JPH058471Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、例えば電子部品材料の加熱処理に使
用されるチユーブ型炉に関する。

〈従来の技術〉 電子部品材料の加熱処理には、チユーブ型の炉
体を有するチユーブ型炉が使用される。

従来からの一般的なチユーブ型炉として、第３
図に示すようなものが知られている。このチユー
ブ型炉は、一端側のみで固定支持される石英製で
円筒形の炉体２０の外周部にヒータ２１が配設さ
れた構造である。

このチユーブ型炉における電子部品材料２５の
加熱処理は、次のように行われる。

炉体２０内の所定位置に多数の電子部品材料２
５を装入し、炉体２０の開口２０ａを扉体２３で
閉塞する。つぎに、炉体２０内に排気して真空状
態とした後、ヒータ２１により炉体２０を加熱
し、加熱された炉体２０内面からの輻射により電
子部品材料２５を加熱する。

〈考案が解決しようとする問題点〉 ところで、上記のチユーブ型炉においては、炉
体２０の開口寄り部分２０ｂおよび扉体２３がヒ
ータ２１の加熱範囲から外方に突出しているの
で、この突出部分を通じて熱が外部に放散する。
そのため、この突出部分の内部温度はヒータ２１
内に配置された部分よりも温度が低くなつて温度
勾配を生じる。

炉体２０内部にこのような温度勾配が生じる
と、各電子部品材料２５に対する加熱条件がその
装入位置に応じて変化し、電子部品材料２５それ
ぞれの特性が同一でなくなる。このような不都合
を回避するには、炉体２０の開口寄り部分２０ｂ
の温度低下を防ぎ、炉体２０内の均熱域を開口２
０ａ側にまで延長することが必要である。従来
は、炉体２０内の均熱域を十分に長くとるため
に、ヒータ２１を炉体２０内における電子部品材
料２５の装入位置よりも開口寄り部分２０ｂまで
延長して配設していた。そのため、ヒータ２１の
長さが電子部品材料２５の装入位置に比して長く
なり、その結果、チユーブ型炉全体が大型化する
という問題点があつた。

本考案は、上記の問題点に鑑みてなされたもの
であつて、炉体の開口側部分と扉体との温度低下
を抑え、材料加熱に必要な均熱域を広げて良好な
加熱処理が行えるようにするとともに、チユーブ
型炉全体を小型化することを目的としている。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案に係るチユーブ型炉は、上記目的を達成
するために、ヒータの加熱範囲から外方へ突出し
ている炉体の開口寄り部分の内部に遮熱部材を着
脱自在に装入していることを特徴とするものであ
る。

〈作用〉 上記の構成によれば、開口寄り部分からの熱放
散が遮熱部材により抑制され、炉体内の均熱域が
遮熱部材の近傍位置まで拡大する。

〈実施例〉 以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図および第２図は本考案の一実施例を示
し、第１図はチユーブ型炉の断面図、第２図は遮
熱部材の斜視図である。本考案におけるチユーブ
型炉は、遮熱部材が装着された以外は第３図の従
来例と異ならない。したがつて、第１図において
第３図と対応する部分には同一の符号を付してい
る。

これらの図において、符号２０は炉体、２１は
ヒータである。炉体２０は一端側に開口２０ａを
有し、他端側が閉塞された石英製の円筒管で、そ
の開口寄り部分２０ｂが固定支持されて水平方向
に配設される。この炉体２０は大半が石英製で、
その開口２０ａ側の一部分２０ｃのみがステンレ
スで形成され、この部分２０ｃが真空排気装置２
２に接続される。また、炉体２０の開口２０ａに
は、この開口２０ａを閉塞するステンレス製の扉
体２３が設けられる。この扉体２３は、その一方
が回転自在に支持されて開閉される。一方、炉体
２０内には載置台２４の上に互いに間隔をおいて
載置された電子部品材料２５が装入される。

つぎに、符号１０は遮熱部材であり、この遮熱
部材１０は炉体２０に挿入可能な外径を有する複
数枚（図においては３枚）のステンレス製円板１
０ａと、これらの円板の中心部を貫通し、間隔を
おいてそれぞれを接続するステンレス製の棒材１
０ｂとから構成されている。なお、この遮熱部材
１０は本図のものに限定されるものではなく、炉
体２０の閉塞側端面に対して反射面を有するもの
であればよい。

一方、ヒータ２１は炉体２０の外周部に配設さ
れ、炉体２０の開口寄り部分２０ｂを除く部分を
直接加熱できるようになつている。このヒータ２
１は炉体２０が挿入される開口２０ａ以外は外殼
２１ｂによつて覆われ、外殼２１ｂ下部に固着さ
れたガイド２６によりガイドレール２７に沿つて
炉体２０から遠ざかる方向に移動できる。

このようなチユーブ型炉における電子部品材料
２５の処理は、次のような手順で行われる。

炉体２０内の所定位置に、図示していない装入
治具により多数枚の電子部品材料２５が載置され
た載置台２４を装入する。炉体２０内の開口寄り
部分２０ｂの内部に遮熱部材１０をセツトして扉
体２３により密閉した後、真空排気装置２２によ
り炉体２０内を排気して真空状態にする。ヒータ
２１により炉体２０を加熱し、加熱された炉体２
０内面からの輻射により電子部品材料２５を加熱
する。このとき、炉体２０に加えられた熱の一部
は開口寄り部分２０ｂおよび扉体２３から放散さ
れるのであるが、この熱の放散は遮熱部材１０に
より抑えられ、開口２０ａ側の温度低下が少なく
なる。その結果、炉体２０内での均熱域は遮熱部
材１０の手前まで拡大する。

〈考案の効果〉 以上のように、本考案によれば、遮熱部材を炉
体の開口寄り部分の内部に装入したので、この部
分からの放散を抑えることにより炉体の開口側の
温度低下を抑え、均熱域を拡大することができ
る。

したがつて、炉体内の広い範囲で均一な加熱処
理を行うことができる。また、炉体自体に温度差
が生じないのでヒータの長さを短縮することがで
き、チユーブ型炉全体を小型化できるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例に係
り、第１図はチユーブ型炉の断面図、第２図は遮
熱部材の斜視図であり、第３図は従来例のチユー
ブ型炉の断面図である。 １０……遮熱部材、２０……炉体、２１……ヒ
ータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 チユーブ型の炉体を有し、かつ、該炉体の開口
   寄り部分および扉体がヒータの加熱範囲から外方
   へ突出しているチユーブ型炉において、 前記炉体の開口寄り部分の内部には遮熱部材が
   着脱自在に装入されていることを特徴とするチユ
   ーブ型炉。