JPH05330925A - 導電性複合セラミックス - Google Patents
導電性複合セラミックスInfo
- Publication number
- JPH05330925A JPH05330925A JP4136389A JP13638992A JPH05330925A JP H05330925 A JPH05330925 A JP H05330925A JP 4136389 A JP4136389 A JP 4136389A JP 13638992 A JP13638992 A JP 13638992A JP H05330925 A JPH05330925 A JP H05330925A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive composite
- weight
- silicon carbide
- sintered
- composite ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 17
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 10
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電加工を可能として複雑形状の加工を容易
にし、かつ大型の焼結体の緻密度ならびに機械的強度を
確保し、構造材料として使用可能な大型の導電性複合セ
ラミックスを提供することを目的とする。 【構成】 ホウ化チタン３０〜８０重量％、酸化アルミ
ニウム３〜２５重量％、酸化イットリウム０．２〜１０
重量％、炭化珪素２５〜６５重量％から実質的になる混
合物で成形体を形成し、この成形体を不活性ガス雰囲気
中で１８００〜２１００℃の温度で焼結して成ることを
特徴とする導電性複合セラミックス。
にし、かつ大型の焼結体の緻密度ならびに機械的強度を
確保し、構造材料として使用可能な大型の導電性複合セ
ラミックスを提供することを目的とする。 【構成】 ホウ化チタン３０〜８０重量％、酸化アルミ
ニウム３〜２５重量％、酸化イットリウム０．２〜１０
重量％、炭化珪素２５〜６５重量％から実質的になる混
合物で成形体を形成し、この成形体を不活性ガス雰囲気
中で１８００〜２１００℃の温度で焼結して成ることを
特徴とする導電性複合セラミックス。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複雑形状の加工を容易
にし、かつ機械的強度を確保し構造材料として使用可能
な大型の導電性複合セラミックスに関する。
にし、かつ機械的強度を確保し構造材料として使用可能
な大型の導電性複合セラミックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、導電性複合セラミックスは、機械
的強度、耐熱特性および耐蝕性に優れた炭化珪素質セラ
ミックスが用いられていたが、電気比抵抗が高いため導
電性が悪く、そのため放電加工ができず複雑形状の加工
が困難であった。最近、この炭化珪素質セラミックスに
ホウ化チタンを加えて導電性をもたらし放電加工を可能
とし、複雑な形状の加工を容易にできる方法が提案され
ている（特開平1-188473号）。
的強度、耐熱特性および耐蝕性に優れた炭化珪素質セラ
ミックスが用いられていたが、電気比抵抗が高いため導
電性が悪く、そのため放電加工ができず複雑形状の加工
が困難であった。最近、この炭化珪素質セラミックスに
ホウ化チタンを加えて導電性をもたらし放電加工を可能
とし、複雑な形状の加工を容易にできる方法が提案され
ている（特開平1-188473号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た炭化珪素ーホウ化チタンー酸化アルミニウム系の炭化
珪素質導電性セラミックスは、構造材料として使用可能
な大型のものを容易に得られないという問題があった。
すなわち、比較的形状の大きな成形体を焼結するに際し
て特性の均一な焼結体を得るためには、相対的に緩やか
な昇温プロセスと比較的高温の焼結温度で長時間保持す
る必要があり、このような高温、長時間の焼結プロセス
にしたがって焼結すると、成形体に対する焼結体の重量
減少が著しく大きくなり、そのため焼結体の緻密度、す
なわち機械的強度を確保できないという欠点があった。
た炭化珪素ーホウ化チタンー酸化アルミニウム系の炭化
珪素質導電性セラミックスは、構造材料として使用可能
な大型のものを容易に得られないという問題があった。
すなわち、比較的形状の大きな成形体を焼結するに際し
て特性の均一な焼結体を得るためには、相対的に緩やか
な昇温プロセスと比較的高温の焼結温度で長時間保持す
る必要があり、このような高温、長時間の焼結プロセス
にしたがって焼結すると、成形体に対する焼結体の重量
減少が著しく大きくなり、そのため焼結体の緻密度、す
なわち機械的強度を確保できないという欠点があった。
【０００４】本発明者等は、このような点に着目して鋭
意検討を進めたところ、上述の炭化珪素質導電性セラミ
ックスに、さらに、酸化イットリウムを焼結助剤として
添加することにより、焼結性が改善され大型の成形体を
長時間焼結しても成形体に対する焼結体の重量減少が抑
えられて高い緻密度の導電性複合セラミックスが得られ
ることを見出だした。
意検討を進めたところ、上述の炭化珪素質導電性セラミ
ックスに、さらに、酸化イットリウムを焼結助剤として
添加することにより、焼結性が改善され大型の成形体を
長時間焼結しても成形体に対する焼結体の重量減少が抑
えられて高い緻密度の導電性複合セラミックスが得られ
ることを見出だした。
【０００５】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、放電加工を可能として複雑形状の加工を容易に
し、かつ大型の焼結体の緻密度ならびに機械的強度を確
保し、構造材料として使用可能な大型の導電性複合セラ
ミックスを提供することを目的とする。
もので、放電加工を可能として複雑形状の加工を容易に
し、かつ大型の焼結体の緻密度ならびに機械的強度を確
保し、構造材料として使用可能な大型の導電性複合セラ
ミックスを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の導電性複合セラ
ミックスは、ホウ化チタン３０〜８０重量％、酸化アル
ミニウム３〜２５重量％、酸化イットリウム０．２〜１
０重量％、炭化珪素２５〜６５重量％から実質的になる
混合物で成形体を形成し、この成形体を不活性ガス雰囲
気中で１８００〜２１００℃の温度で焼結して成ること
を特徴としている。
ミックスは、ホウ化チタン３０〜８０重量％、酸化アル
ミニウム３〜２５重量％、酸化イットリウム０．２〜１
０重量％、炭化珪素２５〜６５重量％から実質的になる
混合物で成形体を形成し、この成形体を不活性ガス雰囲
気中で１８００〜２１００℃の温度で焼結して成ること
を特徴としている。
【０００７】本発明において、ホウ化チタンを３０〜８
０重量％としたのは、ホウ化チタンが３０重量％未満で
あると焼結体の導電性に与える効果が低く、導電性の高
い放電加工可能な焼結体が得られないためである。一
方、ホウ化チタンが８０重量％を超えると焼結性が低下
し、充分な機械的強度を有する焼結体が得られず、かつ
耐酸化性が低下するからである。
０重量％としたのは、ホウ化チタンが３０重量％未満で
あると焼結体の導電性に与える効果が低く、導電性の高
い放電加工可能な焼結体が得られないためである。一
方、ホウ化チタンが８０重量％を超えると焼結性が低下
し、充分な機械的強度を有する焼結体が得られず、かつ
耐酸化性が低下するからである。
【０００８】また酸化アルミニウムを３〜２５重量％と
したのは、酸化アルミニウムが３重量％未満になると焼
結性が悪化し、機械的特性が低下してしまうためであ
る。一方、酸化アルミニウムが２５重量％を超えるとそ
の焼結体の硬度など耐摩耗部材として重要な機械的特性
が低下するためである。
したのは、酸化アルミニウムが３重量％未満になると焼
結性が悪化し、機械的特性が低下してしまうためであ
る。一方、酸化アルミニウムが２５重量％を超えるとそ
の焼結体の硬度など耐摩耗部材として重要な機械的特性
が低下するためである。
【０００９】酸化イットリウムを０．２〜１０重量％と
したのは、この範囲で本発明の特徴である緻密度の向上
が実現できるからである。本発明においては驚くべきこ
とに酸化イットリウムが０．２重量％という非常に少量
でも効果が認めら大型の成形体を長時間焼結しても成形
体に対する焼結体の重量減少が抑えられる。
したのは、この範囲で本発明の特徴である緻密度の向上
が実現できるからである。本発明においては驚くべきこ
とに酸化イットリウムが０．２重量％という非常に少量
でも効果が認めら大型の成形体を長時間焼結しても成形
体に対する焼結体の重量減少が抑えられる。
【００１０】なお、酸化イットリウム10重量％を超える
と逆に焼結体の密度が低下する傾向にあり、また耐磨耗
材として重要な特性である硬度が低下する傾向となるの
で好ましくない。
と逆に焼結体の密度が低下する傾向にあり、また耐磨耗
材として重要な特性である硬度が低下する傾向となるの
で好ましくない。
【００１１】なお特性に影響を与えない範囲で他の成分
が少量添加されてもよい。
が少量添加されてもよい。
【００１２】
【作用】炭化珪素ーホウ化チタンー酸化アルミニウム系
の炭化珪素質導電性セラミックスに酸化イットリウムを
焼結助剤として添加することにより、大型の成形体を長
時間焼結しても成形体に対する焼結体の重量減少が抑え
られ緻密な焼結体が得られる。
の炭化珪素質導電性セラミックスに酸化イットリウムを
焼結助剤として添加することにより、大型の成形体を長
時間焼結しても成形体に対する焼結体の重量減少が抑え
られ緻密な焼結体が得られる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１４】実施例１ 平均粒径０．５μｍのα型炭化珪素粉末４４．８ｇと、
平均粒径１．５μｍのホウ化チタン粉末４４．８ｇと、
平均粒径０．０２μｍの酸化アルミニウム粉末１０ｇ
と、平均粒径０．０５μｍの酸化イットリウム粉末０．
４ｇと、バインダーとしてポリビニルアセテート１．２
５ｇを溶解したアセトン２００mlとを、ポリエチレン製
のポットミルに入れ、炭化珪素製のボールを用いて、24
時間にわたって攪拌混合した。
平均粒径１．５μｍのホウ化チタン粉末４４．８ｇと、
平均粒径０．０２μｍの酸化アルミニウム粉末１０ｇ
と、平均粒径０．０５μｍの酸化イットリウム粉末０．
４ｇと、バインダーとしてポリビニルアセテート１．２
５ｇを溶解したアセトン２００mlとを、ポリエチレン製
のポットミルに入れ、炭化珪素製のボールを用いて、24
時間にわたって攪拌混合した。
【００１５】つぎに、攪拌混合物を乾燥して溶媒を除去
し、６０メッシュの篩を用いて造粒し、この造粒混合物
を金型プレスまたはラバープレスによって約５０mm×５
０mm×６mm の板状に成形した。
し、６０メッシュの篩を用いて造粒し、この造粒混合物
を金型プレスまたはラバープレスによって約５０mm×５
０mm×６mm の板状に成形した。
【００１６】この成形体をグラファイト容器に収納し、
アルゴンガス雰囲気下で室温から１９００℃までに10時
間で昇温し、さらに１９００℃の温度にて３時間保持し
て焼結し導電性複合セラミックスを得た。
アルゴンガス雰囲気下で室温から１９００℃までに10時
間で昇温し、さらに１９００℃の温度にて３時間保持し
て焼結し導電性複合セラミックスを得た。
【００１７】得られた導電性複合セラミックスについ
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを測定した。
これらの測定結果を表１に示す。
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを測定した。
これらの測定結果を表１に示す。
【００１８】電気比抵抗は４端子法によって測定した。
曲げ強さはＪＩＳ規格の形状に加工し室温における３点
曲げ強さによって測定した。
曲げ強さはＪＩＳ規格の形状に加工し室温における３点
曲げ強さによって測定した。
【００１９】実施例２〜７ 炭化珪素、ホウ化チタン、酸化アルミニウム、酸化イッ
トリウムの配合量を表１に示したように変えた以外は、
実施例１の場合と同様にし、導電性複合セラミックスを
得た。
トリウムの配合量を表１に示したように変えた以外は、
実施例１の場合と同様にし、導電性複合セラミックスを
得た。
【００２０】得られた導電性複合セラミックスについ
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを実施例１の
場合と同じ条件で測定した。これらの測定結果を表１に
示す。 比較例１〜２ 炭化珪素、ホウ化チタン、酸化アルミニウム、の配合量
を表１に示したように変え、かつ、酸化イットリウムを
添加しない以外は、実施例１の場合と同様にし、導電性
複合セラミックスを得た。
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを実施例１の
場合と同じ条件で測定した。これらの測定結果を表１に
示す。 比較例１〜２ 炭化珪素、ホウ化チタン、酸化アルミニウム、の配合量
を表１に示したように変え、かつ、酸化イットリウムを
添加しない以外は、実施例１の場合と同様にし、導電性
複合セラミックスを得た。
【００２１】得られた導電性複合セラミックスについ
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを実施例１の
場合と同じ条件で測定した。これらの測定結果を表１に
示す。 比較例３ 炭化珪素、ホウ化チタン、酸化アルミニウム、酸化イッ
トリウムの配合量を表１に示したように変えた以外は、
実施例１の場合と同様にし、導電性複合セラミックスを
得た。
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを実施例１の
場合と同じ条件で測定した。これらの測定結果を表１に
示す。 比較例３ 炭化珪素、ホウ化チタン、酸化アルミニウム、酸化イッ
トリウムの配合量を表１に示したように変えた以外は、
実施例１の場合と同様にし、導電性複合セラミックスを
得た。
【００２２】得られた導電性複合セラミックスについ
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを実施例１の
場合と同じ条件で測定した。これらの測定結果を表１に
示す。
て、相対密度、電気比抵抗および曲げ強さを実施例１の
場合と同じ条件で測定した。これらの測定結果を表１に
示す。
【表１】 表１から明らかなように、実施例１〜７は、(i) 電気比
抵抗を１０-3Ωｃｍ以下と小さくでき、(ii)９５％以上
の相対密度を達成でき、(iii) 機械的強度たとえば曲げ
強さを６００MPa 以上と大きくできる。これに比べて比
較例１〜２は、酸化イットリウムを添加しないため、95
％以上の相対密度が達成できず、機械的強度たとえば曲
げ強さが600MPa以下と小さい。また比較例３は、酸化イ
ットリウムを添加されているが、酸化アルミニウムが少
ないため焼結性が著しく劣っている。
抵抗を１０-3Ωｃｍ以下と小さくでき、(ii)９５％以上
の相対密度を達成でき、(iii) 機械的強度たとえば曲げ
強さを６００MPa 以上と大きくできる。これに比べて比
較例１〜２は、酸化イットリウムを添加しないため、95
％以上の相対密度が達成できず、機械的強度たとえば曲
げ強さが600MPa以下と小さい。また比較例３は、酸化イ
ットリウムを添加されているが、酸化アルミニウムが少
ないため焼結性が著しく劣っている。
【００２３】なお、上述の実施例に使用された炭化珪素
はα型で、その粒径が 0.5μｍとされているが、これに
限定されるものではない。しかしながら、導電性複合セ
ラミックスの機械的強度などを考慮すると、その粒径は
１μｍ以下であることが好ましい。酸化アルミニウム
は、必ずしも粉末として配合する必要がなく、アルミニ
ウムアルコキシド、有機酸のアルミニウム塩などの形で
添加し、焼結までの過程で適宜な処理を施し酸化アルミ
ニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）に変換してもよい。
はα型で、その粒径が 0.5μｍとされているが、これに
限定されるものではない。しかしながら、導電性複合セ
ラミックスの機械的強度などを考慮すると、その粒径は
１μｍ以下であることが好ましい。酸化アルミニウム
は、必ずしも粉末として配合する必要がなく、アルミニ
ウムアルコキシド、有機酸のアルミニウム塩などの形で
添加し、焼結までの過程で適宜な処理を施し酸化アルミ
ニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）に変換してもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、放
電加工を可能として複雑形状の加工を容易にし、かつ大
型の焼結体の緻密度ならびに機械的強度を確保し大型構
造材料として使用可能となる。
電加工を可能として複雑形状の加工を容易にし、かつ大
型の焼結体の緻密度ならびに機械的強度を確保し大型構
造材料として使用可能となる。
【００２５】
Claims (1)
- 【請求項１】 ホウ化チタン３０〜８０重量％、酸化ア
ルミニウム３〜２５重量％、酸化イットリウム０．２〜
１０重量％、炭化珪素２５〜６５重量％から実質的にな
る混合物で成形体を形成し、この成形体を不活性ガス雰
囲気中で、１８００〜２１００℃の温度で焼結して成る
ことを特徴とする導電性複合セラミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4136389A JPH05330925A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 導電性複合セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4136389A JPH05330925A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 導電性複合セラミックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330925A true JPH05330925A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15174020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4136389A Withdrawn JPH05330925A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 導電性複合セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05330925A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101040761B1 (ko) * | 2009-05-28 | 2011-06-10 | 한국과학기술연구원 | 저저항 탄화규소 소결체, 이의 조성물 및 이의 제조방법 |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP4136389A patent/JPH05330925A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101040761B1 (ko) * | 2009-05-28 | 2011-06-10 | 한국과학기술연구원 | 저저항 탄화규소 소결체, 이의 조성물 및 이의 제조방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0170864B1 (en) | Zrb2 composite sintered material | |
| JP2829229B2 (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス焼結体 | |
| EP0170889B1 (en) | Zrb2 composite sintered material | |
| JP2524816B2 (ja) | 炭化珪素系複合焼結体 | |
| JPH05330925A (ja) | 導電性複合セラミックス | |
| JP2539018B2 (ja) | Ａｌ▲下２▼Ｏ▲下３▼基セラミックス | |
| JPS644983B2 (ja) | ||
| JP2520640B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体およびその放電加工体 | |
| JP3223822B2 (ja) | ＭｇＯ複合セラミックス及びその製造方法 | |
| JP5170612B2 (ja) | 導電性窒化ケイ素焼結体とその製造方法 | |
| JP4544394B2 (ja) | 導電性ジルコニア焼結体およびその製造方法 | |
| JP2849702B2 (ja) | 高導電性炭素系複合材の製造方法 | |
| JP3137405B2 (ja) | 窒化珪素基セラミックスの製造法 | |
| JP2745062B2 (ja) | 導電性複合セラミックス | |
| JPH05345673A (ja) | 炭化珪素質導電性複合セラミックス | |
| EP0363070A2 (en) | Highly densified bodies from polysilanes filled with silicon carbide powders | |
| JP3277295B2 (ja) | 高温型炭化珪素質発熱体の製造方法 | |
| JPH0712980B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体及びその製法 | |
| JPH054869A (ja) | 炭化珪素質導電性複合セラミツクス | |
| CA1231828A (en) | Aluminum-resistant titanium diboride articles and method of making same | |
| JP3016571B2 (ja) | 炭化珪素電極及びその製造方法 | |
| JP2006182590A (ja) | 導電性窒化ケイ素材料とその製造方法 | |
| KR970010354B1 (ko) | 강도 및 전기적 물성이 개선된 세라믹스 증착 용기 및 그의 제조방법 | |
| JPH05306177A (ja) | 硼化チタン系焼結体 | |
| JPH10167833A (ja) | 硼化物セラミックス及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |