JPH0574677U - 被処理物の保持治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】液垂れ防止とコスト低減を図る。 【構成】基体とクランパー（２０）と支持機構とクラン
プ力付与機構とアンクランプ力付与手段とを備えてなる
被処理物（Ｗ）の保持治具（１００）において、一方挟
持爪（２１）を挟持部（２２）が曲面とされかつ他方挟
持爪（２５）の対向部位に凹部が設けられた折曲板材か
ら形成するとともに他方挟持爪（２５）を挟持部（２
６）が鋭角とされた折曲部材から形成し、支持機構とク
ランプ力付与機構とを、各挟持爪（２１，２５）と基体
（３）とを連結する一対の曲折板バネ（５１，５５）か
ら構成している。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、被処理物を搬送桿等に取付保持するための保持治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

各種表面処理装置の中には、図５に示す如く、プリント回路基板のような板状 の被処理物Ｗを保持治具１００を介して搬送桿７等に取付け、処理液Ｑ中に浸漬 しかつ必要によって給電しつつ処理を行うように構成されたものが多い。

【０００３】 かかる保持治具１００の従来構造は、図６に示す如く、基体１０とクランパー ２０と支持機構３０とクランプ力付与機構５０とアンクランプ力付与手段４０と から構成されているのが、一般的である。

【０００４】 すなわち、基体１０はハンガー１５を介して搬送桿７に取付けられる。クラン パー２０は、一方挟持爪２１と他方挟持爪２５とからなり、支持機構３０でクラ ンプ・アンクランプ動作可能に支持される。この支持機構３０は一対のブラケッ ト３１，３５をピン３２で回動連結されたものとされ、本例では他方挟持爪２５ を可動側として静止側の一方挟持爪２１に対して傾斜回動させ、両挟持部２２， ２６を離隔接近可能に支持する。また、クランプ力付与機構５０は、一対の重ね 真直板バネ５１，５５からなり、常時にクランプ力を付与するものとされている 。このクランプ力を解くのが外力（アンクランプ力）Ｆを付与するアンクランプ 力付与手段４０で、他方ブラケット３５を介して他方挟持爪２５に連結された操 作レバー（４０）からなっている。 なお、図６中の２３は、給電部である。

【０００５】 したがって、操作レバー（４０）に外力Ｆを加えて両挟持爪２１，２５（２２ ，２６）を解放させておき、被処理物Ｗを一方挟持爪２１の側面２１Ｓに当接位 置づけし、その後に外力Ｆを取除く。すると、クランプ力付与機構５０（５１， ５５）が働き、他方挟持爪２５が支持機構３０のピン３２を中心として回動する 。その結果、バネ５１，５５の付勢力によって、被処理物Ｗは両挟持部２２，２ ６でクランプされる。

【０００６】 その後に、搬送桿７をクレーン等で搬送・昇降することにより、被処理物Ｗを 図５に示すように、処理液Ｑに浸漬することができる。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来構造には次のような問題点があり、その解決が強く求 められている。

【０００８】 すなわち、 支持機構３０が一対のブラケット３１，３５をピン３２で回動 連結する構造とされているので液溜りとなり保有液量が多くなる。また、両挟持 爪２１，２５（２２，２６）で被処理物Ｗをクランプした部位も液溜を形成する 。 したがって、被処理物Ｗを処理液Ｑから持上げた際に、被処理物Ｗの表面に液 垂れが生じ皮膜の２層化が発生する。これは、例えばプリント回路基板に電着レ ジスト処理を施す場合、現像不良，エッチング不良，露光時の解像度低下という 重大な問題を引起す。

【０００９】 液溜が形成されかつ洗浄性が悪いと、電解時の電流集中により挟持部２３， ２６に接近する被処理物Ｗの表面にゲル化した皮膜が発生してしまい、後の露光 不良の原因となる。つまり、処理中にも問題を誘発させる。

【００１０】 支持機構３０は可動部分が多く構造も複雑であるから、電気的絶縁樹脂のコ ーティングができない。したがって、上記ゲル化した皮膜が広域に発生してしま う原因となる。

【００１１】 挟持部２２，２６は、平板状挟持爪２１，２５の平面をもって被処理物Ｗを クランプする構成であるから、クランプ力が弱く給電不足や搬送中の落下原因と なる。これに対して、クランプ力付与機構５０のバネ力を強力とすることが考え られるが、これではアンクランプ用の外力Ｆを過大としなければならないので、 実用的でない。

【００１２】 被処理物Ｗはアンクランプ状態において、一方挟持爪２１の側面２１Ｓに当 接させ、その後に他方挟持爪２５から外力Ｆを取除いてクランプする必要がある 。つまり、片側の挟持爪２５を回動させてクランプ動作させる。したがって、被 処理物Ｗを一方挟持爪２１に正確に位置づけしなければならないので、自動クラ ンプが非常に困難である。全自動化の阻害要因となっている。

【００１３】 構造複雑であるから、コスト高である。

【００１４】 本考案の目的は、液溜を一掃して液垂れを小さくかつゲル化皮膜発生を抑制で きるとともに洗浄や自動化が容易で低コストの被処理物の保持治具を提供するこ とにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る被処理物の保持治具は、搬送桿等に着脱可能な基体と、一方挟持 爪と他方挟持爪とからなるクランパーと、両挟持爪をクランプ・アンクランプ動 作可能に支持する支持機構と、クランパーにクランプ力を付与するクランプ力付 与機構と、このクランプ力付与機構をアンクランプ状態とするための外力を加え るアンクランプ力付与手段と、からなる被処理物の保持治具において、前記一方 挟持爪を挟持部が曲面とされかつ前記他方挟持爪の対向部位に凹部が設けられた 折曲板材から形成するとともに前記他方挟持爪を挟持部が鋭角とされた折曲板材 から形成し、前記支持機構とクランプ力付与機構とを、各挟持爪と前記基体とを 連結する一対の曲折板バネから構成したことを特徴とする。

【００１６】

【作用】 上記構成による本考案では、アンクランプ力付与手段を介して両挟持爪に両側 から外力を加える。すると、支持機構とクランプ力付与機構とを構成する一対の 曲折板バネが強制的にさらに湾曲されるから、両挟持部を相互に離反できアンク ランプ状態とできる。 したがって、両挟持部間のセンターに被処理物を位置づけまたは予め位置づけ された被処理物にアンクランプ状態の両挟持部を下降させれば、本治具に対する 被処理物の位置出しが楽である。自動化できる。 ここに、両側外力を同時に取除けば、一対の曲折板バネが同時に復元し、両挟 持部で被処理物を所定のクランプ力で挟持できる。その後は、基体ごと搬送し処 理液に浸漬することにより、所定処理できる。 処理後に基体ごと引上げる。しかし、支持機構とクランプ力付与機構とは一対 の曲折板バネから構成された簡単な構造であり、また両挟持部で被処理物をクラ ンプした箇所にも液溜が形成されないので、液垂れは非常に少なく２層皮膜を形 成することがない。

【００１７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 本保持治具１００は、図１〜図３に示す如く、クランパー２０を折曲板材から なる一方挟持爪２１と他方挟持爪２５とから構成するとともに、支持機構（３０ ）とクランプ力付与機構５０とを各挟持爪２１，２５と基体（３）とを連結する 一対の曲折板バネ５１，５２とから一体的に構成している。 また、この実施例では、一層の液垂れ防止を図って、本保持治具１００を図４ に示す如く、搬送枠１に横倒し姿勢で取付ける構成としている。

【００１８】 図４において、搬送枠１は、クレーン等に引掛けるフック部２に縦枠３，３と 横枠５，５とを一体的に固着してなる。 両縦枠３，３には、複数（６つ）の保持治具１００が取付けられている。この 実施例の基体は、この縦枠３，３を兼用するものとして形成されている。したが って、被処理物Ｗを両サイドから挟持して、搬送枠１に取付けることができる。 なお、処理液Ｑは、電着レジスト処理を行うものとされ、また被処理物Ｗはプ リント回路基板である。

【００１９】 まず、クランパー２０を形成する一方挟持爪２１は、図１（Ａ）に示す如く、 耐蝕性とバネ性に富んだステンレス板の折曲構造とされ、一方の挟持部２２は曲 面として形成されかつ他方挟持爪２５（挟持部２６）の対応部位には図２に示す 凹部２３が設けられている。 この実施例におけるステンレス板材は、厚さ１ｍｍの幅１１ｍｍとされ、上記 凹部２３は孔明加工による直径６ｍｍの貫通孔として形成されている。

【００２０】 また、図１（Ｂ）に示す他方挟持爪２５も同一材料の折曲板材から形成され、 先端部分に位置する挟持部２６は図３に示す如く鋭角（例えば９０度）とされて いる。 したがって、一方の挟持部２２と他方の挟持部２６との協働による被処理物Ｗ のクランプポイントを小さくできるので、確実なクランプができるとともに給電 部の狭小化が図れるので、電流集中によるゲル化皮膜の生成域を小さくできる。 なお、図１は説明便宜のために（Ａ），（Ｂ）と分けて図示しているが、実際 には縦枠３を共通として見るべきである。

【００２１】 一方（他方）挟持爪２１（２５）の基端部は、アンクランプ力付与手段４０を 形成する操作レバー４１（４５）に固着されている。この操作レバー４１，４５ も両挟持爪２１，２５と同一材料である。

【００２２】 ここに、支持機構とクランプ力付与機構５０とは、一対の曲折板バネ５１と５ ５とから一体的に形成されている。 一方（他方）曲折板バネ５１（５５）は、直線部５４（５８）をもって基体を 形成する縦枠３の左右両側に固着され、かつその先端直線部５２（５６）には操 作レバー４１（４５）が固着される。常態にあっては、両挟持部２２，２６が共 通の軸線Ｚ上で接触するものと形成されている。

【００２３】 また、曲折板バネ５１，５５の終端立上部５３，５７は、操作レバー４１，４ ５の端末４２，４６と当接するストッパーを形成する。曲折板バネ５１，５５の バネ性保護と外力Ｆ，Ｆを加えて行うアンクランプの自動化便宜のためである。

【００２４】 なお、各操作バー４１，４５に外力Ｆ，Ｆを付与すると、両挟持部２２，２６ は上記共通軸線Ｚに対して等量だけ左右に開くものとされている。したがって、 被処理物Ｗを共通軸線Ｚ上に位置づけしておけば、容易に自動クランプさせるこ とができることになる。

【００２５】 このように、本実施例のクランパー２０（２１，２５）、支持機構とクランプ 力付与機構を一体形成する曲折板バネ５１，５５、アンクランプ力付与手段４０ （４１，４５）は、全体として構造簡単で液溜も形成しないから電着膜の２層化 を防止できる。また、挟持部２２，２６とその一部周辺を除き全体を電気的絶縁 樹脂でコーティングできるので、電解処理中の電流集中によるゲル化の皮膜形成 範囲を狭小とできる。さらに、洗浄性を向上できる。

【００２６】 次に、この実施例の作用を説明する。 常態にあっては、両挟持部２２，２６（詳しくは、クランプポイント）が共通 軸線Ｚ上で当接する。挟持部２２の凹部２３はこの際の挟持部２６の逃げを形成 する。

【００２７】 ここに、図４に示す全保持治具１００を自動アンクランプ装置（図示省略）に よってアンクランプ状態とする。 すなわち、図１において、両操作レバー４１，４５に外力Ｆ，Ｆを左右から同 時に加えると、曲折板バネ５１，５５が強制的にさらに湾曲され、両挟持部２２ ，２６は共通軸線Ｚに対して等量だけ相互に離反する。つまり、アンクランプさ れる。

【００２８】 次に、予めセットされた被処理物Ｗ（搬送枠１）に搬送枠１（被処理物Ｗ）を 移動させ、共通軸線Ｚ上に被処理物Ｗの厚さ方向中心が合うように位置決めする 。従来の如く、一方挟持爪２１の側面２１Ｓに高精度で当接位置づけしなくてよ いから、クランプ・アンクランプの自動化が容易となる。

【００２９】 ここに、外力Ｆ，Ｆを取除くと、曲折板バネ５１，５５がともに復元するので 、第１に支持機構として働き、両挟持部２２，２６を共通軸線Ｚに向けて回動さ せて被処理物Ｗをクランプさせる。一方挟持部２２は曲面とされかつ他方挟持部 ２６は鋭角とされているので、確実にクランプできる。 引続き、第２にクランプ力付与機構５０として働く。この場合にも上記形状（ 曲面，鋭角）が有効に作用しかつ共通軸線Ｚを中心として左右から同一バネ力が 加わるので、被処理物Ｗを一段と確実かつ安定してクランプできるわけである。

【００３０】 かくして、搬送枠１をクレーン等によって搬送し、被処理物Ｗを処理液Ｑに浸 漬しかつ給電しつつ電着レジスト処理を行う。 この際、各保持治具１００が構造簡単であるから十分な洗浄が行われており、 また挟持部２２，２６を除くほとんどがコーティングされているので、ゲル化の 皮膜形成を極小的に抑えられる。

【００３１】 処理後に、搬送枠１を引上げる。保持治具１００は、全体が折板構造とされか つフランジ，ピン等を含む従来支持機構（３０）がない。また挟持点にも液溜が 形成されない。しかも、全保持治具１００は横倒し状態で基体を形成する縦枠３ ，３に取付けられているから、液垂れを極少とすることができる。よって、２重 皮膜形成等を完全防止でき高品質処理できる。

【００３２】 しかして、この実施例によれば、クランパー２０の一方挟持爪２１を挟持部２ ２が曲面とされかつ他方挟持爪２５（２６）の対向部位に凹部２３が設けられた 折曲板材から形成するとともに、他方挟持爪２５を挟持部２６が鋭角とされた折 曲板材から形成し、しかも支持機構とクランプ力付与機構とを各挟持爪２１，２ ５と基体（３）とを連結する一対の曲折板バネ５１，５５から構成しているので 、液溜を一掃して液垂れを小さくかつゲル化皮膜発生を抑制できるとともに洗浄 や自動化が容易で低コストで製作できる。

【００３３】 また、一方の挟持部２２は曲面とされかつ他方の挟持部２６は鋭角とされてい るので、クランプ力を大きくでき、かつ被処理物Ｗを安定保持できるとともに電 流集中によるゲル化皮膜発生域を小さくできる。

【００３４】 また、支持機構とクランプ力付与機構とが、一対の曲折板バネ５１，５５から 形成されているので、従来例（図６）との比較からしても明らかの通り、液溜り を一掃できる。

【００３５】 また、両挟持爪２１，２５ともに折曲板材から形成されているので、これ自体 もクランプ力を安定させるバネ作用を発揮できる。

【００３６】 また、両挟持爪２１，２５は常態にあっては共通軸線Ｚ上で当接しかつ外力Ｆ ，Ｆを加えたときに左右に等量だけ移動変位するものとされているので、クラン プ・アンクランプ自動化が極めて容易となる。

【００３７】 さらに、各構成が折曲板構造とされているので、コストを飛躍的に低減できる 。また、挟持部２２，２６を除きコーティングできるから電流集中によるゲル化 被膜防止が図れる。

【００３８】

【考案の効果】

本考案によれば、クランパーの一方挟持爪を挟持部が曲面とされかつ他方挟持 爪の対向部位に凹部が設けられた折曲板材から形成するとともに、他方挟持爪を 挟持部が鋭角とされた折曲板材から形成し、しかも支持機構とクランプ力付与機 構とを各挟持爪と基体とを連結する一対の折曲板バネから構成しているので、次 のような優れた効果を奏する。 全体が折板構造であるから、液溜を一掃でき液垂れによる生成皮膜の２層化 を防止できる。 構造簡単であるから、コストを大幅に低減でき、洗浄も非常に楽である。 クランプポイントが小さいので、被処理物を確実に保持できかつ給電部を狭 小とできる。 従来支持機構の如く可動部分が少なく曲折板バネでよいから、全体をコーテ ィングでき電流集中によるゲル化皮膜の生成を最小化できる。 一方挟持爪と他方挟持爪とを、対称としてクランプ・アンクランプ動作でき るので、自動化が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す平面図である。

【図２】同じく、一方挟持部の詳細構造を説明するため
の図である。

【図３】同じく、他方挟持部の詳細構造を説明するため
の図である。

【図４】同じく、搬送枠に取付けた状態を説明するため
の図である。

【図５】従来例の使用態様を説明するための図である。

【図６】従来例を示す側面図である。

【符号の説明】

１ 搬送枠 ２ フック部 ３ 縦枠（基体） ５ 横枠 １０ 基体 ２０ クランパー ２１ 一方挟持爪 ２２ 挟持部 ２３ 凹部 ２５ 他方挟持爪 ２６ 挟持部 ３０ 支持機構 ４０ アンクランプ力付与手段 ４１，４５ 操作バー ５０ クランプ力付与機構 ５１，５５ 曲折板バネ（支持機構，クランプ力付与機
構） １００ 保持治具

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送桿等に着脱可能な基体と、一方挟持
   爪と他方挟持爪とからなるクランパーと、両挟持爪をク
   ランプ・アンクランプ動作可能に支持する支持機構と、
   クランパーにクランプ力を付与するクランプ力付与機構
   と、このクランプ力付与機構をアンクランプ状態とする
   ための外力を加えるアンクランプ力付与手段と、からな
   る被処理物の保持治具において、 前記一方挟持爪を挟持部が曲面とされかつ前記他方挟持
   爪の対向部位に凹部が設けられた折曲板材から形成する
   とともに前記他方挟持爪を挟持部が鋭角とされた折曲板
   材から形成し、 前記支持機構とクランプ力付与機構とを、各挟持爪と前
   記基体とを連結する一対の曲折板バネから構成したこと
   を特徴とする被処理物の保持治具。