JPH0540905Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0540905Y2 JPH0540905Y2 JP2253987U JP2253987U JPH0540905Y2 JP H0540905 Y2 JPH0540905 Y2 JP H0540905Y2 JP 2253987 U JP2253987 U JP 2253987U JP 2253987 U JP2253987 U JP 2253987U JP H0540905 Y2 JPH0540905 Y2 JP H0540905Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- guide
- bearing
- slider
- moving body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は電子ビーム描画装置等のように大きな
材料や試料を高精度で移動させるためのＸ−Ｙ精
密移動装置に関する。
材料や試料を高精度で移動させるためのＸ−Ｙ精
密移動装置に関する。
［従来技術］
従来のこの種装置の一例を第４図に示してあ
る。図中、１は基体であり、例えば電子ビーム描
画装置の試料室内に固定されており、Ｘ軸方向に
溝２が設けてあり、この溝がＸ−ガイドとなる。
３はＸ方向の移動体であり、前記基体の溝２内に
嵌合され、その溝にガイドされてＸ方向に正確に
移動できる。このＸ方向移動体には試料室の外部
に駆動源を有する移動棒４が当接しており、その
軸心方向（矢印方向に）移動させることにより、
Ｘ移動体３をＸ方向に移動する。前記Ｘ方向移動
体３には前記Ｘ方向の溝２と直角な方向、つまり
Ｙ方向に伸びる溝５が設けてあり、Ｙ方向の移動
のガイドとなる。このＹ方向のガイド溝５内にテ
ーブル６が嵌合され、試料室外の駆動源に連結し
た移動棒７によつて移動させられる。前記移動棒
７の先端にはＸ軸に平行に伸びるレール８が固定
され、その上にスライダ９が滑動自在に載置され
る。このスライダの上面中心部にはベアリング１
０が取付けてある。このベアリングをＸ軸方向か
ら挟んで２個のアクチユエータ１１ａ，１１ｂが
配置され、各アクチユエータはテーブル６に固定
されたホルダ１２ａ，１２ｂに固定されている。
前記アクチユエータは、例えば電圧を印加すると
その長さが伸びるようなピエゾ素子からなり、移
動棒７を駆動するとき、即ちＹ方向の移動を行な
うときのみ該アクチユエータが働き、ベアリング
１０を両側から堅固に挟持し、スライダ９とテー
ブル６とを一体化する役目を果す。
る。図中、１は基体であり、例えば電子ビーム描
画装置の試料室内に固定されており、Ｘ軸方向に
溝２が設けてあり、この溝がＸ−ガイドとなる。
３はＸ方向の移動体であり、前記基体の溝２内に
嵌合され、その溝にガイドされてＸ方向に正確に
移動できる。このＸ方向移動体には試料室の外部
に駆動源を有する移動棒４が当接しており、その
軸心方向（矢印方向に）移動させることにより、
Ｘ移動体３をＸ方向に移動する。前記Ｘ方向移動
体３には前記Ｘ方向の溝２と直角な方向、つまり
Ｙ方向に伸びる溝５が設けてあり、Ｙ方向の移動
のガイドとなる。このＹ方向のガイド溝５内にテ
ーブル６が嵌合され、試料室外の駆動源に連結し
た移動棒７によつて移動させられる。前記移動棒
７の先端にはＸ軸に平行に伸びるレール８が固定
され、その上にスライダ９が滑動自在に載置され
る。このスライダの上面中心部にはベアリング１
０が取付けてある。このベアリングをＸ軸方向か
ら挟んで２個のアクチユエータ１１ａ，１１ｂが
配置され、各アクチユエータはテーブル６に固定
されたホルダ１２ａ，１２ｂに固定されている。
前記アクチユエータは、例えば電圧を印加すると
その長さが伸びるようなピエゾ素子からなり、移
動棒７を駆動するとき、即ちＹ方向の移動を行な
うときのみ該アクチユエータが働き、ベアリング
１０を両側から堅固に挟持し、スライダ９とテー
ブル６とを一体化する役目を果す。
このような構成の装置において、テーブルをＹ
方向に移動させたい場合にはアクチユエータ１１
ａ，１１ｂに電圧を印加し、ベアリング１０を両
アクチユエータにより堅固に挟持し、スライダ９
とテーブル６とを一体化した後移動棒７を矢印方
向に移動させると、スライダ９がレール８に押さ
れ（又は引かれ）てテーブル６が溝５にガイドさ
れてＹ方向に移動する。このとき、移動棒７の駆
動方向と溝５のガイドによるテーブルのＹ方向の
移動方向に若干のずれがある場合には、スライダ
９がレール８上をＸ方向に滑り、そのずれを吸収
する。一方、テーブルをＸ方向に移動させる場合
には、前記アクチユエータ１１ａ，１１ｂへの電
圧印加を解除し、テーブル６とスライダ９の一体
化を解除した後、移動棒４を駆動すると移動体３
がＸ方向に移動し、その上に載置されたテーブル
が同方向に移動する。従つて、両移動棒４，７を
適宜駆動すれば、テーブル６を任意なＸ，Ｙ方向
に移動できる。
方向に移動させたい場合にはアクチユエータ１１
ａ，１１ｂに電圧を印加し、ベアリング１０を両
アクチユエータにより堅固に挟持し、スライダ９
とテーブル６とを一体化した後移動棒７を矢印方
向に移動させると、スライダ９がレール８に押さ
れ（又は引かれ）てテーブル６が溝５にガイドさ
れてＹ方向に移動する。このとき、移動棒７の駆
動方向と溝５のガイドによるテーブルのＹ方向の
移動方向に若干のずれがある場合には、スライダ
９がレール８上をＸ方向に滑り、そのずれを吸収
する。一方、テーブルをＸ方向に移動させる場合
には、前記アクチユエータ１１ａ，１１ｂへの電
圧印加を解除し、テーブル６とスライダ９の一体
化を解除した後、移動棒４を駆動すると移動体３
がＸ方向に移動し、その上に載置されたテーブル
が同方向に移動する。従つて、両移動棒４，７を
適宜駆動すれば、テーブル６を任意なＸ，Ｙ方向
に移動できる。
［考案が解決しようとする問題点］
このような装置において、テーブル６をＸ方向
に移動させたとき、ベアリング１０はアクチユエ
ータ１１ａ，１１ｂに対しフリーであるが、この
アクチユエータに押されてベアリングとそれを固
定しているスライダ９がＸ方向に移動する。この
とき、レール８上をスライダ９が移動する抵抗は
テーブル６の移動に直接負荷として掛るので、こ
のスライダの抵抗が大きいと移動棒４とスライダ
のＹ方向における位置が大きくずれているので、
テーブル６に大きな回転モーメントが加わり、テ
ーブルが蛇行するようになり、正確な移動が行な
えなくなる。又、Ｙ方向移動用の移動棒７の先端
にレール８を固定し、その上にスライダ９とベア
リング１０を載せてあるので、それらの重量が全
てＹ軸移動棒に掛り、該移動棒の移動精度に影響
を来たすという欠点を有している。
に移動させたとき、ベアリング１０はアクチユエ
ータ１１ａ，１１ｂに対しフリーであるが、この
アクチユエータに押されてベアリングとそれを固
定しているスライダ９がＸ方向に移動する。この
とき、レール８上をスライダ９が移動する抵抗は
テーブル６の移動に直接負荷として掛るので、こ
のスライダの抵抗が大きいと移動棒４とスライダ
のＹ方向における位置が大きくずれているので、
テーブル６に大きな回転モーメントが加わり、テ
ーブルが蛇行するようになり、正確な移動が行な
えなくなる。又、Ｙ方向移動用の移動棒７の先端
にレール８を固定し、その上にスライダ９とベア
リング１０を載せてあるので、それらの重量が全
てＹ軸移動棒に掛り、該移動棒の移動精度に影響
を来たすという欠点を有している。
そこで本考案は、上記従来の欠点を克服し、高
精度の移動を可能にする移動装置を提供すること
を目的とするものである。
精度の移動を可能にする移動装置を提供すること
を目的とするものである。
［問題を解決するための手段］
本考案はＸ方向移動体、この移動体の移動を案
内するＸ−ガイド、前記Ｘ方向移動を移動させる
駆動機構、前記Ｘ方向移動体に設置されＸ−ガイ
ドと直角をなすＹ−ガイド、このＹガイドに案内
されるＹ方向移動体、このＹ方向移動体上に配置
されＹ−ガイドに案内されるテーブル、前記Ｙ方
向移動体を移動させるための駆動機構、この駆動
機構の先端部に取付けられたＸ方向に延びたレー
ル状部材、Ｙ方向に並置され前記レール状部材を
両側から挟持する一対のベアリング、前記テーブ
ル内の略中心部において前記Ｙ方向移動体に取付
けられた第２のベアリング及びこの第２のベアリ
ングをＸ軸方向から挟むように前記テーブル内に
取付けられ、Ｙ方向の移動のときのみ作動させて
該第２のベアリングを挟持しＹ方向移動体とテー
ブルとを一体化するための一対のアクチユエータ
からなるＸ−Ｙ精密移動装置に構造的特徴があ
る。
内するＸ−ガイド、前記Ｘ方向移動を移動させる
駆動機構、前記Ｘ方向移動体に設置されＸ−ガイ
ドと直角をなすＹ−ガイド、このＹガイドに案内
されるＹ方向移動体、このＹ方向移動体上に配置
されＹ−ガイドに案内されるテーブル、前記Ｙ方
向移動体を移動させるための駆動機構、この駆動
機構の先端部に取付けられたＸ方向に延びたレー
ル状部材、Ｙ方向に並置され前記レール状部材を
両側から挟持する一対のベアリング、前記テーブ
ル内の略中心部において前記Ｙ方向移動体に取付
けられた第２のベアリング及びこの第２のベアリ
ングをＸ軸方向から挟むように前記テーブル内に
取付けられ、Ｙ方向の移動のときのみ作動させて
該第２のベアリングを挟持しＹ方向移動体とテー
ブルとを一体化するための一対のアクチユエータ
からなるＸ−Ｙ精密移動装置に構造的特徴があ
る。
［実施例］
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は第１図のＡ−Ａ断面図であり、第４図と同符
号は同様な構成部材を示してある。本実施例にお
いてはＸ方向移動体３上にレール５′を設けてＹ
方向のガイドを形成している。このＹ方向ガイド
５′にはスライダ（Ｙ方向移動体）１３が摺動自
在に係合され、該スライダ１３及び前記Ｙ方向ガ
イドレール５′に跨つてテーブル６を配置してあ
る。テーブル６はレール５′に沿つてのみ移動し、
Ｘ方向に対しては該レールと一体化し、Ｘ方向移
動体３と一緒に移動する。前記スライダ１３上に
はＹ軸に沿つて２個のベアリング１４ａ，１４ｂ
が固定され、その間にＹ方向の移動棒７の先端に
固定したＸ方向に伸びたレール１５を挟んでお
り、スライダ１３がレール１５に対し、円滑に移
動できるように構成している。前記スライダ１３
の上のテーブルの中心に位置には第２のベアリン
グ１６が固定してあり、このベアリングをＸ軸方
向から挟んで２個のアクチユエータ１７ａ，１７
ｂを配置し、このアクチユエータはテーブル６の
内壁に固定する。このアクチユエータはテーブル
６の内壁に固定する。このアクチユエータはピエ
ゾ素子等の電圧の印加により伸縮する部材で形成
されており、Ｙ方向へのテーブルの移動時に電圧
を印加し、スライダ１３とテーブル６とを一体化
する働きをする。
図は第１図のＡ−Ａ断面図であり、第４図と同符
号は同様な構成部材を示してある。本実施例にお
いてはＸ方向移動体３上にレール５′を設けてＹ
方向のガイドを形成している。このＹ方向ガイド
５′にはスライダ（Ｙ方向移動体）１３が摺動自
在に係合され、該スライダ１３及び前記Ｙ方向ガ
イドレール５′に跨つてテーブル６を配置してあ
る。テーブル６はレール５′に沿つてのみ移動し、
Ｘ方向に対しては該レールと一体化し、Ｘ方向移
動体３と一緒に移動する。前記スライダ１３上に
はＹ軸に沿つて２個のベアリング１４ａ，１４ｂ
が固定され、その間にＹ方向の移動棒７の先端に
固定したＸ方向に伸びたレール１５を挟んでお
り、スライダ１３がレール１５に対し、円滑に移
動できるように構成している。前記スライダ１３
の上のテーブルの中心に位置には第２のベアリン
グ１６が固定してあり、このベアリングをＸ軸方
向から挟んで２個のアクチユエータ１７ａ，１７
ｂを配置し、このアクチユエータはテーブル６の
内壁に固定する。このアクチユエータはテーブル
６の内壁に固定する。このアクチユエータはピエ
ゾ素子等の電圧の印加により伸縮する部材で形成
されており、Ｙ方向へのテーブルの移動時に電圧
を印加し、スライダ１３とテーブル６とを一体化
する働きをする。
このような装置において、移動棒４を矢印方向
に駆動すると、Ｘ方向移動体３が溝２に案内され
て移動し、その上に載置されたテーブル６はレー
ル５′に押されて同方向に移動する。このとき、
アクチユエータ１７ａ，１７ｂには電圧が印加さ
れていないので、スライダ１３とテーブル６とは
一体化されておらず、Ｘ方向ガイド溝２の方向と
レール１５の方向が多少ずれていても、スライダ
がＹ方向に逃げてＸ方向の移動に支障を来すこと
はない。一方、Ｙ方向の移動時にはアクチユエー
タ１７ａ，１７ｂに電圧を印加し、移動棒７を駆
動させると、テーブル６とスライダ１３とが一体
化しているので、レール１５及びベアリング１４
ａ，１４ｂを介してスライダが移動し、それと一
緒にベアリング１６、アクチユエータ１７ａ，１
７ｂを介してテーブル６がＹ方向に移動する。こ
のとき、Ｙ方向移動棒７の移動方向とレール５′
の方向がずれていても、移動棒の先端のレール１
５がベアリング１４ａ，１４ｂの間で移動し、該
Ｙ方向の移動を妨げることはない。又、スライダ
１３の回転はその中心がテーブルの中心部にある
ベアリング１６であるので、該ベアリングにより
吸収され、テーブル６には伝達しない。
に駆動すると、Ｘ方向移動体３が溝２に案内され
て移動し、その上に載置されたテーブル６はレー
ル５′に押されて同方向に移動する。このとき、
アクチユエータ１７ａ，１７ｂには電圧が印加さ
れていないので、スライダ１３とテーブル６とは
一体化されておらず、Ｘ方向ガイド溝２の方向と
レール１５の方向が多少ずれていても、スライダ
がＹ方向に逃げてＸ方向の移動に支障を来すこと
はない。一方、Ｙ方向の移動時にはアクチユエー
タ１７ａ，１７ｂに電圧を印加し、移動棒７を駆
動させると、テーブル６とスライダ１３とが一体
化しているので、レール１５及びベアリング１４
ａ，１４ｂを介してスライダが移動し、それと一
緒にベアリング１６、アクチユエータ１７ａ，１
７ｂを介してテーブル６がＹ方向に移動する。こ
のとき、Ｙ方向移動棒７の移動方向とレール５′
の方向がずれていても、移動棒の先端のレール１
５がベアリング１４ａ，１４ｂの間で移動し、該
Ｙ方向の移動を妨げることはない。又、スライダ
１３の回転はその中心がテーブルの中心部にある
ベアリング１６であるので、該ベアリングにより
吸収され、テーブル６には伝達しない。
第３図は本考案の他の実施例を示すもので、基
体１にガイド溝を設けずにその両側面をガイドと
して使用し、Ｘ方向移動体３をその側面に係合す
る構造となし、又移動体３にはＹ方向に２個の溝
１８ａ，１８ｂを形成し、ガイドレール５′を作
ると同時にテーブル６が基体１上を摺動するよう
に構成してある。各方向の移動は第１図と同様で
ある。
体１にガイド溝を設けずにその両側面をガイドと
して使用し、Ｘ方向移動体３をその側面に係合す
る構造となし、又移動体３にはＹ方向に２個の溝
１８ａ，１８ｂを形成し、ガイドレール５′を作
ると同時にテーブル６が基体１上を摺動するよう
に構成してある。各方向の移動は第１図と同様で
ある。
［効果］
以上詳説したような構成となせば、Ｘ軸方向に
テーブル６を移動させたとき、スライダ１３はテ
ーブルに押されるのではなく、Ｙ方向のガイド
５′により押されるので、該スライダとＹ方向ガ
イドとの間に抵抗があつてもテーブルには直接モ
ーメントが作用しないので回転蛇行が生じない。
またＹ軸方向の移動は連結部がテーブルの中心に
なつているので、不要な回転力は全てベアリング
１６で逃がすことができ、テーブルの回転蛇行を
防止できる。更に、Ｙ方向移動棒７の先端に付着
する部材が少なく軽量であるので、Ｙ方向移動棒
の剛性が保たれ、移動の精度を向上できる。
テーブル６を移動させたとき、スライダ１３はテ
ーブルに押されるのではなく、Ｙ方向のガイド
５′により押されるので、該スライダとＹ方向ガ
イドとの間に抵抗があつてもテーブルには直接モ
ーメントが作用しないので回転蛇行が生じない。
またＹ軸方向の移動は連結部がテーブルの中心に
なつているので、不要な回転力は全てベアリング
１６で逃がすことができ、テーブルの回転蛇行を
防止できる。更に、Ｙ方向移動棒７の先端に付着
する部材が少なく軽量であるので、Ｙ方向移動棒
の剛性が保たれ、移動の精度を向上できる。
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は本考案の他
の実施例を示す斜視図、第４図は従来の装置の一
例を示す斜視図である。 １……基体、２……Ｘ方向ガイド、３……Ｘ方
向移動体、４……Ｘ方向移動棒、５′……Ｙ方向
ガイド、６……テーブル、７……Ｙ方向移動棒、
１３……スライダ、１４ａ，１４ｂ……ベアリン
グ、１５……レール、１６……第２のベアリン
グ、１７ａ，１７ｂ……アクチユエータ。
図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は本考案の他
の実施例を示す斜視図、第４図は従来の装置の一
例を示す斜視図である。 １……基体、２……Ｘ方向ガイド、３……Ｘ方
向移動体、４……Ｘ方向移動棒、５′……Ｙ方向
ガイド、６……テーブル、７……Ｙ方向移動棒、
１３……スライダ、１４ａ，１４ｂ……ベアリン
グ、１５……レール、１６……第２のベアリン
グ、１７ａ，１７ｂ……アクチユエータ。
Claims (1)
- Ｘ方向移動体、この移動体の移動を案内するＸ
−ガイド、前記Ｘ方向移動体を移動させる駆動機
構、前記Ｘ方向移動体に設置されＸ−ガイドと直
角をなすＹ−ガイド、このＹ−ガイドに案内され
るＹ方向移動体、このＹ方向移動体上に配置され
Ｙ−ガイドに案内されるテーブル、前記Ｙ方向移
動体を移動させるための駆動機構、この駆動機構
の先端部に取付けられたＸ方向に延びたレール状
部材、Ｙ方向に並置され前記レール状部材を両側
から挟持する一対のベアリング、前記テーブル内
の略中心部において前記Ｙ方向移動体に取付けら
れた第２のベアリング及びこの第２のベアリング
をＸ軸方向から挟むように前記テーブル内に取付
けられ、Ｙ方向の移動のときのみ作動させて該第
２のベアリングを挟持しＹ方向移動体とテーブル
とを一体化するための一対のアクチユエータから
なるＸ−Ｙ精密移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253987U JPH0540905Y2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253987U JPH0540905Y2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131335U JPS63131335U (ja) | 1988-08-26 |
| JPH0540905Y2 true JPH0540905Y2 (ja) | 1993-10-18 |
Family
ID=30820020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2253987U Expired - Lifetime JPH0540905Y2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0540905Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP2253987U patent/JPH0540905Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63131335U (ja) | 1988-08-26 |
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