JPH0545043B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電子機器の軽量化、薄形化、小形化に
寄与する電子部品の一種であるチツプ抵抗器など
のチツプ部品の電極処理装置に関するものであ
る。

従来の技術 従来、この種のチツプ部品は、第２図に示すよ
うな構成であつた。第２図は例として角板形チツ
プ抵抗器の断面図を示しており、１はアルミナな
どの絶縁基板、２は抵抗体、３は銀系電極膜、４
はニツケル（Ni）膜、５は電気メツキ法で析出
されたはんだ（Sn−Pb系合金）〔またはスズ
（Sn）あるいは鉛（Pb）〕膜、６は上記抵抗体２
を保護するためのガラス被覆膜である。

このように従来のチツプ部品は、電極部の最外
層に低融点金層メツキ膜または低融点合金メツキ
膜（以下、これらを低融点金属メツキ膜と総称す
る）を有し、また下地層（ここではニツケル膜
５）として上記低融点金属メツキ膜よりも融点が
高く、しかも低融点金属メツキ膜と親和性のよい
材料からなる高融点金属膜または高融点合金膜
（以下、これらを高融点金属膜と総称する）が形
成された構造となつている。

このような従来の構成のチツプ部品では、電極
部の最外層が低融点金属メツキ膜から構成され、
その表面が粗面になつており、表面積が非常に大
きなものとなつている。このため、これらの膜は
異物の吸蔵やガスの吸着がしやすくなり、長期間
保存した場合には電極表面が酸化などの化学変化
を起こし、プリント基板への実装はんだ付け時に
はんだ付け不良を発生させる可能性が大であると
いう問題点があつた。また、表面を平滑なものと
するために低融点金属メツキ膜を光沢メツキで構
成した場合には、不純物（有機物）を含んでいる
ためにはんだ付け性が悪いという致命的な欠点を
有している。

さて、上述したような電極部の表面が粗面にな
つている低融点金属メツキ膜を平滑な面とするた
めの電極処理装置としては、雰囲気炉、赤外線
炉、熱風炉、熱板などを用いる加熱電極処理装置
あるいはベーパーフエイズソルダリング法
（VPS法）を利用する装置などが知られている。
その中より、一例として赤外線加熱器を利用した
チツプ部品の電極処理装置について、以下に説明
する。

第３図はこの赤外線加熱器を利用した電極処理
装置の概略構成図を示すものである。

第３図において、７は第２図に示したような構
造を有するチツプ部品、８はチツプ部品整列機、
９はフラツクス塗布機、１０は赤外線加熱器、１
１は冷却器、１２は電極処理済チツプ部品取出し
機、１３はベルト駆動部、１４は電極処理装置架
台、１５はチツプ部品搬送ベルト、１６はベルト
洗浄器である。

そして、チツプ部品の電極部の低融点金属メツ
キ膜を溶融させる工程としては、(1)チツプ部品整
列→(2)フラツクス塗布→(3)加熱溶融→(4)冷却固化
→(5)チツプ部品取出しの５工程からなつている。
すなわち、ベルト駆動部１３により搬送されるチ
ツプ部品搬送ベルト１５上にチツプ部品整列機８
よりチツプ部品７を供給し、次の工程でチツプ部
品７にフラツクスを塗布した後、トンネル式の赤
外線加熱器１０でフラツクスを塗布した電極部を
加熱溶融させ、続いてその溶融部を冷却器１１に
よつて冷却固化させ、その後電極処理済チツプ部
品取出し機１２でもつて電極処理の済んだチツプ
部品７を取出す訳である。また、チツプ部品搬送
ベルト１５はベルト洗浄器１６で洗浄された後、
再びチツプ部品７が供給されるようになつてい
る。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の電極処理装置では、各工程に
独立の設備が必要な上に、チツプ部品搬送ベルト
がフラツクスで汚れるため、洗浄器を設置しなけ
ればならない。また、そのようなことより設備が
大きくならざるを得なく、しかも各設備間のタイ
ミングをとるために（搬送ベルトで搬送されるチ
ツプ部品の移送速度と、フラツクス塗布やチツプ
部品取出しのタイミングとを同期させるため）、
精度が必要な設備にならざるを得ないという基本
的な問題点をもつものであつた。

以下に、この上述した電極処置装置のもつ問題
点について列挙する。

(1) チツプ部品の電極部を溶融した際に、互いの
チツプ部品の電極部がくつつかないように個々
のチツプ部品の間隔をとり整列しなければなら
なく、このことが量産性を阻害する大きな要因
となる。

(2) 空気中にて加熱溶融させるため、溶融金属表
面の酸化防止としてフラツクスが必要である。

(3) フラツクスを使用するため、フラツクスが加
熱されてチツプ部品に焼付き、チツプ部品の洗
浄が困難である。

(4) 加熱部はトンネル式になつているため、空気
が自由に出入りし、温度を安定化させることが
難しい。

(5) 搬送ベルトも同時に加熱されているため、加
熱および冷却に時間がかかることになり、非常
に長い炉が必要となるとともに、しかも急冷す
るためには冷却器が必要となる。

(6) 搬送ベルトにフラツクスが付着し、設備の故
障の原因にもなるので、搬送ベルトの洗浄を実
施しなければならない。

(7) 設備全体からみても機械的に動く部分が多
く、その上にフラツクスを使用しているため、
フラツクスが設備の動く部分に付着して故障を
起こし、設備の稼働率を落とす原因となりやす
い。

このように第３図に示す赤外線加熱器を利用し
た電極処理装置では、多くの問題点を有してお
り、その改善が強く求められている。

また、上述したところの他の電極処理装置にお
いても、大なり小なり、この赤外線加熱器を利用
した電極処理装置と類似した問題点を有してい
る。そして、チツプ部品の寸法は一般的に、3.2
mm×1.6mmと小さく、さらには最近では2.0mm×
1.25mmといつた非常に小さいチツプ部品が使用さ
れるようになつてきており、ますますその小形化
傾向が強くなつている。このようにチツプ部品の
寸法が非常に小さいこともあり、また上述したよ
うに従来知られているところの電極処理装置が非
常に多くの問題点を有していることもあつて、現
在のチツプ部品においては電極部の表面を平滑な
ものとする処理がほとんどなされていないのが実
情である。

本発明は上述したようなチツプ部品の電極部が
もつ問題点を解決し、チツプ部品の電極部表面積
を小にし、しかも平滑化してはんだ濡れ性の改善
と長期の保存に対してはんだ付けの信頼性を向上
させることのできる電極処理装置を提供すること
を第１の目的としている。また、本発明の第２の
目的は従来知られているところの電極処理装置の
もつ問題点を解決し、機械的に動く部分をなく
し、チツプ部品を整列することなく投入しても、
溶融時に互いのチツプ部品の電極部同志がくつつ
くことなく、溶融処理が可能で、溶融温度も精度
よくコントロールすることができ、しかもフラツ
クスを使用せずに量産性よくチツプ部品の電極処
理を行うことを目的とするものである。

問題点を解決するための手段 以上のような問題点を解決するために本発明
は、絶縁基体の両端部に、下地層として高融点金
属膜または高融点合金膜を有するとともに最外層
として低融点金属膜または低融点合金膜を有する
電極部をもつチツプ部品の電極処理装置におい
て、内部にオイルなどの高沸点液体を満たしかつ
一方の端にチツプ部品を投入する投入部を備えた
筒状容器と、上記高沸点液体に温度勾配をもたせ
るように上記筒状容器の一方の端に配された加熱
器と、上記筒状容器の他方の端に間隔をあけて配
設された２個以上のコツクとからなり、かつ上記
筒状容器の下方に上記コツクを設置するとともに
そのコツク側に処理済のチツプ部品を取出す取出
し部を備え、上記チツプ部品を投入して処理する
時は、上記コツクのうち下方のコツクを閉じると
ともに、上方のコツクを開放状態とし、処理した
チツプ部品を取出す時は、上方のコツクを閉じた
後、下方のコツクを開くものである。また、好ま
しい実施形態としては、高沸点液体として、天然
植物系オイル、天然動物系オイル、天然鉱物系オ
イル、合成シリコン系オイルまたはグリセリンの
いずれか１つを用いてなるものである。

作 用 この構成によれば、低融点金属（低融点合金）
からなる膜または層が容器中における高沸点液体
の高温部側で溶融され、低温部側で冷却されるた
め、溶融時に表面張力が働き、表面積は小さくな
つており、この状態で冷却されることによつて、
メツキ膜などで形成された低融点金属膜（低融点
合金膜）のものと比較して極めて表面積が小さく
なり、しかも表面も平滑になつて保存中に異物の
付着やガスの吸着が極端に少ないチツプ部品を得
ることができることとなる。また、溶融時に表面
あるいはくぼみの内部に吸着、吸蔵していた異
物、ガス類も放出されるので、最外層の膜自体も
不純物を含まない清潔な膜になり、はんだ濡れ性
およびはんだ付け信頼性の向上につながるチツプ
部品が得られることとなる。そして、電極処理と
しては、高沸点液体中をチツプ部品が高温部側よ
り低温部側に移動するだけであり、複雑な設備を
使用することなく、簡単にして実施することがで
きる。また、このように高沸点液体中で溶融、冷
却が行われ、しかも低温部側ではチツプ部品の電
極同志がくつつくことはないため、チツプ部品を
電極処理時に整列させることなく、バラバラの状
態で多量に投入するだけで処理ができ、しかもチ
ツプ部品が液体と接触しているために加熱、冷却
が短時間で終了することにより、非常に量産性が
高いものとなる。さらに、高沸点液体中にて溶
融、冷却が行われ、空気と触れる機会がないの
で、溶融時でも電極部表面が酸化される心配がな
いものである。また、液体中で溶融処理を行うと
いうことは、空気と比較して、溶融体（低融点金
属や低融点合金など）と接触している高沸点液体
の比重が大で、しかも粘度が大であるため、周囲
より溶融した金属に圧力をかけることになり、溶
融金属表面状態が波打たずに平滑な面になり、厚
みも均一なものができることとなる。なお、高沸
点液体として天然植物系オイルなどのオイルやグ
リセリンといつたフラツクスの作用を有した液体
を使用することにより、フラツクスは不要とな
り、そのために設備は簡素化されるとともに処理
済チツプ部品の洗浄も非常に容易なものとなる。
また、筒状容器の下方にコツク部を直列に配置し
ているので、電極処理済チツプ部品を取出す場合
には、高沸点液体の液面を変化させることなく、
しかも高沸点液体中に空気を混入させることなく
取出しが可能なものである。

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照し
ながら説明する。

第１図は本発明におけるチツプ部品の電極処理
装置の一例を示す概略構成図である。

第１図において、７は第２図に示したような構
造を有するチツプ部品で、第３図と同一符号を付
してある。１７は例えば長さ約160cm、上端側か
ら下端側にかけての大部分の内径が約９cmのガラ
ス製の筒状容器で、ここでは縦型に設置されてい
る。１８はこの容器１７中に入れられた天然植物
系オイルであるやし油、１９は上記筒状容器１７
の上部外周に設けられたマントルヒータなどの加
熱器、２０は上記筒状容器１７の上面開口部より
上記チツプ部品７をその容器１７内に投入するた
めのパーツフイーダである。

また、２１および２２は上記筒状容器１７の下
端側の細い部分に適宜の間隔をもつて直列に設け
られたコツクで、これらコツク２１，２２は電極
処理の済んだチツプ部品７を取出すために使用さ
れる。２３はこの電極処理装置に用いる高沸点液
体であるやし油１８の液面を変動させることなく
処理済みのチツプ部品７を取出すための高沸点液
体溜め容器で、上記筒状容器１７の他端先端の底
部開口部２４はこの溜め容器２３内に満たされた
やし油１８中に入つた状態となつている。２５は
上記高沸点液体溜め容器２３を動かさずに処理済
みのチツプ部品７をその溜め容器２３内のやし油
１８中より取出すための網状受け器である。

この実施例は上述したように筒状容器１７を縦
型に設置した例であり、本発明装置の基本的な構
成となるものである。

次に、この第１図の装置を用いて、チツプ部品
７の電極部表面を処理する方法について説明す
る。まず、電極処理を行う段階では、第１図に示
すように上方側のコツク２１を開き、下方側のコ
ツク２２を閉じておく。この状態でもつて、加熱
器１９でガラス製の筒状容器１７の上部を250〜
280℃に加熱する。この時、筒状容器１７の内部
にやし油１８が入つているため、やし油１８が
250〜280℃に加熱される。この加熱されたやし油
１８は比重が小になり、下部の比重が大である低
温部へは対流せずに上部のみで対流を起こす。そ
のために筒状容器１７内におけるやし油１８に上
部より下部へ向かつて高温状態から低温状態とな
る温度勾配ができ、底部側は常温を保つことがで
きる。上記のような準備の整つたところへ、やし
油１８の液面上方の投入部より筒状容器１７内に
パーツフイーダ２０からチツプ部品７を投入す
る。ここで、この実施例で使用したチツプ部品７
は角板形チツプ抵抗器で、電極部の構造が、最下
層はAg−Pd、中間層はNi、最外層（低融点金属
メツキ膜）にはSn：Pb＝60：40の厚み７〜10μｍ
の電気メツキ膜を有したものである。また、上記
最外層材料の融点は、180〜190℃である。

そして、上記仕様のチツプ部品７をパーツフイ
ーダ２０を使い、250個／分の速度で加熱された
やし油１８面に落下投入する。これにより、チツ
プ部品７はやし油１８面に当り、やし油１８中を
落下していく。この時、やし油１８とチツプ部部
７の摩擦のために、チツプ部品７は個々に分離さ
れた状態で落下し、250〜280℃に加熱された高温
部で電極の最外層であるSn−Pb合金メツキ膜が
溶融され、温度勾配の付いている低温部に落下し
ていき、やし油１８の温度がおよそ180℃以下に
なつた部分を通過した時点より溶融部が固化さ
れ、表面が滑らかな電極を有したチツプ部品７と
して筒状容器１７内における底部側のコツク２２
上に溜まる。この時、筒状容器１７の底部は常温
であるので、チツプ部品７同志が接触しても電極
同志がくつつく心配はない。そして、電極表面処
理の済んだチツプ部品７の取出しについては、上
述したように電極処理中はコツク２１を開き、コ
ツク２２を閉じている。今、処理が済めばコツク
２１を閉じ、高沸点液体溜め容器２３で筒状容器
１７の底部開口部２４を液面下に保持した状態で
コツク２２を開くと、電極処理の済んだチツプ部
品７はその自重で網状受け器２５上に落下する。
次いで、落下し終わるのを確認してから、網状受
け器２５を溜め容器２３内のやし油１８中から引
き上げることにより、取出しは終了する。

また、電極処理を続けて行う場合には、コツク
２２を閉じ、次にコツク２１を開き、パーツフイ
ーダ２０よりチツプ部品７を投入する。この工程
を繰り返すことにより、連続的な作業が可能とな
る。このようにしてチツプ部品７の低融点金属メ
ツキ膜の溶融処理が行われる。また、取出された
チツプ部品７は、その後、洗浄するだけで完成品
となる。

この電極処理装置によれば、やし油１８が下部
に流れ出ることもなく、底部開口部２４より空気
も入りこまないため、筒状容器１７内の液面を変
化させることもない。

ここで、上記の一実施例においては、高沸点液
体として天然植物系オイルであるやし油を使用し
た場合について説明したが、これはその他に天然
動物系オイル、天然鉱物系オイル、合成シリコン
系オイル、またはグリセリンなどのフラツクスの
作用を有した材料が同様の効果をもつものとして
使えるものであり、さらにはこれらの材料にとど
まらず、チツプ部品の電極部における溶融体（低
融点金属膜）の融点よりも高い沸点を有する高沸
点液体であれば使用可能なものである。また、加
熱器としてマントルヒータなどを筒状容器の上部
外周に設置した実施例について説明したが、これ
は筒状容器の上方内部に密閉型シーズヒータを設
け、内部より高沸点液体を加熱するようにしても
よいものである。さらに、筒状容器の下端側に２
個のコツクを設けた場合について説明したが、こ
れは３個以上のコツクを設けても別段差支えない
ものである。例えば、３個の場合、チツプ部品の
種類などの変更に応じてコツクの開閉操作を行う
ことにより、電極処理を中断することなく連続的
に処理を行うことが可能である。

そして、本発明装置において溶融されるチツプ
部品の電極部最外層としては、電気メツキや化学
メツキで構成された低融点金属メツキ膜（低融点
合金メツキ膜）に限られることはなく、溶射や蒸
着などにより形成された低融点金属膜（低融点合
金膜）であつても差支えないものである。また、
これらの低融点金属膜（低融点合金膜）を構成す
る材料としては、上記実施例のはんだの他に、一
般によく用いられるスズや、さらには鉛などが使
用可能なものである。

そして、低融点金属膜（低融点合金膜）の融点
は100〜550℃、膜厚は1μｍ以上であることが好
ましい。まず、融点が100℃未満の場合ははんだ
付けした後、再溶融金属膜が部品使用中に自己発
熱で溶融してしまうことがあり、550℃を超える
場合は抵抗体や被覆膜が破壊されてしまい、チツ
プ部品としての性能を保持できなくなる恐れがあ
る。また、膜厚が1μｍ未満の場合、熱処理後に
均一な膜が形成できなく、実装時におけるはんだ
付けの信頼性が落ちることになり、保管中に酸化
してしまうことにもなる。この膜厚は、８〜15μ
ｍであれば非常にはんだ付けがしやすいことが実
験により確認されている。

さらに、本発明による電極処理装置は、銅や銅
合金などのはんだ付け可能な金属膜または合金膜
を有し、最外層に低融点金属ペーストあるいは低
融点合金ペーストを塗布し乾燥させた層を有する
チツプ部品についても、適用できるものである。
この場合、下地層としてのはんだ付け可能な金属
膜（合金膜）の融点が高沸点液体の融点よりも高
いことはもちろんである。そして、この低融点金
属（低融点合金）ペーストを塗布し乾燥させた層
を最外層に有するチツプ部品を本発明装置にて電
極処理した場合、低融点金属（低融点合金）ペー
ストによる層は電気メツキ膜や化学メツキ膜で構
成されてなるものより、はんだ付け信頼性に関係
する厚みを厚くしかも均一に作る上で有利なもの
である。また、低融点金属（低融点合金）ペース
ト中には通常フラツクスが含まれているが、この
フラツクスは溶融時に高沸点液体に溶解するた
め、焼付くこともなく、効果を阻害することはな
いものである。そして、この構造のチツプ部品に
おいては、低融点金属（低融点合金）ペーストに
よる層の厚みは、乾燥状態で3μｍ以上であるこ
とが好ましく、特に25〜100μｍの厚みが適して
いる。

発明の効果 以上のように本発明におけるチツプ部品の電極
処理装置は構成されているものであり、数多くの
特徴を有している。まず、低融点金属（低融点合
金）からなる膜または層が容器中における高沸点
液体の高温部側で溶融され、低温部側で冷却され
るため、溶融時に表面張力が働き、表面積は小さ
くなつており、この状態で冷却されることによ
り、メツキ膜などで形成された低融点金属膜（低
融点合金膜）のものと比較して極めて表面積が小
さくなり、しかも表面も平滑になつて保存中に異
物の付着やガスの吸着が極端に少ないチツプ部品
を得ることができることとなる。また、溶融時に
表面あるいはくぼみの内部に吸着、吸蔵していた
異物、ガス類も放出されるので、最外層の膜自体
も不純物を含まない清潔な膜になり、はんだ濡れ
性およびはんだ付け信頼性が向上するチツプ部品
が得られることとなる。そして、電極処理として
は、高沸点液体中をチツプ部品が高温部側より低
温部側に移動するだけであり、複雑な設備を使用
することなく、簡単にして実施することができ
る。また、このように高沸点液体中で溶融、冷却
が行われ、しかも低温部側ではチツプ部品の電極
同志がくつつくことはないため、チツプ部品を電
極処理時に整列させることなく、バラバラの状態
で多量に投入するだけで処理ができ、しかもチツ
プ部品が液体と接触しているために加熱、冷却が
短時間で終了することにより、非常に量産性が高
いものとなる。さらに、高沸点液体中にて溶融、
冷却が行われ、空気と触れる機会がないので、溶
融時でも電極部表面が酸化される心配がないもの
である。また、液体中で溶融処理を行うというこ
とは、空気と比較して、溶融体（低融点金属や低
融点合金など）と接触している高沸点液体の比重
が大で、しかも粘度が大であるため、周囲より溶
融した金属に圧力をかけることになり、溶融金属
表面状態が波打たずに平滑な面になり、厚みも均
一なものができることとなる。なお、高沸点液体
として天然植物系オイルなどのオイルやグリセリ
ンといつたフラツクスの作用を有した液体を使用
することにより、フラツクスは不要となり、その
ために設備は簡素化されるとともに処理済チツプ
部品の洗浄も非常に容易なものとなる。

さらに、本発明の効果を以下に列挙する。

(1) チツプ部品を整列することなく投入できるの
で、チツプ部品の寸法に関係なく同一設備で処
理することができる。また、寸法の異なつたチ
ツプ部品を混合して処理することもできる。

(2) フラツクスを使用することなく処理できるた
め、チツプ部品の洗浄が容易であり、しかもフ
ラツクスの焼付きがなく出来上りがきれいであ
る。

(3) 熱媒体が高沸点液体のため、温度コントーロ
ールも精度が高く、高沸点液体とチツプ部品が
接触しているため、熱伝導が早く、溶融および
固化の処理が短時間ででき、しかも溶融処理の
信頼性が高い。すなわち、溶融の失敗がないも
のとなる。

(4) 高沸点液体に温度勾配を付けているため、処
理済チツプ部品を低温部に一度に山積状態で溜
めることができ、まとめて一度に取出しが可能
で、取出し作業が非常に簡素化できる。

(5) 高沸点液体の種類または比重を選ぶことによ
り、チツプ部品の液体中の通過時間を変えるこ
とができる。また、高沸点液体の温度勾配を変
えることにより、比重が変化するのでチツプ部
品の液体中の通過時間を同じく変えることがで
きる。これにより、チツプ部品の低融点金属ま
たは低融点合金からなる膜または層の種類ある
いは寸法形状が変わつても容易に対処すること
ができる。

(6) 機械的に動く部分が全くないので、設備の故
障が皆無といつてよく、稼働率が飛躍的に向上
する。

(7) 筒状容器の下方（底部）にコツクを直列に配
置しているので、電極処理済みのチツプ部品を
取出す場合には、高沸点液体の液面を変化させ
ることなく、しかも高沸点液体中に空気を混入
させることなく取出しができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明におけるチツプ部品の電極処理
装置の一実施例を示す概略構成図、第２図はチツ
プ部品の一種である角板形チツプ抵抗器を示す断
面図、第３図は従来知られているところのチツプ
部品の電極処理を実施するための装置の一例を示
す概略構成図である。 １……絶縁基板、２……抵抗体、３……銀系電
極膜、４……ニツケル膜、５……はんだ膜、６…
…ガラス被覆膜、７……チツプ部品、１７……筒
状容器、１８……やし油（高沸点液体）、１９…
…加熱器、２０……パーツフイーダ、２１，２２
……コツク、２３……高沸点液体溜め容器、２４
……底部開口部、２５……網状受け器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 絶縁基体の両端部に、下地層として高融点金
   属膜または高融点合金膜を有するとともに最外層
   として低融点金属膜または低融点合金膜を有する
   電極部をもつチツプ部品の電極処理装置におい
   て、内部にオイルなどの高沸点液体を満たしかつ
   一方の端にチツプ部品を投入する投入部を備えた
   筒状容器と、上記高沸点液体に温度勾配をもたせ
   るように上記筒状容器の一方の端に配された加熱
   器と、上記筒状容器の他方の端に間隔をあけて配
   設された２個以上のコツクとからなり、かつ上記
   筒状容器の下方に上記コツク部を設置するととも
   にそのコツク部側に処理済のチツプ部品を取出す
   取出し部を備え、上記チツプ部品を投入して処理
   する時は、上記コツクのうち下方のコツクを閉じ
   るとともに、上方のコツクを開放状態とし、処理
   したチツプ部品を取出す時は、上方のコツクを閉
   じた後、下方のコツクを開くことを特徴とするチ
   ツプ部品の電極処理装置。 ２ 高沸点液体として、天然植物系オイル、天然
   動物系オイル、天然鉱物系オイル、合成シリコン
   系オイルまたはグリセリンのいずれか１つを用い
   てなる特許請求の範囲第１項記載のチツプ部品の
   電極処理装置。 ３ 加熱器として外部より加熱するマルトルヒー
   タまたは内部より加熱する密閉型シーズヒータを
   用いてなる特許請求の範囲第１項記載のチツプ部
   品の電極処理装置。