JPH0546701B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0546701B2 JPH0546701B2 JP59176649A JP17664984A JPH0546701B2 JP H0546701 B2 JPH0546701 B2 JP H0546701B2 JP 59176649 A JP59176649 A JP 59176649A JP 17664984 A JP17664984 A JP 17664984A JP H0546701 B2 JPH0546701 B2 JP H0546701B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- storage cassette
- cassette
- wafers
- storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体ウエーハ加工工程において、ウ
エーハが収納された収納カセツトから他の収納カ
セツトにウエーハを移し換える装置に係り、特に
石英カセツトなどのように背の低い収納カセツト
に収納されたウエーハを他の収納カセツトに移し
換える場合に好適な半導体ウエーハ移し換え装置
に関する。
エーハが収納された収納カセツトから他の収納カ
セツトにウエーハを移し換える装置に係り、特に
石英カセツトなどのように背の低い収納カセツト
に収納されたウエーハを他の収納カセツトに移し
換える場合に好適な半導体ウエーハ移し換え装置
に関する。
従来の半導体ウエーハ移し換え装置は、例えば
特開昭58−182846号公報に示すように、ウエーハ
が収納された収納カセツトからウエーハを１枚づ
つ取出し、他の収納カセツトに１枚づつ移し換え
る。しかし、この方法は１枚１枚処理するので、
時間がかかるとともに、装置が大がかりになると
いう欠点があつた。
特開昭58−182846号公報に示すように、ウエーハ
が収納された収納カセツトからウエーハを１枚づ
つ取出し、他の収納カセツトに１枚づつ移し換え
る。しかし、この方法は１枚１枚処理するので、
時間がかかるとともに、装置が大がかりになると
いう欠点があつた。
このような欠点を解消するものとして、収納カ
セツトを水平にセツトし、収納カセツト内のウエ
ーハ全部を一度に他の収納カセツトに移し換える
装置が知られている。しかし、この装置は石英カ
セツトなどのように背の低い収納カセツトから他
の収納カセツトに移し換える場合には、次のよう
な不都合が生じる。
セツトを水平にセツトし、収納カセツト内のウエ
ーハ全部を一度に他の収納カセツトに移し換える
装置が知られている。しかし、この装置は石英カ
セツトなどのように背の低い収納カセツトから他
の収納カセツトに移し換える場合には、次のよう
な不都合が生じる。
このことを第１図によつて説明する。背の低い
収納カセツト１、ガイドブロツク２及びバツフア
カセツト３には、中央にウエーハ押板４がすり抜
けることができる空間が形成されている。前記収
納カセツト１の切込溝にはウエーハ５が多数整列
されて収納されている。
収納カセツト１、ガイドブロツク２及びバツフア
カセツト３には、中央にウエーハ押板４がすり抜
けることができる空間が形成されている。前記収
納カセツト１の切込溝にはウエーハ５が多数整列
されて収納されている。
そこで、ウエーハの移し換え作業は、同図ａの
状態より同図ｂに示すように、ウエーハ押板４が
収納カセツト１をすり抜けて各ウエーハ５を持ち
上げ、各ウエーハ５をガイドブロツク２のウエー
ハガイド溝にうまく入れながら、バツフアカセツ
ト３まで持ち上げる。バツフアカセツト３にウエ
ーハ５が入り込むと、ウエーハ押板４の側方に２
個のストツパ６が突出し、ウエーハ押板４が下が
つてもウエーハ５が落下しないようにウエーハ５
を保持する。
状態より同図ｂに示すように、ウエーハ押板４が
収納カセツト１をすり抜けて各ウエーハ５を持ち
上げ、各ウエーハ５をガイドブロツク２のウエー
ハガイド溝にうまく入れながら、バツフアカセツ
ト３まで持ち上げる。バツフアカセツト３にウエ
ーハ５が入り込むと、ウエーハ押板４の側方に２
個のストツパ６が突出し、ウエーハ押板４が下が
つてもウエーハ５が落下しないようにウエーハ５
を保持する。
ところで、背の低い収納カセツト１にウエーハ
５が入る切込溝は、加工精度が悪い。また洗浄作
業中に切込溝がすり減るなどして溝寸法の精度が
悪い。このため、収納カセツト１を水平にして置
いた場合、ウエーハ５がランダムに傾き、ウエー
ハ５上部付近のピツチが不揃いとなる。そこで、
ウエーハ押板４が上方に移動し、ウエーハ５を持
ち上げても、ウエーハ５はガイドブロツク２のガ
イド溝に入り込むことができない。このように、
背の低い収納カセツト１からは、安全にウエーハ
５を移し換えることはできなかつた。
５が入る切込溝は、加工精度が悪い。また洗浄作
業中に切込溝がすり減るなどして溝寸法の精度が
悪い。このため、収納カセツト１を水平にして置
いた場合、ウエーハ５がランダムに傾き、ウエー
ハ５上部付近のピツチが不揃いとなる。そこで、
ウエーハ押板４が上方に移動し、ウエーハ５を持
ち上げても、ウエーハ５はガイドブロツク２のガ
イド溝に入り込むことができない。このように、
背の低い収納カセツト１からは、安全にウエーハ
５を移し換えることはできなかつた。
本発明の目的は、背の低い収納カセツトからの
移し換えが容易に行なえる半導体ウエーハ移し換
え装置を提供することにある。
移し換えが容易に行なえる半導体ウエーハ移し換
え装置を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために、ウエーハ
が一方方向に傾き得るように傾斜して配設された
第１の収納カセツトと、この第１の収納カセツト
の上方に第１の収納カセツトと同じ傾斜角で配設
されたバツフアカセツトと、前記第１の収納カセ
ツトの下方で第１の収納カセツトのウエーハ収納
用切込溝と同じ方向に上下動可能で、かつ前記ウ
エーハ収納用切込溝に対応する部分に溝が形成さ
れたくし歯状の整列板とからなることを特徴とす
る。
が一方方向に傾き得るように傾斜して配設された
第１の収納カセツトと、この第１の収納カセツト
の上方に第１の収納カセツトと同じ傾斜角で配設
されたバツフアカセツトと、前記第１の収納カセ
ツトの下方で第１の収納カセツトのウエーハ収納
用切込溝と同じ方向に上下動可能で、かつ前記ウ
エーハ収納用切込溝に対応する部分に溝が形成さ
れたくし歯状の整列板とからなることを特徴とす
る。
以下、本発明の一実施例を第２図及び第３図に
より説明する。ウエーハ１０が整列収納された背
の低い第１の収納カセツト１１は、ウエーハ１０
が一方方向に傾くようにベース１２に傾斜して固
定されている。前記第１の収納カセツト１１の上
方には、バツフアカセツト１３が第１の収納カセ
ツト１１と同じ傾斜角でベース１２に固定されて
いる。前記バツフアカセツト１３の下部のウエー
ハ通過部には、２本のストツパ１４，１４が横方
向より往復動可能に配設されている。前記第１の
収納カセツト１１の下方には、第１の収納カセツ
ト１１のウエーハ収納用切込溝と同じ方向に上下
動可能に整列板１５が配設されている。整列板１
５は、第１の収納カセツト１１のウエーハ収納用
切込溝に対応する部分に溝１５ａが形成されてく
し歯状になつており、第１の収納カセツト１１を
すり抜けてウエーハ１０を持ち上げることができ
る。また整列板１５のくし歯部１５ｂの先端は鋭
角に形成されている。
より説明する。ウエーハ１０が整列収納された背
の低い第１の収納カセツト１１は、ウエーハ１０
が一方方向に傾くようにベース１２に傾斜して固
定されている。前記第１の収納カセツト１１の上
方には、バツフアカセツト１３が第１の収納カセ
ツト１１と同じ傾斜角でベース１２に固定されて
いる。前記バツフアカセツト１３の下部のウエー
ハ通過部には、２本のストツパ１４，１４が横方
向より往復動可能に配設されている。前記第１の
収納カセツト１１の下方には、第１の収納カセツ
ト１１のウエーハ収納用切込溝と同じ方向に上下
動可能に整列板１５が配設されている。整列板１
５は、第１の収納カセツト１１のウエーハ収納用
切込溝に対応する部分に溝１５ａが形成されてく
し歯状になつており、第１の収納カセツト１１を
すり抜けてウエーハ１０を持ち上げることができ
る。また整列板１５のくし歯部１５ｂの先端は鋭
角に形成されている。
次に第４図によつてウエーハ１０の移し換えの
動作について説明する。同図ａに示すように、第
１の収納カセツト１１は傾いてセツトされるの
で、ウエーハ１０は不揃いながら全て後方（一
方）方向に倒れた状態になる。そこで、同図ｂに
示すように整列板１５が上方に移動すると、くし
歯部１５ｂの先端は鋭角になつていること、及び
ウエーハ１０の下部付近の整列ピツチはある程度
揃つていることなどの条件により、ウエーハ１０
は整列板１５の溝１５ａに正しく入り込みことが
できる。整列板１５が更に上昇すると、ウエーハ
１０の裏面と軽く接触しながらウエーハ１０を強
制整列させ、ウエーハ１０は整列板１５のくし歯
部１５ｂの一方側面に当接して整列された状態で
持ち上げられ、バツフアカセツト１３に入り込ま
せられる。この状態でストツパ１４，１４が前進
し、ウエーハ１０を保持する。次に同図ｃに示す
ように、整列板１５を元の下方原点位置に戻す
と、ウエーハ１０はストツパ１４，１４に保持さ
れてバツフアカセツト１３内に取り残される。こ
れにより、第１の収納カセツト１１からバツフア
カセツト１３へウエーハ１０が移動する。
動作について説明する。同図ａに示すように、第
１の収納カセツト１１は傾いてセツトされるの
で、ウエーハ１０は不揃いながら全て後方（一
方）方向に倒れた状態になる。そこで、同図ｂに
示すように整列板１５が上方に移動すると、くし
歯部１５ｂの先端は鋭角になつていること、及び
ウエーハ１０の下部付近の整列ピツチはある程度
揃つていることなどの条件により、ウエーハ１０
は整列板１５の溝１５ａに正しく入り込みことが
できる。整列板１５が更に上昇すると、ウエーハ
１０の裏面と軽く接触しながらウエーハ１０を強
制整列させ、ウエーハ１０は整列板１５のくし歯
部１５ｂの一方側面に当接して整列された状態で
持ち上げられ、バツフアカセツト１３に入り込ま
せられる。この状態でストツパ１４，１４が前進
し、ウエーハ１０を保持する。次に同図ｃに示す
ように、整列板１５を元の下方原点位置に戻す
と、ウエーハ１０はストツパ１４，１４に保持さ
れてバツフアカセツト１３内に取り残される。こ
れにより、第１の収納カセツト１１からバツフア
カセツト１３へウエーハ１０が移動する。
そこで同図ｄに示すように、バツフアカセツト
１３内のウエーハ１０を第２の収納カセツト１６
に移し換えるために、第１の収納カセツト１１を
第２の収納カセツト１６と交換し、整列板１５を
上昇させ、バツフアカセツト１３内のウエーハ１
０を整列板１５に保持させる。次にストツパ１
４，１４を後退させ、この後整列板１５を原点に
下降させると、ウエーハ１０は第２の収納カセツ
ト１６に移し換えることができる。
１３内のウエーハ１０を第２の収納カセツト１６
に移し換えるために、第１の収納カセツト１１を
第２の収納カセツト１６と交換し、整列板１５を
上昇させ、バツフアカセツト１３内のウエーハ１
０を整列板１５に保持させる。次にストツパ１
４，１４を後退させ、この後整列板１５を原点に
下降させると、ウエーハ１０は第２の収納カセツ
ト１６に移し換えることができる。
このように、第１の収納カセツト１１はウエー
ハ１０が一方方向に傾くように傾斜して配設さ
れ、くし歯状の整列板１５の溝１５ａでウエーハ
１０を保持して持ち上げるので、ウエーハ１０は
強制的に整列され、バツフアカセツト１３に安全
確実に挿入される。またウエーハ１０は整列板１
５の溝１５ａ内に保持されるので、ウエーハ１０
の表面への傷が防止される。
ハ１０が一方方向に傾くように傾斜して配設さ
れ、くし歯状の整列板１５の溝１５ａでウエーハ
１０を保持して持ち上げるので、ウエーハ１０は
強制的に整列され、バツフアカセツト１３に安全
確実に挿入される。またウエーハ１０は整列板１
５の溝１５ａ内に保持されるので、ウエーハ１０
の表面への傷が防止される。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、背の低い第１の収納カセツトに収納されたウ
エーハを第２の収納カセツトに簡単な機構によ
り、容易に確実に移し換えることができると共
に、ウエーハ表面への傷が防止される。
ば、背の低い第１の収納カセツトに収納されたウ
エーハを第２の収納カセツトに簡単な機構によ
り、容易に確実に移し換えることができると共
に、ウエーハ表面への傷が防止される。
第１図ａ，ｂは従来例の動作説明図、第２図は
本発明の一実施例を示す正面図、第３図は第１図
の矢印Ａ方向の矢視図、第４図ａ乃至ｄは動作説
明図である。 １０……ウエハ、１１……第１の収納カセツ
ト、１３……バツフアカセツト、１５……整列
板、１５ａ……溝、１５ｂ……くし歯部、１６…
…第２の収納カセツト。
本発明の一実施例を示す正面図、第３図は第１図
の矢印Ａ方向の矢視図、第４図ａ乃至ｄは動作説
明図である。 １０……ウエハ、１１……第１の収納カセツ
ト、１３……バツフアカセツト、１５……整列
板、１５ａ……溝、１５ｂ……くし歯部、１６…
…第２の収納カセツト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ウエーハの下部付近を支持し、上記ウエーハ
が一方方向に傾き得るように傾斜して配設された
第１の収納カセツトと、この第１の収納カセツト
の上方に第１の収納カセツトと同じ傾斜角で配設
されたバツフアーカセツトと、前記第１の収納カ
セツトの下方で第１の収納カセツトのウエーハ収
納用切込溝と同じ方向に上下動可能で、かつ前記
ウエーハ収納用切込溝に対応する部分に溝が形成
されたくし歯状の整列板とを有し、上記傾斜は、
上記ウエーハの裏面が下向きになるように設けら
れ、 上記くし歯状の整列板の先端部は鋭角に形成さ
れ、かつ、上記くし歯状の整列板は上記ウエーハ
の下部付近から挿入され、上記ウエーハの裏面と
接触しながら上記ウエーハを強制整列することを
特徴とする半導体ウエーハ移し換え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17664984A JPS6154639A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 半導体ウエ−ハ移し換え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17664984A JPS6154639A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 半導体ウエ−ハ移し換え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154639A JPS6154639A (ja) | 1986-03-18 |
| JPH0546701B2 true JPH0546701B2 (ja) | 1993-07-14 |
Family
ID=16017269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17664984A Granted JPS6154639A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 半導体ウエ−ハ移し換え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6154639A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3006714B2 (ja) * | 1988-12-02 | 2000-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型基板移載装置及び縦型熱処理装置並びに縦型熱処理装置における基板移載方法 |
| US5110248A (en) * | 1989-07-17 | 1992-05-05 | Tokyo Electron Sagami Limited | Vertical heat-treatment apparatus having a wafer transfer mechanism |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5483371U (ja) * | 1977-11-17 | 1979-06-13 | ||
| JPS5496157U (ja) * | 1977-12-19 | 1979-07-07 |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17664984A patent/JPS6154639A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6154639A (ja) | 1986-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |