JPH058606Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はデイツプ現像用カツプに係る。

（従来の技術） 従来のデイツプ現像に於ける薬液供給は第１図
Ａに示す如く現像カツプ１と薬液タンク２との間
に恒温循環槽３を設け現像に用いる薬液４の温度
をコントロールしていた。なお、５は薬液供給ポ
ンプであり、また図面で第１図Ｂは第１図ＡのＸ
−Ｘ線切断部分図で、６はカツプ内底面に向けて
薬液を供給するようになすためのノズル孔、７は
カツプ内中心部に設けたスピンドルチヤツク、８
はマスク又はウエハー（以下、被現像物と言う）
である。

（考案が解決しようとする課題） 上記従来のものに於ける構成では、薬液をいく
らコントロールしても恒温循環槽３から現像カツ
プ１に至る配管途中で薬液４は室温と同程度とな
されるのであつて、このため現像時の薬液温度コ
ントロールが完全なものとならず、被現像物のレ
ジスト膜厚及びその均一性に於いて高精度の現像
が困難なものとなつていた。

（課題を解決するための手段） 本考案は上記問題を解決せんとするものであつ
て、その特徴とするところはカツプ外周側壁を肉
厚のものに形成し、該外周側壁内内を仕切壁１０
を介して内槽１１ａと外槽１１ｂに二分し、内槽
１１ａには底面部に薬液流入管１３を、外槽１１
ｂには温水配管を取付けしめた薬液サブタンクを
構成し、又内槽１１ａにはカツプ内底面に向かう
薬液流入用のノズル孔を設けた構成と成したこと
にある。

本考案は以下の実施例によつて具体的に説明さ
れる。

（実施例） 第２図は全体斜視図、第３図は第２図のＹ−Ｙ
線部分断面図である。

本図に於いて１が現像用カツプ、２が薬液タン
ク、３が恒温循環槽、４が薬液、５が薬液供給ポ
ンプ、６がノズル孔、７がスピンドルチヤツク、
８が被現像物であることは従来のものと変りがな
いが、本考案ではカツプ１の外周側壁に対し薬液
サブタンク９を設けるようになすのであり、該形
成には図示例の如くカツプ１の外周側壁を肉厚の
ものに形成し、該外周壁側内を仕切壁１０を介し
て内槽１１ａと外槽１１ｂに二分し、両槽上面に
は覆板１２を嵌着させるようになさしめると共
に、内槽１１ａには底面部に薬液流入管１３を、
外槽１１ｂには温水配管１４を取付けしめてな
る。なお、１５はカツプ本体１の内底面を下側か
ら温度コントロールを可能ならしめるための恒温
水ジヤケツトである。また、１６は恒温水タン
ク、１７は恒温水循環ポンプである。

（作用） 上記構成に於いて薬液サブタンク９はデイツプ
現像１回に使用する薬液量以上の容積を持つてお
り、薬液４は内槽１１ａ内へ流入しノズル孔６か
らカツプ１内底面に対し流出されるが、このさい
内槽１１ａの外周面には外槽１１ｂの恒温水ジヤ
ケツト１５が形成されていることから、内槽１１
ａ内の薬液は恒温水ジヤケツト１５の影響を受け
てその温度を希望する一定温度になるように作用
する （考案の効果） 本考案によれば薬液配管よりカツプ１内に流入
する薬液４はサブタンク９内の恒温水により常時
一定の温調作用を受けることから、従来温度変動
の要因であつた薬液配管の長短やバルブ或は継手
箇所などの影響とは無関係に一定の温度条件にコ
ントロールできることになり、より高精度なレジ
スト膜厚とその均一性に寄与せしめること大なる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を示すものでＡは斜視図、Ｂ
は同Ｘ−Ｘ線部分断面図、第２図は全体斜視図、
第３図は第２図のＹ−Ｙ線部分断面図である。 １……現像カツプ、２……薬液タンク、３……
恒温循環槽、４……薬液、５……薬液供給ポン
プ、６……ノズル孔、７……スピンドルチヤツ
ク、８……被現像物、９……薬液サブタンク、１
１ａ……内槽、１１ｂ……外槽、１２……覆板、
１５……恒温水ジヤケツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. カツプ１の外周側壁を肉厚のものに形成し、壁
   内を仕切壁１０を介して内槽１１ａと外槽１１ｂ
   に二分し、内槽１１ａには底面部に薬液流入管１
   ３を、外槽１１ｂには温水配管を取付けしめた薬
   液サブタンクを構成し、又内槽１１ａにはカツプ
   内底面に向かう薬液流入用のノズル孔が設けてあ
   ることを特徴としたデイツプ現像用カツプ。