JPH0581179B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0581179B2 JPH0581179B2 JP62315166A JP31516687A JPH0581179B2 JP H0581179 B2 JPH0581179 B2 JP H0581179B2 JP 62315166 A JP62315166 A JP 62315166A JP 31516687 A JP31516687 A JP 31516687A JP H0581179 B2 JPH0581179 B2 JP H0581179B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin
- peripheral
- push
- holder
- pin holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING, OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING, OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1168—Gripping and pulling work apart during delaminating
- Y10T156/1189—Gripping and pulling work apart during delaminating with shearing during delaminating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T279/00—Chucks or sockets
- Y10T279/11—Vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Dicing (AREA)
- Walking Sticks, Umbrellas, And Fans (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ウエハーシート上のペレツトを吸着
ノズルで吸着してピツクアツプする際に、ピツク
アツプされるペレツトを突き上げピンで突き上げ
るペレツト突き上げ装置に関する。
ノズルで吸着してピツクアツプする際に、ピツク
アツプされるペレツトを突き上げピンで突き上げ
るペレツト突き上げ装置に関する。
［従来の技術］
従来、ペレツトを安定して突き上げるために、
例えば時開昭62−98638号に示すように、複数本
の周辺突き上げピンを用いたものが知られてい
る。この場合、ペレツトの大きさが異なると、そ
れに応じて周辺突き上げピンがペレツトの周辺部
を突き上げるようにその配置位置を変える必要が
ある。上記従来技術は、この点については何ら配
慮がされていない。
例えば時開昭62−98638号に示すように、複数本
の周辺突き上げピンを用いたものが知られてい
る。この場合、ペレツトの大きさが異なると、そ
れに応じて周辺突き上げピンがペレツトの周辺部
を突き上げるようにその配置位置を変える必要が
ある。上記従来技術は、この点については何ら配
慮がされていない。
［発明が解決しようとする問題点］
上記従来技術は、周辺突き上げピンが固定され
るピンホルダーの所定位置に設けた周辺ピン挿入
穴に周辺突き上げピンを挿入し、ねじで固定して
いるので、ペレツトの大きさに応じた数のピンホ
ルダーを用意しなければならない。また中心又は
周辺突き上げピンが折れた時にはその交換が困難
であつた。
るピンホルダーの所定位置に設けた周辺ピン挿入
穴に周辺突き上げピンを挿入し、ねじで固定して
いるので、ペレツトの大きさに応じた数のピンホ
ルダーを用意しなければならない。また中心又は
周辺突き上げピンが折れた時にはその交換が困難
であつた。
また大きなペレツト用のピンホルダーは、その
大きさが周辺部材の関係で制限され、周辺突き上
げピンをピンホルダーの周辺部に配置することに
なるので、周辺突き上げピン固定用のねじを螺合
させるねじ穴を周辺ピン挿入穴よりできるだけ離
れたピンホルダーの外周より形成する必要があ
り、また複数本のねじ穴は交差しないように設け
る必要があり、ピン止め構造が非常に複雑であつ
た。また周辺突き上げピンの固定用ねじは上記し
たピンホルダーの構造上小さくなるので、締付け
力が弱く、ねじの緩みにより周辺突き上げピンが
落下するという問題を有する。
大きさが周辺部材の関係で制限され、周辺突き上
げピンをピンホルダーの周辺部に配置することに
なるので、周辺突き上げピン固定用のねじを螺合
させるねじ穴を周辺ピン挿入穴よりできるだけ離
れたピンホルダーの外周より形成する必要があ
り、また複数本のねじ穴は交差しないように設け
る必要があり、ピン止め構造が非常に複雑であつ
た。また周辺突き上げピンの固定用ねじは上記し
たピンホルダーの構造上小さくなるので、締付け
力が弱く、ねじの緩みにより周辺突き上げピンが
落下するという問題を有する。
本発明の目的は、１個のピンホルダーで数種類
の大きさのペレツトに対処でき、また突き上げピ
ンが折れてもその交換が容易で、かつ突き上げピ
ンを強固に固定することができるペレツト突き上
げ装置を提供することにある。
の大きさのペレツトに対処でき、また突き上げピ
ンが折れてもその交換が容易で、かつ突き上げピ
ンを強固に固定することができるペレツト突き上
げ装置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
上記従来技術の問題点は、平面より見てＸ字状
の線上に複数個の周辺ピン挿入穴を設け、かつ側
面の一部と前記周辺ビン挿入穴を結ぶＸ字状線の
片側で囲まれた相対向した両側の上面部分をＶ字
状に切欠いた部を有し、上下駆動手段で上下駆動
されるピンホルダーと、前記周辺ピン挿入穴に挿
入された周辺突き上げピンと、この周辺突き上げ
ピンを前記ピンホルダーの切欠き部の内側面に押
付けるように前記ピンホルダーに固定されたＶ字
形状の駒とを備えていることにより解決される。
の線上に複数個の周辺ピン挿入穴を設け、かつ側
面の一部と前記周辺ビン挿入穴を結ぶＸ字状線の
片側で囲まれた相対向した両側の上面部分をＶ字
状に切欠いた部を有し、上下駆動手段で上下駆動
されるピンホルダーと、前記周辺ピン挿入穴に挿
入された周辺突き上げピンと、この周辺突き上げ
ピンを前記ピンホルダーの切欠き部の内側面に押
付けるように前記ピンホルダーに固定されたＶ字
形状の駒とを備えていることにより解決される。
［作用］
ペレツトの大きさが変つた場合、または周辺突
き上げピンが折れた場合には、駒の固定を緩め、
ペレツトの大きさに適合するピンホルダーの周辺
ピン挿入穴に突き上げピンを挿入し、駒を締付け
ると、周辺突き上げピンはピンホルダーに固定さ
れる。
き上げピンが折れた場合には、駒の固定を緩め、
ペレツトの大きさに適合するピンホルダーの周辺
ピン挿入穴に突き上げピンを挿入し、駒を締付け
ると、周辺突き上げピンはピンホルダーに固定さ
れる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図乃至第３図に示すように、図示しない上下
駆動手段で上下動させられるピンホルダー上下駆
動軸１の頭部には、ピンホルダー２が着脱自在に
早着されている。またピンホルダー上下駆動軸１
に対してピンホルダー２の回転方向を位置決めす
るために、ピンホルダー上下駆動軸１には両側に
突出して位置決めピン３が固定されており、ピン
ホルダー２には位置決めピン３に挿入されている
溝２ａが形成されている。そして、ピンホルダー
２はねじ４でピンホルダー上下駆動軸１に固定さ
れている。
第１図乃至第３図に示すように、図示しない上下
駆動手段で上下動させられるピンホルダー上下駆
動軸１の頭部には、ピンホルダー２が着脱自在に
早着されている。またピンホルダー上下駆動軸１
に対してピンホルダー２の回転方向を位置決めす
るために、ピンホルダー上下駆動軸１には両側に
突出して位置決めピン３が固定されており、ピン
ホルダー２には位置決めピン３に挿入されている
溝２ａが形成されている。そして、ピンホルダー
２はねじ４でピンホルダー上下駆動軸１に固定さ
れている。
ピンホルダー２は、第４図に示すように、ピン
ホルダー上下駆動軸１へ装着される軸装着部２ｂ
の上部にピン装着部２ｃを有する。ピン装着部２
ｃには、中心部に上面から垂直に貫通して中心ピ
ン挿入穴２ｄ−０が形成されている。中心ピン挿
入穴２ｄ−０を交点としてＸ字状に伸びた線上
に、中心ピン挿入穴２ｄ−０より等距離の位置上
面から垂直に貫通して複数個の第１、第２、第３
の周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３
が形成されている。即ち、第１、第２、第３の周
辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３はそ
れぞれ４個づつ形成されている。そして、中心ピ
ン挿入穴２ｄ−０、周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２
ｄ−２，２ｄ−３を結ぶＸ字状線で囲まれる相対
向した左右の上面部分は、中心ピン挿入穴２ｄ−
０の周辺を残してＶ字状に切欠かれた切欠き部２
ｅが形成されている。
ホルダー上下駆動軸１へ装着される軸装着部２ｂ
の上部にピン装着部２ｃを有する。ピン装着部２
ｃには、中心部に上面から垂直に貫通して中心ピ
ン挿入穴２ｄ−０が形成されている。中心ピン挿
入穴２ｄ−０を交点としてＸ字状に伸びた線上
に、中心ピン挿入穴２ｄ−０より等距離の位置上
面から垂直に貫通して複数個の第１、第２、第３
の周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３
が形成されている。即ち、第１、第２、第３の周
辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３はそ
れぞれ４個づつ形成されている。そして、中心ピ
ン挿入穴２ｄ−０、周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２
ｄ−２，２ｄ−３を結ぶＸ字状線で囲まれる相対
向した左右の上面部分は、中心ピン挿入穴２ｄ−
０の周辺を残してＶ字状に切欠かれた切欠き部２
ｅが形成されている。
再び第１図乃至第３図に戻つて、図には中心ピ
ン挿入穴２ｄ−０、４個の第２の周辺ピン挿入穴
２ｄ−２にそれぞれ中心突き上げピン５及び周辺
突き上げピン６が挿入されている。そして、ピン
ホルダー２の左右の切欠き部２ｅには、この切欠
き部２ｅの内側面に沿つた外側面を有するＶ字状
の駒７がそれぞれ配設され、駒７はねじ８でピン
ホルダー２に固定され、駒７で周辺突き上げピン
６をピンホルダー２に押付けている。前記中心突
き上げピン５はピンホルダー２に螺合されたねじ
９で直接固定されている。
ン挿入穴２ｄ−０、４個の第２の周辺ピン挿入穴
２ｄ−２にそれぞれ中心突き上げピン５及び周辺
突き上げピン６が挿入されている。そして、ピン
ホルダー２の左右の切欠き部２ｅには、この切欠
き部２ｅの内側面に沿つた外側面を有するＶ字状
の駒７がそれぞれ配設され、駒７はねじ８でピン
ホルダー２に固定され、駒７で周辺突き上げピン
６をピンホルダー２に押付けている。前記中心突
き上げピン５はピンホルダー２に螺合されたねじ
９で直接固定されている。
前記ピンホルダー上下駆動軸１、ピンホルダー
２、中心突き上げピン５、周辺上げピン６はカツ
プ状をした吸着ステージ１５に内臓されている。
吸着ステージ１５の頂部には中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６に対応した位置に中心突
き上げピン５、周辺突き上げピン６の逃げ穴を兼
ねた吸着穴１５ａが形成されている。また吸着ス
テージ１５の吸着穴１５ａを中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６に対応した位置に位置決
めするために、吸着ステージ１５にはガイドピン
１６が固定され、このガイドピン１６はピンホル
ダー２及びピンホルダー上下駆動軸１側面にピン
ホルダー２の上面より垂直に連通して形成された
縦溝２ｆ、１ａに挿入されている。吸着ステージ
１５は図示しない駆動手段で上下駆動されるステ
ージホルダー上下駆動筒１７にねじ１８で固定さ
れている。
２、中心突き上げピン５、周辺上げピン６はカツ
プ状をした吸着ステージ１５に内臓されている。
吸着ステージ１５の頂部には中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６に対応した位置に中心突
き上げピン５、周辺突き上げピン６の逃げ穴を兼
ねた吸着穴１５ａが形成されている。また吸着ス
テージ１５の吸着穴１５ａを中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６に対応した位置に位置決
めするために、吸着ステージ１５にはガイドピン
１６が固定され、このガイドピン１６はピンホル
ダー２及びピンホルダー上下駆動軸１側面にピン
ホルダー２の上面より垂直に連通して形成された
縦溝２ｆ、１ａに挿入されている。吸着ステージ
１５は図示しない駆動手段で上下駆動されるステ
ージホルダー上下駆動筒１７にねじ１８で固定さ
れている。
またステージホルダー上下駆動筒１７には図示
しない真空ポンプに接続された継手１９が取付け
られており、真空圧は、ステージホルダー上下駆
動筒１７とピンホルダー上下駆動軸１との隙間２
０、吸着ステージ１５とピンホルダー上下駆動軸
１及びピンホルダー２との隙間２１を通つて吸着
穴１５ａに通じるようになつている。
しない真空ポンプに接続された継手１９が取付け
られており、真空圧は、ステージホルダー上下駆
動筒１７とピンホルダー上下駆動軸１との隙間２
０、吸着ステージ１５とピンホルダー上下駆動軸
１及びピンホルダー２との隙間２１を通つて吸着
穴１５ａに通じるようになつている。
次に作用について説明する。中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６及び吸着ステージ１５は
従来と同様に作動するので簡単に説明する。吸着
ステージ１５で図示しないウエハーシートを吸着
した状態でピンホルダー上下駆動軸１が上昇させ
られると、ピンホルダー２と共に中心突き上げピ
ン５及び周辺突き上げピン６が吸着ステージ１５
の吸着穴１５ａを通して上方に上昇し、ウエハー
シートに粘着されている図示しないペレツトを突
き上げ、このペレツトは図示しない吸着ノズルに
よつてピツクアツプされる。その後、ピンホルダ
ー上下駆動軸１が下降させられて中心突き上げピ
ン５及び周辺突き上げピン６も下降し、またウエ
ハーシートを吸着している真空圧もオフとなる。
５、周辺突き上げピン６及び吸着ステージ１５は
従来と同様に作動するので簡単に説明する。吸着
ステージ１５で図示しないウエハーシートを吸着
した状態でピンホルダー上下駆動軸１が上昇させ
られると、ピンホルダー２と共に中心突き上げピ
ン５及び周辺突き上げピン６が吸着ステージ１５
の吸着穴１５ａを通して上方に上昇し、ウエハー
シートに粘着されている図示しないペレツトを突
き上げ、このペレツトは図示しない吸着ノズルに
よつてピツクアツプされる。その後、ピンホルダ
ー上下駆動軸１が下降させられて中心突き上げピ
ン５及び周辺突き上げピン６も下降し、またウエ
ハーシートを吸着している真空圧もオフとなる。
ところで、図示の場合には、中心ピン挿入穴２
ｄ−０及び周辺ピン挿入穴２ｄ−２に中心付き上
げピン５及び周辺突き上げピン６を取付けてなる
ので、第５図ｂに示す大きさのペレツト３１に適
する。そこで、第５図ａに示す大きさのペレツト
３０に適合させるには、周辺ピン挿入穴２ｄ−１
に周辺突き上げピン６を取付ければ良く、また同
図ｃに示す大きさのペレツト３２に適合させるに
は、同様に周辺ピン挿入穴２ｄ−３に周辺突き上
げピン６を取付ければ良い。このようにペレツト
３１，３１，３２の大きさに適合するように周辺
突き上げピン６を取付けるには、ねじ８を緩めて
駒７を後退させておき、ペレツト３０，３１，３
２に適合する周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−
２，２ｄ−３に周辺突き上げピン６を挿入し、ね
じ締め突けることにより簡単に行える。この場
合、周辺ピン挿入穴２ｄ−１又は２ｄ−２若しく
は２ｄ−３に挿入した周辺突き上げピン６に対応
した位置に吸着穴１５ａが設けられた吸着ステー
ジ１５と交換する必要があることは勿論である。
ｄ−０及び周辺ピン挿入穴２ｄ−２に中心付き上
げピン５及び周辺突き上げピン６を取付けてなる
ので、第５図ｂに示す大きさのペレツト３１に適
する。そこで、第５図ａに示す大きさのペレツト
３０に適合させるには、周辺ピン挿入穴２ｄ−１
に周辺突き上げピン６を取付ければ良く、また同
図ｃに示す大きさのペレツト３２に適合させるに
は、同様に周辺ピン挿入穴２ｄ−３に周辺突き上
げピン６を取付ければ良い。このようにペレツト
３１，３１，３２の大きさに適合するように周辺
突き上げピン６を取付けるには、ねじ８を緩めて
駒７を後退させておき、ペレツト３０，３１，３
２に適合する周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−
２，２ｄ−３に周辺突き上げピン６を挿入し、ね
じ締め突けることにより簡単に行える。この場
合、周辺ピン挿入穴２ｄ−１又は２ｄ−２若しく
は２ｄ−３に挿入した周辺突き上げピン６に対応
した位置に吸着穴１５ａが設けられた吸着ステー
ジ１５と交換する必要があることは勿論である。
なお、第５図ｄは非常に小さなペレツト３３の
場合に中心突き上げピン５のみを用いた場合を示
す。また同図ａ〜ｃの場合には、周辺突き上げピ
ン６と共に中心突き上げピン５を用いたが、周辺
突き上げピン６のみを用いても良い。
場合に中心突き上げピン５のみを用いた場合を示
す。また同図ａ〜ｃの場合には、周辺突き上げピ
ン６と共に中心突き上げピン５を用いたが、周辺
突き上げピン６のみを用いても良い。
また周辺突き上げピン６はピンホルダー２に駒
７で押付けられて固定する構造であるので、その
構造は単純で、かつ強固に固定できる。
７で押付けられて固定する構造であるので、その
構造は単純で、かつ強固に固定できる。
またピホルダー上下駆動軸１及びピンホルダー
２に設けた縦溝２ｆ，１ａに吸着ステージ１５を
設けたガイドピン１６を挿入するようになつてい
るので、ピンホルダー２に吸着ステージ１５をは
め込む時に、ガイドピン１６を縦溝２ｆ，１ａ挿
入することにより、周辺突き上げピン６に吸着ス
テージ１５の吸着穴１５ａが対応することにな
る。これにより、ピンホルダー２に吸着ステージ
１５をかぶせる時に中心突き上げピン５及び周辺
突き上げピン６の先端が吸着ステージ１５に当つ
て前記ピン５，６の先端を痛めることもない。
２に設けた縦溝２ｆ，１ａに吸着ステージ１５を
設けたガイドピン１６を挿入するようになつてい
るので、ピンホルダー２に吸着ステージ１５をは
め込む時に、ガイドピン１６を縦溝２ｆ，１ａ挿
入することにより、周辺突き上げピン６に吸着ス
テージ１５の吸着穴１５ａが対応することにな
る。これにより、ピンホルダー２に吸着ステージ
１５をかぶせる時に中心突き上げピン５及び周辺
突き上げピン６の先端が吸着ステージ１５に当つ
て前記ピン５，６の先端を痛めることもない。
なお、ピンホルダー２はピンホルダー上下駆動
軸１にねじ４で一体に固定され、ピンホルダー上
下駆動軸１と共に上下駆動するものであるので、
ピンホルダー２とピンホルダー上下駆動軸１は一
つの部材で一体に形成してもようことは勿論であ
る。
軸１にねじ４で一体に固定され、ピンホルダー上
下駆動軸１と共に上下駆動するものであるので、
ピンホルダー２とピンホルダー上下駆動軸１は一
つの部材で一体に形成してもようことは勿論であ
る。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、１個のピンホルダーで数種類の大きさのペレ
ツトに対処でき、また突き上げピンが折れてもそ
の交換が容易で、かつ突き上げピンを強固に固定
することができる。
ば、１個のピンホルダーで数種類の大きさのペレ
ツトに対処でき、また突き上げピンが折れてもそ
の交換が容易で、かつ突き上げピンを強固に固定
することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す一部断面平面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は
第１図のＢ−Ｂ線断面図、第４図はピンホルダー
を示し、ａは平面図、ｂは右側面図、ｃは断面
図、第５図ａ乃至ｂはそれぞれペレツトの大きさ
に適合するように周辺突き上げピンを取付けた平
面説明図である。 ２：ピンホルダー、２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ
−３：周辺ピン挿入穴、２ｅ：切欠き部、６：周
辺突き上げピン、７：駒。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は
第１図のＢ−Ｂ線断面図、第４図はピンホルダー
を示し、ａは平面図、ｂは右側面図、ｃは断面
図、第５図ａ乃至ｂはそれぞれペレツトの大きさ
に適合するように周辺突き上げピンを取付けた平
面説明図である。 ２：ピンホルダー、２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ
−３：周辺ピン挿入穴、２ｅ：切欠き部、６：周
辺突き上げピン、７：駒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 平面より見てＸ字状の線上に複数個の周辺ピ
ン挿入穴を設け、かつ側面の一部と前記周辺ビン
挿入穴を結ぶＸ字状線の片側で囲まれた相対向し
た両側の上面部分をＶ字状に切欠いた切欠き部を
有し、上下駆動手段で上下駆動されるピンホルダ
ーと、前記周辺ピン挿入穴に挿入された周辺突き
上げピンと、この周辺突き上げピンを前記ピンホ
ルダーの切欠き部の内側面に押付けるように前記
ピンホルダーに固定されたＶ字形状の駒とを備え
ていることを特徴とするペレツト突き上げ装置。 ２ 平面より見てＸ字状の線上に複数個の周辺ピ
ン挿入穴を設け、かつ側面の一部と前記周辺ビン
挿入穴を結ぶＸ字状線の片側で囲まれた相対向し
た両側の上面部分をＶ字状に切欠いた切欠き部を
有し、更に上面より縦溝が形成され、上下駆動手
段で上下駆動されるピンホルダーと、前記周辺ピ
ン挿入穴に挿入された周辺突き上げピンと、この
周辺突き上げピンを前記ピンホルダーの切欠き部
の内側面に押付けるように前記ピンホルダーに固
定されたＶ字形状の駒と、上面に前記周辺突き上
げピンの逃げ穴を兼ねた吸着穴が形成され、かつ
周辺突き上げピンに対応した位置に位置決めする
ために前記ピンホルダーの縦溝に挿入されるガイ
ドピンが固定され、前記ピンホルダーを覆うよう
に配設された吸着ステージとを備えていることを
特徴とするペレツト突き上げ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315166A JPH01157548A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | ペレット突き上げ装置 |
| KR1019880013649A KR910007107B1 (ko) | 1987-12-15 | 1988-10-20 | 펠릿 돌상(突上)장치 |
| US07/284,133 US4907790A (en) | 1987-12-15 | 1988-12-14 | Pellet-lifting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315166A JPH01157548A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | ペレット突き上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157548A JPH01157548A (ja) | 1989-06-20 |
| JPH0581179B2 true JPH0581179B2 (ja) | 1993-11-11 |
Family
ID=18062217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62315166A Granted JPH01157548A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | ペレット突き上げ装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4907790A (ja) |
| JP (1) | JPH01157548A (ja) |
| KR (1) | KR910007107B1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0625963Y2 (ja) * | 1988-07-29 | 1994-07-06 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装装置 |
| DE102006025361A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Siemens Ag | Ausstoßeinheit zum Abtrennen von Bauelementen aus einer im Wesentlichen ebenen Anordnung von Bauelementen |
| JP4629624B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2011-02-09 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
| DE102007041911A1 (de) * | 2007-09-04 | 2009-03-05 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Ablösen von elektronischen Bauelementen von eienr Montagefolie |
| EP2587261A1 (de) | 2011-10-25 | 2013-05-01 | Pharmatron AG | Tablettenteststation |
| US9835533B2 (en) | 2011-10-25 | 2017-12-05 | Sotax Ag | Tablet testing device |
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