JPH0798865A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH0798865A JPH0798865A JP24467193A JP24467193A JPH0798865A JP H0798865 A JPH0798865 A JP H0798865A JP 24467193 A JP24467193 A JP 24467193A JP 24467193 A JP24467193 A JP 24467193A JP H0798865 A JPH0798865 A JP H0798865A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic material
- crucible
- magnetic
- vapor
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸着効率の向上と特性が一定した磁気記録媒
体を得ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供す
ること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行
装置と、被蒸着材の下方に配設されたルツボと、該ルツ
ボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム
発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前
記ルツボは、該ルツボに磁性材料を供給する磁性材料供
給装置を具備し、該磁性材料供給装置は、磁性材料の貯
蔵手段と、該貯蔵手段とルツボ間を移動可能なアーム手
段と、該アーム手段に備り貯蔵手段内の磁性材料を把持
・開放可能な電磁石手段とからなることを特徴とする。
体を得ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供す
ること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行
装置と、被蒸着材の下方に配設されたルツボと、該ルツ
ボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム
発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前
記ルツボは、該ルツボに磁性材料を供給する磁性材料供
給装置を具備し、該磁性材料供給装置は、磁性材料の貯
蔵手段と、該貯蔵手段とルツボ間を移動可能なアーム手
段と、該アーム手段に備り貯蔵手段内の磁性材料を把持
・開放可能な電磁石手段とからなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にそのルツボに備る磁性材料供給装置に
関するものである。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にそのルツボに備る磁性材料供給装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容するルツボと、このルツボの磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容するルツボと、このルツボの磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】磁性材料の蒸発に伴
い、ルツボ内の磁性材料は減少していく。従って、磁性
材料を供給しなければ、蒸着はある時間内に限定されて
しまう。
い、ルツボ内の磁性材料は減少していく。従って、磁性
材料を供給しなければ、蒸着はある時間内に限定されて
しまう。
【０００４】また、磁性材料の蒸発に伴い、ルツボ内の
液面は変化する。この液面変化により、被蒸着材に対す
る磁性材料蒸気の入射角が変化する。入射角が変化する
と、保磁力に影響を与えるため、特性が一定した磁気記
録媒体を得ることが困難となる。
液面は変化する。この液面変化により、被蒸着材に対す
る磁性材料蒸気の入射角が変化する。入射角が変化する
と、保磁力に影響を与えるため、特性が一定した磁気記
録媒体を得ることが困難となる。
【０００５】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
蒸発に伴い磁性材料を供給するようにして、連続蒸着を
可能とすると共に、被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成す
ることができるようにした新規な磁気記録媒体の製造装
置を提供しようとするものである。
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
蒸発に伴い磁性材料を供給するようにして、連続蒸着を
可能とすると共に、被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成す
ることができるようにした新規な磁気記録媒体の製造装
置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツボ
は、該ルツボに磁性材料を供給する磁性材料供給装置を
具備し、該磁性材料供給装置は、磁性材料の貯蔵手段
と、該貯蔵手段とルツボ間を移動可能なアーム手段と、
該アーム手段に備り貯蔵手段内の磁性材料を把持・開放
可能な電磁石手段とからなることを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツボ
は、該ルツボに磁性材料を供給する磁性材料供給装置を
具備し、該磁性材料供給装置は、磁性材料の貯蔵手段
と、該貯蔵手段とルツボ間を移動可能なアーム手段と、
該アーム手段に備り貯蔵手段内の磁性材料を把持・開放
可能な電磁石手段とからなることを特徴とする。
【０００７】本製造装置に備わるルツボは、磁性材料供
給装置を具備する。この磁性材料供給装置は、磁性材料
の貯蔵手段と、この貯蔵手段とルツボ間を移動可能なア
ーム手段と、このアーム手段に備わる電磁石手段とから
なっている。電磁石手段は、貯蔵手段内の磁性材料を把
持し、アーム手段は、電磁石手段が把持した磁性材料を
貯蔵手段からルツボまで運び、そして電磁石手段は、ル
ツボまで運んだ磁性材料を開放してルツボに磁性材料を
供給するように作用する。
給装置を具備する。この磁性材料供給装置は、磁性材料
の貯蔵手段と、この貯蔵手段とルツボ間を移動可能なア
ーム手段と、このアーム手段に備わる電磁石手段とから
なっている。電磁石手段は、貯蔵手段内の磁性材料を把
持し、アーム手段は、電磁石手段が把持した磁性材料を
貯蔵手段からルツボまで運び、そして電磁石手段は、ル
ツボまで運んだ磁性材料を開放してルツボに磁性材料を
供給するように作用する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【０００９】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口１９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなって
いる。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口１９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなって
いる。
【００１０】ルツボ３は、冷却キャン８の下方に配設さ
れている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成され１４０
０℃〜１５００℃の高温に耐えられるようになってい
る。またこのルツボ３は、融解槽９を備え、この融解槽
９内に磁性金属１０を収容している。図３に示すよう
に、このルツボ３の一側壁部１１は他側に比べ肉厚に形
成され、この壁部１１の上面に材料を足した時のはねを
おさえるための傾斜面１２が形成されている。
れている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成され１４０
０℃〜１５００℃の高温に耐えられるようになってい
る。またこのルツボ３は、融解槽９を備え、この融解槽
９内に磁性金属１０を収容している。図３に示すよう
に、このルツボ３の一側壁部１１は他側に比べ肉厚に形
成され、この壁部１１の上面に材料を足した時のはねを
おさえるための傾斜面１２が形成されている。
【００１１】ルツボ３は、またこのルツボにペレット状
の磁性金属１０を供給する磁性材料供給装置１３を具備
している。この磁性材料供給装置１３は、磁性金属の貯
蔵手段、すなわち貯蔵槽１４と、この貯蔵槽１４とルツ
ボ３間を移動可能なアーム手段、すなわちアーム１５
と、このアーム１５に備り貯蔵槽１４内の磁性金属１０
を把持・開放可能な電磁石１７とからなっている。電磁
石１７は、アーム１５と別体に構成された磁性体の心材
１８に通電可能なコイル２０を巻き付けることにより構
成されている。貯蔵槽１４内は、図２に示すように、非
磁性材料からなる仕切部材１６により区分けがしてあ
り、区分けされた各区域に電磁石１７が１回で把持する
分の磁性金属が入れられている。アーム１５は、支持軸
２１に固定されている。例えば、支持軸２１の所定位置
にウォームホイールを構成し、またこのウォームホイー
ルにウォームを噛み合わせることにより、支持軸２１を
回転させることができる。支持軸２１の回転により、ア
ーム１５は、貯蔵槽１４とルツボ３間を移動することが
できる。また例えば、電磁石１７とアーム１５間にラッ
クを介在させることにより、電磁石１７をアーム１５上
に移動させることができる。すなわち、電磁石１７をピ
ニオン上に支持し、アーム１５にラックを敷いてこのピ
ニオンと噛み合わせる。そしてピニオンをステッパー電
動機で駆動するようにする。このようにすることによ
り、図２に示すように、アーム１５をルツボ３側に移動
したときに、電磁石１７をルツボの融解槽９に沿って移
動させることができる。
の磁性金属１０を供給する磁性材料供給装置１３を具備
している。この磁性材料供給装置１３は、磁性金属の貯
蔵手段、すなわち貯蔵槽１４と、この貯蔵槽１４とルツ
ボ３間を移動可能なアーム手段、すなわちアーム１５
と、このアーム１５に備り貯蔵槽１４内の磁性金属１０
を把持・開放可能な電磁石１７とからなっている。電磁
石１７は、アーム１５と別体に構成された磁性体の心材
１８に通電可能なコイル２０を巻き付けることにより構
成されている。貯蔵槽１４内は、図２に示すように、非
磁性材料からなる仕切部材１６により区分けがしてあ
り、区分けされた各区域に電磁石１７が１回で把持する
分の磁性金属が入れられている。アーム１５は、支持軸
２１に固定されている。例えば、支持軸２１の所定位置
にウォームホイールを構成し、またこのウォームホイー
ルにウォームを噛み合わせることにより、支持軸２１を
回転させることができる。支持軸２１の回転により、ア
ーム１５は、貯蔵槽１４とルツボ３間を移動することが
できる。また例えば、電磁石１７とアーム１５間にラッ
クを介在させることにより、電磁石１７をアーム１５上
に移動させることができる。すなわち、電磁石１７をピ
ニオン上に支持し、アーム１５にラックを敷いてこのピ
ニオンと噛み合わせる。そしてピニオンをステッパー電
動機で駆動するようにする。このようにすることによ
り、図２に示すように、アーム１５をルツボ３側に移動
したときに、電磁石１７をルツボの融解槽９に沿って移
動させることができる。
【００１２】遮蔽板１２が冷却キャン８の下方に冷却キ
ャンに接近して配設され、この遮蔽板１２は、磁性金属
蒸気のテープ５に対する蒸着領域を規制するように備っ
ている。遮蔽板２３は貯蔵槽１４、アーム１５に蒸発物
が付着するのを防いでいる。
ャンに接近して配設され、この遮蔽板１２は、磁性金属
蒸気のテープ５に対する蒸着領域を規制するように備っ
ている。遮蔽板２３は貯蔵槽１４、アーム１５に蒸発物
が付着するのを防いでいる。
【００１３】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃２２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
て、電子銃２２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
【００１４】磁性金属の蒸発に伴い、ペレット状の磁性
金属１０が磁性材料供給装置１３により供給される。支
持軸２１を回転することにより、アーム１５を貯蔵槽１
４側に移動させる。コイル２０に通電して貯蔵槽１４内
の一区域から磁性金属を把持し、それから支持軸２１を
回転してアーム１５をルツボ３側に移動させる。次にコ
イルを非通電状態にして磁性金属を開放する。開放され
た磁性金属は、傾斜面１２より静かに融解槽９内に供給
される。
金属１０が磁性材料供給装置１３により供給される。支
持軸２１を回転することにより、アーム１５を貯蔵槽１
４側に移動させる。コイル２０に通電して貯蔵槽１４内
の一区域から磁性金属を把持し、それから支持軸２１を
回転してアーム１５をルツボ３側に移動させる。次にコ
イルを非通電状態にして磁性金属を開放する。開放され
た磁性金属は、傾斜面１２より静かに融解槽９内に供給
される。
【００１５】
【発明の効果】本発明の装置は、以上述べたように構成
されているので、磁性材料の蒸発に伴い、ルツボ内に磁
性材料を随時供給することができ、従って長時間の連続
蒸着が可能となり、その結果蒸着効率を大いに向上させ
ることができるものである。
されているので、磁性材料の蒸発に伴い、ルツボ内に磁
性材料を随時供給することができ、従って長時間の連続
蒸着が可能となり、その結果蒸着効率を大いに向上させ
ることができるものである。
【００１６】また本装置は、ルツボ内の液面を常に一定
の高さに保つことができる。この液面変化は、被蒸着材
に対する磁性材料蒸気の入射角に影響を与え、この入射
角の変化は、保磁力に影響を及ぼすことになるが、本装
置によれば、このようなことが起こらないから、特性が
一定した磁気記録媒体を得ることができる。
の高さに保つことができる。この液面変化は、被蒸着材
に対する磁性材料蒸気の入射角に影響を与え、この入射
角の変化は、保磁力に影響を及ぼすことになるが、本装
置によれば、このようなことが起こらないから、特性が
一定した磁気記録媒体を得ることができる。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】本製造装置に備る磁性材料供給装置の概略を示
す平面図。
す平面図。
【図３】同供給装置の一部とルツボの断面図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １３ 磁性材料供給装置 １４ 貯蔵槽 １５ アーム １７ 電磁石
フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記ルツボは、該ルツボに磁性材料を供給する磁性材料
供給装置を具備し、該磁性材料供給装置は、磁性材料の
貯蔵手段と、該貯蔵手段とルツボ間を移動可能なアーム
手段と、該アーム手段に備り貯蔵手段内の磁性材料を把
持・開放可能な電磁石手段とからなることを特徴とする
磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467193A JPH0798865A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467193A JPH0798865A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798865A true JPH0798865A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24467193A Pending JPH0798865A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798865A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6467427B1 (en) * | 2000-11-10 | 2002-10-22 | Helix Technology Inc. | Evaporation source material supplier |
| JP2010265498A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法 |
| JP2010280965A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Panasonic Corp | 蒸着装置 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24467193A patent/JPH0798865A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6467427B1 (en) * | 2000-11-10 | 2002-10-22 | Helix Technology Inc. | Evaporation source material supplier |
| JP2010265498A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法 |
| JP2010280965A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Panasonic Corp | 蒸着装置 |
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