JPH0538527Y2

JPH0538527Y2 -

Info

Publication number: JPH0538527Y2
Application number: JP1984199347U
Authority: JP
Priority date: 1984-12-28
Filing date: 1984-12-28
Publication date: 1993-09-29
Anticipated expiration: 1999-12-28
Also published as: JPS61114755U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、走査電子顕微鏡等において試料を水
平移動あるいは傾斜もしくは上下動させるための
試料装置の改良に関する。

［従来の技術］走査電子顕微鏡においては、試料の光軸方向の
移動と共に試料の傾斜が容易に行えるために、第
３図に示すような構造の試料装置が広く使用され
ている。

図中、１は走査電子顕微鏡の試料室で、内部に
試料２が置かれており、また、上部には図示外の
電子銃から発生した電子線EBを細く集束して試
料２上に照射するための最終段集束レンズ３が設
置されている。４は前記試料２を水平方向に移動
させるための移動体で、ステージ５上に移動可能
に載置されている。このステージ５はその一端が
板体６に回転可能に支持されており、また、この
ステージの回転中心Ｏは前記電子線EBの光軸Ｚ
と直交するようになしてある。さらに、この回転
中心Ｏと光軸Ｚとの交叉部分に試料２の表面が一
致するように置かれている。前記板体６は試料室
１の側壁に気密を保つて着脱可能に取付けられた
ケース７内に２つの直線ガイド（図示せず）を介
して光軸Ｚと平行に移動できるように取付けられ
ている。その結果、この板体を上下動させること
によりステージ５を介して試料２を光軸Ｚに沿つ
て移動、つまり試料２と集束レンズ３との間の距
離（以下この距離をワーキングデイスタンスと称
す）を変化させることができ、また、この任意な
ワーキングデイスタンスの位置においてステージ
５を回動させることにより試料２を光軸Ｚに対し
て傾斜させることができる。前記ケース７内には
移動体４、ステージ５及び板体６を夫々駆動する
ための機構が組込まれており、また、外部に水平
移動用摘子８、傾斜用摘子９及び上下移動用摘子
１０が夫々設けてある。

［考案が解決しようとする問題点］しかしながら、このような試料装置において
は、図から明らかなようにステージ５は板体６に
その一端が支持された構造、つまり片持ちの支持
構造となるため、外部振動に対して弱かつた。

そこで、近時このような不都合を補うため、大
気圧にて押圧されたロツク軸をステージ５の開放
端Ａ部分に係合させることによりステージの振動
を防止する装置が提案されている。

このように大気圧を利用してステージをロツク
する場合、押圧力はロツク軸の直径で決まるた
め、その押圧力を変えるにはロツク軸の直径を変
えなければならない。従つて、試料の大きさが大
きく変わつた場合には、つまり試料の重さが大き
く変化した場合には、その都度その重さにあつた
押圧力を有するロツク機構と交換しなければなら
ず、取扱いが非常に厄介である欠点を有してい
る。また、試料を水平移動させるために移動体を
ステージの先端方向へと移動した場合、ステージ
の重心位置が変化すると共にステージが下方へ撓
み、振動による影響を受け易くなり、また、撓み
によるワーキングデイスタンスの変化が発生する
という欠点を有している。

本考案は斯様な不都合を解決するために、試料
の重さが大きく変化しても簡単な操作でもつて常
に適正な押圧力をステージに加えることのできる
試料装置を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］上記目的を達成するために、本考案は真空に保
たれた試料室と、該試料室内の側壁に一端が上下
動可能に取付けられたステージと、該ステージ上
に載置され、試料を水平移動させるための移動体
と、前記ステージの他端下面に当接した棒体と、
該棒体を介して前記ステージに下方から押圧力を
与えるためのシリンダ及びピストンからなる流体
駆動機構と、該流体駆動機構内に加圧流体を供給
する手段と、該供給手段からの加圧流体の圧力が
調整可能で、該調整後はステージの上下移動にか
かわらず一定圧力を維持する圧力調整手段とを設
けたことを特徴とする。

［実施例］第１図は本考案の一実施例を示す構成略図であ
り、第３図と同一番号のものは同一構成要素を示
すものである。図において、１１はステージ５の
開放端Ａ側の下面に当接した棒体で、ステージと
の接触部分にはボール１２が設けてある。また、
この棒体と接触するステージ５の下面は第２図に
その側面図を示すように回転中心Ｏを中心とした
円弧状に形成してある。前記棒体の下端は試料室
１の底部を貫通して大気中に取出されて、シリン
ダ１３のピストン１４に連結されている。このシ
リンダ１３はボルト１５により試料室１に固定さ
れており、また、このシリンダの下方の部屋１３
ａには弁１６を備えたパイプ１７を介してコンプ
レツサ１８からの加圧空気が導入される。１９は
前記シリンダ１３内に供給する加圧空気の圧力を
調整する定圧弁からなる圧力調整器である。２０
はシリンダ１３内に供給された加圧空気を排出す
るためのリーク弁である。２１はスプリングコイ
ルで、試料室１及びシリンダ１３内が大気圧に保
たれたとき、ピストン１４を降下させてステージ
５等の取出しが容易に行えるようになすためのも
のである。２２はピストン１４に設けられたＯシ
リングパツキングである。

このように構成すれば、シリンダ１３内に供給
する加圧空気の圧力を圧力調整器１９により任意
に調整することができるため、観察すべき試料２
の重さ（実際の重さとしてはステージ５や移動体
４等の重さが含まれていることは言うまでもな
い）に対応した適正な押圧力を棒体１１に加えて
ステージ５の開放端を支えることができる。ま
た、この状態において摘子９によりステージ５を
回転させても、このステージ５は棒体１１に対し
てすべりながら回転するため、試料２の傾斜を何
等阻害しない。さらに、摘子１０により板体６を
上下させてワーキングデイスタンスを変化させた
場合、棒体１１を介してシリンダ１３内の部屋１
３ａの容積が変化するわけであるが、圧力調整器
１９はその容積が変化しても常に部屋１３ａの圧
力が一定となるように加圧空気を供給したりある
いは排出したりするため、試料２の光軸方向の移
動を妨げることはない。

一方、試料室１内の真空を破つて試料の交換等
を行う場合には、リーク弁２０を開放することに
よりシリンダ１３内の加圧空気を大気中に放出
し、スプリングコイル２１により棒体１１を降下
させてステージ５から切離す。

尚、前述の説明ではシリンダ内に加圧空気を供
給したが、これに限定されることなく、水や油等
の加圧流体を供給するようになしても良く、ま
た、棒体の降下にスプリングコイルを使用した
が、棒体及びピストンの自重で降下するような場
合には不要であることは言うまでもない。

［考案の効果］以上のようになせば、試料の重さが変化しても
簡単な操作によりその重さに対応した適正な押圧
力でもつてステージの開放端を支持することがで
きるため、取扱い操作が非常に容易となり、実用
性大である。

又、ステージに下方から押圧力を与えるための
シリンダ及びピストンからなる流体駆動機構と、
該流体駆動機構内に加圧流体を供給する手段から
の加圧流体の圧力が調整可能で、該調整後はステ
ージの上下移動にかかわらず一定圧力を維持する
圧力調整手段を設けたので、ワーキングデイスタ
ンスが大きく変化しても、該変化に追尾して適性
な圧力でステージを一定の圧力で支え続けること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成略図、第
２図は本考案で使用されるステージの側面図、第
３図は従来例を示す図である。１……試料室、２……試料、３……集束レン
ズ、４……移動体、５……ステージ、６……板
体、７……ケース、８，９，１０……摘子、１１
……棒体、１２……ボール、１３……シリンダ、
１４……ピストン、１６……弁、１７……パイ
プ、１８……コンプレツサ、１９……圧力調整
器、２０……リーク弁、２１……スプリングコイ
ル。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

真空に保たれた試料室と、該試料室の側壁に一
端が上下可能に取付けられたステージと、該ステ
ージを上下動させるための駆動機構と、該ステー
ジ上に載置され、試料を水平移動させるための移
動体と、前記ステージの他端下面に当接した棒体
と、該棒体を介して前記ステージに下方から押圧
力を与えるためのシリンダ及びピストンからなる
流体駆動機構と、該流体駆動機構内に加圧流体を
供給する手段と、該供給手段からの加圧流体の圧
力が調整可能で、該調整後はステージの上下移動
にかかわらず一定圧力を維持する圧力調整手段と
からなる走査電子顕微鏡等における試料装置。