JPH05346239A - 清浄室対応空気調和システム - Google Patents

清浄室対応空気調和システム

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JPH05346239A
JPH05346239A JP4154874A JP15487492A JPH05346239A JP H05346239 A JPH05346239 A JP H05346239A JP 4154874 A JP4154874 A JP 4154874A JP 15487492 A JP15487492 A JP 15487492A JP H05346239 A JPH05346239 A JP H05346239A
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clean room
chemical filter
conditioning system
air
air conditioning
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Kentaro Uchiyama
健太郎 内山
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ケミカルフィルターが組み込まれた清浄室対応
空気調和システムにおいて、ケミカルフィルターによる
不純物除去の効率化を図る。 【構成】空気調和機１１により送風された空気は、高性
能フィルター１２を介し、清浄室１３へ給気され、上げ
床１４面より空気調和機１１に戻っている。不純物が発
生するエリアの上げ床１４真下に、ケミカルフィルター
１８を設置することで、不純物をケミカルフィルター１
８に吸着させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、清浄室対応空気調和シ
ステムに係わり、特に、例えば、大気中のナトリウム分
を吸着処理するケミカルフィルターをシステム内に有す
る空気調和システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のケミカルフィルターが組み込まれ
た空気調和システムにおいて、清浄室内部より発生する
不純物を除去する場合、空気調和機内もしくは空気調和
吸気口に、また、大気中に含まれる不純物を除去する場
合、外気調和機もしくは外気導入口にケミカルフィルタ
ーを設け、該ケミカルフィルター内不純物吸着材によっ
て処理を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のケミカルフ
ィルターが組み込まれた空気調和システムでは、外気調
和機、空気調和機内の通過風速が速く、不純物を含有す
る空気と、ケミカルフィルター内不純物吸着材の接触時
間が短く、充分な処理ができないという課題があった。
【０００４】また清浄室内の一部エリアで不純物が発生
していた場合、清浄空気リターンエリアや空気調和機内
で、該不純物を含有しない空気と混合され、清浄室全域
への汚染が懸念されるという問題点もあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ケミカ
ルフィルターを用いて空気中の不純物除去を行う清浄室
対応空気調和システムにおいて、清浄室のリターンエア
吸込口にケミカルフィルターを設けた清浄室対応空気調
和システムにある。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
【０００７】図１は、本発明の第１の実施例を示す清浄
室構成の断面図である。空気調和機１１により送風され
た空気は、高性能フィルター１２を介して清浄室１３内
で垂直層流を形成している。また、上げ床１４面より吸
込まれた清浄空気は床下１５を通過し、該空気調和機１
１に戻っている。
【０００８】一方、上げ床１４を支えるための床ポスト
１６には、専用治具１７にて取付けられたケミカルフィ
ルター１８が設置されている。
【０００９】清浄室１３にて発生した不純物は、垂直層
流により、拡散することなく、低風速にて、発生部真下
のケミカルフィルター１８に吸着される。
【００１０】図２は、本発明の第２の実施例で、ケミカ
ルフィルター２１を上げ床パネル２２を取り付けた場合
の構造図であり、（Ａ）が側断面図、（Ｂ）が上面図で
ある。
【００１１】ケミカルフィルター２１をその下部に取り
付けた上げ床パネル２２上部には、上げ床に固定するた
めの固定ボルト２３が、同下部にはケミカルフィルター
２１を支持し、その着脱口となる底板２４と底板固定用
ボルト２５が設けられている。
【００１２】この場合、ケミカルフィルター２１と上げ
床パネル２２が一体となっているため、両者の間にすき
間がなく、気流のリークがなく、全量処理可能であると
共に、ケミカルフィルター２１交換の際には、床下に侵
入することなく、清浄室側より行えるという特有の効果
がある。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ケミカル
フィルターが組み込まれた空気調和システムにおいて、
空気調和機内に設置されたケミカルフィルターを清浄室
内リターンエア吸込口に設けることで、清浄空気中に含
有する不純物が、ケミカルフィルター内不純物吸着材と
十分な接触時間を持ち、効果的な処理ができると共に、
清浄空気リターン域や、空気調和機内で、不純物が拡散
される以前に処理できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の清浄室の構成を示す断
面図。
【図２】本発明の第２の実施例の上げ床パネルを示す構
造図。
【符号の説明】
１１ 空気調和機 １２ 高性能フィルター １３ 清浄室 １４ 上げ床 １５ 床下 １６ 床ポスト １７ 専用治具 １８ ケミカルフィルター ２１ ケミカルフィルター ２２ 上げ床パネル ２３ 固定ボルト ２４ 底板 ２５ 底板固定用ボルト

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ケミカルフィルターを用いて空気中の不
    純物除去を行う清浄室対応空気調和システムにおいて、
    清浄室のリターンエア吸込口にケミカルフィルターを設
    けることを特徴とする清浄室対応空気調和システム。
JP4154874A 1992-06-15 1992-06-15 清浄室対応空気調和システム Expired - Lifetime JP2795065B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6123617A (en) * 1998-11-02 2000-09-26 Seh-America, Inc. Clean room air filtering system
JP2014522472A (ja) * 2011-05-20 2014-09-04 雅高思実業有限公司 高機能空気浄化装置および方法

Citations (1)

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JPH0480538A (ja) * 1990-07-20 1992-03-13 Mitsubishi Electric Corp クリーンルーム空調装置

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