JPH0577306B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0577306B2 JPH0577306B2 JP6487987A JP6487987A JPH0577306B2 JP H0577306 B2 JPH0577306 B2 JP H0577306B2 JP 6487987 A JP6487987 A JP 6487987A JP 6487987 A JP6487987 A JP 6487987A JP H0577306 B2 JPH0577306 B2 JP H0577306B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- insulating material
- alkali
- anodic bonding
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はセラミツクス、ガラスのような絶縁材
の表面に、金属やシリコン等を接合するために利
用される陽極接合方法に関するものである。
の表面に、金属やシリコン等を接合するために利
用される陽極接合方法に関するものである。
（従来の技術）
例えば半導体圧力センサー等の製造工程におい
ては、ガラス等の絶縁材の表面にシリコンウエハ
ー等を接合するために陽極接合が行われている。
この陽極接合法は米国特許第3397278号明細書等
にも示されているとおり、ガラス等の絶縁材の片
面に接合しようとする金属やシリコンウエハー等
を陽極として接触させるとともに、絶縁材の反対
側の表面に金属製の陰極を接触させ、300〜400℃
の温度条件下で直流電圧を印加することにより陽
極と絶縁材とを接合させる方法である。ところが
このような陽極接合の際には、ガラス中のNa+、
K+、Li+等のアルカリインオが陰極側に向つて移
動し、陰極と接する絶縁体の表面層にアルカリリ
ツチな層が形成され、表面層の熱膨張率を大きく
して反りを生じさせたり、アルカリリツチな表面
層の吸湿性によつて温度、湿度の変化によるゼロ
点の変動を招いたりする欠点があつた。そこでこ
のような欠点を解決するために、特開昭58−
118159号公報には陰極側のアルカリリツチな表面
層をエツチング又は機械的研摩により除去し、安
定な品質の半導体圧力センサーを製造する技術が
示されているが、陽極接合後にこのような加工を
行うことは工程が複雑化し、コスト高となる等の
問題があつた。
ては、ガラス等の絶縁材の表面にシリコンウエハ
ー等を接合するために陽極接合が行われている。
この陽極接合法は米国特許第3397278号明細書等
にも示されているとおり、ガラス等の絶縁材の片
面に接合しようとする金属やシリコンウエハー等
を陽極として接触させるとともに、絶縁材の反対
側の表面に金属製の陰極を接触させ、300〜400℃
の温度条件下で直流電圧を印加することにより陽
極と絶縁材とを接合させる方法である。ところが
このような陽極接合の際には、ガラス中のNa+、
K+、Li+等のアルカリインオが陰極側に向つて移
動し、陰極と接する絶縁体の表面層にアルカリリ
ツチな層が形成され、表面層の熱膨張率を大きく
して反りを生じさせたり、アルカリリツチな表面
層の吸湿性によつて温度、湿度の変化によるゼロ
点の変動を招いたりする欠点があつた。そこでこ
のような欠点を解決するために、特開昭58−
118159号公報には陰極側のアルカリリツチな表面
層をエツチング又は機械的研摩により除去し、安
定な品質の半導体圧力センサーを製造する技術が
示されているが、陽極接合後にこのような加工を
行うことは工程が複雑化し、コスト高となる等の
問題があつた。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明はこのような従来の問題点を解決して、
絶縁材の陰極側にアルカリが偏析することを防止
し、アルカリ偏析に起因する反りや絶縁材表層部
の変質をなくした用極接合方法を目的として完成
されたものである。
絶縁材の陰極側にアルカリが偏析することを防止
し、アルカリ偏析に起因する反りや絶縁材表層部
の変質をなくした用極接合方法を目的として完成
されたものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は絶縁材の片面に陰極を接触させ、その
反対面に陰極を接触させたうえ直流電圧を印加し
絶縁材と陽極とを接合させる陽極接合方法におい
て、陰極として接合温度で溶融状態となるアルカ
リ塩を用いることを特徴とするものである。
反対面に陰極を接触させたうえ直流電圧を印加し
絶縁材と陽極とを接合させる陽極接合方法におい
て、陰極として接合温度で溶融状態となるアルカ
リ塩を用いることを特徴とするものである。
（実施例）
次に本発明を図示の実施例によつて更に詳細に
説明すると、１はガラス、セラミツクスのような
絶縁材であり、２は絶縁材１の片面に接触させた
陽極である。半導体圧力センサーの製造の場合に
おいては絶縁材１はガラス、陰極２はシリコンウ
エハーであり、陽極２はリード線３を介して200
〜2000V程度の直流電源４のプラス側に接続され
ている。５は絶縁材１の反対側の表面に接触させ
た陰極であるが、本発明においては陰極５として
接合温度で溶融状態となるアルカリ塩が用いられ
る。接合温度は300〜400℃程度であり、ヒーター
６によつて与えられる。アルカリ塩としては
KNO3、NaNO3等が代表的なものであり、接合
温度に応じて選択するものとする。このようなア
ルカリ塩は付着性を向上させるためにカオリンの
粘土と水を加えてペースト状とし、絶縁材１の表
面に印刷塗布し、乾燥させて安定した陰極５を形
成させることが好ましいが、アルカリ塩を単独で
用いることもできる。
説明すると、１はガラス、セラミツクスのような
絶縁材であり、２は絶縁材１の片面に接触させた
陽極である。半導体圧力センサーの製造の場合に
おいては絶縁材１はガラス、陰極２はシリコンウ
エハーであり、陽極２はリード線３を介して200
〜2000V程度の直流電源４のプラス側に接続され
ている。５は絶縁材１の反対側の表面に接触させ
た陰極であるが、本発明においては陰極５として
接合温度で溶融状態となるアルカリ塩が用いられ
る。接合温度は300〜400℃程度であり、ヒーター
６によつて与えられる。アルカリ塩としては
KNO3、NaNO3等が代表的なものであり、接合
温度に応じて選択するものとする。このようなア
ルカリ塩は付着性を向上させるためにカオリンの
粘土と水を加えてペースト状とし、絶縁材１の表
面に印刷塗布し、乾燥させて安定した陰極５を形
成させることが好ましいが、アルカリ塩を単独で
用いることもできる。
このように陰極５として接合温度において溶融
状態となるアルカリ塩を用いれば、陽極接合の際
に絶縁材１中を移動して陰極５側に偏折する
Na+、K+、Li+等のアルカリイオンは溶融状態に
あるアルカリ塩に溶解吸収されるため、絶縁材１
の陰極５側の表面にアルカリの偏析が生ずること
はない。従つて本発明の方法により陽極接合を行
えば、アルカリ偏折による絶縁材の反りや変質が
生ずることがなく、温度や湿度の変動によつても
ゼロ点の変動がない半導体圧力センサー等を得る
ことができる。なお絶縁材１に塗布された陰極５
は陽極接合の完了後に削り落とせばよい。
状態となるアルカリ塩を用いれば、陽極接合の際
に絶縁材１中を移動して陰極５側に偏折する
Na+、K+、Li+等のアルカリイオンは溶融状態に
あるアルカリ塩に溶解吸収されるため、絶縁材１
の陰極５側の表面にアルカリの偏析が生ずること
はない。従つて本発明の方法により陽極接合を行
えば、アルカリ偏折による絶縁材の反りや変質が
生ずることがなく、温度や湿度の変動によつても
ゼロ点の変動がない半導体圧力センサー等を得る
ことができる。なお絶縁材１に塗布された陰極５
は陽極接合の完了後に削り落とせばよい。
（発明の効果）
本発明は以上の説明からも明らかなように、陰
極として接合温度で溶融状態となるアルカリ塩を
用いることにより陰極側にアルカリが偏析するこ
とを防止したものであり、従来のような絶縁材の
陰極側の表面をエツチング等により除去しなくて
も、製品の反りやゼロ点ドリフト等を防止できる
ものである。よつて本発明は従来の問題点を解決
した陽極接合方法として、業界に寄与するところ
は極めて大きいものである。
極として接合温度で溶融状態となるアルカリ塩を
用いることにより陰極側にアルカリが偏析するこ
とを防止したものであり、従来のような絶縁材の
陰極側の表面をエツチング等により除去しなくて
も、製品の反りやゼロ点ドリフト等を防止できる
ものである。よつて本発明は従来の問題点を解決
した陽極接合方法として、業界に寄与するところ
は極めて大きいものである。
第１図は本発明の陽極接合方法を説明する断面
図である。 １：絶縁材、２：陽極、５：陰極。
図である。 １：絶縁材、２：陽極、５：陰極。
Claims (1)
- １ 絶縁材の片面に陽極を接触させ、その反対面
に陰極を接触させたうえ直流電圧を印加して絶縁
材と陽極とを接合させる陽極接合方法において、
陰極として接合温度で溶融状態となるアルカリ塩
を用いることを特徴とする陽極接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6487987A JPS63229864A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 陽極接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6487987A JPS63229864A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 陽極接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229864A JPS63229864A (ja) | 1988-09-26 |
| JPH0577306B2 true JPH0577306B2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=13270845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6487987A Granted JPS63229864A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 陽極接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63229864A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07112939B2 (ja) * | 1988-11-21 | 1995-12-06 | 三菱電機株式会社 | シリコンウエハとガラス基板の陽極接合法 |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP6487987A patent/JPS63229864A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63229864A (ja) | 1988-09-26 |
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