JPH0538051Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、例えばフイルム（10〜100μｍ厚）
に薄膜を形成する成膜装置等において利用可能な
フイルム保持機構に関するものである。

［従来の技術］ この種のフイルム保持機構にあつては、フイル
ムにしわの寄らない緊張状態を保つことが肝要で
ある。そのため、従来からフイルム外周を挟持す
る保持リングの断面形状を様々に改良して、フイ
ルムの張力を持続させる工夫がなされている。例
えば第５図に示すものは、リングRa₁，Ra₂の挟
持面をフイルムＦの張面に対し角度をなすテーパ
面に形成するようにしたものであり、また第６図
に示すものは、リングRb₁，Rb₂の挟持面を山形
の凹凸に噛合わせるようにしたものである。

［考案が解決しようとする問題点］ しかし、このような保持機構では、その取付時
にフイルムに張力を与えこれを保つ上では有効で
あるが、取付後の要因により一旦フイルムが弛緩
すると元の緊張状態に復元できないことがある。
すなわち、外力を加えたり加熱したりしてフイル
ムに変形や伸びを生じてしまうと、最早その内周
方向に均一な張力を保つことができない。

本考案は、かかる問題点を解決し、保持リング
にセツトした後フイルムに外力を加えたり加熱し
ても、フイルム面をフラツトな緊張状態に保持す
ることが可能な改良されたフイルム保持機構を提
供するものである。

［問題点を解決するための手段］ 本考案に係るフイルム保持機構は、フイルムの
外周を挟持する保持リングと、この保持リングに
保持されたフイルムをその一面から環状に押える
インナーリングと、このインナーリングと前記保
持リングとの間で該インナーリングと反対側の面
からフイルムを環状に押えるアウターリングとを
具備してなるものである。

［作用］ このように構成したものであると、その保持リ
ングの近傍でフイルムの両面を内外から環状に押
えるインナーリングとアウターリングとの逆向き
の力により、フイルムには全周から等しく径方向
の張力が付与される。そして、内外リングの少な
くとも一方をフイルムに対して一定のストローク
で押動可能に配置しておけば、フイルムが外力や
加熱により変形したり伸びたりしても、アウター
リングのインナーリングに対する相対的な変位で
これを吸収し、インナーリングの内周でフイルム
に弛みを生じることがない。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

第１図、第２図は本考案に係るフイルム保持機
構の構成例を示す。図において１は、上下一対の
押えリング１ａ，１ａを締着して構成される保持
リングで、その間にフイルムＦの外周を挟持し適
当な張力を持たせた緊張状態でこれをフラツトに
保持している。保持リング１は、その周方向の適
数箇所で止め螺子２を表裏面に貫通させ、これを
ブラケツト等の固定部（図示省略）に係合させて
所定の位置にセツトされている。なお、フイルム
Ｆは、止め螺子２の挿脱操作により、保持リング
１と共にこれを反転させて上下面の取付態様を至
便に逆転することができ、例えばフイルムＦの両
面に薄膜を作成することも簡便に行なえるものと
なつている。

そして、この保持リング１の下方に、該保持リ
ング１に挟持されたフイルムＦの下面を押えるた
めのインナーリング３を同心に配設している。イ
ンナーリング３は、前記保持リング１よりもやや
小径のもので、第２図のように、円弧状に形成し
た先端部３ａをフラツトに張つたフイルムＦの下
面と接触する位置に固定し、この固定位置でその
先端部３ａがフイルムＦの下面を環状に押えるよ
うにしている。

一方、前記保持リング１の上方には、該保持リ
ング１に挟持されたフイルムＦの上面を押えるた
めのアウターリング４を同心に配設している。ア
ウターリング４は、前記インナーリング３よりも
やや大径ではあるが、保持リング１よりも幾分小
径とされる。つまり、第２図に示すように、円弧
状に形成してあるその先端部４ａを保持リング１
と前記インナーリング３との間に張られるフイル
ムＦに接触させ、この位置でその先端部４ａがフ
イルムＦの上面を環状に押えるようにしている。
そして、このアウターリング４は、フイルムＦを
その平面から押動しながら下方に適当なストロー
クＬの距離だけ降下できるように支持されている
と共に、フイルムＦに適当な押え力ｆを与えるべ
くその自重をフイルムＦに載架するようにしてい
る（必要ならアウターリング４をフイルム面に付
勢する押えバネを併用するようにしてもよい）。

上記のフイルム保持機構であれば、フイルムＦ
の外周近傍に加わるアウターリング４の押え力ｆ
が、内周のインナーリング３の先端部３ａを支点
として、該フイルムＦに絶えず径方向の張力を均
等に付加することになるため、フイルムＦを緊張
状態でフラツトな面に保持することができる。そ
して、例えば真空雰囲気でフイルムＦを薄膜形成
に供するに際し、その一面に加熱ヒータを接触さ
せ或いはフイルム面を直接又は間接加熱する場合
等、該フイルムＦに加わる外力や熱膨張に起因し
てフイルムＦに変形や伸びを生じることがあつて
も（第３図参照）、これを直ちに復元して弛みを
生じることがない（第４図参照）。すなわち、こ
の際には、アウターリング４がインナーリング３
を支点としてフイルムＦに径方向のテンシヨンＴ
を掛けながら張力の低下したフイルムＦを所定の
ストロークＬの範囲で下方に押し下げることにな
るから、このアウターリング４の変位によりイン
ンナーリング３と保持リング１との間でフイルム
Ｆの伸びが吸収されて、フイルムＦは緊張状態を
回復することができるからである。

以上、主として成膜装置のフイルムホルダに利
用する場合について説明したが、本考案は他の用
途のフイルム保持機構にも同様に利用できるもの
である。そして、上記実施例ではフイルムＦの押
え力ｆを得るためアウターリング４を所定のスト
ロークＬで押動可能に配置したが、使用条件に応
じてはインナーリング３を方を押動させるよにし
てもよく、要するに内外リングを相対変位可能に
してフイルムＦを押えるようにすればよい。

なお、保持リング１に対する両リング３，４の
寸法や先端部形状、更にその取付構造等について
は、図示例によらず任意に設計変更可能である。

［考案の効果］ 以上に説明した通り、本考案のフイルム保持機
構では、保持リングにセツトした後にフイルムに
外力や熱が作用してもフイルムに弛みを生じるの
が確実に防止でき、その構造も至つて簡単なもの
とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は本考案に係るフイルム保持機
構を示す概略断面図であり、第１図はその分離状
態を示し、第２図はその使用状態を示している。
第３図と第４図は、本考案に係るフイルム保持機
構の作用を示す各要部の概略断面図である。第５
図と第６図は、従来における保持リングの改良例
を示す各断面図である。 Ｆ……フイルム、１……保持リング、３……イ
ンナーリング、４……アウターリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フイルムの外周を挟持する保持リングと、この
   保持リングに保持されたフイルムをその一面から
   環状に押えるインナーリングと、このインナーリ
   ングと前記保持リングとの間で該インナーリング
   と反対側の面からフイルムを環状に押えるアウタ
   ーリングとを具備してなることを特徴とするフイ
   ルム保持機構。