JPH0548053Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0548053Y2 JPH0548053Y2 JP9878788U JP9878788U JPH0548053Y2 JP H0548053 Y2 JPH0548053 Y2 JP H0548053Y2 JP 9878788 U JP9878788 U JP 9878788U JP 9878788 U JP9878788 U JP 9878788U JP H0548053 Y2 JPH0548053 Y2 JP H0548053Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heat plate
- heat
- wall
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(a) 考案の技術分野
この考案は、ICなどの部品を温度試験する場
合に使用する恒温槽において、低温試験のときに
恒温槽の側壁に発生する結露を防止すう機構につ
いてのものである。
合に使用する恒温槽において、低温試験のときに
恒温槽の側壁に発生する結露を防止すう機構につ
いてのものである。
(b) 従来技術と問題点
次に、第2図を参照して従来技術による恒温槽
の構成を説明する。
の構成を説明する。
第2図の1は恒温槽、2は外壁、3は断熱材、
4は内壁、5はベース、8はシヤツター、9は出
入口、10はハンド、11はIC、12はプツシ
ヤ、13は測定部、14はケーブル、15はIC
試験器である。
4は内壁、5はベース、8はシヤツター、9は出
入口、10はハンド、11はIC、12はプツシ
ヤ、13は測定部、14はケーブル、15はIC
試験器である。
第2図は、高温または低温に設定できる恒温槽
1内にIC11を入れ、IC11を温度別に試験す
るオートハンドラの構成図である。
1内にIC11を入れ、IC11を温度別に試験す
るオートハンドラの構成図である。
ハンド10はIC11を恒温槽1の外部から測
定部13へ出し入れする。
定部13へ出し入れする。
測定部13とIC試験器15は、ケーブル14
で接続される。第2図では、ケーブル14で接続
しているが、測定部13とIC試験器15とは、
プローブコンタクトなどで接続される場合もあ
る。
で接続される。第2図では、ケーブル14で接続
しているが、測定部13とIC試験器15とは、
プローブコンタクトなどで接続される場合もあ
る。
ハンド10で測定部13に運ばれたIC11は、
プツシヤ12で押され、測定部13と接触させら
れて、温度試験を受ける。
プツシヤ12で押され、測定部13と接触させら
れて、温度試験を受ける。
プツシヤ12は図示を省略した駆動機構で、上
下に移動する。
下に移動する。
恒温槽1の内部は、均一な温度にするため、外
部とは熱的に遮断する必要がある。
部とは熱的に遮断する必要がある。
第2図では、恒温槽1の側面と上面には、それ
ぞれ外壁2と内壁4の間に断熱材3を入れてい
る。
ぞれ外壁2と内壁4の間に断熱材3を入れてい
る。
第2図のような構成では、断熱材3の厚さをか
なり厚くしないと効果がなく、また、厚さの寸法
誤差も多くなる。
なり厚くしないと効果がなく、また、厚さの寸法
誤差も多くなる。
これに対し、IC11を安定した状態で試験す
るためには、測定部13とプツシヤ12の位置関
係に対する寸法誤差をなるべく小さくする必要が
ある。
るためには、測定部13とプツシヤ12の位置関
係に対する寸法誤差をなるべく小さくする必要が
ある。
また、測定部13とIC試験器15の距離は、
電気信号の遅れを少なくするため、極力近づける
必要がある。
電気信号の遅れを少なくするため、極力近づける
必要がある。
このため、ベース5には、外壁2、断熱材3お
よび内壁4の構成を使用することができず、寸法
精度のよい樹脂板、例えばガラスエポキシ樹脂板
を使用している。
よび内壁4の構成を使用することができず、寸法
精度のよい樹脂板、例えばガラスエポキシ樹脂板
を使用している。
しかし、IC11の低温試験をする場合、
−5°C〜−10°Cで30分間程の使用であれば、ベ
ース5が樹脂板でも問題ないが、 −5°C〜−10°Cで30分以上または −50℃で温度試験をする場合、樹脂板の外気に
接している面が結露や着霜してしまい、その露や
霜が恒温槽1の下にセツトされているIC試験器
15に落ちてIC試験器15が電気的にシヨート
するという問題がある。
ース5が樹脂板でも問題ないが、 −5°C〜−10°Cで30分以上または −50℃で温度試験をする場合、樹脂板の外気に
接している面が結露や着霜してしまい、その露や
霜が恒温槽1の下にセツトされているIC試験器
15に落ちてIC試験器15が電気的にシヨート
するという問題がある。
(c) 考案の目的
この考案は、恒温槽の底面に温度調節のできる
ヒートプレートを取り付け、低温試験のときにヒ
ートプレートで恒温槽の底面を加熱し、低温試験
のときに発生する結露や着霜をなくすことができ
る恒温槽の提供を目的とする。
ヒートプレートを取り付け、低温試験のときにヒ
ートプレートで恒温槽の底面を加熱し、低温試験
のときに発生する結露や着霜をなくすことができ
る恒温槽の提供を目的とする。
また、露や霜が解けて、IC試験器が電気的シ
ヨートするのを防ぐことができる恒温槽の提供を
目的とする。
ヨートするのを防ぐことができる恒温槽の提供を
目的とする。
また、ベースの厚さを薄くして、測定部とIC
試験器を近づけることができる恒温槽の提供を目
的とする。
試験器を近づけることができる恒温槽の提供を目
的とする。
(d) 考案の実施例
次に、この考案による実施例の構成図を第1図
に示す。
に示す。
第1図の6はヒートプレート、7は温度制御器
であり、その他は第2図と同じである。
であり、その他は第2図と同じである。
ヒートプレート6は、温度制御器7に接続され
ており、温度制御器7はヒートプレート6の温度
を任意に設定することができる。
ており、温度制御器7はヒートプレート6の温度
を任意に設定することができる。
恒温槽1の内部が、例えば−10℃のときは温度
制御器7でヒートプレート6を+50℃にする。
制御器7でヒートプレート6を+50℃にする。
また、恒温槽1の内部が、例えば−50℃のとき
は温度制御器7でヒートプレート6を+80℃にす
る。
は温度制御器7でヒートプレート6を+80℃にす
る。
このようにヒートプレート6の温度を恒温槽1
の内部温度に対応して設定すれば、恒温槽1の内
部の温度分布に影響を与えることなく、ベース5
の下面の結露や着霜を防ぐことができる。
の内部温度に対応して設定すれば、恒温槽1の内
部の温度分布に影響を与えることなく、ベース5
の下面の結露や着霜を防ぐことができる。
また、ヒートプレート6の厚さは6mm程度で済
むので、ヒートプレート6をベース5に取り付け
た場合、ヒートプレート6とベース5の両方合わ
せても20mm程度の厚さで構成することができる。
これにより、測定部13とIC試験器15を近づ
けて、配置することができる。
むので、ヒートプレート6をベース5に取り付け
た場合、ヒートプレート6とベース5の両方合わ
せても20mm程度の厚さで構成することができる。
これにより、測定部13とIC試験器15を近づ
けて、配置することができる。
(e) 考案の効果
この考案によれば、恒温槽の底面に温度調整の
できるヒートプレートを取り付けているので、低
温試験のときにヒートプレートで恒温槽の底面を
加熱し、低温試験のときに発生する結露や着霜を
なくすことができる。
できるヒートプレートを取り付けているので、低
温試験のときにヒートプレートで恒温槽の底面を
加熱し、低温試験のときに発生する結露や着霜を
なくすことができる。
また、ヒートプレートで恒温槽の底面を加熱す
るので、露や霜が解けて、IC試験器が電気的シ
ヨートするのを防ぐことができる。
るので、露や霜が解けて、IC試験器が電気的シ
ヨートするのを防ぐことができる。
また、ヒートプレートは薄いものを使用するこ
とができるので、ベースの厚さを薄くし、測定部
とIC試験器を近づけることができる。
とができるので、ベースの厚さを薄くし、測定部
とIC試験器を近づけることができる。
第1図はこの考案による実施例の構成図、第2
図は従来技術による恒温槽の構成図である。 1……恒温槽、2……外壁、3……断熱材、4
……内壁、5……ベース、6……ヒートプレー
ト、7……温度制御器、8……シヤツタ、9……
出入口、10……ハンド、11……IC、12…
…プツシヤ、13……測定部、14……ケーブ
ル、15……IC試験器。
図は従来技術による恒温槽の構成図である。 1……恒温槽、2……外壁、3……断熱材、4
……内壁、5……ベース、6……ヒートプレー
ト、7……温度制御器、8……シヤツタ、9……
出入口、10……ハンド、11……IC、12…
…プツシヤ、13……測定部、14……ケーブ
ル、15……IC試験器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 側面と上面には外壁と内壁の間に断熱材を入
れ、底面には樹脂板を使用した恒温槽において、 前記樹脂板の下部に取り付けるヒートプレート
と、 前記ヒートプレートの温度を制御する温度制御
器とを備え、 前記恒温槽内を低温にしたとき、前記ヒートプ
レートを加熱することを特徴とする恒温槽の結露
防止機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9878788U JPH0548053Y2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9878788U JPH0548053Y2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220082U JPH0220082U (ja) | 1990-02-09 |
| JPH0548053Y2 true JPH0548053Y2 (ja) | 1993-12-20 |
Family
ID=31325360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9878788U Expired - Lifetime JPH0548053Y2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0548053Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP9878788U patent/JPH0548053Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0220082U (ja) | 1990-02-09 |
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