JPH05340580A - 半導体製造工場の入室用塵埃除去装置 - Google Patents
半導体製造工場の入室用塵埃除去装置Info
- Publication number
- JPH05340580A JPH05340580A JP15018092A JP15018092A JPH05340580A JP H05340580 A JPH05340580 A JP H05340580A JP 15018092 A JP15018092 A JP 15018092A JP 15018092 A JP15018092 A JP 15018092A JP H05340580 A JPH05340580 A JP H05340580A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- dust removing
- clean air
- semiconductor manufacturing
- manufacturing factory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造工場に入室する際に使用する塵埃
除去装置において、被除塵体に吹き付ける清浄空気の死
角をなくすことによって除塵効果を高める。 【構成】 清浄空気吹き出し口の取り付け位置として、
除塵室５の両側面（又は片側面）に設けた清浄空気吹き
出し口１の他に除塵室５の天井部にも清浄空気吹き出し
口６を設け、被除塵体４の頭部等上面を中心に清浄空気
を吹き付ける機能を有する。
除去装置において、被除塵体に吹き付ける清浄空気の死
角をなくすことによって除塵効果を高める。 【構成】 清浄空気吹き出し口の取り付け位置として、
除塵室５の両側面（又は片側面）に設けた清浄空気吹き
出し口１の他に除塵室５の天井部にも清浄空気吹き出し
口６を設け、被除塵体４の頭部等上面を中心に清浄空気
を吹き付ける機能を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工場の入室用
塵埃除去装置に関し、特に正常空気吹き出し口の取り付
け位置に関するものである。
塵埃除去装置に関し、特に正常空気吹き出し口の取り付
け位置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の塵埃除去装置は図３の縦
断面図に示すように、正常空気吹き出し口１が除塵室５
の両側面（又は片側面）に取り付けられ、着用物や持ち
込み品である被除塵体４にフィルター５を通過し正常化
された空気を送風機３により吹き付けていた。そして、
排気は除塵室５の床から排出されるようになっている。
断面図に示すように、正常空気吹き出し口１が除塵室５
の両側面（又は片側面）に取り付けられ、着用物や持ち
込み品である被除塵体４にフィルター５を通過し正常化
された空気を送風機３により吹き付けていた。そして、
排気は除塵室５の床から排出されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の正常空
気吹き出し口１の取り付け位置では、被除塵体４の側面
の塵埃除去効果はあるが、被塵埃体４の上面については
被除塵体４の形状，大きさによっては死角になってしま
い、十分に塵埃除去ができないという問題があった。
気吹き出し口１の取り付け位置では、被除塵体４の側面
の塵埃除去効果はあるが、被塵埃体４の上面については
被除塵体４の形状，大きさによっては死角になってしま
い、十分に塵埃除去ができないという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造工場
の入室用塵埃除去装置は、正常空気吹き出し口を除塵室
の両側面（又は片側面）の他に天井部にも備えている。
の入室用塵埃除去装置は、正常空気吹き出し口を除塵室
の両側面（又は片側面）の他に天井部にも備えている。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の実施例１の縦断面図である。送風機
３により圧送された空気は、フィルター２により清浄化
され清浄空気吹き出し口１及び６より除塵室５に吹き出
され、被除塵体４に吹き付けられる。ここで、清浄空気
吹き出し口１より吹き出された空気は被除塵体４の側面
に吹き付けられるが、同時に、本実施例では清浄空気吹
き出し口６を天井中央部に設け、ダクト７を経由してフ
ィルター２を通過した清浄空気を被除塵体４の真上から
吹き付け、被除塵体４の上面を中心に除塵する。
る。図１は本発明の実施例１の縦断面図である。送風機
３により圧送された空気は、フィルター２により清浄化
され清浄空気吹き出し口１及び６より除塵室５に吹き出
され、被除塵体４に吹き付けられる。ここで、清浄空気
吹き出し口１より吹き出された空気は被除塵体４の側面
に吹き付けられるが、同時に、本実施例では清浄空気吹
き出し口６を天井中央部に設け、ダクト７を経由してフ
ィルター２を通過した清浄空気を被除塵体４の真上から
吹き付け、被除塵体４の上面を中心に除塵する。
【０００６】図２は本発明の実施例２の縦断面図であ
る。送風機３により圧送された空気は、フィルター２に
より清浄化され清浄空気吹き出し口１及び６より除塵室
に吹き出され、被除塵体４に吹き付けられる。ここで、
清浄空気吹き出し口１より吹き出された空気は、実施例
１と同様に被除塵体４の側面に吹き付けられるが、同時
に実施例２では清浄空気吹き出し口６を天井部両側に設
け、フィルター２を通過した清浄空気を斜め上方から吹
き付け、被除塵体４の上面を中心に除塵する。実施例２
は実施例１に比べダクト７を省略でき清浄空気吹き出し
口６に清浄空気を導くための構造を簡単にできるという
長所を有する。
る。送風機３により圧送された空気は、フィルター２に
より清浄化され清浄空気吹き出し口１及び６より除塵室
に吹き出され、被除塵体４に吹き付けられる。ここで、
清浄空気吹き出し口１より吹き出された空気は、実施例
１と同様に被除塵体４の側面に吹き付けられるが、同時
に実施例２では清浄空気吹き出し口６を天井部両側に設
け、フィルター２を通過した清浄空気を斜め上方から吹
き付け、被除塵体４の上面を中心に除塵する。実施例２
は実施例１に比べダクト７を省略でき清浄空気吹き出し
口６に清浄空気を導くための構造を簡単にできるという
長所を有する。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、除塵室の
天井部にも清浄空気吹き出し口を設けたことにより、被
除塵体上面の側面からだけの清浄空気の吹き付けでは死
角になる部分の除塵も効率的に行なわれるという効果が
ある。
天井部にも清浄空気吹き出し口を設けたことにより、被
除塵体上面の側面からだけの清浄空気の吹き付けでは死
角になる部分の除塵も効率的に行なわれるという効果が
ある。
【図１】本発明の実施例１の縦断面図である。
【図２】本発明の実施例２の縦断面図である。
【図３】従来の塵埃除去装置の縦断面図である。
１ 清浄空気吹き出し口（側面） ２ フィルター ３ 送風機 ４ 被除塵体 ５ 除塵室 ６ 清浄空気吹き出し口（天井部） ７ ダクト
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体製造工場への入室の際に、被除塵
体に正常空気を吹き付けることによって付着している塵
埃を除去する半導体製造工場の入室用塵埃除去装置にお
いて、正常空気吹き出し口を除塵室の側面の他に天井に
も取り付けたことを特徴とする半導体製造工場の入室用
塵埃除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15018092A JPH05340580A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 半導体製造工場の入室用塵埃除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15018092A JPH05340580A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 半導体製造工場の入室用塵埃除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340580A true JPH05340580A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=15491257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15018092A Pending JPH05340580A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 半導体製造工場の入室用塵埃除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05340580A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62155454A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-10 | Hitachi Ltd | エアシヤワ−装置 |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP15018092A patent/JPH05340580A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62155454A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-10 | Hitachi Ltd | エアシヤワ−装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980331 |