を介して洗浄部材１６に取
付けられ、これを回動軸３０を中心として回動さ
せる連結板６８が連結されている。

本実施例は前述のように構成されるもので、次
にその作動について説明する。

デイスク部材９はラツピング装置によつて表面
が極めて平滑となるように仕上られて、立設状態
に搬入ラツク２に設置され、この状態で搬入ラツ
ク２を搬入部３に装着させる。そして、該搬入ラ
ツク２が搬入部３を搬送させる途中でシヤワー９
で洗浄することによつて大部分の研摩粉を洗い流
す。そして、搬入ラツク２が搬入部３の所定の位
置に到達したときに、搬入ハンドラ１１を搬入ラ
ツク２側に回動させて、チヤツク部材１１ｂによ
りデイスク部材９をチヤツクする。然る後、搬入
ハンドラ１１を回動させて、該デイスク部材９を
移載ハンドラ１３の腕部１３ａのチヤツク部材１
３ｄに移載させる。

デイスク部材９が移載ハンドラ１３に移載され
た後、該移載ハンドラ１３をロータリテーブル１
４から離間する方向に突出変位させると共に90度
回動させて、ロータリテーブル１４の作業区画部
Ａと対面させ、さらに該ロータリテーブル１４に
近接する方向に縮小変位させて、デイスク部材９
をチヤツク部材１９に移載する。そして、ロータ
リテーブル１４に移載されたデイスク部材９は回
動軸１４ａによりロータリテーブル１４を90度回
動させることによつて洗浄を行う作業区画部Ｂに
移行させる。このとき連動機構５１におけるカム
板５２も90度回動し、該カム板５２は第７図の鎖
線位置から実線位置を経て再び鎖線位置に変位す
る。従つて、回動板５４もこれと同様の動きを
し、レバー５８、作動部片６０も回動板５４と同
様に変位することにより、洗浄部材１６、すすぎ
部材１７及びエツジ洗い部材１８は、それぞれの
回転軸３０，３８，４３を中心として回動し、第
２図に鎖線で示した作動位置から一旦実線で示し
たようにロータリテーブル１４から離間した非作
動位置に変位し、再び鎖線の作動位置に変位する
ことによつて洗い具２８ａ，２８ｂ間にデイスク
部材９を挟持する。

このようにしてデイスク部材９が作業区画部Ｂ
に移行した後、ホース３４ａ，３４ｂから中性洗
剤等からなる洗浄液を洗い具２８ａ，２８ｂの内
部に供給すると共に、該洗い具２８ａ，２８ｂを
回転させる。これによつて、洗い具２８ａ，２８
ｂによりデイスク部材９の表面が擦られることに
よつて該デイスク部材９の洗浄が行なわれ、しか
も、この洗い具２８ａ，２８ｂの回転によつてデ
イスク部材９に回転力が与えられて、デイスク部
材９の表裏各面全体に対する洗浄が行なわれる。

このデイスク部材９の洗浄が完了すると、ロー
タリテーブル１４を90度回動させ、洗浄部材１
６、すすぎ部材１７及びエツジ洗い部材１８も作
動位置、非作動位置、作動位置の順に変位するよ
うに回動させてすすぎを行う作業区画部Ｃに移行
させる。そして、この作業区画部Ｃにおいては、
前述の作業区画部Ｂにおけると同様の手法ですす
ぎ部材１７を使用して、洗浄液を洗い流す、すす
ぎを行う。

然る後、ロータリテーブル１４をさらに90度回
動させると共に、前述と同様洗浄部材１６、すす
ぎ部材１７及びエツジ洗い部材１８をそれぞれ回
転軸３０，３８，４３を中心として90度回動さ
せ、エツジ洗いを行う作業区画部Ｄに移送し、エ
ツジ洗い部材１８を作動させることによつてこの
デイスク部材９の内外の各周縁部の洗浄が行なわ
れる。該作業区画部Ｄにおいては、揺動可能なア
ーム４０を傾けることにより内縁側の洗い具３９
ｂをデイスク部材９の内周部に挿入させる。そし
て、アーム４０を揺動させると共に、洗い具３９
ａ，３９ｂを回転させることによつて該デイスク
部材９を回転させながら、ノズル５０から洗浄液
としての純水を供給することによりその内外各周
縁部の洗浄を行い、デイスク部材９から異物、油
汚れ等を完全に除去する。このようにして、洗浄
が完了したデイスク部材９はさらにロータリテー
ブル１４を90度回動させることによつて、再び作
業区画部Ａに帰還せしめられることになる。

ここで、ロータリテーブル１４の回動により前
述の洗浄作業が行なわれる間に、搬入ハンドラ１
１及び移載ハンドラ１３が作動して順次搬入ラツ
ク２のデイスク部材９がロータリテーブル１４に
移載され逐次前述した段階を追つて洗浄作業が行
なわれる。そして、各作業区画部Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ
は仕切壁１５によつて区画形成されているので、
一の作業区画部における洗浄液、すすぎ液等が他
の作業区画部に侵入することがなく、洗浄部７に
おいて先行する位置にあるデイスク部材９が後続
のデイスク部材９における洗浄、すすぎ等の影響
で汚損されることはない。

ところで、ロータリテーブル１４上に仕切壁１
５やチヤツク部材１９が設置されていると、洗浄
部材１６、すすぎ部材１７及びエツジ洗い部材１
８を固定的に設置したときに、これらがロータリ
テーブル１４の回動時においてその動きに対する
障害となるが、これら洗浄部材１６、すすぎ部材
１７及びエツジ洗い部材１８は、それぞれの回転
軸３０，３８，４３を中心として回動して作動位
置からロータリテーブル１４から離間した非作動
位置を経て再び作動位置に変位するから、ロータ
リテーブル１４の回動時にそれらが仕切壁１５や
チヤツク部材１９と接触することはない。しか
も、洗浄部材１６、すすぎ部材１７及びエツジ洗
い部材１８の作動位置から非作動位置を経て作動
位置に復帰する変位はロータリテーブル１４と連
動して行なわれるようになつているから、その同
期動作が確実に行われ、それらが誤つて仕切壁１
５やチヤツク部材１９と接触する不都合を生じる
ことはない。

前述のようにして、洗浄が完了したデイスク部
材９が作業区画部Ａに帰還し、移載ハンドラ１３
がロータリテーブル１４側に変位したときに、腕
部１３ｂのチヤツク部材１３ｅによつてこのデイ
スク部材９をチヤツクする。これと同時に、腕部
１３ａのチヤツク部材１３ｄは搬入ハンドラ１１
からのデイスク部材９の移載を受ける。然る後、
移載ハンドラ１３を90度回動させることによつて
洗浄後のデイスク部材９は乾燥部８に移行して該
乾燥部９において高速スピン乾燥等により乾燥せ
しめられる。

このようにして乾燥したデイスク部材９は、移
載ハンドラ１３の作動により、該移載ハンドラ１
３における腕部１３ｃのチヤツク部材１３ｆにチ
ヤツクされて、該移載ハンドラ１３の回動によつ
て搬出ハンドラ３に移載され、該搬出ハンドラ３
の回動により搬出ラツク４内に載置される。この
動作を順次繰返すことによつてデイスク部材９の
洗浄が行なわれ、搬出ラツク４を搬出部５から外
部に搬送することによつて洗浄の完了したデイス
ク部材９が取出されることになる。

次に、第９図は本発明の第２の実施例を示すも
ので、本実施例ではロータリテーブル７１上にお
いて、仕切壁７２によつて区画形成される４つの
作業区画部のうち作業区画部Ａはデイスク部材９
が装着される装着部であると共に、予備洗浄シヤ
ワー７３によつて予備洗浄されるようになつてお
り、洗浄部を構成する作業区画Ｂ部の洗浄部材７
４における洗浄液の供給は洗い具７５の側方に設
けたノズル７６から行なうようになつている。ま
た、第３の作業区画部Ｃではすすぎ部材７７によ
るすすぎとエツジ洗い部材７８による内外周縁部
の洗浄が同時に行なわれるようになつており、さ
らに第４の作業区画部Ｄは開閉可能なカバー７９
を備えた乾燥部を構成し、該乾燥部では清浄とな
つたデイスク部材９の乾燥が行なわれるようにな
り、この作業区画部Ｄにおいて清浄となつたデイ
スク部材９の取出しが行なわれるようになつてい
る。

この洗浄部材７４、すすぎ部材７７はそれぞれ
ロツド８０，８１を介して回動軸８２に取付けた
作動部片８３と連結されており、該作動部片８３
は前述した第１の実施例と同様に構成した連動機
構によつてロータリテーブル７１の回動に追従し
て作動位置と非作動位置との間に変位することが
できるようになつている。また、エツジ洗い部材
７８は洗浄部材７４、すすぎ部材７７とは変位方
向が逆となつているため、これらとは独立して連
動機構に接続されている。

このように構成することによつても前述と同様
自動的にデイスク部材９の洗浄を行うこことがで
きる。

なお、前述の各実施例では、ラツピング処理さ
れた後のデイスク部材の洗浄を行うものとして説
明したが、磁性体の塗布の前後のいずれかにおい
て行う洗浄にも適用できることは言うまでもな
い。そして、本発明の洗浄装置は複数の洗浄工程
を形成する各部材をハウジング内にコンパクトに
収納したから、例えば磁性体の塗布直前における
クリーンルーム内のように挟小な装置に設置する
場合にも好適に使用できる。また、仕切壁によつ
て区画形成される作業区画部は前述のように４つ
に限らず、洗浄工程の種類に応じた数に形成すれ
ばよい。さらに、洗浄液も中性洗剤だけでなく、
純水、市水、アルコール、フロン等を用いること
ができる。

〔発明の効果〕

以上詳述した如く本発明はデイスク部材をロー
タリテーブルにチヤツクさせた状態で所定角度ず
つ回動させる間に複数の作業からなる洗浄を行う
ようにすることにより、簡単でコンパクトな構成
の洗浄装置によつてデイスク部材の洗浄を自動的
に行うことができると共に、洗浄を行なう各部材
をロータリテーブルの回動に追従して作動位置と
非作動位置との間に変位させるようにしたから、
これら洗浄作業を行なう各部材がロータリテーブ
ルの回動に対する障害となることがなく、洗浄装
置として安全な作動が可能となり、それを構成す
る各部材に損傷を発生させる不都合はない。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第８図は本発明の第１の実施例を示
すもので、第１図は洗浄装置の全体構成図、第２
図は洗浄部の拡大正面図、第３図は第２図のＸ−
Ｘ矢示図、第４図はロータリテーブルのチヤツク
部材の作動機構を示す構成説明図、第５図は洗浄
部材の部分断面正面図、第６図はエツジ洗い部材
の部分断面正面図、第７図は連動機構の構成説明
図、第８図は作動部材とレバーとの連結状態を示
す構成説明図、第９図は本発明の第２の実施例を
示す構成説明図である。 １：ハウジング、７：洗浄部、９：デイスク部
材、１４，７１：ロータリテーブル、１５，７
２：区画壁、１６，７４：洗浄部材、１７，７
７：すすぎ部材、１８，７８：エツジ洗い部材、
１９：チヤツク部材、２８ａ，２８ｂ，３８，３
９，７５：洗い具、３４ａ，３４ｂ：ノズル、５
１：連動機構、５２：カム板、５４：回動板、５
７：回動軸、５８：レバー、６０：作動部片、６
１，６２，６５，６７：ロツド、６３，６４，６
８：連結板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 所定角度ずつ回動するロータリテーブルと、
   該ロータリテーブル上に立設され、該ロータリテ
   ーブルを複数の作業区画部に区画形成する仕切壁
   と、該各作業区画部に設置され、デイスク部材の
   外周縁または内周縁をチヤツクするチヤツク部材
   と、前記各作業区画部に対応する位置に設けら
   れ、当該各位置に移送されたデイスク部材に対し
   てそれぞれ所定の洗浄作業を行なう洗浄部材と、
   該各洗浄部材を前記ロータリテーブルの回動に連
   動させる連動機構とから構成したことを特徴する
   デイスク部材の洗浄装置。