JPH0539510A - ルテニウム−酸化イツトリウム焼結体の製造方法 - Google Patents
ルテニウム−酸化イツトリウム焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0539510A JPH0539510A JP3194584A JP19458491A JPH0539510A JP H0539510 A JPH0539510 A JP H0539510A JP 3194584 A JP3194584 A JP 3194584A JP 19458491 A JP19458491 A JP 19458491A JP H0539510 A JPH0539510 A JP H0539510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- yttrium oxide
- ruthenium
- sintered body
- oxide sintered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ルテニウム−酸化イットリウム焼結体の製造
方法に関し、従来よりも低温度で焼結することにより、
緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体が得られる
方法を提供することにある。 【構成】 ルテニウム−酸化イットリウム成形体を炉内
に設置し、室温から300℃〜1700℃まで真空中に
て昇温することにより、1700℃〜2000℃程度の
低温度でも緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体
が作製できる。
方法に関し、従来よりも低温度で焼結することにより、
緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体が得られる
方法を提供することにある。 【構成】 ルテニウム−酸化イットリウム成形体を炉内
に設置し、室温から300℃〜1700℃まで真空中に
て昇温することにより、1700℃〜2000℃程度の
低温度でも緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体
が作製できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ルテニウム−酸化イッ
トリウム焼結体の製造方法に関するものである。
トリウム焼結体の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ルテニウム−酸化イットリウム系
複合材料は各種電極材料として注目されている。
複合材料は各種電極材料として注目されている。
【0003】たとえば、ルテニウム−酸化イットリウム
焼結体は放電型切断機の陰極材料として、ジルコニウム
やハフニウムから成る電極よりも消耗特性に優れること
などが報告されている。このルテニウム−酸化イットリ
ウム焼結体の製造方法に関しては、特開昭63−216
943号公報に例示されているように、水素ガス雰囲気
中、2100℃程度の温度で焼結する方法が知られてい
る。
焼結体は放電型切断機の陰極材料として、ジルコニウム
やハフニウムから成る電極よりも消耗特性に優れること
などが報告されている。このルテニウム−酸化イットリ
ウム焼結体の製造方法に関しては、特開昭63−216
943号公報に例示されているように、水素ガス雰囲気
中、2100℃程度の温度で焼結する方法が知られてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開昭63−216943号公報に例示されている焼結方
法によれば、緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結
体を得るためには2100℃程度の比較的高温で焼結す
る必要があった。
開昭63−216943号公報に例示されている焼結方
法によれば、緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結
体を得るためには2100℃程度の比較的高温で焼結す
る必要があった。
【0005】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、比較的低温で焼結することによ
り、緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体を製造
できる方法を提供することを目的とするものである。
になされたものであり、比較的低温で焼結することによ
り、緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体を製造
できる方法を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のルテニウム−酸化イットリウム焼結体の製造
方法は、室温から300℃〜1700℃の任意の温度ま
で真空中にて昇温し、次いでアルゴンや窒素等の不活性
ガス、或は水素などの還元性ガスに置換した後、170
0℃〜2000℃の任意の温度まで昇温し、焼結するこ
とを特徴とする。
に本発明のルテニウム−酸化イットリウム焼結体の製造
方法は、室温から300℃〜1700℃の任意の温度ま
で真空中にて昇温し、次いでアルゴンや窒素等の不活性
ガス、或は水素などの還元性ガスに置換した後、170
0℃〜2000℃の任意の温度まで昇温し、焼結するこ
とを特徴とする。
【0007】
【作用】上記の構成を有する本発明のルテニウム−酸化
イットリウム焼結体の製造方法によれば、室温から30
0℃〜1700℃の任意の温度までを真空中にて処理す
ることにより、ルテニウム−酸化イットリウム成形体を
緻密化させるのに要する温度が低下し、例えば、180
0℃程度の比較的低温での焼結で緻密な焼結体が作製で
きる。真空中にて処理する温度が300℃よりも低いと
焼結温度を低下させる効果が得られない。また、真空中
にて処理する温度が1700℃以上になると、その後、
2000℃以上に昇温しても緻密なルテニウム−酸化イ
ットリウム焼結体は得られない。
イットリウム焼結体の製造方法によれば、室温から30
0℃〜1700℃の任意の温度までを真空中にて処理す
ることにより、ルテニウム−酸化イットリウム成形体を
緻密化させるのに要する温度が低下し、例えば、180
0℃程度の比較的低温での焼結で緻密な焼結体が作製で
きる。真空中にて処理する温度が300℃よりも低いと
焼結温度を低下させる効果が得られない。また、真空中
にて処理する温度が1700℃以上になると、その後、
2000℃以上に昇温しても緻密なルテニウム−酸化イ
ットリウム焼結体は得られない。
【0008】
【実施例】以下、本発明のルテニウム−酸化イットリウ
ム焼結体の製造方法について説明する。
ム焼結体の製造方法について説明する。
【0009】まず、ルテニウム粉末と酸化イットリウム
粉末を所定量秤量し、常法にしたがって混合する。
粉末を所定量秤量し、常法にしたがって混合する。
【0010】この際、混合方法としてはエタノール、ア
セトン、ベンゼン、水などの混合媒体を用いた湿式によ
る混合方法でも、乾式による混合方法でもよい。さらに
成形性を高めるためのバインダーやルテニウム粉末と酸
化イットリウム粉末が均一に混合されるように分散剤を
使用することができる。
セトン、ベンゼン、水などの混合媒体を用いた湿式によ
る混合方法でも、乾式による混合方法でもよい。さらに
成形性を高めるためのバインダーやルテニウム粉末と酸
化イットリウム粉末が均一に混合されるように分散剤を
使用することができる。
【0011】次いで、得られた混合物を造粒し、所定の
圧力でプレス成形する。なお、成形体はプレス成形法の
ほか、射出成形法、押出成形法、鋳込み成形法、ドクタ
ーブレード法などを用いて得ることができる。
圧力でプレス成形する。なお、成形体はプレス成形法の
ほか、射出成形法、押出成形法、鋳込み成形法、ドクタ
ーブレード法などを用いて得ることができる。
【0012】そして、得られたルテニウム−酸化イット
リウム成形体を黒鉛ヒータ焼結炉に挿入して焼結処理を
行なう。このとき室温から300℃〜1700℃の任意
の温度までは真空中にて昇温する。このとき、引続き真
空中にて、30分程度、温度を保持すると、なお効果が
大きい。その後、アルゴン雰囲気に置換し、最高温度ま
で昇温する。これによりルテニウム−酸化イットリウム
焼結体が得られる。
リウム成形体を黒鉛ヒータ焼結炉に挿入して焼結処理を
行なう。このとき室温から300℃〜1700℃の任意
の温度までは真空中にて昇温する。このとき、引続き真
空中にて、30分程度、温度を保持すると、なお効果が
大きい。その後、アルゴン雰囲気に置換し、最高温度ま
で昇温する。これによりルテニウム−酸化イットリウム
焼結体が得られる。
【0013】この際、室温から300℃〜1700℃の
任意の温度まで真空中にて昇温した後の雰囲気として
は、アルゴンのほか窒素などの不活性ガスや、水素など
の還元性ガスを使用できる。不活性ガスを用いれば焼結
炉を妨爆型にする必要がなく、水素を用いる場合に比べ
て、より一層低コストなルテニウム−酸化イットリウム
焼結体が得られる。
任意の温度まで真空中にて昇温した後の雰囲気として
は、アルゴンのほか窒素などの不活性ガスや、水素など
の還元性ガスを使用できる。不活性ガスを用いれば焼結
炉を妨爆型にする必要がなく、水素を用いる場合に比べ
て、より一層低コストなルテニウム−酸化イットリウム
焼結体が得られる。
【0014】次ぎに、本発明の一実施例について説明す
る。
る。
【0015】まず、ルテニウム粉末(インパラ製、純度
99.9%、平均粒径5μm)を70wt%、酸化イッ
トリウム粉末(日本イットリウム製、純度99.9%、
平均粒径0.4μm)を30wt%になるように秤量
し、それらをバインダー1wt%とともにエタノールを
混合媒体として遊星ボールミル中で15分間、湿式混合
した。
99.9%、平均粒径5μm)を70wt%、酸化イッ
トリウム粉末(日本イットリウム製、純度99.9%、
平均粒径0.4μm)を30wt%になるように秤量
し、それらをバインダー1wt%とともにエタノールを
混合媒体として遊星ボールミル中で15分間、湿式混合
した。
【0016】次いで、得られた混合物をスプレードライ
ヤーにより造粒して焼結用造粒粉とした。得られた造粒
粉を500kgf/cm2の圧力で一軸プレス成形した
後、2ton/cm2の圧力で冷間静水圧プレス成形し
た。
ヤーにより造粒して焼結用造粒粉とした。得られた造粒
粉を500kgf/cm2の圧力で一軸プレス成形した
後、2ton/cm2の圧力で冷間静水圧プレス成形し
た。
【0017】そして、得られたルテニウム−酸化イット
リウム成形体を黒鉛ヒータ焼結炉に挿入して焼結処理を
行なった。このとき、室温から所定の温度までは真空中
にて900℃/hrで昇温し、所定の温度でそれぞれ3
0分間保持した。そして、所定の温度を室温〜2100
℃の範囲で変えた。その後、アルゴン雰囲気に置換し、
300℃/hrで昇温した。そして、最高温度を130
0℃〜2100℃の範囲で変え、何れの場合も30分保
持した後、炉冷した。
リウム成形体を黒鉛ヒータ焼結炉に挿入して焼結処理を
行なった。このとき、室温から所定の温度までは真空中
にて900℃/hrで昇温し、所定の温度でそれぞれ3
0分間保持した。そして、所定の温度を室温〜2100
℃の範囲で変えた。その後、アルゴン雰囲気に置換し、
300℃/hrで昇温した。そして、最高温度を130
0℃〜2100℃の範囲で変え、何れの場合も30分保
持した後、炉冷した。
【0018】それぞれの温度で焼結されたルテニウム−
酸化イットリウム焼結体の密度を重量と体積から求め、
理論密度で除して相対密度(%T.D.)を算出した。
酸化イットリウム焼結体の密度を重量と体積から求め、
理論密度で除して相対密度(%T.D.)を算出した。
【0019】置換温度が室温の場合と、600℃の場合
の緻密化曲線を図2に示す。図中、黒丸で示される緻密
化曲線は室温置換の場合、白丸で示される緻密化曲線は
置換温度600℃の場合をそれぞれ示す。図2から置換
温度600℃の場合の方が、室温置換の場合に比べて、
より低温で緻密化することが分かる。また、1800℃
で焼結した場合の焼結密度に対する置換温度の影響を図
3に示す。置換温度が300℃以上の場合に焼結密度が
向上することが分かる。その後、置換温度が1500℃
を越えると焼結密度が徐々に低下する。真空中にて18
00℃以上の温度域まで処理すると、焼結密度はさらに
低下し、緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体は
得られなかった。
の緻密化曲線を図2に示す。図中、黒丸で示される緻密
化曲線は室温置換の場合、白丸で示される緻密化曲線は
置換温度600℃の場合をそれぞれ示す。図2から置換
温度600℃の場合の方が、室温置換の場合に比べて、
より低温で緻密化することが分かる。また、1800℃
で焼結した場合の焼結密度に対する置換温度の影響を図
3に示す。置換温度が300℃以上の場合に焼結密度が
向上することが分かる。その後、置換温度が1500℃
を越えると焼結密度が徐々に低下する。真空中にて18
00℃以上の温度域まで処理すると、焼結密度はさらに
低下し、緻密なルテニウム−酸化イットリウム焼結体は
得られなかった。
【0020】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のルテニウム−酸化イットリウム焼結体の製造方法
は、室温から300℃〜1700℃の任意の温度まで真
空中にて昇温するので、1700℃〜2000℃程度の
比較的低温での焼結により緻密なルテニウム−酸化イッ
トリウム電極材を製造することができる。
発明のルテニウム−酸化イットリウム焼結体の製造方法
は、室温から300℃〜1700℃の任意の温度まで真
空中にて昇温するので、1700℃〜2000℃程度の
比較的低温での焼結により緻密なルテニウム−酸化イッ
トリウム電極材を製造することができる。
【図1】本発明のルテニウム−酸化イットリウム焼結体
の製造方法の一実施例の昇温パターンを示す図である。
の製造方法の一実施例の昇温パターンを示す図である。
【図2】置換温度が室温の場合と600℃の場合の緻密
化曲線を示す図である。
化曲線を示す図である。
【図3】焼結温度が1800℃の場合における、焼結密
度に対する置換温度の影響を示す図である。
度に対する置換温度の影響を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01B 1/02 Z 7244−5G
Claims (1)
- 【請求項1】 ルテニウム粉末と酸化イットリウム粉末
を混合し、成形した後、焼結することによりルテニウム
−酸化イットリウム焼結体を製造する方法において、 室温から300℃〜1700℃の任意の温度までを真空
中にて昇温し、次いで、不活性ガス、または還元性ガス
に置換し、1700℃〜2000℃の任意の温度まで昇
温して焼結することを特徴とするルテニウム−酸化イッ
トリウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3194584A JPH0539510A (ja) | 1991-08-03 | 1991-08-03 | ルテニウム−酸化イツトリウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3194584A JPH0539510A (ja) | 1991-08-03 | 1991-08-03 | ルテニウム−酸化イツトリウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0539510A true JPH0539510A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16326975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3194584A Pending JPH0539510A (ja) | 1991-08-03 | 1991-08-03 | ルテニウム−酸化イツトリウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539510A (ja) |
-
1991
- 1991-08-03 JP JP3194584A patent/JPH0539510A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4320204A (en) | Sintered high density boron carbide | |
| JPH0672051B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体及びその製造法 | |
| EP0400090A1 (en) | HIGH RESISTANCE SILICON AZIDE. | |
| EP0384489B1 (en) | High-strength aluminium oxide | |
| JP2786719B2 (ja) | 希土類酸化物燒結体の製造方法 | |
| KR100538667B1 (ko) | 세라믹 복합구조로부터 성형체를 제조하는 방법 | |
| JPS61215253A (ja) | 酸化クロム系セラミツクス材料 | |
| JP2970131B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH05125478A (ja) | 電極材料の製造方法 | |
| JPH0867568A (ja) | 炭化ケイ素/窒化ケイ素複合材料およびその製造方法 | |
| JP2687632B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| CN116621586B (zh) | 一种WNiB陶瓷及其制备方法 | |
| JP3277295B2 (ja) | 高温型炭化珪素質発熱体の製造方法 | |
| JPH0224789B2 (ja) | ||
| JPH06329459A (ja) | 難焼結性セラミックス焼結体の製造方法 | |
| JPH0522670B2 (ja) | ||
| JPH08157262A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
| JP2694368B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH0533078A (ja) | ルテニウム−酸化イツトリウム焼結体の製造方法 | |
| JPH0733291B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH10167833A (ja) | 硼化物セラミックス及びその製造方法 | |
| JPS61174169A (ja) | 高強度部分安定化ジルコニア焼結体の製造方法 | |
| JPH07309669A (ja) | 2粒子分布を持った直接窒化法による低熱伝導窒化珪素焼結体とその製造方法 | |
| JPH04280871A (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0380156A (ja) | 導電性セラミックス及びその製造法 |