JPH0536270Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0536270Y2 JPH0536270Y2 JP1989008387U JP838789U JPH0536270Y2 JP H0536270 Y2 JPH0536270 Y2 JP H0536270Y2 JP 1989008387 U JP1989008387 U JP 1989008387U JP 838789 U JP838789 U JP 838789U JP H0536270 Y2 JPH0536270 Y2 JP H0536270Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- tip
- transducer
- square hole
- wire bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はワイヤボンデイング装置、特に、その
キヤピラリのトランスデユーサへの取付け構造に
関する。
キヤピラリのトランスデユーサへの取付け構造に
関する。
第２図はワイヤボンデイング装置の一例の主要
部分の構造の概要を示す。
部分の構造の概要を示す。
図において１はXYモータ、２はXYテーブル、
３はＺモータ、４はカム、５はリンクおよびアー
ム、６は金線、７はITVカメラ、８は光学系、
９は上クランパ、１０は下クランパ、１１はトラ
ンスデユーサ、１２はキヤピラリ、１３はリード
フレーム搬送、位置決め部である。
３はＺモータ、４はカム、５はリンクおよびアー
ム、６は金線、７はITVカメラ、８は光学系、
９は上クランパ、１０は下クランパ、１１はトラ
ンスデユーサ、１２はキヤピラリ、１３はリード
フレーム搬送、位置決め部である。
トランスデユーサ１１の先端部に取付けられた
キヤピラリ１２の先端の穴から金線６を導出し、
金線６の先端を電気トーチか酸水素トーチ（図示
してない）で溶融して、ボールを形成する。
キヤピラリ１２の先端の穴から金線６を導出し、
金線６の先端を電気トーチか酸水素トーチ（図示
してない）で溶融して、ボールを形成する。
キヤピラリ１２先端を位置決めされたリードフ
レームのダイアイランド面に接着されたペレツト
のボンデイングバツト上に高精度に精度位置合わ
せして、キヤピラリ１２の先端でボールをボンデ
イングバツトに超音波振動を加えながら押えて、
熱圧着する。
レームのダイアイランド面に接着されたペレツト
のボンデイングバツト上に高精度に精度位置合わ
せして、キヤピラリ１２の先端でボールをボンデ
イングバツトに超音波振動を加えながら押えて、
熱圧着する。
超音波振動を与えながら行なうのは、ペレツト
の熱負担がかからないように、低温で圧着するた
めである。
の熱負担がかからないように、低温で圧着するた
めである。
第３図ａ，ｂは従来のワイヤボンデイング装置
のトランスデユーサの構造及びキヤピラリ取付け
構造の一例を示す。
のトランスデユーサの構造及びキヤピラリ取付け
構造の一例を示す。
図において１１，１２は第２図の同一符号と同
一または相当するものを示す、１１１は電源端
子、１１２は超音波ホーン、１１３はキヤピラリ
取付け用すり割り入り丸穴、１１４はすり割り締
めつけ用ねじである。
一または相当するものを示す、１１１は電源端
子、１１２は超音波ホーン、１１３はキヤピラリ
取付け用すり割り入り丸穴、１１４はすり割り締
めつけ用ねじである。
電源端子１１１は超音波電源に接続され、超音
波が超音波ホーン１１２を経て先端部に取付けら
れたキヤピラリ１２に伝わる。
波が超音波ホーン１１２を経て先端部に取付けら
れたキヤピラリ１２に伝わる。
第４図はトランスデユーサ１１のキヤピラリ１
３取付け部分の拡大図で、第３図と同一符号は同
一のものを示す。
３取付け部分の拡大図で、第３図と同一符号は同
一のものを示す。
キヤピラリ１２はトランスデユーサ１１の先端
部のすり割り入り丸穴１１３に挿入され、すり割
りがねじ１１４で締めつけられ、キヤピラリ１２
の外周面に丸穴１１３の内周面が全周接触する状
態に取付けられる。
部のすり割り入り丸穴１１３に挿入され、すり割
りがねじ１１４で締めつけられ、キヤピラリ１２
の外周面に丸穴１１３の内周面が全周接触する状
態に取付けられる。
上記のような従来のキヤピラリの取付け構造
は、一般的で、確実であると考えられているが、
ねじ締め付け過不足の場合や、長時間の使用によ
る、超音波振動に影響されて先端部が徐々に開い
てきた場合、平面上全周支持の状態になつている
はずが、実は２点支持の状態になることが多く、
キヤピラリにがたつきが生じ、ボンド位置ずれが
生ずるという問題点があつた。
は、一般的で、確実であると考えられているが、
ねじ締め付け過不足の場合や、長時間の使用によ
る、超音波振動に影響されて先端部が徐々に開い
てきた場合、平面上全周支持の状態になつている
はずが、実は２点支持の状態になることが多く、
キヤピラリにがたつきが生じ、ボンド位置ずれが
生ずるという問題点があつた。
本考案は上記の問題を解決するためになされた
もので、キヤピラリにがたつきが生じにくい取付
け構造を提供することを目的とする。
もので、キヤピラリにがたつきが生じにくい取付
け構造を提供することを目的とする。
本考案は、上記目的を達成するために、キヤピ
ラリの取付け穴を角穴にし、円筒形状のキヤピラ
リをトランスデユーサの先端部のすり割り入り角
穴に挿入し、すり割りをねじで締め付け、キヤピ
ラリをその外周面に上記角穴の内周面が線接触
（平面上では点支持）で圧接する状態に取付ける
構造としたものである。
ラリの取付け穴を角穴にし、円筒形状のキヤピラ
リをトランスデユーサの先端部のすり割り入り角
穴に挿入し、すり割りをねじで締め付け、キヤピ
ラリをその外周面に上記角穴の内周面が線接触
（平面上では点支持）で圧接する状態に取付ける
構造としたものである。
第１図ａ，ｂは本考案のワイヤボンデイング装
置のキヤピラリ取付け構造を示す。
置のキヤピラリ取付け構造を示す。
図において１１，１２，１１４は第３図、第４
図の同一符号と同一または相当するものを示し、
１１３ａはすり割り入り角穴である。
図の同一符号と同一または相当するものを示し、
１１３ａはすり割り入り角穴である。
円筒形状のキヤピラリ１２が角穴１１３ａに挿
入され、ねじ１１４ですり割りが締め付けられる
と、キヤピラリ１２の外周面に角穴１１３ａの４
つの内周平面がそれぞれ線接触で圧接しキヤピラ
リ１２が支持される。平面上では図ａに示すよう
に４点支持構造となる。
入され、ねじ１１４ですり割りが締め付けられる
と、キヤピラリ１２の外周面に角穴１１３ａの４
つの内周平面がそれぞれ線接触で圧接しキヤピラ
リ１２が支持される。平面上では図ａに示すよう
に４点支持構造となる。
そして、ねじ締め付け過不良の場合でも、長時
間使用により超音波振動の影響があらわれてきて
先端部が徐々に開いた場合でも、この４点支持構
造が保たれ、キヤピラリ１２にがたつきが生じに
くい。
間使用により超音波振動の影響があらわれてきて
先端部が徐々に開いた場合でも、この４点支持構
造が保たれ、キヤピラリ１２にがたつきが生じに
くい。
上記には角にＲをつけた角穴１１３ａを示した
が、Ｒをつけなくてもよい。
が、Ｒをつけなくてもよい。
また、平面上で４点支持構造になる例を示した
が、４点以上の多点支持構造になる角穴としても
よい。
が、４点以上の多点支持構造になる角穴としても
よい。
以上説明したように、本考案によれば、キヤピ
ラリの径にばらつきがある場合も、すり割りの締
め付けが過不足の場合も、長時間使用の場合も、
キヤピラリにがたつきが生じにくく、ボンド位置
の精度が保たれ、歩留り、信頼性向上に寄与する
効果大である。
ラリの径にばらつきがある場合も、すり割りの締
め付けが過不足の場合も、長時間使用の場合も、
キヤピラリにがたつきが生じにくく、ボンド位置
の精度が保たれ、歩留り、信頼性向上に寄与する
効果大である。
第１図ａ，ｂは本考案のワイヤボンデイング装
置のキヤピラリ取付け構造を示す平面図、側面
図、第２図はワイヤボンデイング装置の一例の主
要部分の構造の概要を示す説明図、第３図ａ，ｂ
は従来のワイヤボンデイング装置のトランスデユ
ーサの構造及びキヤピラリの取付け構造の一例を
示す側面図、平面図、第４図は第３図ｂのトラン
スデユーサのキヤピラリ取付け部分の拡大図であ
る。 １１……トランスデユーサ、１２……キヤピラ
リ、１１３ａ……角穴、１１４……ねじ、なお図
中同一符号は同一または相当するものを示す。
置のキヤピラリ取付け構造を示す平面図、側面
図、第２図はワイヤボンデイング装置の一例の主
要部分の構造の概要を示す説明図、第３図ａ，ｂ
は従来のワイヤボンデイング装置のトランスデユ
ーサの構造及びキヤピラリの取付け構造の一例を
示す側面図、平面図、第４図は第３図ｂのトラン
スデユーサのキヤピラリ取付け部分の拡大図であ
る。 １１……トランスデユーサ、１２……キヤピラ
リ、１１３ａ……角穴、１１４……ねじ、なお図
中同一符号は同一または相当するものを示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 トランスデユーサの先端部に取付けられた円筒
形状のキヤピラリの先端の穴から金線を導出し、
該金線の先端をトーチで溶融してボールを形成
し、該ボールを上記キヤピラリが超音波振動を加
えながら熱圧着して金線をボンドする構造のワイ
ヤボンデイング装置において、 上記円筒形状のキヤピラリが上記トランスデユ
ーサの先端部のすり割り入り角穴に挿入され、上
記すり割りがねじで締めつけられ、上記キヤピラ
リがその外周面に上記角穴の内周面が線接触で圧
接する状態に取付けられていることを特徴とする
ワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989008387U JPH0536270Y2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989008387U JPH0536270Y2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101540U JPH02101540U (ja) | 1990-08-13 |
| JPH0536270Y2 true JPH0536270Y2 (ja) | 1993-09-14 |
Family
ID=31214221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989008387U Expired - Lifetime JPH0536270Y2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536270Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP1989008387U patent/JPH0536270Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02101540U (ja) | 1990-08-13 |
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