JPH0575930B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は半導体の製造等に用いられる清浄作業
室装置に係り、特に製造ラインごとにトンネル状
の清浄作業室を設け、それらを主通路部に枝状に
接続した形式の大規模な清浄作業室装置に関す
る。

〔発明の背景〕

この種の清浄作業室装置の基本的構成について
は特開昭58−127035号公報に開示されているが、
この従来例では、主通路部を高清浄度に保つため
高価な高性能フイルタを多量に必要とし、設備費
や運転経費が高くなるとともに、主通路部での発
塵が清浄作業室内の清浄度に影響を与えやすいと
いう問題点があつた。

以下、第８図〜第１２図によりさらに詳しく説
明する。

第８図はこの清浄作業室装置を半導体の製造に
適用した場合の概略平面図で、建屋１の中に外界
から遮蔽された主通路部２を設けるとともに、こ
の主通路部２に枝状に接続したトンネル状の清浄
作業室３を露光、拡散、CVD、エツチング、メ
タライズ等の製造ラインごとに設け、この清浄作
業室３の内にそれぞれの製造ライン用機器４を設
置する。そして、隣り合う清浄作業室３の間およ
び清浄作業室３と建屋１の壁面との間に保全域５
を設け、この保全域５に製造ラインへガス、電気
等を供給するための配管６を設置することによ
り、高清浄度に維持する清浄化区域および空調対
象区域を必要最小限にするとともに、製造ライン
別の空調温度制御を可能にしている。主通路部２
は両端を建屋１の壁で仕切つて外界から遮蔽し、
外部の一般室７との間の出入口にはエアーシヤワ
ー８を設置して塵埃の侵入を防止している。

第９図は第８図の−断面図、第１０図は同
−断面図である。

第１１図は清浄作業室３の詳細断面図で、製造
ライン用機器４を室内に２列に配置した例を示
す。

清浄作業室３内には製造ライン用機器４を設置
した作業部９と作業者が通行する通行路１０をそ
れぞれ紙面に直角の方向に細長く形成してあり、
天井部には空気浄化要素である送風機１１，１
２、高性能フイルタ１３，１４と照明灯１５，１
６を収納し、作業部９と通路部１０の各天井部に
清浄空気吹出口１７，１８をそれぞれ設けてあ
る。送風機１１，１２によりプレフイルタ１９を
通して吸込まれた外部空気はそれぞれ高性能フイ
ルタ１３，１４を通つて清浄化され、清浄空気吹
出口１７，１８から作業部９と通路１０へ吹出さ
れる。吹出された清浄空気は矢印で示すように室
内を流れ、清浄作業室３の両側壁下部に設けられ
た排気口２０から保全域５へ排出される。これに
より、清浄作業室３の室内を外気に対し正圧に保
つて外部の汚染空気が室内に侵入することを防止
するとともに、室内で発生した塵埃を速やかに排
出し、室内を所要の清浄度に維持する。洗浄空気
吹出口１７，１８の吹出風量、風速は作業部９と
通路部１０のそれぞれの所要清浄度に応じて設定
し、洗浄空気吹出口１７の直下の作業部で清浄度
が最も高くなるようにしている。

第１２図は主通路部２の詳細断面図である。こ
の従来例では、主通路部２の内部空間２１と第８
図に示す各清浄作業室３の室内とがそれらの間を
人の往来とともに、空気が自由に流通できるよう
に清浄作業室の入口３ａで接続されているため、
主通路部内部空間２１も清浄作業室３の通路部１
０と同程度の高清浄度に保つ必要がある。このた
め、第１２図に示すように主通路部２の天井部に
空気浄化要素である送風機２２、高性能フイルタ
２３と照明灯２４を収納し、内部空間２１の天井
面に長手方向のほぼ全長にわたり清浄空気吹出口
２５を設け、送風機２２によりプレフイルタ２６
を通して吸込まれた外部空気を高性能フイルタ２
３に通して清浄化して、清浄空気吹出口２５から
吹出し、内部空間２１を流れた清浄空気を主通路
部２の両側壁下部に設けた排気口２７から保全域
５へ排出することにより、内部空間２１の清浄度
を高くしている。

このように従来例では、主通路部内部空間２１
を高清浄度に保つ必要上、清浄空気吹出口２５の
面積を大きくとり、吹出風量を多くしていたた
め、高価な高性能フイルタ２３を多量に必要とす
るとともに、送風機２２の循環風量も多くなり、
設備費や運転経費が高くなる。また、主通路部内
部空間２１の吹出風量が多い割に、第８図からも
分るように保全域５へ空気を排出する排気口２７
の設置スペースが十分取れないため、主通路部内
部空間２１の圧力が高くなつて、主通路部内部空
間２１から清浄作業室３内へ空気が流入する傾向
となり、このため、主通路部２を通行する作業者
からの発塵が清浄作業室３内の清浄度に影響を与
えやすく、製造ラインにおける製品の品質をそこ
なう恐れがあつた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、主通路部から清浄作業室への
塵埃の侵入を防止することにより、清浄作業室の
清浄度を所要レベルに維持しながら、主通路部の
清浄度を必要最小限に抑えて設備費および運転経
費を低減した清浄作業室装置を提供することにあ
る。

〔発明の概要〕

本発明は、外界から遮蔽された主通路部と、こ
の主通路部に枝状に接続され、室内を清浄化する
ための清浄空気吹出口および排気口を個別に備え
た複数のトンネル状の清浄作業室を有する清浄作
業室装置において、主通路部の清浄度よりも清浄
作業室内の清浄度の方を高くし、主通路部に接続
する清浄作業室の入口に隣接して主通路部の天井
に設けた清浄空気吹出口と主通路部の床に設けた
排気口により、清浄作業室の入口に沿つてエアー
カーテン気流を形成するとともに、このエアーカ
ーテン気流により主通路部空間を清浄化するよう
に構成したことを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図〜第７図により
説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す部分切断平面
図、第２図は第１図の−断面図、第３図は同
−断面図、第４図は−断面図で、第８図
〜第１２図と同一符号は対応する部分を示してお
り、外界から遮蔽された主通路部２と、この主通
路部２に枝状に接続された複数のトンネル状の清
浄作業室３とからなる基本的構成は第８図〜第１
２図に示す従来例と同一である。

第１図〜第３図に示すように、本実施例におけ
る清浄作業室３は室内通路部１０の床に排気口２
８を設けた点を除いては従来例と同様に構成され
ており、送風機１１，１２により給気ダクト２９
からプレフイルタ１９を通して吸込まれた空気は
それぞれ高性能フイルタ１３，１４を通つて清浄
化されて、清浄空気吹出口１７，１８から室内の
作業部９と通路部１０に吹出し、矢印で示すよう
に室内を流れた後、床排気口２８から床下排気ダ
クト３０へ排出され、図面外の空調装置へもど
る。この清浄空気の循環により、製造ライン用機
器４を設置した作業部９と作業者が通行する通路
部１０をそれぞれ所要の清浄度に維持する。清浄
作業室３の排気は従来例と同様に両側部の排気口
から保全域５へ出してもよい。

第１図、第３図、第４図に示すように本実施例
では、主通路部２の天井の清浄作業室入口３ａに
隣接する部分にのみ清浄空気吹出口３１を設け、
これに対応する排気口３２を主通路部２の床の清
浄作業室入口３ａに隣接する部分に設けてある。
清浄空気吹出口３１の上方には送風機３３、高性
能フイルタ３４、プレフイルタ３５を備えた空気
浄化ユニツト３６を設置し、送風機３３により給
気ダクト３７からプレフイルタ３５を通して吸込
まれた空気を高性能フイルタ３４に通して清浄化
し、清浄空気吹出口３１から吹出させる。吹出さ
れた清浄空気の大部分は清浄作業室入口３ａに沿
つて下方に流れるエアーカーテン気流３８を形成
し、床排気口３２から床下排気ダクト３０へ排出
される。主通路部２の床排気口３２は図示のよう
に清浄作業室３の床排気口２８の延長部として設
けてもよいし、清浄作業室３の排気口とは別に独
立して設けてもよい。

本実施例では、主通路部２の清浄度よりも清浄
作業室３内の清浄度も高くし、前記エアーカーテ
ン気流３８により主通路部２と清浄作業室３との
間の空気の流通を遮断する。この場合、清浄作業
室３内は上部ほど清浄度が高く、外部からの汚染
空気の流入により製造ラインに影響を与えやすい
ので、主通路部２の天井に設ける清浄空気吹出口
３１の幅Ｗは清浄作業室入口３ａの幅ｗより大き
くすることが大切である。このように構成するこ
とにより、清浄作業室入口３ａはエアーカーテン
気流３８によつてほぼ完全に遮蔽され、製造ライ
ンに影響を与える主通路部２から清浄作業室３へ
の汚染空気の流入を防止することができる。ま
た、清浄空気吹出口３１から吹出されたエアーカ
ーテン気流３８は第４図の２点鎖線３９で示すよ
うに横に拡がり、その一部は主通路部の内部空間
２１に拡散するので、この気流により内部空間２
１の他の部分もある程度清浄化される。

本実施例によれば、例えば清浄作業室３の作業
部９の所要清浄度をclass10、通路部１０の清浄
度をclass100とするとき、主通路部２の清浄度は
class1000程度でよく、このように主通路部２の
清浄度が低くても前述したエアーカーテン効果に
より清浄作業室３内の清浄度を所要の高レベルに
維持することができる。その結果、従来例に比べ
主通路部２に清浄空気を供給するための高性能フ
イルタの使用量が少なくてすみ、また送風機の循
環風量も少なくてよいので、装置全体の設備費お
よび運転経費を大幅に低減できる。

第５図は本発明の他の実施例を示す部分切断平
面図、第６図は第５図の−断面図、第７図は
同−断面図で、他の図と同一符号は対応する
部分を示す。

本実施例は、主通路部２の天井の清浄作業室入
口３ａに隣接する部分に清浄空気吹出口３１を設
け、主通路部２の床の清浄作業室入口３ａに隣接
する部分に排気口３２を設けて、清浄作業室入口
３ａに沿つたエアーカーテン気流３８を形成する
とともに、主通路部２の中央部分にも清浄空気吹
出口４０とこれに対応する床排気口４１を設けた
ものである。

前述したように、清浄作業室入口部分にエアー
カーテン気流３８を形成することにより、常時は
主通路部２と清浄作業室３との間の空気の流通が
遮蔽されているが、清浄作業室３への人の出入な
どに伴う清浄作業室３内の清浄度低下を防止する
ため、主通路部２もある程度清浄化する必要があ
る。

もし、隣り合う清浄作業室３の間隔が広い場合
などのように、清浄作業室入口部分のエアーカー
テン気流３８のみでは主通路部２の清浄度が不足
する場合には、本実施例のように主通路部２の中
央部分に清浄空気吹出口４０と床排気口４１を増
設することにより、必要なだけ清浄度を上げるこ
とができる。この場合、中央部分の清浄空気吹出
口４０に対する床排気口４１の位置は、直下より
も図示のように少しずらした方が、主通路部内部
空間２１の気流分布が良くなり、清浄効果が高ま
る。中央部分の清浄空気吹出口４０に対しては、
清浄作業室入口部分と同様に送風機３３′、高性
能フイルタ３４′、プレフイルタ３５′を備えた空
気浄化ユニツト３６′から清浄空気を供給する。

本実施例でも、清浄作業室入口部分のエアーカ
ーテン効果により、主通路部２の高性能フイルタ
使用量や循環風量は従来例よりも少なくてすむ。

特許請求の範囲に記載の第１の空気浄化手段と
は、例えば、実施例のフイルタ３４に相当し、第
２の空気浄化手段とは、例えば、実施例のフイル
タ１３，１４に相当する。また、第１の排気口と
は、例えば、排気口２８に相当し、第２の排気口
とは、例えば、排気口３２に相当する。

〔発明の効果〕

本発明によれば、主通路部の清浄度よりも清浄
作業室内の清浄度を高くし、主通路部の清浄作業
室入口に沿つた部分にエアーカーテン気流を形成
して主通路部から清浄作業主通路部への汚染空気
の流入を防止するとともに、このエアーカーテン
気流により主通路部の内部空間を清浄化する構成
としたため、主通路部の清浄化に必要な高性能フ
イルタの使用量および送風機の循環風量を従来例
より大幅に減らして、設備費や運転経費を低減す
ることができ、かつ主通路部の発塵が清浄作業室
内の清浄度に及ぼす影響をなくし、清浄作業室内
の清浄度を所要レベルに維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す部分切断平面
図、第２図は第１図の−断面図、第３図は同
−断面図、第４図は同−断面図、第５図
は本発明の他の実施例を示す部分切断平面図、第
６図は第５図の−断面図、第７図は同−
断面図、第８図は従来例の概略平面図、第９図は
第８図の−断面図、第１０図は同−断面
図、第１１図は従来例の清浄作業室の詳細断面
図、第１２図は従来例の主通路部の詳細断面図で
ある。 ２……主通路部、３……清浄作業室、３ａ……
清浄作業室入口（開口部）、９，１０……清浄作
業室の室内、１３，１４……高性能フイルタ（第
２の空気浄化手段）、２１……主通路部の内部空
間、１７，１８，３１，４０……清浄空気吹出
口、３４……高性能フイルタ（第１の空気浄化手
段）、２８，３２，４１……排気口、３８……エ
アーカーテン気流。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 外界から遮断された主通路部と、前記主通路
   部から分岐した複数の通路部と、前記主通路部と
   前記複数の通路部の境界に形成した開口部と、前
   記各通路部の両側に作業部を有して前記主通路部
   より高い清浄度を有する清浄作業室を備える清浄
   作業室装置において、 前記主通路部の天井部に部分的に設けられて、
   この主通路部に上方から清浄空気を供給する空気
   吹出口を有する第１の空気浄化手段と、 前記清浄作業室の上方に設けられ前記作業部と
   前記通路部にそれぞれ清浄空気を供給する第２の
   空気浄化手段と、 前記通路部の床面に沿つて連設された第１の排
   気口と、 第１の空気浄化手段の前記空気吹出口の下方に
   設けられ該空気吹出口よりも小さい面積の第２の
   排気口を備え、 前記第１の空気浄化手段の空気吹出口は前記開
   口部より大きい幅を有して前記開口部に臨む位置
   に設けられたことを特徴とする清浄作業室装置。