JPH05762U - 真空成膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品の交換が少なくて済み、ランニングコス
トが低廉な真空成膜装置を提供することである。 【構成】 薄膜形成物質の堆積により成膜が行われる槽
と、この槽に連結された第１のパイプと、排気機構と、
この排気機構に連結された第２のパイプと、前記第１の
パイプと第２のパイプとを連結する連結機構と、前記第
１のパイプの途中において磁力を作用させる磁石あるい
は凹条溝とを具備した真空成膜装置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば真空蒸着装置あるいはスパッタ装置といったような真空成膜 装置に関するものである。

【０００２】

【考案の背景】

例えば、真空蒸着装置あるいはスパッタ装置といったような真空成膜装置は、 図２に示される如く、粒子の堆積により成膜が行われる真空槽１０と、この真空 槽１０内を真空にする為のターボ分子ポンプ、拡散ポンプあるいはクライオポン プといった排気機構１１と、真空槽１０と排気機構１１とをつなぐパイプ１２ａ ，１２ｂと、パイプ１２ａとパイプ１２ｂとを連結するバルブ１３とを具備して なり、排気機構１１の力により真空槽１０内を高真空にさせた後、真空槽１０内 に配置された基板に対して粒子を飛来付着させ、この粒子の堆積により薄膜が形 成されるものである。

【０００３】 ところで、薄膜形成過程にあっては、真空槽１０内を高真空に維持する為に排 気機構１１は常に作動しており、この為に真空槽１０内の壁に付着していた薄膜 が剥離、落下した一部が真空槽１０とパイプ１２ａとの接続部に設けられたマス クを通り抜けてパイプ１２ａ内に入り込んで来ることも有り、このようなパイプ １２ａ内に入り込んで来た粒子がパイプ１２ａとパイプ１２ｂとを連結するバル ブ１３の部分に配設されているパッキン等に付着し、バルブ１３の開閉に際して 付着した粒子によってパッキン等が損傷を受け、バルブ１３の部分からのリーク が頻繁に起きている問題が有り、バルブ１３の交換を頻繁に行わなければならな い等の問題が有った。

【０００４】

【考案の開示】

本考案の目的は、部品の交換が少なくて済み、ランニングコストが低廉な真空 成膜装置を提供することである。 この本考案の目的は、薄膜形成物質の堆積により成膜が行われる槽と、この槽 に連結された第１のパイプと、排気機構と、この排気機構に連結された第２のパ イプと、前記第１のパイプと第２のパイプとを連結する連結機構と、前記第１の パイプの途中において磁力を作用させる磁石とを具備したことを特徴とする真空 成膜装置によって達成される。

【０００５】 又、薄膜形成物質の堆積により成膜が行われる槽と、この槽に連結された第１ のパイプと、排気機構と、この排気機構に連結された第２のパイプと、前記第１ のパイプと第２のパイプとを連結する連結機構と、前記第１のパイプの途中の内 壁面に形成された凹条溝とを具備したことを特徴とする真空成膜装置によって達 成される。

【０００６】 すなわち、バルブ等の連結機構が設けられている前段階のパイプの途中におい て磁力を作用させる磁石を設けたり、あるいはパイプの内壁面に凹条溝を形成し ておくと、薄膜形成に際して槽の内壁に付着していた粒子が剥離、落下し、槽と パイプとの接続部に設けられたマスクを通り抜けてパイプ内に入り込んで来ても 、バルブ位置よりも前段階にある磁石の力で粒子はトラップされ、あるいは凹条 溝に入り込んでしまってトラップされ、バルブ位置まで到達することは格段に少 なくなり、よってパッキン等は損傷しにくく、バルブの部分からのリークの問題 は起きにくく、バルブの交換を頻繁に行わなければならない等の問題が大幅に改 善されたのである。しかも、この改善手段は、実施に複雑な技術を要するもので はなく、極めて簡単に実施できるものである。

【０００７】

【実施例】

図１は、本考案に係る真空成膜装置の概略図である。 同図中、１は薄膜形成物質の堆積により成膜が行われる槽、２ａは槽１に連結 された第１のパイプ、３はターボ分子ポンプ、拡散ポンプあるいはクライオポン プといった排気機構、２ｂは排気機構３に連結された第２のパイプ、４は第１の パイプ２ａと第２のパイプ２ｂとを連結するバルブであり、これらの部分の構成 はこれまでにも良く知られているから詳細な説明は省略する。

【０００８】 ５は第１のパイプ２ａの途中に構成された大径部、６は大径部５の内壁面に形 成された楔状の凹条溝、７は凹条溝６の位置に対応して配置された磁石である。 上記のように構成させていると、薄膜形成に際して、槽１の内壁１ａに付着し ていた薄膜が剥離、落下し、このような薄膜の一部が槽１と第１のパイプ２ａと の接続部に設けられたマスクを通り抜けて第１のパイプ２ａ内に入り込んで来て も、バルブ４位置よりも前段階にある磁石７の力で磁性粒子などはトラップされ 、特に凹条溝６内に入り込んでしまってトラップされ、バルブ４の位置まで到達 することは格段に少なくなり、よってバルブ４に配設されているパッキン等は損 傷しにくく、バルブ４の部分からのリークの問題は起きにくく、バルブ４の交換 を頻繁に行わなければならない等の問題が大幅に改善された。

【０００９】 しかも、この改善技術は、実施に複雑な技術を要求されず、極めて簡単に実施 できるものであり、従ってコストアップをもたらすものではなく、実に低廉なも のである。 又、槽１の内壁１ａに付着していた薄膜が剥離、落下し、このような薄膜の一 部が槽１と第１のパイプ２ａとの接続部に設けられたマスクを通り抜けて第１の パイプ２ａ内に入り込んで来ても、バルブ４位置よりも前段階にある磁石７の力 で磁性粒子などはトラップされるから、前記のマスクは目の粗いもので良く、従 って排気機構３の能力が大きなものでなくても排気速度は高く、薄膜形成能率は 高い。そして、排気機構３のコストも安いものでも済む。

【００１０】 尚、楔状の凹条溝６は、図１に示される如く、粒子がトラップされ易いように 角度αが９０°以上であることが好ましい。

【００１１】

【効果】 薄膜形成に際して、槽内壁に付着していた薄膜が剥離、落下し、このような 薄膜の一部が槽と第１のパイプとの接続部に設けられたマスクを通り抜けて第１ のパイプ内に入り込んで来ても、バルブ位置よりも前段階にある磁石あるいは凹 条溝でトラップされ、バルブの位置まで到達することは格段に少なくなり、よっ てバルブに配設されているパッキン等は損傷しにくく、バルブの部分からのリー クの問題は起きにくく、バルブの交換を頻繁に行わなければならない等の問題が 大幅に改善された。 本考案の改善技術は、実施に複雑な技術を要求されず、極めて簡単に実施で きるものであり、従ってコストアップをもたらすものではなく、低廉である。 槽内壁に堆積していた薄膜が剥離、落下し、このような薄膜の一部が槽と第 １のパイプとの接続部に設けられたマスクを通り抜けて第１のパイプ内に入り込 んで来ても、バルブ位置よりも前段階においてトラップされるから、マスクは目 の粗いもので良く、従って排気機構の能力が大きなものでなくても排気速度は高 い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る真空成膜装置の概略図である。

【図２】従来の真空成膜装置の概略図である。

【符号の説明】

１ 槽 ２ａ 第１のパイプ ２ｂ 第２のパイプ ３ 排気機構 ４ バルブ ５ 大径部 ６ 凹条溝 ７ 磁石

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄膜形成物質の堆積により成膜が行われ
   る槽と、この槽に連結された第１のパイプと、排気機構
   と、この排気機構に連結された第２のパイプと、前記第
   １のパイプと第２のパイプとを連結する連結機構と、前
   記第１のパイプの途中において磁力を作用させる磁石と
   を具備したことを特徴とする真空成膜装置。
2. 【請求項２】 薄膜形成物質の堆積により成膜が行われ
   る槽と、この槽に連結された第１のパイプと、排気機構
   と、この排気機構に連結された第２のパイプと、前記第
   １のパイプと第２のパイプとを連結する連結機構と、前
   記第１のパイプの途中の内壁面に形成された凹条溝とを
   具備したことを特徴とする真空成膜装置。