JPH0571934A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

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JPH0571934A
JPH0571934A JP3235124A JP23512491A JPH0571934A JP H0571934 A JPH0571934 A JP H0571934A JP 3235124 A JP3235124 A JP 3235124A JP 23512491 A JP23512491 A JP 23512491A JP H0571934 A JPH0571934 A JP H0571934A
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JP
Japan
Prior art keywords
inspection object
inspection
ccd camera
light guide
optical fiber
Prior art date
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Pending
Application number
JP3235124A
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English (en)
Inventor
Noriaki Saito
憲敬 斎藤
Masaki Fuse
正樹 布施
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Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 検査物1を全周方向から照明するリング状光
ファイバライトガイド6と、ライトガイド中央部に入射
する反射光を読み取るCCDカメラ4と、CCDカメラ
の入力画像データを2値化し、検査物周辺部の正反射光
を、2値化画像データより識別し、検査物の有無および
/または位置ズレを判別し、周辺部から一定位置にある
範囲の欠陥を検出する画像処理手段3とからなる表面欠
陥検査装置。 【効果】 全ての角度のキズを輝点として検出でき、検
査物の有無、位置ズレ、表裏のチェックなどが可能とな
るため、プレスにより打抜きされた金属部品の表面に発
生するキズ、打痕などの欠陥を検査することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プレスにより打抜きさ
れた金属部品の表面に発生するキズ、打痕などの欠陥を
検査するための表面欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プレスにより打抜きされた金属部品の表
面欠陥を検査する装置として、CCDカメラと画像処理
装置とを組み合わせたものが数多く発表されている。こ
の装置では、照明にリング状蛍光灯を使用し、斜めから
照明して、キズを輝点として検出している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、次のような不都合がある。すなわち、キズの検
出精度が、照明の角度により変化するので、リング状の
蛍光灯を使用した場合、各方向から照明されるためかな
りの角度範囲のキズの検出が可能である。しかし、光源
がU字型であり、全周からの照明ができないため、一部
の角度のキズ検出精度が低下するという不都合である。
また、キズがない正常な検査物は、輝点が検出されない
ため、検査物が無い場合に検査物の位置ズレが生じると
いう不都合である。
【0004】この発明は、上述の背景に基づきなされた
ものであり、その目的とするところは、全ての角度のキ
ズを輝点として検出でき、さらに、検査物の有無、位置
ズレ、表裏のチェックなどができる表面欠陥検査装置を
提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明による表面欠陥
検査装置は、検査物を全周方向から入射角θで照明する
リング状光ファイバライトガイドと、検査物から少なく
ともリング状光ファイバライトガイド中央部に入射する
反射光を読み取るCCDカメラと、CCDカメラの入力
画像データを2値化し、検査物の上下左右いずれかの周
辺部で表面の傾きが実質的にθ/2である周辺部からの
正反射光を、2値化画像データより識別し、検査物の有
無および/または位置ズレを判別し、周辺部から一定位
置にある範囲の欠陥を検出する画像処理手段と、からな
ることを特徴とするものである。
【0006】
【作用】上述の構成を有する本発明では、以下のように
作用・動作する。リング状光ファイバライトガイドの全
周から、ほぼ一定の角度で照明して全ての角度のキズを
輝点として検出する。プレスで打抜きされた検査物は、
周辺部に傾きがあり、この部分を検査物の有無、あるい
は、位置ズレの検出に使用する。リング状光ファイバラ
イトガイドで入射角θで照明した場合、表面が入射角の
半分、実質的にθ/2の角度で傾いていると、正反射光
がCCDカメラで受光される。キズがない正常な検査物
でも、周辺部は輝点として検出できる。従って、検査物
の周辺部に相当する上下左右のいずれかの範囲について
輝点検出を行うことにより、検査物の有無、あるいは、
位置ズレが判定できる。検査が必要となる検査物の中心
部については、周辺部に相当する位置から一定位置にあ
る範囲の欠陥を検出すれば、検査物に位置ズレがあって
も、検査範囲を補正することができる。
【0007】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。
【0008】図1は、本発明による装置例の構成を示す
概略図である。図示するこの実施例の表面欠陥検査装置
は、検査物1全周方向から入射角θで照明するリング状
光ファイバライトガイド6と、検査物1からリング状光
ファイバライトガイド中央部に入射する反射光を読み取
るレンズ5およびCCDカメラ4と、CCDカメラの入
力画像データを2値化し、検査物の上下左右いずれかの
周辺部で表面の傾きがθ/2である周辺部からの正反射
光を、2値化画像データより識別し、検査物の有無およ
び/または位置ズレを判別し、周辺部から一定位置にあ
る範囲の欠陥を検出する画像処理手段3とからなる。更
に、この実施例の態様では、画像処理装置に接続された
モニターTV8と、リング状ライトガイドの光源7と、
画像処理装置からおよび画像処理装置への制御信号によ
り検査物を搬送する搬送系2を備える。
【0009】この実施例の装置では、表面欠陥検査は次
の手順で行われる。 検査物1を、搬送系2により1個ずつ検査位置にセ
ットする。 この例の検査物1は、次のようなICチップターミナル
である。 a)サイズ 1〜2mm b)形状 四角形、六角形、円形などであり、表面の周
辺部にだれがある。 c)材質 鉄にアルミメッキが施されている。
【0010】 検査位置にセットされたとき、搬送系
2から画像処理装置3に対して検査スタート信号が出力
される。
【0011】 リング状光ファイバライトガイド6に
より光源7の光を、入射角θで検査物1に全周から照明
する。なお、CCDカメラのレンズ5は、Cマウントア
ダプタに、5倍〜10倍の対物レンズを取りつけてい
る。レンズを介してCCDカメラでは、キズ、打痕など
の欠陥がない部分から反射光を受光せず、欠陥がある部
分、および、検査物の周辺でθ/2の表面の傾きがある
部分から反射光を受光する。このようにしてCCDカメ
ラ4が、画像を入力する。この例では、リング状光ファ
イバライトガイド6は、三菱レイヨン(株)製PR55
−1000型(商品名)を使用した。また、光源7とし
て、三菱レイヨン(株)製ELI−100型(商品名)
を使用した。
【0012】 画像処理装置3では、入力された画像
を予め設定した値で2値化し、欠陥および検査物の周辺
部を「白」、その他を「黒」とする。 画像処理装置3は、三菱レイヨン(株)製オプティカル
エリアチェッカーFSC−100型(商品名)を使用し
た。2値化条件は、照明の明るさ、レンズの絞りなどに
より変化するため、均一な反射光を有する白紙の画像を
入力し、2値化後の白の面積率が50%になるように設
定した。この方法により、2値化レベルを1/256以
下の精度で容易に設定することが可能となる。
【0013】 検査物の周辺部に相当する上下左右の
いずれかの範囲を検査範囲として、前記「白」の画素数
をカウントする。 実際には、左、上の2箇所に検査範囲を設定した。各検
査範囲の座標は、次の通りである。 a)左方向 始点(80,192) 範囲(37,4
1) b)上方向 始点(204,44) 範囲(37,4
1) ここで、検査物が正常にセットされた場合は、「白」の
画素数が一定範囲(200以上)であるが、下記のよう
な異常時は、「白」の画素数は大幅に少なくなる。 a) 検査物がない場合 b) 検査物の位置ズレが、前記検査範囲を外れる程度で
ある場合 c) 検査物が裏面であり、表面のような周辺部の傾きが
ない場合 d) 検査物はプレスで打抜き後、フィルムが除去される
が、このフィルムが除去されていなかった場合
【0014】 前記で正常と判定されたものについ
て、検査物1の中心部の欠陥検出を行う。 a)検査範囲は、始点(132,104) 範囲(16
9,217)とした。 b)粗検査として、上記a)の範囲の「白」の画素数をカウ
ントし、300以上の場合を欠 陥と判定した。 c)上記b)で欠陥と判定されなかったものについて、指定
した画素(10)以上の「白」 の有無を測定した。
【0015】 前記、で欠陥と判定された場合、
搬送系2に対してNG信号を出力する。 また、画像、測定結果はモニターTV8に出力される。
【0016】 搬送系2では、画像処理装置3のO
K、NG信号により、正常品と欠陥品の振り分けを行
う。
【0017】図2は、図1の実施例装置の画像入力部の
配置例を示す図である。リング状光ファイバライトガイ
ド6の光ファイバ出射端9は、61mmφの直径であり、
検査面から73mm上方にある。光ファイバ出射端9に
は、0.5mmφの光ファイバが1列で並んでいる。光フ
ァイバは、三菱レイヨン(株)製エスカを使用してい
る。エスカのNAは、0.5であるため、60°の範囲
で照明されることになる。しかし、Cマウントアダプタ
10の下方に5倍の対物レンズ11が取りつけられてい
るため、照明は47°(入射角23.5゜)に規制され
ている。検査物1の部分では集光部が3mmφであり、こ
の中に検査物1がセットされる。また、検査物1の周辺
部で11.75°の傾きがある部分が輝点として検出さ
れることになる。
【0018】図3〜図7は、モニターTV8の画面を示
す画像であり、CCDカメラ入力画像、または、検査結
果の画面を示す画像である。図3は、CCDカメラから
入力された濃淡画像である。周辺部、および、中心部に
ある欠陥が輝点として検出されている。
【0019】図4は、図3のCCDカメラ入力画像を検
査した結果を示している。この例の検査時間は、左上に
表示されているように460msである。この判定結果
は、左方3行目に表示されているようにNGであった。
検査物の位置については、周辺部(上方)の「白」の画
素数は、左方4行目に表示されているように、551
画素(40.4%)である。周辺部(左方)の「白」の
画素数は、左方6行目に表示されているように、259
画素(19.0%)である。前記、いずれも、200
画素以上であることから、検査物1が正常にセットされ
ていると判定している。 粗検査 中心部の「白」の画素数は、左方8行目に表示されてい
るように、271画素(0.8%)である。検査条件で
ある300画素以下であることから、粗検査では、OK
と判定している。 精検査 中心部の画素数10以上の「白」の集合は、左方10行
目に表示されているように、5個、合計画素数145、
平均画素数29、バラツキ169であり、精検査では、
NGと判定している。
【0020】図5は、検査物無しの場合の検査結果を示
している。この図から分かるように、周辺部(左、上
方)の「白」の画素数は、いずれも、0であり、この段
階でNGと判定している。図6は、検査物の位置がずれ
ている場合の検査結果を示している。この例では、図5
と同様、周辺部(左、上方)の「白」の画素数は、いず
れも、0であり、この段階でNGと判定している。
【0021】図7は、検査物が裏面の場合の検査結果を
示している。この図から分かるように、周辺部(上方)
の「白」の画素数は0、周辺部(左方)の「白」の画素
数は1てあり、この段階でNGと判定している。上記の
実施例から実証されるように、全ての角度のキズを輝点
として検出して、検査物の有無、位置ズレ、表裏のチェ
ックを確実に行うことができる。
【0022】
【発明の効果】本発明は、全ての角度のキズを輝点とし
て検出可能とし、さらに、検査物の有無、位置ズレ、表
裏のチェックなどが行うことができ、プレスにより打抜
きされた金属部品の表面に発生するキズ、打痕などの欠
陥を検査するための表面欠陥検査装置としての効果は大
きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の装置構成の1例を示す図であ
る。
【図2】図2は、図1に示す装置例の画像入力部の配置
例を示す図である。
【図3】図3は、CCDカメラから入力したモニターT
V画面の画像図である。
【図4】図4は、キズ不良品を判定された検査結果のモ
ニターTV画面の画像図である。
【図5】図5は、検査物なしと判定された検査結果のモ
ニターTV画面の画像図である。
【図6】図6は、検査物の位置がずれていると判定され
た検査結果のモニターTV画面の画像図である。
【図7】図7は、検査物が裏面であると判定された検査
結果のモニターTV画面の画像図である。
【符号の説明】
1 検査物 2 搬送系 3 画像処理装置 4 CCDカメラ 5 レンズ 6 リング状光ファイバライトガイド 7 光源 8 モニターTV。 9 光ファイバ出射端 10 Cマウントアダプタ 11 対物レンズ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査物を全周方向から入射角θで照明す
    るリング状光ファイバライトガイドと、検査物から少な
    くとも前記リング状光ファイバライトガイド中央部に入
    射する反射光を読み取るCCDカメラと、前記CCDカ
    メラの入力画像データを2値化し、検査物の上下左右い
    ずれかの周辺部で表面の傾きがθ/2の該周辺部からの
    正反射光を、該2値化画像データより識別し、前記検査
    物の有無および/または位置ズレを判別し、前記周辺部
    から一定位置にある範囲の欠陥を検出する画像処理手段
    と、からなる表面欠陥検査装置。
JP3235124A 1991-09-13 1991-09-13 表面欠陥検査装置 Pending JPH0571934A (ja)

Priority Applications (1)

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JP3235124A JPH0571934A (ja) 1991-09-13 1991-09-13 表面欠陥検査装置

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ID=16981410

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JP (1) JPH0571934A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006112466A1 (ja) * 2005-04-19 2006-10-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 鏡面基板の異物検査方法
JP2011169676A (ja) * 2010-02-17 2011-09-01 Konica Minolta Holdings Inc 可撓性を有する検査対象物の表面の状態を検査する方法および装置
KR20170010862A (ko) 2014-05-31 2017-02-01 니홍 케미칼 리써치 가부시키가이샤 우리딘과 n-아세틸-d-만노사민을 함유하는 배지

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