JPH0577263U - 被処理物の保持治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】電流集中によるゲル化皮膜発生を防止する。 【構成】搬送枠（７）等に着脱可能な基体（１０）と、
一方挟持爪（２１）と他方挟持爪（２５）とからなるク
ランパー（２０）と、両挟持爪（２１，２５）をクラン
プ・アンクランプ動作可能に支持する支持機構（３０）
と、クランパー（２０）にクランプ力を付与するクラン
プ力付与機構（５０）と、このクランプ力付与機構（５
０）をアンクランプ状態とするための外力（Ｆ）を加え
るアンクランプ力付与手段（４０）と、からなる被処理
物（Ｗ）の保持治具（１００）において、基体（１０）
と一方挟持爪（２１）と他方挟持爪（２５）とを電気絶
縁性樹脂から形成するとともに一方挟持爪（２１）の一
方挟持部（２２）と給電部（２３）とを埋設された金属
部材（２８）の露出部から形成し、他方挟持爪（２５）
の他方挟持部（２６）を鋸歯形状として支持機構（３
０）を形成する偏心配設された支軸（３０）に回転可能
に保持し、しかも両挟持爪（２１，２５）の下方に外側
に向う傾斜面（２４，２７）を設けた構成としている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、被処理物を搬送枠等に取付保持するための保持治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

各種表面処理装置の中には、図３に示す如く、プリント回路基板のような板状 の被処理物Ｗを保持治具１００を介して搬送枠７等に取付け、処理液Ｑ中に浸漬 しかつ必要によって給電しつつ処理を行うように構成されたものが多い。 かかる保持治具１００の従来構造は、図４に示す如く、基体１０とクランパー ２０と支持機構３０とクランプ力付与機構５０とアンクランプ力付与手段４０と から構成されているのが、一般的である。

【０００３】 すなわち、基体１０はハンガー１５を介して搬送枠７に取付けられる。クラン パー２０は、一方挟持爪２１と他方挟持爪２５とからなり、支持機構３０でクラ ンプ・アンクランプ動作可能に支持される。この支持機構３０は一対のブラケッ ト３１，３５をピン３２で回動連結されたものとされ、本例では他方挟持爪２５ を可動側として静止側の一方挟持爪２１に対して傾斜回動させ、両挟持部２２， ２６を離隔接近可能に支持する。また、クランプ力付与機構５０は、一対の重ね 真直板バネ５１，５５からなり、常時にクランプ力を付与するものとされている 。このクランプ力を解くのが外力（アンクランプ力）Ｆを付与するアンクランプ 力付与手段４０で、他方ブラケット３５を介して他方挟持爪２５に連結された操 作レバー（４０）からなっている。 なお、図４中の２３は、給電部である。

【０００４】 したがって、操作レバー（４０）に外力Ｆを加えて両挟持爪２１，２５（２２ ，２６）を解放させておき、被処理物Ｗを一方挟持爪２１の側面２１Ｓに当接位 置づけし、その後に外力Ｆを取除く。すると、クランプ力付与機構５０（５１， ５５）が働き、他方挟持爪２５が支持機構３０のピン３２を中心として回動する 。その結果、バネ５１，５５の付勢力によって、被処理物Ｗは両挟持部２２，２ ６でクランプされる。

【０００５】 その後に、搬送枠７をクレーン等で搬送・昇降することにより、被処理物Ｗを 図３に示すように、処理液Ｑに浸漬することができる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来構造には次のような問題点があり、その解決が強く求 められている。

【０００７】 すなわち、 支持機構３０が一対のブラケット３１，３５をピン３２で回動 連結する構造とされているので液溜りとなり保有液量が多くなる。また、両挟持 爪２１，２５（２２，２６）で被処理物Ｗをクランプした部位も液溜を形成する 。 したがって、被処理物Ｗを処理液Ｑから持上げた際に、被処理物Ｗの表面に液 垂れが生じ皮膜の２層化が発生する。これは、例えばプリント回路基板に電着レ ジスト処理を施す場合、現像不良，エッチング不良，露光時の解像度低下という 重大な問題を引起す。

【０００８】 液溜が形成されかつ洗浄性が悪いと、電解時の電流集中により挟持部２２， ２６に接近する被処理物Ｗの表面にゲル化した皮膜が発生してしまい、後の露光 不良の原因となる。つまり、処理中にも問題を誘発させる。

【０００９】 支持機構３０は可動部分が多く構造も複雑であるから、電気絶縁性樹脂のコ ーティングができない。したがって、上記ゲル化した皮膜が広域に発生してしま う原因となる。

【００１０】 挟持部２２，２６は、平板状挟持爪２１，２５の広い平面をもって被処理物 Ｗをクランプする構成であるから、クランプ力が弱く給電不足や搬送中の落下原 因となる。これに対して、クランプ力付与機構５０のバネ力を強力とすることが 考えられるが、これではアンクランプ用の外力Ｆを過大としなければならないの で、実用的でない。

【００１１】 被処理物Ｗの中には非常に薄いものがあり、被処理物に変形を発生させずに 十分な保持力を確保することが難しく、適用性が小さい。

【００１２】 構造複雑であるから、組立調整に手間がかかりコスト高となる。

【００１３】 本考案の目的は、液溜を一掃して液垂れを小さくかつゲル化皮膜発生を抑制で きるとともに洗浄が容易で低コストで適用性の広い被処理物の保持治具を提供す ることにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る被処理物の保持治具は、搬送枠等に着脱可能な基体と、一方挟持 爪と他方挟持爪とからなるクランパーと、両挟持爪をクランプ・アンクランプ動 作可能に支持する支持機構と、クランパーにクランプ力を付与するクランプ力付 与機構と、このクランプ力付与機構をアンクランプ状態とするための外力を加え るアンクランプ力付与手段と、からなる被処理物の保持治具において、基体と一 方挟持爪と他方挟持爪とを電気絶縁性樹脂から形成するとともに、基体と一方挟 持爪とを一体成形しかつ一方挟持爪の一方挟持部と給電部とを一方挟持爪に埋設 された金属部材の露出部をもって形成し、一方挟持爪の下方に外側に向って傾斜 する傾斜面を形成するとともに、他方挟持爪の他方挟持部を鋸歯形状に形成しか つその下方に外側に向って傾斜する傾斜面を形成し、前記支持機構を他方挟持爪 を回転可能に支持しかつ前記クランプ力付与機構の付勢力によって他方挟持部を 一方挟持部へ常時接触可能とする位置に配設された支軸から形成したことを特徴 とする。

【００１５】

【作用】 上記構成による本考案では、アンクランプ力付与手段を介して他方挟持爪に外 力を加えると、他方挟持爪は支持機構を形成する支軸を中心に回動する。すると 、鋸歯形状の他方挟持部は一方挟持部から離反する。したがって、両挟持部間に 被処理物を挿入できる。 ここで、アンクランプ力付与手段への外力を取除くと、クランプ力付与機構が 働き、他方挟持部は支軸を中心に先とは反対方向に回動する。つまり、鋸歯形状 の他方挟持部が一方挟持部に接近し、被処理物をクランプする。他方挟持部は、 噛込み方向に付勢されるので被処理物の厚薄に関係なく確実かつ安定してクラン プできる。

【００１６】 また、この他方挟持部と給電部とは他方挟持爪に埋設された金属部材の露出部 から形成されているので、クランプと同時に被処理物を給電系に確実に接続でき る。したがって、効率の良い処理ができるとともに全体が電気絶縁性樹脂から形 成されているから、電解時電流集中によるゲル化皮膜の発生を防止できる。

【００１７】 一方、処理液から持上げると、両挟持部は液溜とならず液垂れが少ない。しか も、一方挟持部および他方挟持部には外側に向う傾斜面が設けられているので、 その液は外側に流れ被処理物に垂れることがない。よって、皮膜の２層化を防止 できる。

【００１８】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 本保持治具１００は、図１に示す如く、基体１０と一方挟持爪２１と他方挟持 爪２５とを電気絶縁性樹脂から形成するとともに、一方挟持爪２１の一方挟持部 ２２と給電部２３とを埋設された金属部材２８の露出部から形成し、他方挟持爪 ２５の他方挟持部２６を鋸歯形状として支持機構３０を形成する偏心配設された ピン（３０）に回転可能に保持し、しかも両挟持爪２１，２５の下方に外側に向 う傾斜面２４，２７を設けた構成としている。

【００１９】 なお、処理液Ｑは、電着レジスト処理を行うものとされ、また被処理物Ｗはプ リント回路基板である。 また、全体（１０，２１，２５）を電気絶縁性樹脂から形成して耐蝕性を高め かつ、電流集中を招かない構成とされているから、被処理物Ｗを図２に示す如く 上下の保持治具１００，１００でクランプすることができる。

【００２０】 図１において、基体１０と一方挟持爪２１と他方挟持爪２５とは電気絶縁性樹 脂（例えば、ＰＥＥＫ，ＰＰＳ）から形成されている。基体１０と一方挟持爪２ １とブラケット６０とは一体成形である。したがって、耐蝕性に富み、機械的強 度も強くかつ電解時に電流集中によるゲル化皮膜の発生を防止できる。

【００２１】 この基体１０は、図２に示す上枠８（下枠９）にボルト固定され、それらの長 手方向に一定ピッチで配設されている。 なお、図２中の７は搬送枠、７Ｆはそのフック部でクレーン等に着脱される。 ７Ｅは電源装置と電気的に接続するための給電接続部であり、下枠９とは導通バ ー６，６で接続される。

【００２２】 なお、保持治具１００は、図１，図２に示す上枠８に取付けられるものも、下 枠９に取付けられるものも、同形であるから、以下の説明は図１において上枠８ に取付けられたものに着目して説明する。

【００２３】 まず、クランパー２０を形成する一方挟持爪２１は固定爪とされ、その下方に は外側に向う傾斜面２４が設けられている。また、一方挟持爪２１には金属部材 ２８が埋設されている。この実施例では、ステンレス鋼から形成されている。こ の金属部材２８の露出部が一方挟持部２２と給電部２３を形成する。したがって 、クランプされた被処理物Ｗに対向する部位が電気的絶縁性樹脂で覆われている ので、電流集中によるゲル化皮膜の発生を防止できる。

【００２４】 次に、他方挟持部２５は、リンク形状とされ、その先端外面には鋸歯形状の他 方挟持部２６が一体成形され、その下方には外側に向う傾斜面２７が設けられて いる。この傾斜面２７は上記傾斜面２４とともに被処理物Ｗを処理液から引上げ た場合に、液垂れが被処理物Ｗに落下付着しないよう働く。 なお、この他方挟持爪２５とアンクランプ付与手段としての操作レバー４０と は、一体である。

【００２５】 ここに、支持機構３０は、図１に示すように、他方挟持爪２５をクランプ・ア ンクランプ動作可能に支持するとともに、クランプ力付与機構（バネ）５０の付 勢力で両挟持部２２，２６が常時接触する方向に他方挟持爪２５を付勢させるこ とができる位置に、偏心配設された支軸（３０）からなる。

【００２６】 すなわち、支軸（３０）は、クランプポイント（２２，２６）の下方側でかつ 外側に配設される。一方、クランプ力付与機構５０を形成するバネは、操作レバ ー（４０）の中間に設けられたピン４１とブラケット６０（一方挟持爪２１と一 体である。）のピン６１との間に張設されている。したがって、他方挟持爪２５ は、図１において、常時反時計回転方向（図１で下側に配設されたものについて は時計回転方向）に付勢される。すなわち、他方挟持部２６は被処理物Ｗを一方 挟持部２２に押付ける方向、つまり被処理物Ｗに噛込む方向に回動付勢されるの で、例えば０．２ｍｍの極薄の被処理物Ｗでも確実に保持できるわけである。

【００２７】 なお、一方挟持爪２１，他方挟持爪２５は同一平面上に配設されるが、支軸（ ３０）は、側方に位置ずれ配設したブラケット６０に植設されている。一層の液 垂れ防止を図るためである。ブラケット６０上のストッパー６２は、他方挟持爪 ２５の先端の位置規制を行うもので、バネ（５０）の保護と外力Ｆを加えて行う クランプ・アンクランプの自動化便宜のために設けられている。

【００２８】 かかる構成の実施例では、一方挟持部２２と他方挟持部２６との協働により被 処理物Ｗのクランプポイントを小さくできるので確実なクランプができるととも に、給電部２４の狭小化が図れるので電流集中によるゲル化皮膜の生成域を小さ くできる。また、全体として構造簡単で液溜も形成しないから電着膜の２層化を 防止できる。さらに、全体（１０，２１，２５，６０）を電気絶縁樹脂で成形し ているので、電解処理中の電流集中によるゲル化の皮膜形成範囲を一段と狭小と できる。洗浄性も向上できる。

【００２９】 次に、この実施例の作用を説明する。 常態にあって、両挟持部２２，２６（クランプポイント）は、クランプ力付与 機構５０を形成するバネによって他方挟持爪２５が支軸（３０）を中心に、上枠 ８側の保持装置１００については反時計回転方向にかつ下枠９側の保持治具１０ ０については時計方向に付勢されているので、図１に示すように接触している。

【００３０】 ここに、各保持治具１００を自動アンクランプ装置（図示省略）によってアン クランプ状態とする。 すなわち、図１において、アンクランプ力付与手段４０を形成する操作レバー に外力Ｆを加えると、操作レバー（４０）はクランプ力付与機構５０を形成する バネの付勢力に抗して支持機構（支軸）３０を中心として反時計回転方向（また は時計回転方向）に回動する。したがって、各他方挟持爪２５が各一方挟持爪２ ６から離反し、アンクランプ状態となる。

【００３１】 次に、予めセットされた被処理物Ｗ（搬送枠７）に搬送枠７（被処理物Ｗ）を 移動させ、ここに、外力Ｆを取除くと、バネ（５０）が操作レバー（４０）つま り他方挟持爪２５を時計回転方向（反時計回転方向）に回動付勢する。したがっ て、他方挟持部２６が一方挟持部２２に接近して被処理物Ｗを上下からクランプ する。クランプポイント（２２，２６）が小さいので、被処理物Ｗに変形を発生 させず、かつ強いクランプ力で確実保持できる。しかも、他方挟持部２６は鋸歯 形状とされ被処理物Ｗに噛込む方向に働くので、例えば０．２ｍｍの被処理物Ｗ でも安定してクランプできる。また、クランプと同時に、被処理物Ｗの上（下） 部を給電部２３（２３）に確実に押付接続できる。

【００３２】 かくして、搬送枠７をクレーン等によって搬送し、被処理物Ｗを処理液Ｑに浸 漬しかつ給電しつつ電着レジスト処理を行う。 この際、各保持治具１００は構造簡単であるから予め十分な洗浄が行われてお り、また全体（１０，２１，２５，６０）が電気絶縁性樹脂から形成されている 。さらに、給電部２３が小さいので、電流集中によるゲル化の皮膜形成を極小的 に抑えられる。

【００３３】 処理後に、搬送枠７を引上げる。保持治具１００は、全体が簡単構造とされか つフランジ，ピン等を含む従来支持機構（３０）がない。また、クランプポイン ト（２２，２６）にも液溜が形成されないから、液垂れを少なくすることができ る。しかも、垂れた液は傾斜面２４，２７で外側に流されるから、被処理物Ｗ上 への液垂れを極小とできる。よって、２重皮膜形成等を完全防止でき高品質処理 できる。

【００３４】 しかして、この実施例によれば、基体１０と一方挟持爪２１と他方挟持爪２５ とを電気絶縁性樹脂から形成するとともに一方挟持爪２１の一方挟持部２２と給 電部２３とを埋設された金属部材２８の露出部から形成し、他方挟持爪２５の他 方挟持部２６を鋸歯形状として支持機構３０を形成する偏心配設された支軸（３ ０）に回転可能に保持し、しかも両挟持爪２１，２５の下方に外側に向う傾斜面 ２４，２７を設けた構成としているので、液溜を一掃して液垂れを小さくかつゲ ル化皮膜発生を抑制できるとともに洗浄や自動化が容易で低コストで製作できる 。また、極薄の被処理物Ｗでも変形を生じさせずに確実にクランプできる適用性 の広いものとなる。特に、全体（１０，２１，２５，６０）が電気絶縁樹脂から 形成されているので、電流集中によるゲル化皮膜の発生を完全に防止できる。 また、全体（１０，２１，２５，６０）が電気絶縁性樹脂から形成されている ので耐蝕性が高いから、被処理物Ｗを上下でクランプできる。 よって、搬送中も電解処理中も被処理物Ｗを安定して保持できる。薄い被処理 物Ｗでも揺れや変形を防止でき、高品質処理できる。

【００３５】 また、他方挟持部２６が外周面に設けられた鋸歯形状とされかつ支軸（３０） が偏心配設されているので、被処理物Ｗを噛込む方向に働く。したがって、被処 理物Ｗを一段と確実にクランプでき、自動搬送上も有利である。

【００３６】 また、クランプポイント（２２，２６）が狭小とされかつ一方挟持爪２１には 傾斜面２４、他方挟持爪２５には傾斜面２７が設けられているので、液を外側に 流去ることができ、被処理物Ｗへの液垂れを一層確実とできる。

【００３７】 さらに、支持機構（支軸）３０は、両挟持爪２１，２５よりも側方に位置ずれ 配設されたブラケット６０に取付けられているので、この点からも液垂れ要因を 小さくできる。

【００３８】

【考案の効果】

本考案によれば、基体と一方挟持爪と他方挟持爪とを電気絶縁性樹脂から形成 するとともに、一方挟持爪の一方挟持部と給電部とを埋設された金属部材の露出 部から形成し、他方挟持爪の他方挟持部を鋸歯形状として支持機構を形成する偏 心配設された支軸に回転可能に保持し、しかも両挟持爪の下方に外側に向う傾斜 面を設けた構成としているので、液溜を一掃して液垂れを小さくかつゲル化皮膜 発生を抑制できるとともに洗浄や自動化が容易で低コストで製作できる。また、 極薄の被処理物でも変形を生じさせずにかつ被処理物の厚薄に拘わらず確実にク ランプできる適用性の広いものとなる。特に、全体が電気絶縁性樹脂から形成さ れているので、電流集中によるゲル化皮膜の発生を完全に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す側面図である。

【図２】同じく、搬送枠に装着された状態を説明するた
めの図である。

【図３】従来例の使用態様を説明するための図である。

【図４】従来例を示す側面図である。

【符号の説明】

７ 搬送枠 ８ 上枠 ９ 下枠 １０ 基体 ２０ クランパー ２１ 一方挟持爪 ２２ 一方挟持部 ２３ 給電部 ２４ 傾斜面 ２５ 他方挟持爪 ２６ 他方挟持部 ２７ 傾斜面 ３０ 支持機構（支軸） ４０ アンクランプ力付与手段（操作レバー） ５０ クランプ力付与機構（バネ） ６０ ブラケット ６２ ストッパー １００ 保持治具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２５Ｄ 17/08 Ｊ Ａ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送枠等に着脱可能な基体と、一方挟持
   爪と他方挟持爪とからなるクランパーと、両挟持爪をク
   ランプ・アンクランプ動作可能に支持する支持機構と、
   クランパーにクランプ力を付与するクランプ力付与機構
   と、このクランプ力付与機構をアンクランプ状態とする
   ための外力を加えるアンクランプ力付与手段と、からな
   る被処理物の保持治具において、 基体と一方挟持爪と他方挟持爪とを電気絶縁性樹脂から
   形成するとともに、基体と一方挟持爪とを一体成形しか
   つ一方挟持爪の一方挟持部と給電部とを一方挟持爪に埋
   設された金属部材の露出部をもって形成し、 一方挟持爪の下方に外側に向って傾斜する傾斜面を形成
   するとともに、他方挟持爪の他方挟持部を鋸歯形状に形
   成しかつその下方に外側に向って傾斜する傾斜面を形成
   し、 前記支持機構を他方挟持爪を回転可能に支持しかつ前記
   クランプ力付与機構の付勢力によって他方挟持部を一方
   挟持部へ常時接触可能とする位置に配設された支軸から
   形成したことを特徴とする被処理物の保持治具。