JPH0542466A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
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- JPH0542466A JPH0542466A JP22824891A JP22824891A JPH0542466A JP H0542466 A JPH0542466 A JP H0542466A JP 22824891 A JP22824891 A JP 22824891A JP 22824891 A JP22824891 A JP 22824891A JP H0542466 A JPH0542466 A JP H0542466A
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- Japan
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- slider member
- jig
- magnetic head
- angle
- medium facing
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- Pending
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Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】テーパ面形成作業能率を従来よりも著しく向上
させ得る磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】回転砥石９と、支持装置１１とを有する研削装
置を用いる。スライダ部材１３を取付けた治具１２を、
スライダ部材１３の媒体対向面１３１が回転砥石９の回
転平面９１に対して角度θを持つように、支持装置１１
に取付ける。回転砥石９または支持装置１１を相対移動
させ、スライダ部材１３の媒体対向面１３１を回転砥石
９の回転平面９１に接触させて研削し、角度θに応じた
テーパ面を付与する。
させ得る磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】回転砥石９と、支持装置１１とを有する研削装
置を用いる。スライダ部材１３を取付けた治具１２を、
スライダ部材１３の媒体対向面１３１が回転砥石９の回
転平面９１に対して角度θを持つように、支持装置１１
に取付ける。回転砥石９または支持装置１１を相対移動
させ、スライダ部材１３の媒体対向面１３１を回転砥石
９の回転平面９１に接触させて研削し、角度θに応じた
テーパ面を付与する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スライダの媒体対向面
にテーパ面を有する磁気ヘッドの製造方法に関する。
にテーパ面を有する磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置には、磁気
記録媒体の走行によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微少な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する磁気ヘッドが用いられている。図６は従来の
この種の磁気ヘッドの斜視図である。図において、１は
スライダ、２は磁気変換素子である。スライダ１はセラ
ミック構造体でなり、図示しない磁気記録媒体と対向す
る媒体対向面側に、レール部１０１、１０２を有し、こ
のレール部１０１、１０２の表面を空気ベアリング面と
して作用させると共に、磁気記録媒体との組合せにおい
て矢印ａの方向に流れる空気流に対して空気流入端とな
るレール部１０１、１０２の一端部側に、テーパ面１０
３、１０４を有する構造となっている。磁気変換素子２
はスライダ１の一端部に設けられる。磁気変換素子２と
しては、ウインチェスタ型、コンポジット型またはＩＣ
製造テクノロジト同様のプロセスに従って集積された薄
膜型のもの等が用いられる。図示は薄膜型磁気変換素子
の例を示している。
記録媒体の走行によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微少な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する磁気ヘッドが用いられている。図６は従来の
この種の磁気ヘッドの斜視図である。図において、１は
スライダ、２は磁気変換素子である。スライダ１はセラ
ミック構造体でなり、図示しない磁気記録媒体と対向す
る媒体対向面側に、レール部１０１、１０２を有し、こ
のレール部１０１、１０２の表面を空気ベアリング面と
して作用させると共に、磁気記録媒体との組合せにおい
て矢印ａの方向に流れる空気流に対して空気流入端とな
るレール部１０１、１０２の一端部側に、テーパ面１０
３、１０４を有する構造となっている。磁気変換素子２
はスライダ１の一端部に設けられる。磁気変換素子２と
しては、ウインチェスタ型、コンポジット型またはＩＣ
製造テクノロジト同様のプロセスに従って集積された薄
膜型のもの等が用いられる。図示は薄膜型磁気変換素子
の例を示している。
【０００３】スライダ１のレール部１０１、１０２の表
面またはテーパ面１０３、１０４は例えば特開平０１ー
１５３２６４号公報、特開平０１ー１５３２６５号公報
に開示されている研磨方法によって研磨される。図７に
従来の研磨方法を示す。図において、３は治具、４はス
ライダ部材、５はダミー片、６は回転体である。治具３
は第１の治具３１と、第２の治具３２とを有する。第１
の治具３１は矩形平板状に形成され、第２の治具３２
は、研磨側の面にスライダ部材４を貼付し、側端面を瞬
間接着剤またはホットメルト樹脂等の接着剤７を用いて
第１の治具３１の４つの側端面にそれぞれ接合する。接
合に当って、図８に拡大して示すように、接合面にテー
パ面１０３、１０４において要求されるテーパ角θを付
する。
面またはテーパ面１０３、１０４は例えば特開平０１ー
１５３２６４号公報、特開平０１ー１５３２６５号公報
に開示されている研磨方法によって研磨される。図７に
従来の研磨方法を示す。図において、３は治具、４はス
ライダ部材、５はダミー片、６は回転体である。治具３
は第１の治具３１と、第２の治具３２とを有する。第１
の治具３１は矩形平板状に形成され、第２の治具３２
は、研磨側の面にスライダ部材４を貼付し、側端面を瞬
間接着剤またはホットメルト樹脂等の接着剤７を用いて
第１の治具３１の４つの側端面にそれぞれ接合する。接
合に当って、図８に拡大して示すように、接合面にテー
パ面１０３、１０４において要求されるテーパ角θを付
する。
【０００４】回転体６は図示しないモータ等により、矢
印で示すａ1 方向に回転駆動される。回転体６は、例え
ばスズ等の軟質金属部材を用いて円板状に形成された研
磨部材６１の背面に、例えばステンレス等の金属材料に
よって円板状に形成された支持部材６２を、接着剤６３
によって一体的に面接合させてある。
印で示すａ1 方向に回転駆動される。回転体６は、例え
ばスズ等の軟質金属部材を用いて円板状に形成された研
磨部材６１の背面に、例えばステンレス等の金属材料に
よって円板状に形成された支持部材６２を、接着剤６３
によって一体的に面接合させてある。
【０００５】研磨に当っては、回転体６を矢印ａ1 方向
に面回転させ、かつ、研磨部材６１の表面にダイヤモン
ド粒子等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材６１の
表面にスライダ部材の端面を接触させる。治具３は矢印
ｂ1 またはｂ2 で示す回転半径方向に平行移動させ、研
磨部材６１の表面６１０の全面で研磨が行なわれるよう
にする。矢印ａ2 は治具３の自転の方向を示している。
に面回転させ、かつ、研磨部材６１の表面にダイヤモン
ド粒子等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材６１の
表面にスライダ部材の端面を接触させる。治具３は矢印
ｂ1 またはｂ2 で示す回転半径方向に平行移動させ、研
磨部材６１の表面６１０の全面で研磨が行なわれるよう
にする。矢印ａ2 は治具３の自転の方向を示している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た研磨方法には次のような問題点がある。 （Ａ）研磨工程に長時間を必要とし、作業能率が悪い。
例えば１０分程度の研磨時間が必要であった。 （Ｂ）第１の治具３１と第２の治具３２として、側端面
にテーパ角θの傾斜面を付したものを使用しなければな
らないため、治具３の製造が容易でない。また、平面研
磨の際の治具とテーパ研磨の際の治具とを、別々に用い
なければならない煩わしさがある。これらも、研磨作業
能率を低下させる。 （Ｃ）接着剤７の状態によって、テーパ角θが変動し易
い。
た研磨方法には次のような問題点がある。 （Ａ）研磨工程に長時間を必要とし、作業能率が悪い。
例えば１０分程度の研磨時間が必要であった。 （Ｂ）第１の治具３１と第２の治具３２として、側端面
にテーパ角θの傾斜面を付したものを使用しなければな
らないため、治具３の製造が容易でない。また、平面研
磨の際の治具とテーパ研磨の際の治具とを、別々に用い
なければならない煩わしさがある。これらも、研磨作業
能率を低下させる。 （Ｃ）接着剤７の状態によって、テーパ角θが変動し易
い。
【０００７】そこで、本発明の課題は、上述した従来の
問題点を解決し、テーパ面形成作業能率を従来よりも著
しく向上させ得る磁気ヘッドの製造方法を提供すること
である。
問題点を解決し、テーパ面形成作業能率を従来よりも著
しく向上させ得る磁気ヘッドの製造方法を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明は、スライダの媒体対向面側にテーパ面を有
する磁気ヘッドの製造方法であって、回転砥石と、支持
装置とを有する研削装置を用い、スライダ部材を取付け
た治具を、前記スライダ部材の前記媒体対向面が前記回
転砥石の回転平面に対して角度を持つように、前記支持
装置に取付け、前記回転砥石または前記支持装置を相対
移動させ、前記スライダ部材の媒体対向面を前記回転砥
石の回転平面に接触させて研削し、前記角度に応じたテ
ーパ面を付与することを特徴とする。
め、本発明は、スライダの媒体対向面側にテーパ面を有
する磁気ヘッドの製造方法であって、回転砥石と、支持
装置とを有する研削装置を用い、スライダ部材を取付け
た治具を、前記スライダ部材の前記媒体対向面が前記回
転砥石の回転平面に対して角度を持つように、前記支持
装置に取付け、前記回転砥石または前記支持装置を相対
移動させ、前記スライダ部材の媒体対向面を前記回転砥
石の回転平面に接触させて研削し、前記角度に応じたテ
ーパ面を付与することを特徴とする。
【０００９】
【作用】スライダ部材を取付けた治具を、スライダ部材
の媒体対向面が回転砥石の回転平面に対して角度を持つ
ように、支持装置に取付け、回転砥石または支持装置を
相対移動させ、スライダ部材の媒体対向面を回転砥石の
回転平面に接触させて研削し、角度に応じたテーパ面を
付与するので、従来よりテーパ面付与工程が著しく短縮
される。従来、１０分程度必要であったテーパ面付与工
程時間が１分程度まで短縮できる。
の媒体対向面が回転砥石の回転平面に対して角度を持つ
ように、支持装置に取付け、回転砥石または支持装置を
相対移動させ、スライダ部材の媒体対向面を回転砥石の
回転平面に接触させて研削し、角度に応じたテーパ面を
付与するので、従来よりテーパ面付与工程が著しく短縮
される。従来、１０分程度必要であったテーパ面付与工
程時間が１分程度まで短縮できる。
【００１０】テーパ角は回転砥石の回転面に対するスラ
イダ部材の媒体対向面の角度付けによって得られる。こ
のため、テーパ角の設定が容易になる。
イダ部材の媒体対向面の角度付けによって得られる。こ
のため、テーパ角の設定が容易になる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法に
用いられる研削装置の構成を概略的に示す図である。図
において、９は回転砥石、１０は駆動装置、１１は支持
装置、１２は治具、１３はスライダ部材、１４は研削観
察用の顕微鏡ある。回転砥石９はモータ（図示しない）
により回転軸Ｏを中心にして回転するように駆動される
と共に、矢印Ｘ１またはＸ２の方向に直線往復運動をす
る。回転砥石９としては、２００Å〜４００Å程度の粒
度を有するダイヤモンドホイールが適している。また、
回転砥石９は、直径１２０ｍｍで、４０００ｒ．ｐ．ｍ
程度の回転数とし、１００〜２００ｍｍ／分程度の直線
送りを加えて駆動することが望ましい。回転砥石９の回
転駆動用モータ及び直線送り機構等は、駆動装置１０の
内部に備えられている。回転砥石９に直線送り機能を持
たせる代り、支持装置１１に直線送り機能を持たせても
よい。
用いられる研削装置の構成を概略的に示す図である。図
において、９は回転砥石、１０は駆動装置、１１は支持
装置、１２は治具、１３はスライダ部材、１４は研削観
察用の顕微鏡ある。回転砥石９はモータ（図示しない）
により回転軸Ｏを中心にして回転するように駆動される
と共に、矢印Ｘ１またはＸ２の方向に直線往復運動をす
る。回転砥石９としては、２００Å〜４００Å程度の粒
度を有するダイヤモンドホイールが適している。また、
回転砥石９は、直径１２０ｍｍで、４０００ｒ．ｐ．ｍ
程度の回転数とし、１００〜２００ｍｍ／分程度の直線
送りを加えて駆動することが望ましい。回転砥石９の回
転駆動用モータ及び直線送り機構等は、駆動装置１０の
内部に備えられている。回転砥石９に直線送り機能を持
たせる代り、支持装置１１に直線送り機能を持たせても
よい。
【００１２】支持装置１１は、支持台１１１の上にクラ
ンプテーブル１１２を有し、クランプテーブル１１２の
上に治具１３を取付け固定してある。クランプテーブル
１１２に対する治具１２の取付け固定は、例えば真空吸
着等によって行なう。
ンプテーブル１１２を有し、クランプテーブル１１２の
上に治具１３を取付け固定してある。クランプテーブル
１１２に対する治具１２の取付け固定は、例えば真空吸
着等によって行なう。
【００１３】治具１２は、その一面上にスライダ部材１
３を備え、スライダ部材１３を設けた面とは反対側の面
を、クランプテーブル１１２に面接触させて固定してあ
る。図４は治具１２とスライダ部材１３の組合せ構造を
示す斜視図である。治具１２は金属材料を用いて角柱状
に形成し、その一面上にスライダ部材１３を接着剤１５
を用いて接着固定してある。スライダ部材１３は、図示
では、複数の磁気ヘッド素子Ｑ１〜Ｑ８を有し、各磁気
ヘッド素子Ｑ１〜Ｑ８に対するレール部溝入れ加工を終
了したヘッドピース集合体となっている。
３を備え、スライダ部材１３を設けた面とは反対側の面
を、クランプテーブル１１２に面接触させて固定してあ
る。図４は治具１２とスライダ部材１３の組合せ構造を
示す斜視図である。治具１２は金属材料を用いて角柱状
に形成し、その一面上にスライダ部材１３を接着剤１５
を用いて接着固定してある。スライダ部材１３は、図示
では、複数の磁気ヘッド素子Ｑ１〜Ｑ８を有し、各磁気
ヘッド素子Ｑ１〜Ｑ８に対するレール部溝入れ加工を終
了したヘッドピース集合体となっている。
【００１４】治具１２は、図２に示すように、スライダ
部材１３の媒体対向面１３１が回転砥石９の回転平面９
１に対して角度θを持つように、支持装置１１のクラン
プテーブル１１２に取付けてある。
部材１３の媒体対向面１３１が回転砥石９の回転平面９
１に対して角度θを持つように、支持装置１１のクラン
プテーブル１１２に取付けてある。
【００１５】テーパ面加工プロセスでは、図２に示すよ
うに、回転砥石８を矢印Ｘ１の方向に直線的に移動さ
せ、図３に示すように、スライダ部材１３の媒体対向面
１３１を回転砥石９の回転平面９１に接触させて研削す
る。これにより、角度θに応じたテーパ面１３２を付与
する。テーパ面研削加工が終了した後は、回転砥石９を
矢印Ｘ２の方向に直線的に後退させる。図５は上述のテ
ーパ面加工プロセスを終了した後のスライダ部材１３及
び治具１２の斜視図であり、各磁気ヘッド素子Ｑ１〜Ｑ
８にテーパ面１３２が付与されている。
うに、回転砥石８を矢印Ｘ１の方向に直線的に移動さ
せ、図３に示すように、スライダ部材１３の媒体対向面
１３１を回転砥石９の回転平面９１に接触させて研削す
る。これにより、角度θに応じたテーパ面１３２を付与
する。テーパ面研削加工が終了した後は、回転砥石９を
矢印Ｘ２の方向に直線的に後退させる。図５は上述のテ
ーパ面加工プロセスを終了した後のスライダ部材１３及
び治具１２の斜視図であり、各磁気ヘッド素子Ｑ１〜Ｑ
８にテーパ面１３２が付与されている。
【００１６】上述のように、スライダ部材１３は媒体対
向面１３１が回転砥石９の回転平面９１に対して角度θ
を持つように、支持装置１１に取付け、回転砥石９また
は支持装置１１を相対移動させ、スライダ部材１３の媒
体対向面１３１を回転砥石９の回転平面９１に接触させ
て研削し、角度θに応じたテーパ面１３２を付与するの
で、従来は１０分程度必要であったテーパ面付与工程時
間を１分程度まで短縮し得る。
向面１３１が回転砥石９の回転平面９１に対して角度θ
を持つように、支持装置１１に取付け、回転砥石９また
は支持装置１１を相対移動させ、スライダ部材１３の媒
体対向面１３１を回転砥石９の回転平面９１に接触させ
て研削し、角度θに応じたテーパ面１３２を付与するの
で、従来は１０分程度必要であったテーパ面付与工程時
間を１分程度まで短縮し得る。
【００１７】しかも、テーパ角θは回転砥石９の回転面
９１に対するスライダ部材１３の媒体対向面１３１の角
度付けによって得られる。このため、テーパ角設定が容
易になる。
９１に対するスライダ部材１３の媒体対向面１３１の角
度付けによって得られる。このため、テーパ角設定が容
易になる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）回転砥石と、支持装置とを有する研削装置を用
い、スライダ部材を取付けた治具を、スライダ部材の媒
体対向面が回転砥石の回転平面に対して角度を持つよう
に、支持装置に取付け、回転砥石または支持装置を相対
移動させ、スライダ部材の媒体対向面を回転砥石の回転
平面に接触させて研削し、角度に応じたテーパ面を付与
するので、従来、１０分程度必要であったテーパ面付与
工程時間を、１分程度まで短縮し得る磁気ヘッドの製造
方法を提供できる。 （ｂ）テーパ角は回転砥石の回転面に対するスライダ部
材の媒体対向面の角付けによって得られるから、テーパ
角設定の容易な磁気ヘッドの製造方法を提供できる。
のような効果が得られる。 （ａ）回転砥石と、支持装置とを有する研削装置を用
い、スライダ部材を取付けた治具を、スライダ部材の媒
体対向面が回転砥石の回転平面に対して角度を持つよう
に、支持装置に取付け、回転砥石または支持装置を相対
移動させ、スライダ部材の媒体対向面を回転砥石の回転
平面に接触させて研削し、角度に応じたテーパ面を付与
するので、従来、１０分程度必要であったテーパ面付与
工程時間を、１分程度まで短縮し得る磁気ヘッドの製造
方法を提供できる。 （ｂ）テーパ角は回転砥石の回転面に対するスライダ部
材の媒体対向面の角付けによって得られるから、テーパ
角設定の容易な磁気ヘッドの製造方法を提供できる。
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法に用いられ
る研削装置の構成を概略的に示す図である。
る研削装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法に用いられ
る研削装置の部分拡大図である。
る研削装置の部分拡大図である。
【図３】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の研削工程
を説明する図である。
を説明する図である。
【図４】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法に用いられ
る治具及びスライダ部材の組立体の斜視図である。
る治具及びスライダ部材の組立体の斜視図である。
【図５】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によって得
られた治具及びスライダ部材の組立体の斜視図である。
られた治具及びスライダ部材の組立体の斜視図である。
【図６】本発明の適用される磁気ヘッド例を示す斜視図
である。
である。
【図７】従来の磁気ヘッドの製造方法を示す図である。
【図８】従来の磁気ヘッドの製造方法を示す拡大図であ
る。
る。
９ 回転砥石 １１ 支持装置 １２ 治具 １３ スライダ部材
Claims (1)
- 【請求項１】 スライダの媒体対向面側にテーパ面を有
する磁気ヘッドの製造方法であって、 回転砥石と、支持装置とを有する研削装置を用い、スラ
イダ部材を取付けた治具を、前記スライダ部材の前記媒
体対向面が前記回転砥石の回転平面に対して角度を持つ
ように、前記支持装置に取付け、 前記回転砥石または前記支持装置を相対移動させ、前記
スライダ部材の媒体対向面を前記回転砥石の回転平面に
接触させて研削し、前記角度に応じたテーパ面を付与す
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22824891A JPH0542466A (ja) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22824891A JPH0542466A (ja) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0542466A true JPH0542466A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16873489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22824891A Pending JPH0542466A (ja) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542466A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5656360A (en) * | 1996-02-16 | 1997-08-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Article with holographic and retroreflective features |
-
1991
- 1991-08-13 JP JP22824891A patent/JPH0542466A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5656360A (en) * | 1996-02-16 | 1997-08-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Article with holographic and retroreflective features |
| US5866236A (en) * | 1996-02-16 | 1999-02-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Article with holographic and retroreflective features |
| US6120882A (en) * | 1996-02-16 | 2000-09-19 | 3M Innovative Properties Company | Article with holographic and retroreflective features |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011031 |