JPH0573700B2 - - Google Patents
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- JPH0573700B2 JPH0573700B2 JP60241930A JP24193085A JPH0573700B2 JP H0573700 B2 JPH0573700 B2 JP H0573700B2 JP 60241930 A JP60241930 A JP 60241930A JP 24193085 A JP24193085 A JP 24193085A JP H0573700 B2 JPH0573700 B2 JP H0573700B2
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- JP
- Japan
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- glass
- pair
- disk
- molds
- guide grooves
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/082—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses having profiled, patterned or microstructured surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/14—Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
- C03B2215/16—Metals or alloys, e.g. Ni-P, Ni-B, amorphous metals
- C03B2215/17—Metals or alloys, e.g. Ni-P, Ni-B, amorphous metals comprising one or more of the noble meals, i.e. Ag, Au, platinum group metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/41—Profiled surfaces
- C03B2215/412—Profiled surfaces fine structured, e.g. fresnel lenses, prismatic reflectors, other sharp-edged surface profiles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/44—Flat, parallel-faced disc or plate products
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は、非接触で読みとりが可能な高密度メ
モリメデイアである光デイスク（光熱記録デイス
クおよび光磁気デイスク）に用いる光デイスク基
板の製造方法に関するものである。 従来の技術 光デイスクは長期保存に対する信頼性の確保が
重要点の一つであるが、それにはデイスク基板と
して変形のない基板を用いることが必要であり、
ガラス基板を採用することが望まれる。基板にガ
ラスを用いる場合、従来から紫外線硬化樹脂を用
いたフオトポリマー法により案内溝を設けること
が一般的であつた。また、最近では、これを更に
改善した反応エツチング法により、ガラス基板に
直接凹凸の案内溝を設ける方法も開発されている
（太田賢司他、真空、28（２），77（1985））。 代表的なガラス基板に案内溝を作製する工程を
以下に示す。ガラス円板を洗浄した後、ポジ形レ
ジストをスピンコータで200〜300nmの厚さに塗
布し、プリベークした後、アルゴンレーザ光を集
光し、円板を一定速度で回転させながら、レーザ
光を円板の半径方向に移動させる方法で、幅約
0.8μm、ピツチ1.6μmの螺旋状の案内溝を記録す
る。次いてこの案内溝を現像して、その後残つた
レジストをマスクして、CHF3ガス中で反応性イ
オンエツチングを行なう。約70nmの深さまでガ
ラスをエツチングした後、不要になつたレジスト
は酸素ガスで灰化し、除去することによつて、光
デイスク用ガラス基板に案内溝が作製されてい
る。 発明が解決しようとする問題点 このようなプロセスでは、レジスト上の案内溝
パターンの現像工程や反応性イオンエツチング工
程などに高い精度が要求され、かつ、工程が長い
欠点があつた。 本発明は、このような欠点を克服すべくなされ
たものであり、極めて少ない工程で容易に光デイ
スク用ガラス基板の案内溝を作製する方法を提供
することを目的としている。 問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するために、案内溝
形状の凹凸を設けた耐熱性材料の一対の押し型を
加熱し、これらの一対の間にあらかじめ加熱した
ガラス材料塊状物をはさみ、上記の一対の押し型
でプレスし、そのまま、ガラス材料塊状物のガラ
ス転移温度よりも低い温度まで冷却する方法でも
つて、光デイスク用ガラス基板の案内溝を作製す
るものである。 作 用 本発明は、ガラス材料塊状物をあたかもレコー
ドデイスクのプレス成形のように、一対の案内溝
パターンをもつ押し型で加熱プレス成形して案内
溝を形成する方法であるので、製造工程が少なく
なると同時に高精度で案内溝のパターンを形成さ
れた押し型を用うれば、容易に高精度の案内溝が
形成できるという作用がなされる。 実施例 以下、本発明の一実施例の光デイスク基板の製
造方法について、説明する。 直径170mmで高さ60mmのタングステンカーバイ
ド（WC）（組成；WC／Co／Cr3C2＝91／８／１
（wt％））の稠密な焼結体の円柱を準備し、一方
の底面を鏡面研磨した後、高周波スパツタ装置を
用いて厚み3μmの白金−イリジウム合金膜を形成
した。合金膜形成後、スパツタ膜表面を鏡面加工
した。このようにして作製した鏡面加工面をもつ
白金−イリジウム合金コーテイングタングステン
カーバイド焼結体ブロツクを２ケ準備した。その
一方のブロツクの鏡面加工表面上に幅0.8μmピツ
チ1.6μmの螺旋状で高さ0.1μmに精密加工した凸
形状部分を設けた。このようにして螺旋状の凸形
状パターンをもつ白金−イリジウム合金コーテイ
ングタングステンカーバイド焼結体ブロツクと、
鏡面加工面をもつ白金−イリジウム合金コーテイ
ングタングステンカーバイド焼結体ブロツクの２
個からなる一対の押し型１，２を作製した。 この一対の型１，２を、図に示すプレスマシン
にセツトして、あらかじめ、600℃に加熱した組
成がSiO2 68wt％，K2Ｏ 8wt％，B2O3 11wt
％，BaO 2wt％，Na2Ｏ 10wt％の光学ガラス
の塊状物（直径150.0mm、厚み4.3mmの円板形状）
３を700℃に加熱した一対の型の間に設置し、圧
力２Kg・cm2で上下に位置した一対の型のすきまが
4.0mmになるようにして２分間保持したのち、円
板形状ガラス材を型にはさんだまま450℃まで10
分間で冷却して、成形後のガラス円板をとり出し
た。 得られたガラス円板はプレス型の中心にあらか
じめ用けた凸部によつてドーナツ形状に成形され
ていた。この中心の凸部を基準に直径150.0mmに
なるように成形後のガラス円板の側面を切断加工
して、案内溝をもつ光デイスクの円板形状のガラ
ス基板を作製した。 得られたガラス基板の表面の案内溝がプレス型
そのまま転写されて、精度高く形成されているか
どうかを成形後のガラス円板表面を走査型電子顕
微鏡を用いて評価した。その結果、上述のプレス
条件で成形して作製したガラス円板は、正確に幅
0.80±0.02μm、ピツチ1.60±0.02μmで高さ0.10±
0.02μmの凹部分として案内溝が形成されている
ことがわかつた。 ただし、この案内溝の形状が適切なものかどう
かは不明であるが、本プレス方法を用い、本プレ
ス条件を用うれば、押し型を正確に転写したガラ
ス円板が作製できるので、光デイスクの案内溝と
して最適のパターンをもつプレス押し型を使え
ば、容易に良好な案内溝をもつ光デイスク用ガラ
ス基板が製造できることがわかる。 なお、押し型の母材として、上述の実施例のか
わりにタングステンカーバイド焼結体のかわり
に、高密度のチタンカーバイド焼結体（組成；
TiC／Ni／TaC＋Cr3C2＝83／15／2wt％）を用
いた場合も同様の結果を得ることができた。 また、型表面に設ける白金系合金膜として、別
の組成の白金−イリジウム合金や白金−ロジウム
合金、白金−オスミウム合金などを用いた場合も
押し型の作製のための加工性がやや異なるが、同
様の方法で同様のガラス基板が得られた。以上の
実施例の結果を表１にまとめて示す。
モリメデイアである光デイスク（光熱記録デイス
クおよび光磁気デイスク）に用いる光デイスク基
板の製造方法に関するものである。 従来の技術 光デイスクは長期保存に対する信頼性の確保が
重要点の一つであるが、それにはデイスク基板と
して変形のない基板を用いることが必要であり、
ガラス基板を採用することが望まれる。基板にガ
ラスを用いる場合、従来から紫外線硬化樹脂を用
いたフオトポリマー法により案内溝を設けること
が一般的であつた。また、最近では、これを更に
改善した反応エツチング法により、ガラス基板に
直接凹凸の案内溝を設ける方法も開発されている
（太田賢司他、真空、28（２），77（1985））。 代表的なガラス基板に案内溝を作製する工程を
以下に示す。ガラス円板を洗浄した後、ポジ形レ
ジストをスピンコータで200〜300nmの厚さに塗
布し、プリベークした後、アルゴンレーザ光を集
光し、円板を一定速度で回転させながら、レーザ
光を円板の半径方向に移動させる方法で、幅約
0.8μm、ピツチ1.6μmの螺旋状の案内溝を記録す
る。次いてこの案内溝を現像して、その後残つた
レジストをマスクして、CHF3ガス中で反応性イ
オンエツチングを行なう。約70nmの深さまでガ
ラスをエツチングした後、不要になつたレジスト
は酸素ガスで灰化し、除去することによつて、光
デイスク用ガラス基板に案内溝が作製されてい
る。 発明が解決しようとする問題点 このようなプロセスでは、レジスト上の案内溝
パターンの現像工程や反応性イオンエツチング工
程などに高い精度が要求され、かつ、工程が長い
欠点があつた。 本発明は、このような欠点を克服すべくなされ
たものであり、極めて少ない工程で容易に光デイ
スク用ガラス基板の案内溝を作製する方法を提供
することを目的としている。 問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するために、案内溝
形状の凹凸を設けた耐熱性材料の一対の押し型を
加熱し、これらの一対の間にあらかじめ加熱した
ガラス材料塊状物をはさみ、上記の一対の押し型
でプレスし、そのまま、ガラス材料塊状物のガラ
ス転移温度よりも低い温度まで冷却する方法でも
つて、光デイスク用ガラス基板の案内溝を作製す
るものである。 作 用 本発明は、ガラス材料塊状物をあたかもレコー
ドデイスクのプレス成形のように、一対の案内溝
パターンをもつ押し型で加熱プレス成形して案内
溝を形成する方法であるので、製造工程が少なく
なると同時に高精度で案内溝のパターンを形成さ
れた押し型を用うれば、容易に高精度の案内溝が
形成できるという作用がなされる。 実施例 以下、本発明の一実施例の光デイスク基板の製
造方法について、説明する。 直径170mmで高さ60mmのタングステンカーバイ
ド（WC）（組成；WC／Co／Cr3C2＝91／８／１
（wt％））の稠密な焼結体の円柱を準備し、一方
の底面を鏡面研磨した後、高周波スパツタ装置を
用いて厚み3μmの白金−イリジウム合金膜を形成
した。合金膜形成後、スパツタ膜表面を鏡面加工
した。このようにして作製した鏡面加工面をもつ
白金−イリジウム合金コーテイングタングステン
カーバイド焼結体ブロツクを２ケ準備した。その
一方のブロツクの鏡面加工表面上に幅0.8μmピツ
チ1.6μmの螺旋状で高さ0.1μmに精密加工した凸
形状部分を設けた。このようにして螺旋状の凸形
状パターンをもつ白金−イリジウム合金コーテイ
ングタングステンカーバイド焼結体ブロツクと、
鏡面加工面をもつ白金−イリジウム合金コーテイ
ングタングステンカーバイド焼結体ブロツクの２
個からなる一対の押し型１，２を作製した。 この一対の型１，２を、図に示すプレスマシン
にセツトして、あらかじめ、600℃に加熱した組
成がSiO2 68wt％，K2Ｏ 8wt％，B2O3 11wt
％，BaO 2wt％，Na2Ｏ 10wt％の光学ガラス
の塊状物（直径150.0mm、厚み4.3mmの円板形状）
３を700℃に加熱した一対の型の間に設置し、圧
力２Kg・cm2で上下に位置した一対の型のすきまが
4.0mmになるようにして２分間保持したのち、円
板形状ガラス材を型にはさんだまま450℃まで10
分間で冷却して、成形後のガラス円板をとり出し
た。 得られたガラス円板はプレス型の中心にあらか
じめ用けた凸部によつてドーナツ形状に成形され
ていた。この中心の凸部を基準に直径150.0mmに
なるように成形後のガラス円板の側面を切断加工
して、案内溝をもつ光デイスクの円板形状のガラ
ス基板を作製した。 得られたガラス基板の表面の案内溝がプレス型
そのまま転写されて、精度高く形成されているか
どうかを成形後のガラス円板表面を走査型電子顕
微鏡を用いて評価した。その結果、上述のプレス
条件で成形して作製したガラス円板は、正確に幅
0.80±0.02μm、ピツチ1.60±0.02μmで高さ0.10±
0.02μmの凹部分として案内溝が形成されている
ことがわかつた。 ただし、この案内溝の形状が適切なものかどう
かは不明であるが、本プレス方法を用い、本プレ
ス条件を用うれば、押し型を正確に転写したガラ
ス円板が作製できるので、光デイスクの案内溝と
して最適のパターンをもつプレス押し型を使え
ば、容易に良好な案内溝をもつ光デイスク用ガラ
ス基板が製造できることがわかる。 なお、押し型の母材として、上述の実施例のか
わりにタングステンカーバイド焼結体のかわり
に、高密度のチタンカーバイド焼結体（組成；
TiC／Ni／TaC＋Cr3C2＝83／15／2wt％）を用
いた場合も同様の結果を得ることができた。 また、型表面に設ける白金系合金膜として、別
の組成の白金−イリジウム合金や白金−ロジウム
合金、白金−オスミウム合金などを用いた場合も
押し型の作製のための加工性がやや異なるが、同
様の方法で同様のガラス基板が得られた。以上の
実施例の結果を表１にまとめて示す。
【表】
発明の効果
以上に述べてきたように、本発明によれば、極
めて容易に高精度な案内溝をもつた光デイスク用
のガラス基板の製造が可能になり、かつ、製造工
程数も少なくすむので、光デイスク用ガラス基板
の低コスト化が可能となる。
めて容易に高精度な案内溝をもつた光デイスク用
のガラス基板の製造が可能になり、かつ、製造工
程数も少なくすむので、光デイスク用ガラス基板
の低コスト化が可能となる。
図は本発明の一実施例で用いたプレスマシンの
概略図である。 １，２……押し型、３……原料光学ガラス円
板、４，５……押し型加熱ヒータ、６……原料ガ
ラス円板供給治具、７……上型用ピストンシリン
ダー、８……下型用ピストンシリンダー、９……
原料ガラス円板予備加熱トンネル炉、１０……成
形デイスクとり出し口。
概略図である。 １，２……押し型、３……原料光学ガラス円
板、４，５……押し型加熱ヒータ、６……原料ガ
ラス円板供給治具、７……上型用ピストンシリン
ダー、８……下型用ピストンシリンダー、９……
原料ガラス円板予備加熱トンネル炉、１０……成
形デイスクとり出し口。
Claims (1)
- １ 型表面に案内溝形状の凹凸を設けた一対の押
し型であり、かつ金属Coを結合材として添加し
たタングステンカーバイド焼結体あるいは金属
Niを結合材として添加したチタンカーバイド焼
結体を母材とし白金系貴金属合金のコーテイング
膜を設けた構造の押し型を加熱し、これらの一対
の間にあらかじめ加熱したガラス材料塊状物をは
さみ、前記一対の押し型でプレスし、その状態で
前記ガラス材料塊状物のガラス転移温度より低い
温度まで冷却することを特徴とする光デイスク基
板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60241930A JPS62100429A (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 光デイスク基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60241930A JPS62100429A (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 光デイスク基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62100429A JPS62100429A (ja) | 1987-05-09 |
| JPH0573700B2 true JPH0573700B2 (ja) | 1993-10-14 |
Family
ID=17081680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60241930A Granted JPS62100429A (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 光デイスク基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62100429A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2641192B2 (ja) * | 1986-03-04 | 1997-08-13 | キヤノン株式会社 | 微細パターンを表面に有するガラス光学素子の製造方法 |
| DE3719200A1 (de) * | 1987-06-09 | 1988-12-29 | Ibm Deutschland | Optische speicherplatte und verfahren zu ihrer herstellung |
| JPS6426807A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Canon Kk | Production of light guide |
| JP2577055B2 (ja) * | 1988-07-13 | 1997-01-29 | ホーヤ株式会社 | ガラス成形型 |
| JP2925553B2 (ja) * | 1988-08-15 | 1999-07-28 | ホーヤ株式会社 | ガラスプレス成形用型 |
| JPH0444640A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固定磁気ディスクおよびその製造方法 |
| JP4228801B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2009-02-25 | ソニー株式会社 | 記録媒体基板、記録媒体と、これらの製造方法および記録媒体基板の成型装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60176930A (ja) * | 1984-02-21 | 1985-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラスレンズのプレス成形用型 |
-
1985
- 1985-10-29 JP JP60241930A patent/JPS62100429A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62100429A (ja) | 1987-05-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |