JPH0557470A - レーザ加工方法及び加工装置 - Google Patents

レーザ加工方法及び加工装置

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JPH0557470A
JPH0557470A JP3247027A JP24702791A JPH0557470A JP H0557470 A JPH0557470 A JP H0557470A JP 3247027 A JP3247027 A JP 3247027A JP 24702791 A JP24702791 A JP 24702791A JP H0557470 A JPH0557470 A JP H0557470A
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JP
Japan
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workpiece
laser
nozzle
cutting
angle
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JP3247027A
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English (en)
Inventor
Atsushi Mori
敦 森
Yoshinori Nakada
嘉教 中田
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 レーザ加工により被加工物を斜めに切断でき
るようにする。 【構成】 被加工物4に対して、レーザヘッドを傾斜さ
せ、レーザ光(光軸1a)を斜めに被加工物に照射す
る。この時、ノズル2を傾けノズル中心軸2aをレーザ
光の光軸1aよりも小さな傾きとし、ノズル2から噴射
される補助ガスが切断面4aに当たるようにして、切断
溝に補助ガスが供給しやすくする。また、レーザ光軸1
aがノズル孔を通過する位置をノズル孔の中心位置より
も被加工物側にすることによって補助ガスを切断溝に供
給しやすくする。これにより、被加工物を斜めに切断す
る。さらに、レーザヘツドを切断点進行方向に傾けるこ
とによってノズルの位置決めを容易にする。被加工物を
斜めに切断できるから、被加工物を開先角度で切断し、
切断された被加工物をそのまま溶接して構築物を構築す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光によって鋼板
等を切断するレーザ加工方法及び加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】鋼板等の被加工物表面にレーザ光を照射
し加工物を溶融し切断する、レーザを用いた切断加工は
従来から実施されている。近年、レーザ発振器の大出力
化、レーザ加工技術の進展に伴って厚い鋼板でもレーザ
を用いて切断加工ができるようになってきている。ま
た、レーザ加工装置で切断された鋼板はさらに溶接され
て構築物を構築するために利用される場合が多く、鋼板
の厚さが増大すると、大きな溶け込みを得るために、溶
接する端面に開先加工(切断面が斜めなるようにする加
工)を施してから溶接する必要がある。しかし従来のレ
ーザ加工装置においては、加工物の切断断面が斜めにな
るような切断はできず、鋼板等の加工物に対して垂直な
方向にしか切断できなかった。そのため、レーザ加工で
切断した鋼板に対して、機械加工を施して開先加工を行
い、その後溶接等を行って構築物を構築している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図4(b)は従来のレ
ーザ加工装置による鋼板の切断加工を説明する図で、レ
ーザ光1と補助ガス流の中心線1a,2aが一致しない
と、補助ガス3の流れが偏るためドロスが発生し良好な
切断が得られない。そのため、レーザ光1の光軸(中心
軸)1aとノズル2のノズル孔中心線2aが一致するよ
うに調節し、被加工物4に対してレーザ光1及びノズル
2からの補助ガス(酸素)3が垂直に当たるようにして
切断加工を行う。一方、被加工物を斜めに切断する場合
には、上述したように被加工物を垂直に切断したときの
ようにレーザ光1の光軸1aとノズル2のノズル孔中心
線2aが一致するように調節し、単に加工ヘッドを傾け
ても(レーザ光1の光軸1a及びノズル2のノズル孔中
心線2aを切断角度に応じて傾けても)、補助ガス3は
被加工物4の表面に平行に流れる成分が多くなり、切断
面への十分で適正な補助ガス3の供給ができなくレーザ
切断は不可能である。
【0004】以上の理由により、従来のレーザ加工装置
においては、鋼板を斜めに切断することはできず、一
旦、鋼板を垂直に切断しその後、開先加工を機械加工で
行うようにしており、工数が増加し、製作コストが増加
すると共に、製作に要する時間も増大するという欠点が
あった。そこで、本発明の目的は、レーザ加工によって
被加工物を斜めに切断することができるレーザ加工方法
及び加工装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光を被
加工物に対して照射するレーザヘッドを任意の角度に傾
斜させレーザ光の光軸を傾斜して被加工物に照射させる
レーザヘッド回転駆動手段を設けると共に、上記レーザ
ヘッドの先端に取り付けられた補助ガスを噴射させるノ
ズルをレーザ光の光軸に対して任意の角度に傾斜させる
ノズル角度調整手段を設け、さらには、ノズル位置を任
意の位置に移動させ、レーザ光の光軸がノズル孔を通過
する位置を調整するノズル芯出し手段を設ける。そし
て、レーザヘッド回転駆動手段でレーザヘッドを被加工
物を切断する角度に傾斜させ、さらに、レーザ光の光軸
を傾斜ノズル角度調整手段でノズルをレーザヘツドに対
し傾斜させ、ガス噴射角度を上記レーザ光照射角度より
小さくし、補助ガスの噴射方向と切断面が交差するよう
にして被加工物を斜めに切断する。また、同様に、レー
ザヘッドを被加工物を切断する角度に傾斜させ、ノズル
芯出し手段でレーザ光の光軸がノズル孔を通過する位置
をノズル孔の中心位置より被加工物側に近い位置に位置
決めして被加工物を斜めに切断する。また、ノズルをレ
ーザヘツドに対し傾斜させレーザヘッドを被加工物を切
断する角度に傾斜させ、ノズル芯出し手段でレーザ光の
光軸がノズル孔を通過する位置をノズル孔の中心位置よ
り被加工物側に近い位置にして加工を行う。さらに、レ
ーザヘッドを切断点の進行方向に傾ける手段を設け、こ
の手段によってレーザ光の光軸を切断点の進行方向の前
方もしくは後方に傾けて加工を行うようにする。
【0006】
【作用】レーザヘッドを被加工物を切断する角度(開先
角度)に傾けてレーザ光の光軸を切断角度と一致するよ
うにする。そして、ノズルをレーザヘッドに対して傾け
ノズルから噴射される補助ガスを切断面に当たるように
して切断溝に補助ガスを供給する。これにより、被加工
物を斜めに切断加工することができる。また、被加工物
を切断する角度と同一角度に傾けたレーザ光の光軸がノ
ズル孔の中心位置より被加工物側に近い位置にすること
によって、ノズルから噴射される補助ガスを切断溝に円
滑に供給されるようにすることによって、被加工物を斜
めに切断する。
【0007】また、レーザヘッドに対しノズルを傾け、
かつ、レーザ光の光軸がノズル孔の中心位置より被加工
物側に近い位置にすることによって切断溝への補助ガス
の供給をより円滑にすることによって被加工物を斜めに
切断する。さらに、レーザ光の光軸を切断点の進行方向
の前方もしくは後方に傾けるとレーザ光の光軸がノズル
孔を通過する位置に対する許容範囲を大きくするという
効果があり、より簡単に被加工物を斜めに切断すること
ができる。
【0008】
【実施例】図1は本発明の要部をなすレーザビーム伝送
装置10の要部断面図である。図中11はレーザ発振器
(図示せず)からのレーザ光1を伝送する第1の伝送管
であり、該第1の伝送管11はベアリング14を介して
第2の伝送管15が回動自在に結合されている。また、
上記第1の伝送管11にはA軸駆動用のサーボモータM
aが固着されている。該サーボモータMaのロータ軸に
は歯車12が固着され、この歯車12と上記第2の伝送
管15に固着された歯車13が噛み合っており、上記A
軸駆動用サーボモータMaの駆動により、第2の伝送管
15は第1の伝送管11の中心軸を中心に図中矢印Aで
示す方向に回動できるようになっている。上記第2の伝
送管15は直角に屈曲しその屈曲点にレーザ光1を直角
に反射させる反射鏡16を備えている。該第2の伝送管
15の他端には、ベアリング21を介して第3の伝送管
19が回動自在に軸支され、かつ、レーザ光をさらに直
角に屈曲させる反射鏡20を備えている。そして、該第
3の伝送管には歯車18が固着され、該歯車18はB軸
駆動用サーボモータMbのロータ軸に固着された歯車1
7と噛み合っている。上記B軸駆動用サーボモータMb
は上記第2の伝送管15に固定され、該B軸駆動用サー
ボモータMbによって第3の伝送管19は図中矢印B方
向に回転自在になっている。
【0009】上記第3の伝送管19にはさらに第4の伝
送管22が固着されている。該第4の伝送管22の内部
にはレーザ光1を集光させるレンズ26が設けられてい
る。第4の伝送管22の他端は第5の伝送管27のフラ
ンジ部を摺動自在に嵌合する嵌合溝を備え、かつ、互い
に直交する方向にノズル芯出し用のリニアアクチュエー
タ23x,23y(図示せず)が周辺部に取り付けら
れ、各リニアアクチュエータ23x,23yに対向する
位置に上記第5の伝送管27のフランジ部と第4の伝送
管22の上記嵌合溝の壁面間にバネ25がそれぞれ配設
されている。上記各リニアアクチュエータ23x,23
yはサーボモータと該サーボモータの回転運動を直線運
動に変換するネジ−ナット機構を備え、押しだし棒24
を進出させて、該押しだし棒24と上記バネ25によ
り、第5の伝送管27を平行移動させるようになってい
る。すなわち、リニアアクチュエータ23xの駆動によ
って第5の伝送管27を図1中左右方向に平行移動させ
ると共に図示しないリニアアクチュエータ23yによっ
て図1の紙面垂直方向に平行移動させるようになってい
る。
【0010】上記第5の伝送管27の他端にはジンバル
機構30によってノズル2が取り付けられている。ま
た、第5の伝送管27の他端のフランジ部には90度離
間してノズル角度調整用リニアアクチュエータ28a,
28b(図示せず)が取り付けられ、該リニアアクチュ
エータ28a,28bに対向する位置には、第5の伝送
管27のフランジ部とノズル2間にバネ29がそれぞれ
配設されている。リニアアクチュエータ28a,28b
はサーボモータと該サーボモータの回転運動を直線運動
に変換するネジ−ナット機構で構成され、押しだし棒3
1がノズル2と当接して、該押しだし棒31の進出量と
バネ29により、ノズル2をレーザ光の光軸(レーザ光
の中心線)に対して任意の角度に傾けることができるよ
うになっている。なお、4は被加工物、32はパッキン
であり、33は補助ガス(酸素)をノズル2に供給する
供給口である。また、上記実施例では上記第3,第4,
第5の伝送管19,22,27及びノズル2でレーザヘ
ッドを構成し、B軸駆動用サーボモータがレーザヘッド
回転駆動手段を構成している。
【0011】図2は本実施例におけるレーザ加工装置の
制御系ブロック図である。50は該レーザ加工装置を制
御する数値制御装置であり、該数値制御装置50には、
ノズル芯出し用リニアアクチュエータ23x,23yの
駆動源であるサーボモータ23mx,23my、ノズル
角度調整用リニアアクチュエータ28a,28bの駆動
源のサーボモータ28ma,28mb、A軸駆動用サー
ボモータMa,B軸駆動用サーボモータMb、レーザ加
工装置の機械51、レーザ発振器52、に接続されてい
る。なお、機械51には、被加工物4に対し相対的にレ
ーザヘッドをXY平面上で移動させるサーボモータ及び
該XY平面に対し垂直方向に相対的に移動させるサーボ
モータを有している。
【0012】以上の構成により、A軸駆動用サーボモー
タMaを駆動すれば、第2〜第5の伝送管15,19,
22,27及びノズル2は第1の伝送管11の中心軸を
中心とした円軌道上を移動することになる。また、B軸
駆動用サーボモータMbを駆動するとレーザヘッド、す
なわち第3,第4,第5の伝送管19,22,27及び
ノズル2は図1中B軸を中心軸として回動し、レーザヘ
ッドを被加工物に対し傾斜した姿勢をとらせることがで
きる。レーザヘッドが傾斜すれば、被加工物4に照射さ
れるレーザ光は被加工物4に対し、レーザヘッドと同一
角度の傾斜角度で照射されることになる。
【0013】また、サーボモータ23mx,23myを
駆動してノズル芯出し用リニアアクチュエータ23x,
23yを駆動することによって、レーザヘッドの第5の
伝送管27を平行移動させることによってレーザ光の光
軸(レーザ光の中心軸)1aがノズル2のノズル孔を通
過する位置を任意の位置に位置決めすることができる。
さらに、サーボモータ28ma,28mbを駆動してノ
ズル角度調整用リニアアクチュエータ28a,28bを
駆動することによって第5の伝送管27に対してノズル
2の傾きを変えることができる。すなわち、レーザ光の
光軸1aに対してノズル2の中心軸2aの傾きを変える
ことによってノズルから噴射される補助ガスの噴射方向
を任意の角度にすることができる。
【0014】そこで、図4(b)に示すように、被加工
物4を垂直に切断する場合には、ノズル芯出し用リニア
アクチュエータ23x,23yを駆動して光軸位置をノ
ズル中心位置に調整し、かつノズル角度調整用リニアア
クチュエータ28a,28bを駆動してノズルの傾き
(ノズル中心軸線2aの傾き)をレーザ光の光軸1aの
方向と一致させ、レーザ加工を開始する。
【0015】また、被加工物を斜めに切断する場合に
は、レーザヘッドを傾けて加工を行う。図3は開先加工
を行う場合の、レーザヘッドの傾き(レーザ光の光軸1
aの傾き)とノズル2の傾き(ノズル中心線2aの傾
き)とに応じて加工を行って得られた切断加工状態を示
した図で、被加工物4を垂直に切断するときと同様な条
件(レーザ光の傾きとノズルの傾きを一致させたとき)
で切断角度θと同一角度にレーザヘッドを傾けて切断加
工を行うと、図3(a)に示すように、ドロス5が切断
面間に固着し、切断ができない。また、図3(b)に示
すように、レーザヘッドの傾き(レーザ光の光軸1aの
傾き)を切断角度θに設定し、ノズル2の傾きωを該切
断角度θより大きく設定すると、レーザ光は被加工物を
貫通することができなく切断することができない。これ
に対して、図3(c),(d)に示すように、レーザヘ
ッドの傾きθ(切断角度)よりノズル2の傾きωを小さ
くすると、図4(a)に示すようにノズル2から噴射さ
れる補助ガスが切断面4aに平行ではなく切断面に当接
する方向に噴射され、切断溝に補助ガスが十分供給され
るから、ドロス5は除去されて良好な切断ができる。な
お、切断面が下方になる切断面2b側にドロスが必ず付
着するが、このドロスは容易に落とすことができる。
【0016】以上のようにレーザ光の光軸、すなわちレ
ーザヘッドの傾きを切断角度θとし、ノズル2の傾きω
を切断する鋼板の厚さや材質、切断角度θに応じて最適
な切断ができるような(θより小さい)値に実験的に求
めておき、この求められた値に設定し加工を行えば、レ
ーザによって任意の切断角度で切断を行うことができ
る。さらに、レーザヘッドを切断点進行方向にそって
前、もしくは後への前進角を与えるととによってより一
層この切断加工を良好に加工できることが実験的に確認
された。
【0017】図5はこの前進角の説明図で、切断方向が
Y軸方向とした場合を示しており、レーザヘッドを図5
(a)に示すようにX−Z平面と平行な平面上で切断角
度θに傾け、さらに、さらに図5(b)に示すように、
切断方向であるY−Z平面に平行な平面上で前進角φだ
け傾けれることによってよりレーザ光の光軸がノズル孔
を通過する位置に対する許容範囲を大きくする効果があ
ることが実験によって確認された。この前進角も実験的
に最適値を予め求めておく。なお、この前進角φはA
軸,B軸を回転させることによって得られる。
【0018】また、上述した例では、レーザヘッド(レ
ーザ光の光軸)の傾きθに対してノズル2の傾きφを小
さくして補助ガスを切断面である切断面に当たるように
して加工を行う例を示したが、この角度を変える方法と
同一の効果を得る方法として、レーザ光の光軸1aがノ
ズル孔を通過する位置を調整することによって被加工物
を斜めに切断することができる。すなわち、レーザの光
軸1aがノズル孔を通過する位置をノズル孔の中心位置
より被加工物4から遠ざかる位置にすることによって同
等の効果を得ることができる。図3(c),(d)に示
す例においても、レーザ光の光軸1aのノズル孔におけ
る位置とノズル中心線2a位置は異なっているが、傾き
θとωを同一として、レーザの光軸1aの位置よりノズ
ル中心線2a位置を被加工物4から遠ざかる位置して加
工を行うことによって、補助ガスを切断溝に十分に供給
できる用にして被加工物を斜めに切断することができ
る。
【0019】また、レーザヘッドの傾きθとノズルの傾
きφを変え、かつ、レーザ光の光軸1aに対するノズル
位置を変えることによって、さらには前進角を与えるこ
とによって被加工物を斜めに最適に切断する切断加工を
得ることができる。
【0020】そこで、NCプログラムで切断角度θ,前
進角φ,ノズルの姿勢(ノズルの傾斜角ω)、ノズル位
置さらには、送り速度,補助ガスの選択,レーザ出力等
の一般的な加工条件を設定し、該NCプログラムを数値
制御装置50にロードし、プログラムを実行させると、
数値制御装置50はB軸駆動用サーボモータMbを駆動
してレーザヘッドを切断角度θに傾け、さらにA軸,B
軸駆動用サーボモータMa,Mbを駆動して前進角φを
レーザヘッドに与える。そして、ノズル芯だし用リニア
アクチュエータ23x,23yを駆動し第5の伝送管2
7を移動させてノズル位置を設定値に位置決めし、さら
に、ノズル角度調整用リニアアクチュエータ28a,2
8bを駆動させてノズル2を設定値ωに傾ける。そし
て、機械のX,Y,Z軸のサーボモータを駆動して加工
開始位置にレーザヘッドを位置決めし、切断加工を開始
することになる。
【0021】なお、切断角度θ,前進角φ,ノズルの姿
勢(ノズルの傾斜角ω)、ノズル位置をプログラムで設
定せず、予め、切断角度θに応じて最適切断加工ができ
る前進角φ,ノズルの姿勢(ノズルの傾斜角ω)、ノズ
ル位置を数値制御装置50のメモリ内に設定記憶させて
おき、単に切断角度を設定するだけで、数値制御装置が
設定された切断角度θに対応する記憶された前進角φ,
ノズルの姿勢(ω)、ノズル位置を読み出して自動的に
設定するようにしてもよい。また、特定の複数の切断角
度を目的として切断するような場合には、予め、適切な
ノズルを作成しておき、切断の角度に応じてノズルを付
け替えることによって切断加工を行うようにしてもよ
い。この場合にはノズル角度調整用リニアアクチュエー
タ28a,28b、さらにはノズル芯出し用リニアアク
チュエータ23x,23yを設ける必要がない。
【0022】また、上記実施例では、ノズル芯出し用リ
ニアアクチュエータ,ノズル角度調整用リニアアクチュ
エータをサーボモータの回転運動を直線運動に変換し
て、ノズル位置およぞノズルの傾斜角度を連続的に変え
ることができるようにしたが、加工しようとする切断角
度の種類に応じてノズルの位置,角度を決め、ノズル芯
出し用リニアアクチュエータ,ノズル角度調整用リニア
アクチュエータとしては、この複数のノズル位置,角度
になるように複数の位置ぎめができるリニアアクチュエ
ータを使用してもよい。
【0023】
【発明の効果】本発明は、従来加工ができなかった被加
工物を斜めに切断する加工を、レーザ光の光軸方向(被
加工物を切断する方向)に対して、ノズルから噴射され
る補助ガスの噴射方向を異なるようにして補助ガスが切
断面に当たり、切断溝に補助ガスがより供給されるよう
にすることによって、もしくは、レーザ光の光軸がノズ
ル孔を通過する位置をノズル孔の中心位置より被加工物
側に近い位置にして、補助ガスが切断面に供給しやすく
することによって被加工物の斜に切断できるようにし
た。そのため、切断した鋼板等をさらに溶接して構築物
を構築する際に、溶接のための開先を形成するために再
度鋼板等を斜めに切断する機械加工を行うことなく、レ
ーザ加工によって開先角度で鋼板を切断すれば、再度加
工を行う必要がなく、工数が減ると共に、作業能率が向
上し、低コストで構築物を構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例におけるレーザ光伝送装置の
要部断面図である。
【図2】同実施例におけるレーザ加工装置の制御系のブ
ロック図である。
【図3】被加工物を斜めに切断するときのレーザヘッド
の傾きとノズルの傾きによる切断加工状態を示す図であ
る。
【図4】被加工物切断時の加工部拡大図である。
【図5】レーザヘッドの傾きと前進角の説明図である。
【符号の説明】
1 レーザ光 1a レーザ光の光軸 2 ノズル 2a ノズルの中心軸 3 補助ガス 4 被加工物 10 レーザビーム伝送装置 16,20 反射鏡 26 レンズ Ma A軸駆動用サーボモータ Mb B軸駆動用サーボモータ 23x ノズル芯出し用リニアアクチュエータ 28a ノズル角度調整用リニアアクチュエータ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被加工物に対してレーザ光を照射し被加
    工物を切断するレーザ加工方法において、レーザ光の被
    加工物への照射角度を被加工物を切断する切断角度に合
    わせると共に、ノズルからの補助ガス噴射角度を上記レ
    ーザ光照射角度より小さくし、補助ガスの噴射方向と切
    断面が交差するようにして被加工物を斜めに切断するこ
    とを特徴とするレーザ加工方法。
  2. 【請求項2】 被加工物に対してレーザ光を照射し被加
    工物を切断するレーザ加工方法において、レーザ光の被
    加工物への照射角度を被加工物を切断する切断角度に合
    わせると共に、上記レーザ光の光軸がノズル孔を通過す
    る位置をノズル孔の中心位置より被加工物側に近い位置
    にして、補助ガスが切断面に供給されやすくすることに
    よって被加工物を斜めに切断することを特徴とするレー
    ザ加工方法。
  3. 【請求項3】 被加工物に対してレーザ光を照射し被加
    工物を切断するレーザ加工方法において、レーザ光の被
    加工物への照射角度を被加工物を切断する切断角度に合
    わせると共に、ノズルからの補助ガス噴射角度を上記レ
    ーザ光照射角度より小さくし、かつ、上記レーザ光の光
    軸がノズル孔を通過する位置をノズル口の中心位置より
    被加工物側に近い位置にして、被加工物を斜めに切断す
    ることを特徴とするレーザ加工方法。
  4. 【請求項4】 レーザ光の光軸を切断点の進行方向に傾
    けてレーザ光を被加工物に照射する請求項1,請求項2
    または請求項3記載のレーザ加工方法。
  5. 【請求項5】 被加工物に対してレーザ光を照射し被加
    工物を切断するレーザ加工装置において、レーザ光を被
    加工物に対して照射するレーザヘッドを任意の角度に傾
    斜させレーザ光の光軸を傾斜して被加工物に照射させる
    レーザヘッド回転駆動手段と、上記レーザヘッドの先端
    に取り付けられた補助ガスを噴射させるノズルをレーザ
    光の光軸に対して任意の角度に傾斜させるノズル角度調
    整手段とを備えたレーザ加工装置。
  6. 【請求項6】 被加工物に対してレーザ光を照射し被加
    工物を切断するレーザ加工装置において、レーザ光を被
    加工物に対して照射するレーザヘッドを任意の角度に傾
    斜させレーザ光の光軸を傾斜して被加工物に照射させる
    レーザヘッド回転駆動手段と、上記レーザヘッドの先端
    に取り付けられた補助ガスを噴射させるノズルの位置を
    任意の位置に移動させ、レーザ光の光軸がノズル孔を通
    過する位置を調整するノズル芯出し手段とを備えたレー
    ザ加工装置。
  7. 【請求項7】 被加工物に対してレーザ光を照射し被加
    工物を切断するレーザ加工装置において、レーザ光を被
    加工物に対して照射するレーザヘッドを任意の角度に傾
    斜させレーザ光を傾斜して被加工物に照射させるレーザ
    ヘッド回転駆動手段と、上記レーザヘッドの先端に取り
    付けられた補助ガスを噴射させるノズルをレーザ光の光
    軸に対して任意の角度に傾斜させるノズル角度調整手段
    と、上記レーザヘッドの先端に取り付けられた補助ガス
    を噴射させるノズル位置を任意の位置に移動させ、レー
    ザ光の光軸がノズル孔を通過する位置を調整するノズル
    芯出し手段とを備えたレーザ加工装置。
  8. 【請求項8】 レーザヘッドを切断点の進行方向に傾け
    る手段を備えた請求項5,請求項6または請求項7記載
    のレーザ加工装置。
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